LED光和镭射激光的均匀化和整形

v03~=(   {yyg=AMz   均匀化的概念 =mqV&FgRo   !xo@i XL   VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： cb%w,yXw   • 微透镜阵列 #Mbt%m   • 衍射扩散器 8zj09T[   • 计算机生成的全息图 >K\ 79<x|   • 相位板 SATZ!   • 单元阵列 |[34<tIN   红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 3UC8iq*   >^J!Z~;L)   光学仿真和设计包括: x6DH0*[.   • 衍射 6%S>~L66   • 干涉 \f66ipZK*   • 空间和时间相干度 bf;IJ|v^   • 像差 *C\4%l    • 偏振 kj0A%q#'}   • 光强 FeV=4tsy   A v2 _A   应用 Zl,K#   )%j)*Ymz;   用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： i0AC.]4e"   • 信息显示 ^\+6*YE 4   • 测量系统 %\b5)p   • 室内照明 2:DpnLU5   • 汽车 La9@h"   • 军事 %7|qnh6   • 光刻 *znCe(dd   用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 -nk%He   NZlJ_[\$C   优点Benefits ;?:,L   0)2lBfHQ&   微光学元件的照明系统有以下几大优点： !-MG"\#Wq   • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. Rkm7"dO0   • 产生任意的二维图案. 4|+ |L_   • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. ;,4J:zvZdQ   • 非常紧凑的照明系统. Y#t"..mc'   包含一个光栅元胞阵列的照明系统光线追迹模拟 t#pY2!/T3   3:;%@4f

gSe{S   微透镜阵列 to?"{   +?@qux!   微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： s+CXKb +   • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. &0C!P=-p   • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. LAwS8t',   • 可以产生一般的二维图案. 50R+D0^mh   • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. ;q^YDZ'   衍射扩散器 .A `:o   X1'Ze,34   衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： L+kS8D<   • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. h=U 4   • 生成任意的二维图案. (CV=0{]   • 仅用于单色LED或准分子激光. 9E#(iP   4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 3}g K`1Nq1   单元阵列 k m|wB4   U92hv~\   光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： 6?iP z?5   • 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. QA9vH'   • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. HZ}'W<N   • 产生任意的二维图案. S8cFD):q   • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像