结构设计和导出加工数据

1|y$~R.H   内容简介： ZKbDp~   \x\.   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； :pKG\A   q 7]>i!A   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 CUmH,`hu   ]gd/}m)1   结构设计 KHj6Tg;)   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ~\_T5/I%   U1m\\<,   M?6;|-HH   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 qJs[i>P[W   =d20Xa        6nw&$I   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 Etnb3<^[t   M23&<}Q8   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 !QC<n/   a>Re^GT+z   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 z&'f/w8   wa3F   F,Fo}YQX   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 {/UhUG   ,w\ wQn>]K   03E3cp"   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 Kmry=`=A   #vnT&FN0[   1$[ "79k   (wL3 +   导出加工数据 Ee?;i<u   co]Gmg6p   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) dK# h<q1   OlcP(   i:Mc(mW   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 G1 _Nd2w   Zc\S$+PM   _g6wQdxT   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 fA XE~          fPE?hG<x   zzf7S%1I   -Cj_B\   UH40~LxIma   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 {E~l>Z88   ?M"HX u   X%J%A-k]   \!PV*%P   5) 进入光学界面数据导出窗口 @&:VKpu\   zz3 r<?#5   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 Ao*FcrXN   x(6vh2#vD   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 +u#Sl)F   @zs1>\J7   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 q%.bnF/Yd   8nu> gA   %MNk4UsV   导出加工数据列表 RUc\u93n   TolrEcI   <UK5eVQn   w{P6i<J   导入加工数据 Y UZKle   \*9Ua/H   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 4 m$sJ   "i''Ui\H   k!c7a\">{   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Qg{WMlyOP   &G=0   #fzw WP   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) &:#A+4&   yjv&4pIc1   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 TMtI^mkB:   mrReast   %%x0w^   UGf6i"F   M/)B" q   f~v"zT   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 TRCI\   F#^L9   777rE[\@b   6) 导入完成，观察3D视图 X=#It&m%s   P09,P    f:FpyCo=9

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