结构设计和导出加工数据

%,$/wh)<V   内容简介： 61>@-55k9   w;}pebL:   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ,TaaXI   Qy`{y?T2   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 A~&Tp   {\ vj":   结构设计 =<j8)2   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 F)g.CDQ!c   k!Nl#.j   Fp..Sjh 6   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 _x_om#~n   udM<jY]5p        cx M=#Go   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 Z?|\0GR+`5   9cud CF   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 UbKdB   / 2>\Z(   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 U`sybtuBP'   H Yt&MK   X(kyu,w   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Lw<?e;   2i`N26On   4^(u6tX5|+   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 I`:nb   TcA+ov>TD   0G?0 Bo   26un=   导出加工数据 6T0[ ~@g5   ?kvkkycI   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) p>7!"RF:U   H~JPsS;   pfsRV]   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 % FW__SN$c   V}(snG,   3OTq   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 HV ab14}E          Cp(,+dD   s,>1n0a   g-j`Ex%   n}X)a-=   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 *kE2d{h^=C   _UKH1qUd4   ?<VahDBS+A   SFAh(+t   5) 进入光学界面数据导出窗口 ]etLobV   VOH.EK?5   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 <kI g>+   xo/[,rR   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 |9.`qv   .6S]\dp7~   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 m@  b~   6N[XWyS   H~x,\|l#   导出加工数据列表 BoJ@bOe#   ];bB7+   !m(5N4:vV   |r_S2)zH9m   导入加工数据 OO5k_J   jz(}P8   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI H)aeSF5   ,p6X3zY   C'3/B)u}l   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) (5Q,d [B   7Fb |~In<Z   :9!?${4R   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) TUzpln   _q`$W9M+k   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 {#YGor|   ~yz7/?A)TS   sI pq   DPR=Xls   f.rc~UI?   $FUWB6M   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 U{n< n8   zOkUR9   b489sa   6) 导入完成，观察3D视图 H@%Y!z@\   6Ouy%]0$I3   O@St^o*A}

DP`$gd

%9hzz5#