结构设计和导出加工数据

kw~H%-,]   内容简介： @/(7kh+   x=#5\t9   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； Umt ia~x=&   @R&D["!   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 }x1IFTa!   z}tp0~C   结构设计 =*}Mymhk(   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Kc\'s65.]   L,pSdeq   Lp) 8SmN   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 7YjucPH#   ;j>d"i36&        BQ:Kx_    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 r(T/^<   'aP*++^   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 \X.=3lc&   51ebE`   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 l_-n&(N2<[   c\{}FGC   p-r%MnT   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 yaLW(@   o'C.,ic?C   J _E(^+   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 Su$1 t   Z:J.FI@   tB=D&L3   Q]5^Eiq8   导出加工数据 o[[r_v_d   Q9xx/tUW   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) `$SEkYdt   \u-e\w   tZCe?n]   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 G=5t5[KC   xyjVdD\   )B$P#dP)i   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 [ky6E*dV`          %=4ak]As   nWF4[<t   0s9z @>2   *m&: Yje   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 :t{vgi D9   mhLRi\[c )   L##8+OJ.L   IPR tm!   5) 进入光学界面数据导出窗口 $dp#nyP   u1{ym_   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 H'GYJ ?U"   }j(2Dl   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 _=*tDa   iQ{&&>V%   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 -+=:+LhSMb   >`<2}Me6   ](=wlq)   导出加工数据列表 =8~R$z%   hJ[mf1je=   )ClMw!ZrU   "8muMa8Q%   导入加工数据 5nx<,-N*BP   &u1g7# #   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ^'[@M'`~L   x:?a;muf   pP0Vg'V   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) T6I%FXm}   .?0>5-SfY   k<Tez{<   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) >GznG[Ku   *Cnq2=A]A   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 E!I   ?YO=J   `N,Vs n"   0/:=wn^pg   ?ng14e   } PFt   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 fNqmTRu   T")i+ v   l7'{OB L   6) 导入完成，观察3D视图 Vj=Xcn#*8   =F'M~3M    ~y)bYG!G

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