结构设计和导出加工数据

M#m;jJqON   内容简介： {c*5 )x!   l5KO_"hy   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； e:C4f   r=54@`O!   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 U)aftH *Pk   /5j5\F:33   结构设计 %*Uc,V   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 +PKsiUJ|   m&'!^{av   *-Vr=e<8    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 Z;RUxe|<k   1v,R<1)&        D&~%w!   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 $z 5kA9   LGX+_"   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 wp> z04   ~<_WYSzS   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 'U0W   RU~ku{8?   2' ^7G@%   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 jF/S2Ty2   f:J-X~T_f   W}MN-0   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 oDi+\0   "dvo@n|   1KBGML-K3   lCl5#L9   导出加工数据 4neO$^i8J   MxKTKBxQ   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 8Gnf_lkI   *kYGXT,f]   pIYXYQ=Z   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 DrC"M*$!   >V)"TZH   &/"a E   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 }^p<Y5{b          H6|eUU[&   x-%RRm<V   cGdYfi   a'dlAda   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 #Nco|v   N@}h   57gt"f   5s`r&2 w   5) 进入光学界面数据导出窗口 =+ >>l0=_v   xSSEDfq   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ;e/F( J   ctjQBWE   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 HTGLFY(&   ?# _{h   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 U"+W)rUd   P*~ vWYH9   \]5I atli   导出加工数据列表 ka8Y+Gs   7}6CUo   BK6 X)1R   q^Oj/ws   导入加工数据 OH sA]7S   %DXBl:!Y`   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI q#8yU\J|,   '@Rk#=85Z   BI%XF 9{   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 0gaHYqkA>}   %!(C?k!\   ?6 `B;_m   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) fi`\e W   4"(rZWv   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 z8JW iRn   o.0tD   dM= &?g   Jcm Jq fR   X~D[CwA|`   |l+5E    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 seBmhe5qR   e(|Z<6   83t/\x,Q   6) 导入完成，观察3D视图 P~=yTW   aK@ Y) Ju'   Z_m<x!

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