结构设计和导出加工数据

%wN*Hu~E    内容简介： TnJNs   ]p8<Vluv   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； URj2 evYW   uuYeXI;   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 N_?15R7h   d bHxc@H   结构设计 b&*N   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 o`{^ptu1q   U|+c&TY   L+_ JKc   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 #^xj"}o@   !G;|~|fMV        5QZ}KNJ|t~   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 'LC0hoV   n,`j~.l-=>   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 #M|q}jA|   6`Diz_(   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 <J-.,:   rtz ]PH   ]:~z#k|2@6   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Pp`[E/ qj4   a2B9 .;F   $.3J1DU   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 dlBr2 9   co{i~['u   X-`PF   A}_0iwG   导出加工数据 ow*^z78M{   - @tL]]   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) uLrZl0%HT~   C#P7@JE   [E9)Da_)i   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 JdX!#\O   (1)b> 6   o':K4r;   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 bZu2.?{          Vsd4;   vGchKN~_   Ted!*HKlB   )p[Qj58   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 5Vlm?mPU   Tfw5i,{   bpdluWS+)   U3t)yr h   5) 进入光学界面数据导出窗口 Pa"[&{:   /@0   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 UD^ =@?^7   `h<>_zpjY   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 LXm@h   cX|(/h,W/   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Kc+TcC   7x.] 9J   '3 JVUHn   导出加工数据列表 @-.Tgpe@a   '%*/iH6<U{   D{^CJ :n   ;TboS-Y   导入加工数据 CQ'4 ".7   .B{:<;sa   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 0[ZwtfL1   J/\^3rCB   @m9dB P   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Wo6C0Z3g}   (} Y|^uM,   DiSU\?N2'   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) j4$NQ]e^4   ;ApldoMi   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 $|7;(2k   8^hbS%s!   3#Xv))w1   =/(R_BFna   -"}nm!j /5   D9\ EkX   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件  Y 9@ 2d   6{H@VF<QY!   ;qaNIOo9   6) 导入完成，观察3D视图 wQ '_, d   Z=^~]Mfa   $mn+

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