结构设计和导出加工数据

aH^RoG}   内容简介： cReB~wk   {mAU3x   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； o7|eMe?<t   % LJs   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 5}`_x+$%(`   lV%N   结构设计 TY1I=8   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 jYe'V#5S#   'nF2a D%A   St e=&^   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构  EW3(cQbK   ztw@Y|<2        6L)%T02C   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 `QXErw   u,&^&0K,   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 nw-I|PVTNa   o LvZ   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 B>2tZZko   Zl*X?5u   5=f|7yl   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ,v{rCxFtvU   ;Rv!k&Df   y~FV2$   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 78/Zk}I]   2sJ(awN>   ;cQ6g` bM\   nJo`B4'U   导出加工数据 Z4lO?S5%J   /Z$&pqs!   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 7x@A%2J   Rb.SY{}C   q#s,-uu   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 .,OVzW   ;UfCj5`Q)4   cZ|\.0-   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Rp5#clsy          :3I@(k\PY   Y*14v~\'   O<,\^[x   Iu <?&9t   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ^pYxKU_O   ~x|F)~:0=   ,]d,-)KX8   dUQDOo   5) 进入光学界面数据导出窗口 w/kt3Lw   Ba!J"b]   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 +1D+]*t_?[   #H:7@   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 !Ze5)g%H   *cgI.+   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 lqm1!5dt   (,8$V\   %;rHrDP(>   导出加工数据列表 hUF5fZqii   } x2DT8u   h"/<?3{   urjjw.wZ   导入加工数据 W`u[h0\c   P9vA7[   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI sL\L"rQN6   ayfFVTy1d   cj1cZ-   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) /|D *w^>   6Q${U7%7   #N`~xZ|$   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) |563D#?cR   E/%9jDTQ   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 L{8xlx`   28UU60   B Btzs^C|   <=>=.kmGt   yc?a=6q'm   [m|YWT=   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 6x%h6<#xh*   ce7CcHQ?B   E(Z8   6) 导入完成，观察3D视图 'LE=6{#   \Hn>oonph   xo7Kn+ Kl

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