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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
J&B>"s, 内容简介 rryC^Vma Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 bm</qF'T6 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 7,.3'cCL^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 vFz#A/1 %u)niY-g
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日
w~3~:w$ 目录 kn^?.^dVX Preface 1 ~!PaBS3A 内容简介 2 RTLA* 目录 i wa)E.(x 1 引言 1 y3,'1^lA 2 光学薄膜基础 2 f4b`*KGf 2.1 一般规则 2 w@jC#E\ 2.2 正交入射规则 3 0bcbH9) 1q 2.3 斜入射规则 6 IwTAM9n 2.4 精确计算 7 u>K(m))5W3 2.5 相干性 8 ?k}"g$JFn 2.6 参考文献 10 y|+n77[Gv 3 Essential Macleod的快速预览 10 (oUh:w.]Gw 4 Essential Macleod的特点 32 [yEH!7 4.1 容量和局限性 33 FxkxV GZ" 4.2 程序在哪里? 33 ac2G;}B| 4.3 数据文件 35 cD6T4 4.4 设计规则 35 ]y**ZFA 4.5 材料数据库和资料库 37 GY3g`M
4.5.1材料损失 38 8iIz!l%O 4.5.1材料数据库和导入材料 39 w.:fl4V 4.5.2 材料库 41 /Cl=;^) 4.5.3导出材料数据 43 T2%{pcdV/ 4.6 常用单位 43 ^@4$O|3Wh' 4.7 插值和外推法 46 4)DI0b" 4.8 材料数据的平滑 50 Mq#sSBE<K 4.9 更多光学常数模型 54 l_1y#B-k5 4.10 文档的一般编辑规则 55 uQ_s$@brI 4.11 撤销和重做 56 =8p *Ijs 4.12 设计文档 57 mDG=h6y"V 4.10.1 公式 58 CkHifmc(u- 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ({5`C dVi 4.10.3 沉积密度 59 zDD1EycH 4.10.4 平行和楔形介质 60 $ lC*q 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 .O1Kwu 4.10.4 性能 61 mZgYR~ 4.10.5 保存设计和性能 64 U7(t >/ 4.10.6 默认设计 64 m0a <~ 4.11 图表 64 9P)28\4 4.11.1 合并曲线图 67 $7'K]'UJXO 4.11.2 自适应绘制 68 .Jvy0B} B 4.11.3 动态绘图 68 +YNN$i 4.11.4 3D绘图 69 W3HTQGV 4.12 导入和导出 73 ^]_5oFRIj 4.12.1 剪贴板 73 PIthv[F 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 XSv)=]{ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 zfBaB0 P 4.13 背景 77 ?%]?#4bkc 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 p?#%G`dm 4.15 生成Rugate 84 _-mJI+^/ 4.16 参考文献 91 #n5DK{e 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ).8i*Ys,: 5.1 Jobs 92 8YLS/dN0 w 5.2 创建一个新Job(工作) 93 EXz{Pqz 5.3 输入材料 94 :8CYTEc 5.4 设计数据文件夹 95 Cr;d
!= 5.5 默认设计 95 XVRtfo 6 细化和合成 97 o<f#Zi 6.1 优化介绍 97 h]w5N2$}? 6.2 细化 (Refinement) 98 UomO^P 6.3 合成 (Synthesis) 100 pRTdP/(OQ 6.4 目标和评价函数 101 *qN(_ 6.4.1 目标输入 102 'y<<ce* 6.4.2 目标 103 !vQDPLBL 6.4.3 特殊的评价函数 104 /qeSR3WC 6.5 层锁定和连接 104 .%3qzOrN 6.6 细化技术 104 ZBf9Upg 6.6.1 单纯形 105 $mF(6<w 6.6.1.1 单纯形参数 106 1}#RUqFrvS 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 NW*qw q 6.6.2.1 Optimac参数 108 L(ni6- 6.6.3 模拟退火算法 109 XY*KWO 6.6.3.1 模拟退火参数 109 |TE\ ] 6.6.4 共轭梯度 111 6z2_b wo 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 rjJ-ZRs\ 6.6.5 拟牛顿法 112 +P//p$pE 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 {zj<nu 6.6.6 针合成 113 xn`<g|"# 6.6.6.1 针合成参数 114 d O' apey 6.6.7 差分进化 114 Ou'<9m!9 6.6.8非局部细化 115 HXg4
T 6.6.8.1非局部细化参数 115 |AS`MsbI9 6.7 我应该使用哪种技术? 116 V1= (^{p8 6.7.1 细化 116 N:yyDeGyW 6.7.2 合成 117 "v9i;Ba>+ 6.8 参考文献 117 Pqc+p E 7 导纳图及其他工具 118 ~l@-gAyw 7.1 简介 118 fmv8)$W#U 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 U(t_uc5q 7.2.1 四分之一波长规则 119 4 -dV%DgC 7.2.2 导纳图 120 ^ 1 P@BRh 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 q&y9(ZvI 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ?t{ 2y1 7.5 斜入射导纳图 141 iO?Sf8yJ: 7.6 对称周期 141 kl90w 7.7 参考文献 142 Jjgy;*hM 8 典型的镀膜实例 143 a|s64+ 8.1 单层抗反射薄膜 145 m@W\Pic,j. 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 j & x=?jX 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 IxxA8[^V 8.4 W-膜层 148 _?IP}} jA: 8.5 V-膜层 149 'r2VWavT 8.6 V-膜层高折射基底 150 i H^Gv * 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
?V>\9?zb 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 xr<.r4 8.9 四层抗反射薄膜 153 1sHaG 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 '+Gy)@c 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 nYv`{0S+m 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 1hT!~' 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 5Tt%<#4 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 UFED*al# 8.15十五层宽带抗反射膜 159 1Z+\>~8 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 .-(s`2 8.17 1/4波长堆栈 162 s7~[7
8.18 陷波滤波器 163 =`oQcIkz 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 p7YfOUo
k 8.20 褶皱 165 *YI>Q@F9 8.21 消偏振分光器1 169 !83N.
