LED光和镭射激光的均匀化和整形

5*E]ETo@R   N+++4;   均匀化的概念 U(a#@K!H   4F)-"ck   VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： hq%?=2'9?   • 微透镜阵列 t'?.8}?)I&   • 衍射扩散器 kr+D,h01   • 计算机生成的全息图 0M*Z'n +   • 相位板 T3~k>"W   • 单元阵列 V\{clJ\U   红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 AZ0;3<FfLp   MTsM]o   光学仿真和设计包括: >go,K{cK6   • 衍射 <nE>XAI_7   • 干涉 ?/BqD;{?I   • 空间和时间相干度 D'7SAFOM   • 像差 A$<.a '&T!   • 偏振 X59:C3c   • 光强 !HrKXy0{   M|6A0m#Q   应用 kv3E4,<9   ;fsZ7k4]do   用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： V`X2>-Ex   • 信息显示 +Fuqchjq   • 测量系统 P=7zs;k   • 室内照明 os,* 3WO   • 汽车 >XK PTC5H   • 军事 "*m_> IU   • 光刻 m4aB*6<lq   用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 ~T9/#-e>BF   /h+8A',   优点Benefits J]v%q,"   ^?U!pq-`   微光学元件的照明系统有以下几大优点： Q?e*4ba   • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. qLw{?sH}J/   • 产生任意的二维图案. L0*nm.1X   • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. ^oVs+vC   • 非常紧凑的照明系统. ?,p;O   包含一个光栅元胞阵列的照明系统光线追迹模拟 5Y.vJz   9 TvV=

]+(6,ct&.   微透镜阵列 aEM%R<e   ' qWALu   微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： V"*O=h   • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. Z9MdD>uwi   • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. @{YS}&Q/   • 可以产生一般的二维图案. |kw)KEi}H   • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. yOphx07 (   衍射扩散器 C 'v+f=   (5#nrF]   衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： VSrr`B   • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. bvS(@   • 生成任意的二维图案. Zw *v   • 仅用于单色LED或准分子激光. KAC6Snu1   4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ]e^c=O`$   单元阵列 c\iA89msp   x97 j   光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： :A1{d?B   • 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. '$|[R98   • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. %ZNI:Uh   • 产生任意的二维图案. 6I1 ,:nLL<   • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像