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infotek 2023-05-25 08:21

结构设计和导出加工数据

%wN*Hu~E  
内容简介: TnJNs  
]p8<Vluv  
1.在VirtualLab中如何进行结构设计; URj2 evYW  
uuYeXI;  
2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 N_?15R7h  
d bHxc@H  
结构设计 b&*N  
1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 o`{^ptu1q  
U|+ c&TY  
L+_ JKc  
2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 #^xj"}o@  
!G;|~|fMV  
     5QZ}KNJ|t~  
3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 'L C0hoV  
n,`j~.l-=>  
目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中
#M|q}jA|  
6`Diz_(  
光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 <J-.,:  
rtz  ]PH  
]:~z#k|2@6  
光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Pp`[E/ qj4  
a2B9 .;F  
$.3J1DU  
4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 dlBr2 9  
co{i~['u  
X- `PF  
A}_0iwG  
导出加工数据 ow*^z78M{  
- @tL]]  
1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) uLrZl0%HT~  
C#P7@JE  
[E9)Da_)i  
2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 JdX!#\O  
(1)b> 6  
o':K4r;  
3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 bZu2.?{  
      
 Vsd4;  
vGchKN~_  
Ted!*HKlB  
)p[Qj58  
4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 5Vlm?mPU  
Tfw5i,{  
bpdluWS+)  
U3t) yr h  
5) 进入光学界面数据导出窗口 Pa"[&{:  
/@0  
在一般(General)标签进行如下图所示的设置
UD^=@?^7  
`h<>_zpjY  
在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置
LX m@h  
cX|(/h,W/  
在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 Kc+TcC  
7x.] 9J  
'3 JVUHn  
导出加工数据列表 @-.Tgpe@a  
'%*/iH6<U{  
D{^CJ :n  
;TboS-Y  
导入加工数据 CQ'4 ".7  
.B{:<;sa  
1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI 0[ZwtfL1  
J/\^3rCB  
@m9dB P  
2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) Wo6C0Z3g}  
(} Y|^uM,  
DiSU\?N2'  
3) 导入取样光学界面(Sampled Interface)
j4$NQ]e^4  
;ApldoMi  
4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 $|7;(2k  
8^hbS%s!  
3#Xv))w1  
=/(R_BFna  
-"}nm!j /5  
D9\ EkX  
5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件
Y 9@ 2d  
6{H@VF<QY!  
;qaNIOo9  
6) 导入完成,观察3D视图 wQ '_, d  
Z=^~]Mfa  
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lD,;xuQ  
v[<;z(7Qk  

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