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infotek 2023-05-15 08:50

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)

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N]3-L`t  
内容简介 '8]|E  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 i{%z  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 PPuXas?i  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 I,?Fqg'sq  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
D2hAlV)i(  
~(Ih~/5\^  
目录 8=ukS_?Vy  
Preface 1 +?4*,8Tmmz  
内容简介 2 * K0j5dx  
目录 i F^/~@^{P  
1  引言 1 CuV=C Ay>  
2  光学薄膜基础 2 R#[QoyJ  
2.1  一般规则 2 ;] l{D}  
2.2  正交入射规则 3 {9m!UlTtw  
2.3  斜入射规则 6 a#OhWqu$  
2.4  精确计算 7 A>&>6O4  
2.5  相干性 8 m!FM+kge  
2.6 参考文献 10 [[.&,6  
3  Essential Macleod的快速预览 10 ~T;a jvJ  
4  Essential Macleod的特点 32 #*ZnA,  
4.1  容量和局限性 33 6T} CPDRq  
4.2  程序在哪里? 33 C+Fh$  
4.3  数据文件 35 Vsm%h^]d  
4.4  设计规则 35 os "[Iji  
4.5  材料数据库和资料库 37 Jq$6$A,f  
4.5.1材料损失 38 j? Jd@(*y$  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 |}]JWsuB  
4.5.2 材料库 41 utFcFd X  
4.5.3导出材料数据 43 .:|#9%5  
4.6  常用单位 43 ctwhfS|Y0  
4.7  插值和外推法 46 7~%  
4.8  材料数据的平滑 50 r(?'Yy  
4.9 更多光学常数模型 54 taD T;t  
4.10  文档的一般编辑规则 55 Aoy1<8WP%  
4.11 撤销和重做 56 cx1WGbZ  
4.12  设计文档 57 UG^?a  
4.10.1  公式 58 "p6:ekw  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 mPw56>  
4.10.3  沉积密度 59 ba:mO$  
4.10.4 平行和楔形介质 60 TS~Y\Cp  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 4%#V^??E  
4.10.4  性能 61 5@r_<J<>  
4.10.5  保存设计和性能 64 E&T'U2  
4.10.6  默认设计 64 .SKNIct M  
4.11  图表 64 ]y)R C-N  
4.11.1  合并曲线图 67 YiQeI|{oN  
4.11.2  自适应绘制 68 kp<}  
4.11.3  动态绘图 68 ;?HZ,"^I  
4.11.4  3D绘图 69 3ZJagJ\O  
4.12  导入和导出 73 2gC&R1 H  
4.12.1  剪贴板 73 ]B-$p p  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 8n."5,P  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 4 L~;>]7  
4.13  背景 77 DbNi;m  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 J:TI>*tn  
4.15  生成Rugate 84 i"\AyKiJ  
4.16  参考文献 91 1X!f!0=g+  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 v[3hnLN%  
5.1  Jobs 92 -XDP-Trk  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 3Av(|<cR  
5.3  输入材料 94 9'/|?I  
5.4  设计数据文件夹 95  <*6y`X  
5.5  默认设计 95  >Wr   
6  细化和合成 97 ja,L)b:  
6.1  优化介绍 97 mSfkyw.  
