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infotek 2023-05-23 08:22

粗糙表面光栅的模拟

即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 zVtNT@1K>u  
`bRt_XGPmF  
关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 ?h|w7/9  
fBt`D !Z8  
要求工具箱:光栅工具箱 *Zk$P.]  
An3%@;  
相关应用案例:案例090.01,案例246.01  *4{GI D  
G\o *j |  
一、模拟任务 WH0$v#8`v  
二、光栅的描述 FTZaN1%`  
#F|w_P  
1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 dIRSgJ`  
3h>5 6{P  
2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。  Qf(mn8  
=jW= Z$3q  
3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 K6; sxF  
VA@t8H,  
4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” SRpPLY{:F  
?Y#x`DMh  
下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 }SF<. A  
lG!We'?  
1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 #~>ykuq  
4"y1M=he  
H+2m  
'6W|,  
2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm N\WEp?%~  
#[aHKq:?b  
>ay% !X@3"  
3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm BF(.^oh"n0  
d (8X?k.S  
x $ oId{;  
4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm v d}Y$X  
\4pWHE/  
L]|[AyNu  
5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm *wVWyC  
>YW_}kd  
Y)]x1I  
5. 参数运行 I w-3Z'hOX  
(*\*7dIo  
1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 )=c/{  
,"Nfo`7  
2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ?3{:[*  
GH!Lu\y\  
6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 Fj~,>   
^;]Q,*Q  
y7)$~R):-  
z&r@c-l@  
7. 总结 (lBwkQNQGd  
yG<`7v  
1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 JVgV,4 1  
@z!|HLD+  
2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 */JMPw&  
.G|9:b  
3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Xitsb f=Gg  
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