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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
nG"n-$A?< 内容简介 YZGS-+ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 \&iil =H8! 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 A)Qh 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 -\kXH"% |mxNUo-
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 uxOJ3 目录 8geek$FY x Preface 1
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` 内容简介 2 {7?9jEj 目录 i $;Vc@mYGW; 1 引言 1 hCM8/Vvx6 2 光学薄膜基础 2 dTN$y\
2.1 一般规则 2 CV&zi6 2.2 正交入射规则 3 fxDj+Q1p 2.3 斜入射规则 6 3;a
R\:p@w 2.4 精确计算 7 =4tO0 2.5 相干性 8 H`m:X,6} 2.6 参考文献 10 l"J*)P 3 Essential Macleod的快速预览 10 ;1W6"3t-Y 4 Essential Macleod的特点 32 3ai (x1% 4.1 容量和局限性 33 2{ o0@ 4.2 程序在哪里? 33 84=-Lw 4.3 数据文件 35 7DtIVMiK 4.4 设计规则 35 hq<5lE^ 4.5 材料数据库和资料库 37 MO[kr2T 4.5.1材料损失 38 }:`5,b%Y_ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 bj@xqAGl 4.5.2 材料库 41 qy_%~c87 4.5.3导出材料数据 43 5YiZ-CQ> 4.6 常用单位 43 dv;9QCc' 4.7 插值和外推法 46 6eQsoKK 4.8 材料数据的平滑 50 XRa(sXA3 4.9 更多光学常数模型 54 D_d|=i 4.10 文档的一般编辑规则 55 Ic'Q5kfM 4.11 撤销和重做 56 g nt45]@{ 4.12 设计文档 57 .H8mRvd? 4.10.1 公式 58 +YTx
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 2;G98H 4.10.3 沉积密度 59 mD7}t 4.10.4 平行和楔形介质 60 (w+%=z"M 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {j?7d; 'j 4.10.4 性能 61 2 H[ ; v + 4.10.5 保存设计和性能 64 q]^,vei 4.10.6 默认设计 64 .o}%~g <d 4.11 图表 64 0[/vQ+O ]2 4.11.1 合并曲线图 67 {FWyu5. 4.11.2 自适应绘制 68 2MuO*.9D 4.11.3 动态绘图 68 6xHi\L 4.11.4 3D绘图 69 IAI(Ix 4.12 导入和导出 73 uPkb, :6~Z 4.12.1 剪贴板 73 _gKu8$o=- 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 #vQ? 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ^'vIOq-1v 4.13 背景 77 +Hj/0pp 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %M9;I 4.15 生成Rugate 84 $jG4pPG 4.16 参考文献 91 FI{AZb_' 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 66Gx.tE 5.1 Jobs 92 ^agj4$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Cxm6TO`-; 5.3 输入材料 94 |5,<jyp 5.4 设计数据文件夹 95 ~:[!Uyp0b 5.5 默认设计 95 q#NR32byF 6 细化和合成 97 XJSa]P^B1 6.1 优化介绍 97 @9 )}cg 6.2 细化 (Refinement) 98 dQ9
ah 6.3 合成 (Synthesis) 100 d&jjWlHgEN 6.4 目标和评价函数 101 5Z{_m;I. 6.4.1 目标输入 102 .x}gg\ 6.4.2 目标 103 W"Q!|#;l. 6.4.3 特殊的评价函数 104 O8lFx_N7Q 6.5 层锁定和连接 104 ,
T\- ;7 6.6 细化技术 104 DyfsTx 6.6.1 单纯形 105 =i>\2J%'R 6.6.1.1 单纯形参数 106 sTkkM9 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 l~J*' m2 6.6.2.1 Optimac参数 108 \9)#l#m 6.6.3 模拟退火算法 109 Qz+sT6js- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 &[_ZXVva~ 6.6.4 共轭梯度 111 3qi_]*dD 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 h^oH^moq< 6.6.5 拟牛顿法 112 ffE#^| 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 b5pMq$UVL 6.6.6 针合成 113 UTCzHh1 6.6.6.1 针合成参数 114 t> .