6.2  细化 (Refinement) 98 ^hYR5SX  
6.3  合成 (Synthesis) 100 %]:vT&M  
6.4  目标和评价函数 101 [:hy  
6.4.1  目标输入 102 ? /|@ #&  
6.4.2  目标 103 ]Buk9LTe  
6.4.3  特殊的评价函数 104 lWyP[>*  
6.5  层锁定和连接 104 JXy667_  
6.6  细化技术 104 uB#B\i  
6.6.1  单纯形 105 >. nt'BQ  
6.6.1.1 单纯形参数 106 Rp%\`'+Xz  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 % OfDTs  
6.6.2.1 Optimac参数 108 M]/wei"X  
6.6.3  模拟退火算法 109 52C-D+zCJ  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 ^D> MDj6  
6.6.4  共轭梯度 111 YI\Cs=T/  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 pil*/&pB  
6.6.5  拟牛顿法 112 !y2h`ZAZ  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 __zu- !v  
6.6.6  针合成 113 YT%SCaU  
6.6.6.1 针合成参数 114 Kg0\Pvg8?T  
6.6.7 差分进化 114  rgvc5p  
6.6.8非局部细化 115 q$2taG}  
6.6.8.1非局部细化参数 115 ~JmxW;|_x)  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 r1[T:B'  
6.7.1  细化 116 /wRK[i  
6.7.2  合成 117 ALt";8Oa  
6.8  参考文献 117 !.GY~f<d$  
7  导纳图及其他工具 118 |u@>[*k'=  
7.1  简介 118 [j+0EVwB  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 Y;5^w=V  
7.2.1  四分之一波长规则 119 YrcC"  
7.2.2  导纳图 120 9(evHR7  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Lzx(!<v  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 Fe2 -;o  
7.5  斜入射导纳图 141 WxP4{T* <  
7.6  对称周期 141 "BNmpP  
7.7  参考文献 142 Yw1q2jT  
8  典型的镀膜实例 143 {ZYCnS&?CL  
8.1  单层抗反射薄膜 145 {Ll8@'5  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 `3s-%>  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Yiw^@T\H`  
8.4  W-膜层 148 :7;Iy u  
8.5  V-膜层 149 $MEbePxe  
8.6  V-膜层高折射基底 150 ] j?Fk$C  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 P>,D$-3  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 XV9'[V  
8.9  四层抗反射薄膜 153 >v4~:n2D  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 S5 oHe4#89  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 8o5^H>  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 o;-! ?uJ  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 {1&,6kJF&9  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 W p* v Vv  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 >t<R6f_Q0  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 qhGhUyNX  
8.17  1/4波长堆栈 162 Xwq2;Bq  
8.18  陷波滤波器 163 Oes+na'^  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 zW&O>H  
8.20  褶皱 165 3~09)0"!d  
8.21  消偏振分光器1 169 'GO..m"G  
8.22  消偏振分光器2 171 ?\$/#zak  
8.23  消偏振立体分光器 172 (I 0t*Se  
8.24  消偏振截止滤光片 173 !Y i<h/:  
8.25  立体偏振分束器1 174 5DBd [u3  
8.26  立方偏振分束器2 177 _4#psxl[M  
8.27  相位延迟器 178 (Q} ijwj  
8.28  红外截止器 179 (NV=YX?s  
8.29  21层长波带通滤波器 180 }XE/5S}D  
8.30  49层长波带通滤波器 181 b#'a4j-u  
8.31  55层短波带通滤波器 182 ] ]-0RJ=S?  
8.32  47 红外截止器 183 1pr_d"#4  
8.33  宽带通滤波器 184 vu \Dx9  
8.34  诱导透射滤波器 186 l;FgX+)  
8.35  诱导透射滤波器2 188 jJnBwHp  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 i-W2!;G  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 QI{Y@xQ  
8.35  增益平坦滤波器 193 JEkVj']?  
8.38  啁啾反射镜 1 196 lL f01sa4  
8.39  啁啾反射镜2 198 [uV/ Ra*g  
8.40  啁啾反射镜3 199 b,A1(_pzi  
8.41  带保护层的铝膜层 200 kpUU'7Q  
8.42  增加铝反射率膜 201 cO+`8`kv  
8.43  参考文献 202 z,P7b]KVe  
9  多层膜 204 PiQs><FK8  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 hfc!M2/w  
9.2  内部透过率 204 c$z_Zi!g#  
9.3 内部透射率数据 205 e-meUf9  
9.4  实例 206 {vlh ,0~  
9.5  实例2 210 '.<"jZ  
9.6  圆锥和带宽计算 212 :Djp\ e6!  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 $B/cj^3  
10  光学薄膜的颜色 216 1mM52q.R4  
10.1  导言 216 }7v2GfEkM  
10.2  色彩 216 &zy9}4w,  
10.3  主波长和纯度 220 &Wk<F3qN  
10.4  色相和纯度 221 =h!m/f^x  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 >,2],X"G  
10.6 色差 226 A*i_- ;W)  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 zvj >KF|y  
10.8  颜色渲染指数 234 J[AgOUc  
10.9  色差计算 235 \2b9A' d>  
10.10  参考文献 236 9hzU@m  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 K; lC#  
11.1  短脉冲 238 xFnMXh t  
11.2  群速度 239 Pl6=._  
11.3  群速度色散 241 Ymvd= F   
11.4  啁啾(chirped) 245 giq`L1<  
11.5  光学薄膜—相变 245 _m-r}9au   
11.6  群延迟和延迟色散 246 ~?r6Ax-R  
11.7  色度色散 246 7 #N @B  
11.8  色散补偿 249 uuB\~ #?T  
11.9  空间光线偏移 256 i[n 1}E.@  
11.10  参考文献 258 B~rK3BS  
12  公差与误差 260 ^" -2fJ  
12.1  蒙特卡罗模型 260 )]R8 $S  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ZC-N4ESr  
12.2.1  误差工具 267 @gz?T;EC  
12.2.2  灵敏度工具 271 0qd`Pf   
12.2.2.1 独立灵敏度 271 NKrk*I"G  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 jL$X3QS:  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 ^g\%VIOD  
12.3  参考文献 276 \266N;JrN  
13  Runsheet 与Simulator 277 C5z4%,`f  
13.1  原理介绍 277 bE"CSK#  
13.2  截止滤光片设计 277 ,s K-gw  
14  光学常数提取 289 <^paRKEa+#  
14.1  介绍 289 S]m[$)U%@  
14.2  电介质薄膜 289 CqV \:50g  
14.3  n 和k 的提取工具 295 2]wh1)  
14.4  基底的参数提取 302 }Of^Y@{q.  
