结构设计和导出加工数据

u^Sa{Jk=   内容简介： 1P[[PvkD6   "g=g' W#   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ] 3UlF'{   1o*eu&@   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 [9U::   "Smek#l   结构设计 |MQ_VZ{6   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 %SHgXd#X   Nxd<#p   ;:5Ahfo \   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 eNEMyv5{w4   !:<(p        Y)oF;ko:   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 "0ZBPp1q   (o5^ @aDr   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 lujUEHzp   )W1tBi   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ]W9{<+&   w#Di   Je1'0h9d   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 #o/   X}@'FxIF   JsZLBq*lP   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 b|'{f?   aViZKps`m   xP61^*-2   Y;dQLZCC   导出加工数据 (n+FEE<   6hX[5?}   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ={ ]tklND   Qf: #{~/   sJ !<qb5!   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 iu9<]1k   J%mtlA   [d^ [Y:I'\   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ] QJWqY          % r>v^1Vo   )@,zG(t5;    q0y#Y   OoqA`%   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 r;C BA'Z   lv=rL   S+*g   6Ex16   5) 进入光学界面数据导出窗口 u#^~([I   u P&<   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 Fd(o8z8Q   (S)jV0   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 *<"#1H/q   :5, k64'D   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 !0DOj["   hqwDlapTt   N6thbH@   导出加工数据列表 (BG wBL   X7Z=@d(   |J:kL3g   @5:#J!   导入加工数据 yZyB.wT   3:ELYn   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI l/6$BPU`   .jK,6't^   3@8Zy:[8<   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) S #6:!   L[aA4`   U0fr\kM   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 9>7w1G#   r t\eze_5A   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 25wvB@0&   7:$zSj#y   W%_Cda5,   S>nf]J`   G+V?c1Me   ;9"6g=q   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 GEbm$\   j3&tXZ;F   sMHP=2##   6) 导入完成，观察3D视图 oF { u   s_RUb   8Luw<Q

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