Fl- 6.6.7 差分进化 114 !msNEE@[ 6.6.8非局部细化 115 | o0RP|l 6.6.8.1非局部细化参数 115 SEM8`lnu 6.7 我应该使用哪种技术? 116 oM,- VUr 6.7.1 细化 116 uS<_4A;sD, 6.7.2 合成 117 %NajFjBI 6.8 参考文献 117 WUEHB 7 导纳图及其他工具 118 KX3KM!* 7.1 简介 118 >72JV;W] 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
!tNd\}@ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ;..o7I 7.2.2 导纳图 120 pQWHG#?7 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 por/^=e{Y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 cozXb$bBY 7.5 斜入射导纳图 141 E0 l_-- 7.6 对称周期 141 gR Nv-^ 7.7 参考文献 142 ~R]35Cp-# 8 典型的镀膜实例 143 =X(%Svnp 8.1 单层抗反射薄膜 145 Z4hLdHo_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 UE :HMn6 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 A\QJLWBv^$ 8.4 W-膜层 148 (\,BxvhG= 8.5 V-膜层 149 #0"~G][# 8.6 V-膜层高折射基底 150 6f)2 F<
7 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @T:faJ5\' 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 K84^Oq 8.9 四层抗反射薄膜 153 #=,imsW) 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 "y;bsZBd" 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 >v+jh(^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 9em*r9- 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 _yH`t[ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 'Ot,H_pE 8.15十五层宽带抗反射膜 159 }#`:Qb \U 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 kc$)^E7 8.17 1/4波长堆栈 162 w?y6nTg< 8.18 陷波滤波器 163 ~DF:lqwWP 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 6^)}PX= * 8.20 褶皱 165 V416g |lBO 8.21 消偏振分光器1 169 <a^Oj LLU 8.22 消偏振分光器2 171 ) R2XU 8.23 消偏振立体分光器 172 3Q By\1h. 8.24 消偏振截止滤光片 173 Pm{*.AW1 8.25 立体偏振分束器1 174 y9l*m~ 8.26 立方偏振分束器2 177 4QHS{tj 8.27 相位延迟器 178 S :bC[} 8.28 红外截止器 179 n,'OiVl[ 8.29 21层长波带通滤波器 180 Vw{*P2v) 8.30 49层长波带通滤波器 181 ,'fxIO 8.31 55层短波带通滤波器 182 8wZf]_ 8.32 47 红外截止器 183 3ec`Wa
8.33 宽带通滤波器 184 39i9wrP 8.34 诱导透射滤波器 186 MGpt}|t- 8.35 诱导透射滤波器2 188 -yAQ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 4Xj4|Rw% 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 0(TTw(; 8.35 增益平坦滤波器 193
nY%5cJ`" 8.38 啁啾反射镜 1 196 UUe#{6Jx_ 8.39 啁啾反射镜2 198 s1N?/>lmB 8.40 啁啾反射镜3 199 N)2f7j4C& 8.41 带保护层的铝膜层 200 -~{c
u47_ 8.42 增加铝反射率膜 201 'tgKe!-@ 8.43 参考文献 202 6IcNZ!j98 9 多层膜 204 u{<"NR h 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 }_'IE1bA 9.2 内部透过率 204 A^ \.Z4=d" 9.3 内部透射率数据 205 :mppv8bh 9.4 实例 206 Jju#iwb 9.5 实例2 210 (N-RIk73/O 9.6 圆锥和带宽计算 212 pKUP2m`MW 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 9A'Y4Kg<C 10 光学薄膜的颜色 216 g=L]S-e 10.1 导言 216 SLL3v,P(7 10.2 色彩 216
-fI`3# 10.3 主波长和纯度 220 ||7x;2e 10.4 色相和纯度 221 ;bzX%f?|G 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 BaI $S>/Q 10.6 色差 226 #N(= 3Cj 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 /^SAC%PD 10.8 颜色渲染指数 234 "ww|&-W9 10.9 色差计算 235 '@|_OmcY 10.10 参考文献 236 }Db[ 4 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Cwa^"r3P1 11.1 短脉冲 238 3f.b\4 U 11.2 群速度 239 yF}OfK?0f 11.3 群速度色散 241 |077Sf| 11.4 啁啾(chirped) 245 4S"\~>< 11.5 光学薄膜—相变 245 z;f2*F 11.6 群延迟和延迟色散 246 |~`as(@Ih 11.7 色度色散 246 7w:ef0S 11.8 色散补偿 249 PX:'/{V 11.9 空间光线偏移 256 $
