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2023-05-26 16:08 |
Zemax & Lumerical | 二维光栅出瞳扩展系统优化
简介 yhwwF
n\ N i\*<:_ 本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 LNm{}VJ% ur*@TIvD 在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 c^Y&4=>T B{`4"uEb$G 本篇文章将分为上下两个部分。(联系我们获取文章附件) AiMD"7
)c oz54IO 概述 .@7J8FS*
B6| g2Tt 我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 {Ftz4y)6 mI;#Zq_j 然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 [ vWcQ6m UM?{ba9 [attachment=118097] U2~7qC,!Do KaRdO 图1 Lumerical 通过动态链接到 OpticStudio,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang,优化由 optiSLang 控制。 &2i3"9k /d<"{\o 如图 2 所示,EPE 系统包括两个用于耦入和耦出的光栅。耦出光栅分为几个区,如左侧所示。每个区都将经过优化,以具有不同的光栅形状。右图显示了光在 k 空间中的传播的变化情况。 EUxkYl 7soiy
A [attachment=118098] ?=C?3R Ry5/O?QL 图 2 光栅布局图以及光线在K空间的传播 ` #!~+ ">?ocJ\9 第 1 步:系统设置 (Lumerical) X}!r4<;( z@\r V@W5 打开附件中的 ZAR 文件时,两个光栅文件会被提取到设置的路径中。第一个光栅如图 3 所示,它是耦入光栅中使用的二元光栅。该光栅是固定的,在优化过程中不会改变。 j9sK P]w y]z^e\qc) [attachment=118099] XI>|"*-l EqY e.dF, 图 3 耦入光栅结构为二元光栅。 }digw( m@qM|%(0x 第二个 .fsp 文件如图 4 所示,它是一个具有 7 个变量的平行四边形柱体。在优化期间,耦出中的每个区都将使用不同的变量组合集进行优化 。有关优化设置的更多信息将在优化设置部分中进行说明。 D'dE!CAUs $m$tfa- [attachment=118100] oN0p$/La fa~u< | |