结构设计和导出加工数据

(8R M|&   内容简介： gJ7puN   XITQB|C??$   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； "j>0A Hem   !*-cf$   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 9]\vw   s1q d/   结构设计 =)bc/309   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 n-_w0Y   3!x)LUWfWY   \/Y<.#?_   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 c6|&?}F   .&dcJh*O+        h]$zub   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 t|lv6-Hy9   >?KyPp   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 W&#Nk5d   @gz?T;EC   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 0qd`Pf   us+adS.l&   ,-Gw#!0   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 E~Nr4vq   bcfOpA   {n'}S(   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 yfrgYA   n a)_8r~   [u:_Jqf-   @<L.#gtP   导出加工数据 cs)hq4-L`   %h rR'*nG   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) t!GY>u>`   ;Wdo*ysW   k,,}N9   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ^ z;pP   C&gJP7UF   WRCi!   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 +W`~bX+          7=9jXNk Y   H2}i .   "cx" d:   Kt(p|   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 hSmM OS{   4Ki'r&L\   A@+.[[   dhbJ1/z^   5) 进入光学界面数据导出窗口 Zh$Z$85p   r|+Zni]   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 &*iiQ3   E_P]f%   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 A|^?.uIM   81&!!qhfS   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 }V{, kK   =0S7tNut   -zt\weqA   导出加工数据列表 H;8(y4;   &IPT$=u   We|*s2!   5"+* c@L   导入加工数据 Oqyh{q%]   _B2t|uQ   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI HhO$`YZ%>   lU?"\m   QnqX/vnR   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 9I9)5`d|Jn   t B[K4GNSQ   *T3"U|0_y   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) T!n<ya !   I('l)^m%   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 Oe?nX>   =vWnqF:   G} p~VLf   wBf bpoE7   b$ BUo8O}   U!h!z`RU54   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 UCQL~   aaBBI S   WJ%b9{<   6) 导入完成，观察3D视图 r=vE0;7   -Bc.<pFqp   [4gv_g

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