结构设计和导出加工数据

j9R+;u/!   内容简介： mZ g'   ZyV^d3F@$   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 6$t+Q~2G!   rQ(u@u;   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 H#3Ma1z   PY#_$ C   结构设计  63VgQ   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 1sq1{|NW~   & kQj)   y m?uj4I{   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 eC@b-q   bZ}T;!U?I        >$7{H]   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 kR<\iT0j   @[#)zO   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 Qp-P[Tc   2BO"mc<#$   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ,L; y>::1   Pu(kCH{   SP4(yJy&   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Y?%=6S   @v/ 8}n   nq\~`vH|Gd   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 oGL2uQXX   {6mFI1;q   |<#yXSi   +A1xqOB   导出加工数据 \"P$*y4Le   w$aejz`[   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) rnC<(f22   7!~)a   vofBS    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 b@B\2BT   zANsv9R~   sqO$ka{   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 K<v:RbU|[1          >fp_$bjd   I=;=;-   B-wF1!Jv   vb$i00?   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 "YN6o_*]   #KDN   Ci? RuZ"   G*g*+D[HM   5) 进入光学界面数据导出窗口 < fYcON   foe)_   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 54Vb[;`Kkb   }ok'd=M   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 N`LY$U+N|   ~sTn?~   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ]:Pkh./   8< "lEL|   c@$W]o"A   导出加工数据列表 *s?C\)x   ew,g'$drD   3A3WD+[L    @4>?Y=#   导入加工数据 `&J=3x   wvH*<,8Vq   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ;W3c|5CE   d6A+pa'2   |%j7Es   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) uf`/-jY   5o R)   ]T%wRd5&-   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) O>IG7Ujl   6G:7r [   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 j#9n.i %h   hne}G._b   1r<'&f5   R".*dC,0'B   &_3o1<   )SfM`W)Y   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 D"P<;@ef   WDh*8!)   Sv[+~co<l   6) 导入完成，观察3D视图 L]=LY   G.qjw]Llf   /?S,u,R

}LX.gm

!~]'&9