结构设计和导出加工数据

Dd:48sN:Jq   内容简介： "i\^GK=   eB<R"Yvi   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； \ Ju7.3.   WFfn:WSWU   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 xQxq33\   B*}:YV   结构设计 pvdCiYo1r   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ._6Q "JAB   gq.l=xS   x.q" FXu   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 }u;`k'J@   p|w0 i[hc        dTQW/kAHQ   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 B#o6UO\   Lr*\LP6jx3   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 5M#LO@U   T@ zV    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 a6"-,Kg   Bh65qHQO   +EH"A   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ZtX CPA!   ,-SWrp `f   Ed1y%mR>   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 Oh,]"(+   5jsZJpk$   yg82a7D   e_IRF+>   导出加工数据 z2 mjm   R#W=*cN   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) [=^Wj`;   >LW}N!IBy   BR:Mcc   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ;]W@W1)$   =OFx4#6a   BCh|^Pk   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ]$I}r= Em          YRU95K[   H4<Q}([w   #g<6ISuf   _Sl3)   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 LHSbc! Y'.   l_Zx'm   Yh;A)Np   I8uFMP   5) 进入光学界面数据导出窗口 i ;^Ya   Zr[B*1,ZV   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 <T]ey   zpZfsn!   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 KtHkLYOCG   Nt/hF>"7   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 1:J+`mzpl   I moxg+u   W:K'2j   导出加工数据列表 Zpz3?VM(   <,D*m+BWn   Zn[ppsz|   %< `D'V@   导入加工数据 nkf7Fq}   .br6x^\<   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI cZ#%tT#   L@Q+HN   nu(7YYCM$   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) l2I%$|)d   hw(\3h()   I5 qrHBJ >   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) h`iOs>   ;%;||?'v   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ij ;P5OA   $tej~xZK   RGrQ>'RL   s ;$f6X   `evF?t11X   m.<u!MI   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 I&31jn_o /   CP0'pL=;   |gIE$rt-~W   6) 导入完成，观察3D视图 );kD0FO1|   y G3aF(   vrcIwCa

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