LED光和镭射激光的均匀化和整形

3m'6cMQ   }K\_N]#6n   均匀化的概念 %|~UNP$   6W o7q\"   VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： wO9<An   • 微透镜阵列 -_dgd:or   • 衍射扩散器 1['A1,   • 计算机生成的全息图  qn .   • 相位板 4+0Zj+ q";   • 单元阵列 K`sm   红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 m[XN,IE#u   !~#31kL&   光学仿真和设计包括: l%O-c}X   • 衍射 ueOvBFgZ   • 干涉 n >^?BU   • 空间和时间相干度 ? "gy`oCv   • 像差 r_",E=e   • 偏振 U7N<!6   • 光强 8MdKH7   ,o`qB81   应用 !WmpnPr1   aNz%vbh\   用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： &N#)(rQ1   • 信息显示 @NF8?>!   • 测量系统 e-WaK0Ep   • 室内照明 ?!ig/ufZ   • 汽车  d$ /o\G   • 军事 'nul{RE*   • 光刻 Kj7Osqu2bE   用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 f55Ev<oOa   2;3q](d    优点Benefits %2{E'^#)p-   9o6y7hEQy   微光学元件的照明系统有以下几大优点： LImD]e `   • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. z"-Urd^O   • 产生任意的二维图案. p GC`HTo|   • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. Kr<O7t0X   • 非常紧凑的照明系统. Oj2[(7mO/   包含一个光栅元胞阵列的照明系统光线追迹模拟 Mo/ xEB/O   ;J:YNup

S'WmPv   微透镜阵列 rtI4W   =F`h2A;a   微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： a7Jr} "B   • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. 5segzaI   • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. REw3>/=   • 可以产生一般的二维图案. 0Ec -/    • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. ;RrfE8mGj   衍射扩散器 5H79) n>   4DNZ y2`   衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： k$hWR;U   • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. w-KtxG(   • 生成任意的二维图案. 1ayxE(vMcX   • 仅用于单色LED或准分子激光. ,Ya&M@^Z   4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 3K'3Xp@A   单元阵列 GV9"8MZ6   e'jR<ln|   光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： eRf8'-"#-   • 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. oxRu:+N   • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. BH}u\K   • 产生任意的二维图案. ev; &$Hc   • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像