结构设计和导出加工数据

d`mD!)j   内容简介： vy[C'a   `PgdJrE   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ZIDbqQu   7 VAJJv3   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 RbEKP(uw   ygzxCn|#   结构设计 .1#kDM   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ]n;1x1'   ~W-cGb3c   H}/05e   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 "u492^   lq>AGw        -R b{^/   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 U\zD,<I9   ]A^4}CK^<   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 ?s2^zT   VL\t>n   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 G69GoT   iX"C/L|JN   K\u_Ji]k   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 .UQE{.?   D=+NxR[   02=lsV!U   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 |ZiC`Nt   Z"y=sDO{   jQ+sn/ROp   H,y4`p 0   导出加工数据 nB5zNyY4   GpI!J}~m   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) G8J*Wnwu[K   Pw[g   Nd@~>&F   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 _zMgoc7   [{ ~TcT   hgj <>H|   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Bd~1P /          .iHn5SGA   C\*4q8(   y*23$fj(   }H"kU2l   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 bB}5U@G|   i'#Gy,R   bZ1 78>J]   hA1-){aw3q   5) 进入光学界面数据导出窗口 .@F]Pht   $?P22"/p   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 Zd:Taieh@   EYX$pz(x;   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 n$n7-7   cyM-)r@YQV   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 $F'>yop2b   cV{o?3<:B   |r%D\EB   导出加工数据列表 36.N>G,   Z\}K{#    :'iYxhM.V   \ZU1Jb1c   导入加工数据 Q'O[R+YT ,   QPtGdd   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI cWyW~Ek   9ZXlR?GA   L;Z0 `mdz   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) XolZonJr   \p{5D`HY   ma'FRt   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ::FS/Y]Fg   zOgTQs"ZH   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 F# T 07<   3jB$2:#   mE%$HZ}   )B,|@ynu   @f]{>OS   y\ dEk:\)   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 L@`ouQ"sa   r$Co0!.   lKZB?Kk^w\   6) 导入完成，观察3D视图 ~vlype3/EF   ABE@n%|`   ;2'q_Btk4

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