结构设计和导出加工数据

h6;zAM}   内容简介： pM*( kN   |HwEwL+   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； V7 hO}   veS) j?4   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Lu4>C2{   5BM6Pnle   结构设计 c/Li,9cT'   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 !H6X%hlk   LO38}w<k   V&lx0Dy   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 gMU%.%p2   CH5>u        d8p5a C+E   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 >g{b'Xx   =pnQ?2Og   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 l}D /1~d   -NA2+].   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 v:NQrN   Yt=2HJY   n ON]YDg   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 0*AXd=)"*   .(yJ+NU   D|'[[=   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 CKC5S^Mx   OLqyn Y   gE8>o:6)6:   | S 'mF6Y   导出加工数据 1*trtb4F   8T"kQB.Zv   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Bz>5OuOVS\   ciFqj3JS   {~XnmBs   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 Epm8S}6K   (?"z!dgc   BteeQ&A|~   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 X<g }F[Y          :Vw{ l B   ;{v2s;   {*K$gH$   goJ'z|))   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 Af`Tr6)   Xx\,<8Xn   CW]Th-xc   NB-% Tp*d   5) 进入光学界面数据导出窗口 (ki= s+W-   J :KU~`r   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 SnM^T(gtS3   QuC_sFP10   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 amWKykVS5   n98sY+$-z   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 M;YJpi   F&    !-ZY_   导出加工数据列表 S27s Rxfr   h67{qY[J[   Zx7aae_{   M0`1o p1   导入加工数据 5Sb-Bn   '6L@l   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI F@zTz54t   DgB;6Wl   G#A6<e/   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) s^Xs*T@~h   sd = bw   SwM= ?<   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ):y^g:   7U2B=]<e-   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 Tr;.O?@{t}   8~&=vc   ;<"V}, C   ^dE[ ;   k;)mc+ ~+   c c/nzB   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 M}q;\}   &>QxL d#   !YZKa-   6) 导入完成，观察3D视图 *zW]IQ'A   XL'\$f   $xcZ{C

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