结构设计和导出加工数据

<L#d<lx   内容简介： BU/A\4xQ,Y   Wx{E\ l   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； NBc^(F"   U"p</ Q   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 \?^2}K/   X(nyTR8   结构设计 ?[NC}LC   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 SXOAa<u5   D@*<O=_D(   71c[`h*0{   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 tZ9i/=S   &9#m] Mz        U-u?oU-.'   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 e;6KxvX~   JL= c IH8   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 Jd>~gA}l   qM(}|fMbN   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 x^f)I|t   @9gZH_ur>E   f`uRC-B/   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 .="XvVdkp   <s'de$[   LEgP-sW   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 FoyYWj?,R   &oS$<   kk3^m1    s V   导出加工数据 MCT1ZZpPr   [s{ !   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 7mi!yTr}   }p7iv:P=3   ~hLan&T   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ^[tE^(|T   MePD:;mm^   6@J=n@J$p   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 WD[eoi          m.e]tTe   v~P,OP("c   %X{EupiFA   +J X;T(T   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 @LKQ-<dZG   &N|$G8\CY   R2~Tr$:   bV_nYpo   5) 进入光学界面数据导出窗口 #.bW9j/   9Yx(u2PQ   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 7^q~a(j   <$(B[T   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 g>@JGzMLP   9oWU]A\k>   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 bmfM_oz   IU %|K~_n   SiratkP9n7   导出加工数据列表 a:h<M^n049   *gbK :*_J   p T(M>LP83   HGDrH    导入加工数据 V#t_gS   /d8o*m'bu!   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 'Zfg Cu)St   7RAB"T;?Q   5'~_d@M   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) dj0; tQ=C   ]A#lV$   ;;Q^/rkC   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) @;Ttdwg#J   mPV<a&U   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ':'g!b`/   >:;dNVz   &SY!qTxF   l>?c AB[   ?Ec9rM\ze   N%y i4   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 g,ZA\R~   ?9b9{c'an   'Wonz<{'   6) 导入完成，观察3D视图 %`vzQt`>   'Ts:.   Hd|l6/[xz

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