结构设计和导出加工数据

42[:s:   内容简介： wI]>0geb*   AS-t][m#   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； tg`!svL!   :1   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 $GKm`I"   r *xw\   结构设计 i(;u6Rk   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2  ^i k|l=   .T>}O0L"   J]YN2{(x   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 b4OR`dd*J   DG FvRB        QX3![;0F   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ee?ZkU#@   'aWZ#GS*   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 8WQ%rN={8   LjAIB(*   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 &H>dE]Hq,   =_:L wmI   C)kQi2T   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 7anpz%   K1WoIv<Ym   ;;H:$lx   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 D6:J*F&?   ]>i0;RME   /Day5\Q#   U2?gODh'   导出加工数据 1g.9R@Kc$   NUtyUv   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) +# >%bq x   3k0%H]wt   T#f@8 -XUE   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 mR@X t#   xT8" +}   J8DbAB4X   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度  n(1"6          *G=AhH$t   K0@7/*%   )5OU!c   I] $d,N!.   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 [SvwJIJJ   !r <|F   %l mRe(M   ;^i,Q} b/   5) 进入光学界面数据导出窗口 kl9z;(6p   3dphS ^X   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 Ee&$9 )t   c[7qnSH   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 _4]dPk#^   wQ^a2$Z   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ::`wx@   mjHY-lK   yBiwYk6   导出加工数据列表 +60;z4y}w   NR@Tj]`k   bm.H0rHR4   0wcWDE 9   导入加工数据 bb/MnhB   r&DK> H   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI w}b+vh^3Wy   C%>7mz-v5   b4ivWb|`   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ^*Fkt(ida   dp+Y?ufr   # GGmA.   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) [\yI<^_ a   N';lc:Ah~   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 3MVZ*'1QM\   KA#-X2U/   <|iU+.j\   Akf9n T   )Cl&"bX   O f=z!|l2   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ZP<X#]$qb   5ntP{p%>   R[;Z<K\Nn?   6) 导入完成，观察3D视图 ^B9wmxe   U\{Z{F%8   {Se9 3o

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