gN 8.22 消偏振分光器2 171 "V:24\vO 8.23 消偏振立体分光器 172 $7 08\! 8.24 消偏振截止滤光片 173 WRWcB 8.25 立体偏振分束器1 174 o.Jq1$)~y 8.26 立方偏振分束器2 177 LE"t'R 8.27 相位延迟器 178 o5 fXe}pl@ 8.28 红外截止器 179 o=,q4;R' 8.29 21层长波带通滤波器 180 .$k2.-k 8.30 49层长波带通滤波器 181 MDo4{7 8.31 55层短波带通滤波器 182 !/},k"p6 8.32 47 红外截止器 183 8#S}.|"?F 8.33 宽带通滤波器 184 s|1BqoE 8.34 诱导透射滤波器 186 : cmQ
w 8.35 诱导透射滤波器2 188 ;goR0PN 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 N!`8-ap\^ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 q hPvU(
, 8.35 增益平坦滤波器 193 9_6.%qj& 8.38 啁啾反射镜 1 196 PUdJ>U 8.39 啁啾反射镜2 198 *FwHZZ~U 8.40 啁啾反射镜3 199 ZL-YoMHc+_ 8.41 带保护层的铝膜层 200 l{{wrU` 8.42 增加铝反射率膜 201 3gn)q>Xj$ 8.43 参考文献 202 ;bZIj`D( 9 多层膜 204 DM-8azq $ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 u
I \zDR 9.2 内部透过率 204 Tu'/XUs;k 9.3 内部透射率数据 205 5nGDt~a 9.4 实例 206 2nQrCdRC 9.5 实例2 210 n>w/T" 9.6 圆锥和带宽计算 212 &tULSp@J 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ::xH C4tw 10 光学薄膜的颜色 216 F=29"1 ._ 10.1 导言 216 9P3jx)K 10.2 色彩 216 Y{ho[% 10.3 主波长和纯度 220 b,U3b})( 10.4 色相和纯度 221 Y!kz0([ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ohdWEU, 10.6 色差 226 z_dorDF8`> 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Dm=Em-ST6 10.8 颜色渲染指数 234 "rj qDpH 10.9 色差计算 235 7H-,:8 10.10 参考文献 236 Uf`lGGM 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 r~sx]=/ 11.1 短脉冲 238 r3@Q(Rb 11.2 群速度 239 Sv7_-#SW<( 11.3 群速度色散 241 .oJs"=h:m 11.4 啁啾(chirped) 245 s7FJJTn 11.5 光学薄膜—相变 245 (;V=A4F-D 11.6 群延迟和延迟色散 246 0.}Um 11.7 色度色散 246 _l&`*
2d 11.8 色散补偿 249 VK*2`Z1 11.9 空间光线偏移 256 eB:OvOol*^ 11.10 参考文献 258 D&{7Av 12 公差与误差 260 VOYuog 5o 12.1 蒙特卡罗模型 260 959i2z 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 1@nGD<,. 12.2.1 误差工具 267 DR o@gYDn 12.2.2 灵敏度工具 271 {(7D=\eU 12.2.2.1 独立灵敏度 271 C^@.GA 12.2.2.2 灵敏度分布 275 }LH>0v_<Y 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 wl{Fx+<^3 12.3 参考文献 276 Ul?Ha{W 13 Runsheet 与Simulator 277 !@ml^&hP 13.1 原理介绍 277 GfAt-huL( 13.2 截止滤光片设计 277 y)W.xR 14 光学常数提取 289 !af35WF 14.1 介绍 289 e&C(IEZ/N; 14.2 电介质薄膜 289 -R,[/7zj 14.3 n 和k 的提取工具 295 G4Zs(:a 14.4 基底的参数提取 302 qy`95^ 14.5 金属的参数提取 306 `0rEV_$ 14.6 不正确的模型 306 |H.