LED光和镭射激光的均匀化和整形

5oQy $Y   kji*7a?y   均匀化的概念 iH& Izv   #vi `2F   VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： ,?GEL>F   • 微透镜阵列 +'abAST t   • 衍射扩散器 ':8yp|A|   • 计算机生成的全息图 (W3~r   • 相位板 [HB>\    • 单元阵列 Z~^)B8   红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 WL4{_X   A4.Q\0   光学仿真和设计包括: MXY[t   • 衍射 oD]tHuDa   • 干涉 B&&:A4   • 空间和时间相干度 {D1"bDZ   • 像差 q3\ YL?   • 偏振 u1F@VV{   • 光强 {-IH?!&v   ^>02,X mk   应用 VfOm#Ue0q   8KRm>-H)   用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： tW;1   • 信息显示 mGZ^K,)&OR   • 测量系统 ,$ L>   • 室内照明 ohqi4Y!j/~   • 汽车 %EA|2O.D   • 军事 &U%AVD [   • 光刻 LYb@0O<w   用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 rf_(pp)   H'E(gc)>)   优点Benefits L=4%MyZ.e   3B#qQ#   微光学元件的照明系统有以下几大优点： 9~i=Af@   • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. 5hwe ul>S   • 产生任意的二维图案. 5s3!{zT{   • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 33dHTV   • 非常紧凑的照明系统. 4SRX@/ #8*   包含一个光栅元胞阵列的照明系统光线追迹模拟 EYNi`   ygoA/*s

KECo7i=e   微透镜阵列 OKs1irt5   t]LOBy-Kv   微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： P%MYr"<$E   • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. X6I"&yct   • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. j4h6p(w{   • 可以产生一般的二维图案. 8,unq3   • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. S-{=4b'   衍射扩散器 G^E"#F   ~>vv9-_   衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： #[$^M:X.   • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. ?`ETlFtD4   • 生成任意的二维图案. [\eh$r\   • 仅用于单色LED或准分子激光. ~n9x ,   4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 SVKjhZK   单元阵列 r]JV!'R   (JV [7u -   光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： \\w<.\Yh   • 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. aX CVC<l   • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. _Q XC5i   • 产生任意的二维图案. Fo\* Cr9D   • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像