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2023-05-23 08:22 |
粗糙表面光栅的模拟
即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 zVtNT@1K>u `bRt_XGPmF 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 ?h|w7/9 fBt`D
!Z8 要求工具箱:光栅工具箱 *Zk$P.] An3%@; 相关应用案例:案例090.01,案例246.01
*4{GID G\o*j| 一、模拟任务: WH0$v#8`v 二、光栅的描述 FTZaN1%` # F|w_P 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 dIRSgJ` 3h>56{P 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Qf(mn8 =jW=Z$3q 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 K6;
s xF VA@t8H, 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” SRpPLY{:F ?Y#x`DMh 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 }SF<. A lG!We'? 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 #~>ykuq 4"y1M=he H+2m '6W|, 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm N\WEp?%~ #[aHKq:?b >ay%
!X@3" 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm BF(.^oh"n0 d(8X?k.S x$
oId{; 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm vd}Y$X \4pWHE/ L]|[AyNu 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm *wVWyC >YW_}kd Y)]x1I 5. 参数运行 Iw-3Z'hOX (*\*7dIo 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 )=c/{ ,"Nfo`7 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ?3{:[* GH!Lu\y\ 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 Fj~,> ^;]Q,*Q y7)$~R):- z&r@c-l@ 7. 总结 (lBwkQNQGd yG<`7v 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 JVgV,4 1 @z!|HLD+ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 */JMPw& .G|9:b 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Xitsbf=Gg
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