(?!nTb 14.7 参考文献 311 GNXQD}L?b? 15 反演工程 313 M%wj6!5 15.1 随机性和系统性 313 XelY?Ph,, 15.2 常见的系统性问题 314 td@F%* 15.3 单层膜 314 Y8I$JBO 15.4 多层膜 314 b;&J2:` 15.5 含义 319 =|n NC 15.6 反演工程实例 319 Aa;R_Jz 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 A2z%zMlZc 15.6.2 反演工程提取折射率 327 30Nya$$A= 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 H&65X 16.1 光学性质的热致偏移 329 29g("(}TK 16.2 应力工具 335 4A%O`&eZ 16.3 均匀性误差 339 w$H=GF?" 16.3.1 圆锥工具 339 br"p D-} 16.3.2 波前问题 341 _9E7;ew 16.4 参考文献 343 Ys10r-kDS 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 vN%zk(?T 17.1 引言 345 WlVC0& 17.2 操作数 345 S @\Pki+n[ 18 如何在Function中编写脚本 351 1Y410-.3w{ 18.1 简介 351 YJ]]6 K+ 18.2 什么是脚本? 351 wobTT1!| 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 /<Cl\q2
A 18.4 基础 352 v709#/cR 18.4.1 Classes(类别) 352 w
.l2 18.4.2 对象 352 -^8gZk/(W 18.4.3 信息(Messages) 352 MpM-xz~ 18.4.4 属性 352 -IJt( X| 18.4.5 方法 353 3Juhn5&N 18.4.6 变量声明 353 *5 FSq 18.5 创建对象 354 $%VFk 53I 18.5.1 创建对象函数 355 A>^\jIB> 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 =^4 vz=2 18.5.3 丢弃对象 356 %FGPsHH 18.5.4 总结 356 6q?C"\_ 18.6 脚本中的表格 357 1i9}mzy% 18.6.1 方法1 357 Zi/l.=9n 18.6.2 方法2 357 Oh<[8S7]C 18.7 2D Plots in Scripts 358 HE+y1f] 18.8 3D Plots in Scripts 359 38Lc|w 18.9 注释 360 aYe,5dK> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 j& f-yc'i- 18.11 一个更高级的脚本 362 +o)S.a+7 18.12 <esc>键 364 =PyU9C-@ 18.13 包含文件 365
N\DEY] 18.14 脚本被优化调用 366 M cE$=Vv 18.15 脚本中的对话框 368 g ZhE\ 18.15.1 介绍 368 TPp%II'* 18.15.2 消息框-MsgBox 368 0R<@* 18.15.3 输入框函数 370 ]*U\ gm% 18.15.4 自定义对话框 371 :h?"0, 18.15.5 对话框编辑器 371 MuYr?1<q 18.15.6 控制对话框 377 :*#AJV) 18.15.7 更高级的对话框 380 +Tde#T&[ 18.16 Types语句 384 URmx8=q 18.17 打开文件 385 Afo(! v 18.18 Bags 387 YEAiL C+q 18.13 进一步研究 388 #\iQ`Q<B 19 vStack 389 (w?@qs! 19.1 vStack基本原理 389 b&~rZ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 83:m7; 19.3 五棱镜 393 "m ):" 19.4 光束距离 396 Ua\g*Cxh 19.5 误差 399 p0? XR 19.6 二向分色棱镜 399 cnC&=6=a< 19.7 偏振泄漏 404 ;%odN
d 19.8 波前误差—相位 405 8$-Wz:X& 19.9 其它计算参数 405 R>BI;IcX 20 报表生成器 406 EbuOPa 20.1 入门 406 s#?Y^bgH 20.2 指令(Instructions) 406 8(q4D K\5u 20.3 页面布局指令 406 %I;ej{*c 20.4 常见的参数图和三维图 407 UL$^zR3%d 20.5 表格中的常见参数 408 3>yb$ZU"- 20.6 迭代指令 408 O*rKV2\ 20.7 报表模版 408 %JBp~" 20.8 开始设计一个报表模版 409 /A[AHJ<[? 21 一个新的project 413 `;*%5WD% 21.1 创建一个新Job 414 AF ZHS\ 21.2 默认设计 415 J:)Q)MT24: 21.3 薄膜设计 416 (A\qZtnyl 21.4 误差的灵敏度计算 420 e(x1w&8dB 21.5 显色指数计算 422 1wuLw Ad 21.6 电场分布 424 h"Yi' 后记 426 j\f;zb?F
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