i)bq6 11.10 参考文献 258 ]B"'}%>ez 12 公差与误差 260 F_iXd/ 12.1 蒙特卡罗模型 260 +Mewo 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ~)LH='|h\} 12.2.1 误差工具 267 Xaz o9J 12.2.2 灵敏度工具 271 Y`7~Am/r;& 12.2.2.1 独立灵敏度 271
/-_=nf}w 12.2.2.2 灵敏度分布 275 C
(n+SY^ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 : JzI>/ 12.3 参考文献 276 n9w9JXp;! 13 Runsheet 与Simulator 277 {^mNJ 13.1 原理介绍 277 $E<Esf$ 13.2 截止滤光片设计 277 d<!3`qe 14 光学常数提取 289 .;y# 14.1 介绍 289 oF9
-& 14.2 电介质薄膜 289 4'j
sDcs 14.3 n 和k 的提取工具 295 H&1[nU{?> 14.4 基底的参数提取 302 N7'OPTKt& 14.5 金属的参数提取 306 M#"524Nz 14.6 不正确的模型 306 fH`P[^N 14.7 参考文献 311 Wt)Drv{@ { 15 反演工程 313 Nk=JBIsKv 15.1 随机性和系统性 313 YBYZ=,"d 15.2 常见的系统性问题 314 KoE8Mp 15.3 单层膜 314 _{t9 x\= 15.4 多层膜 314 q"O.Cbk 15.5 含义 319 H gTUy[( 15.6 反演工程实例 319 2"|2a@ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 U~h'*nV& 15.6.2 反演工程提取折射率 327 [U}+sTQ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 _Jwq`]Z 16.1 光学性质的热致偏移 329 IDkWGh 16.2 应力工具 335 +4[^!q*
H 16.3 均匀性误差 339 rg0ma 16.3.1 圆锥工具 339 Fc~'TBf,,` 16.3.2 波前问题 341 WLF0US' 16.4 参考文献 343 Nx{$} 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 kKD`rfyG\ 17.1 引言 345 M02uO`Y9 17.2 操作数 345 gu #-O?B 18 如何在Function中编写脚本 351 .s#;s'>g 18.1 简介 351 jV.g}F+1m 18.2 什么是脚本? 351 {x'GJtpb 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 `D9]*c
!mO 18.4 基础 352 `cPywn@uGZ 18.4.1 Classes(类别) 352 -':Y\:W 18.4.2 对象 352 hN['7:bQ 18.4.3 信息(Messages) 352 fLV"T_rk 18.4.4 属性 352 >=]'hyn]] 18.4.5 方法 353 R'kyrEO 18.4.6 变量声明 353 O+%WR 18.5 创建对象 354 uB!kM 18.5.1 创建对象函数 355 |
8qBm 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 b-3*Nl _% 18.5.3 丢弃对象 356 GUF"<k 18.5.4 总结 356 4w#``UY)' 18.6 脚本中的表格 357 wApMzZ(X2y 18.6.1 方法1 357 !61Pl/uQ 18.6.2 方法2 357 Pnd`=%w%] 18.7 2D Plots in Scripts 358 nW;g28 18.8 3D Plots in Scripts 359 D;UV&.$'v 18.9 注释 360 sAg Kg=) 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 sXd8rj:o 18.11 一个更高级的脚本 362 SP|<Tny 18.12 <esc>键 364 G_> #Js 18.13 包含文件 365 &$`yo` 18.14 脚本被优化调用 366 L`th7d" 18.15 脚本中的对话框 368 3!5Ur& 18.15.1 介绍 368 E*# ]** 18.15.2 消息框-MsgBox 368 #Rg|BfV- 18.15.3 输入框函数 370 w.&1%X(k 18.15.4 自定义对话框 371 nFe%vu8a 18.15.5 对话框编辑器 371 WM)-J^)BJ 18.15.6 控制对话框 377 <C9 XX~ 18.15.7 更高级的对话框 380 v)2M1 18.16 Types语句 384 a>mm+L8y 18.17 打开文件 385 S(\9T1DVe 18.18 Bags 387 ='TE,et@d 18.13 进一步研究 388 z>w`ZD}XY 19 vStack 389 c5|:,wkx 19.1 vStack基本原理 389 %*#n d 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 w
'3#&k+ 19.3 五棱镜 393 RT>{*E<I 19.4 光束距离 396 4A9{=~nwT 19.5 误差 399 ~EK'&Y"1 19.6 二向分色棱镜 399 WD'#5]#Y 19.7 偏振泄漏 404 Isx#9C 19.8 波前误差—相位 405 ~tOAT;g}q 19.9 其它计算参数 405 "zIFxDR# 20 报表生成器 406 -{`@=U 20.1 入门 406 c{[q>@y
pK 20.2 指令(Instructions) 406 \^#~@9 20.3 页面布局指令 406 erVO|<%=R 20.4 常见的参数图和三维图 407 9<Kj6t_ 20.5 表格中的常见参数 408 N?X^O#[ 20.6 迭代指令 408 )"+(butI& 20.7 报表模版 408 1Z{ZV.! 20.8 开始设计一个报表模版 409 !~Q2|r 21 一个新的project 413 H5D*|42 21.1 创建一个新Job 414 ^<X@s1^# 21.2 默认设计 415 9:I6( Zv0 21.3 薄膜设计 416
^xPmlS;X 21.4 误差的灵敏度计算 420 "QvmqI> 21.5 显色指数计算 422 7OjR._@ 21.6 电场分布 424 =}PdH`S 后记 426 WW~+?g5
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