14.5  金属的参数提取 306 k6\c^%x  
14.6  不正确的模型 306 LTHS&3% 2  
14.7  参考文献 311 i%2K%5{)$D  
15  反演工程 313 =Ju}{ bX  
15.1  随机性和系统性 313 Pc<ZfO #  
15.2  常见的系统性问题 314 9Wn0YIc  
15.3  单层膜 314 8:MYeE5  
15.4  多层膜 314 T5)?6i -N  
15.5  含义 319 C{-pVuhK+  
15.6  反演工程实例 319 !Fi)-o  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 :&MiO3#+  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 paY%pU  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 >e%Po,Fg$  
16.1  光学性质的热致偏移 329 (WC<XKf  
16.2  应力工具 335 s0CRrMk  
16.3  均匀性误差 339 \JchcQ  
16.3.1  圆锥工具 339 ~7v^7;tT  
16.3.2  波前问题 341 IkkrnG8  
16.4  参考文献 343 n)yqb  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 ~n?U{ RmH  
17.1  引言 345 $8)/4P?OL  
17.2  操作数 345 xS'So7:h  
18  如何在Function中编写脚本 351 _19k@a  
18.1  简介 351 eYFCf;  
18.2  什么是脚本? 351 {#MViBhd%  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 dO2cgY}  
18.4  基础 352 & CgLF]  
18.4.1  Classes(类别) 352 k6XO-a f  
18.4.2  对象 352 ?d 4_'y   
18.4.3  信息(Messages) 352 (@ Bw@9  
18.4.4  属性 352 8}&cE#@  
18.4.5  方法 353 +x`tvo  
18.4.6  变量声明 353 ETtR*5Y 5  
18.5  创建对象 354 B(~D*H2T[  
18.5.1  创建对象函数 355 I`|>'$E[r  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 .*,ZcO  
18.5.3 丢弃对象 356 U1Oq"Ij~  
18.5.4  总结 356 9iUw7-)  
18.6  脚本中的表格 357 kDrGl{U}  
18.6.1  方法1 357 1{*x+GC^/  
18.6.2  方法2 357 h W-[omr0  
18.7 2D Plots in Scripts 358 G} p~VLf  
18.8 3D Plots in Scripts 359 Pdv&X*KA  
18.9  注释 360 E ?-K_p  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 S9.jc@#.`  
18.11  一个更高级的脚本 362 V:lDR20*\  
18.12  <esc>键 364 @U}UCG7+  
18.13 包含文件 365 W\Gg!XsLk  
18.14  脚本被优化调用 366 x?k6ek  
18.15  脚本中的对话框 368 )S]c'}^  
18.15.1  介绍 368 8/=2N  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 eK`tFs,u  
18.15.3  输入框函数 370 y Le5,  
18.15.4  自定义对话框 371 =y<Fz*aA  
18.15.5  对话框编辑器 371 .p&M@h w  
18.15.6  控制对话框 377 ]b[ 3 th*  
18.15.7  更高级的对话框 380 B::vOg77  
18.16 Types语句 384 Y=5hm  
18.17 打开文件 385 R75sK(oS  
18.18 Bags 387 4B |f}7%\  
18.13  进一步研究 388 XjV7Ew^7  
19  vStack 389 tlW}lN}  
19.1  vStack基本原理 389 uJ%ql5XDV  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 }"szL=s  
19.3  五棱镜 393 >uVG]  
19.4 光束距离 396  d00r&Mc  
19.5 误差 399 V3UEuA  
19.6  二向分色棱镜 399 4:K9FqU  
19.7  偏振泄漏 404 L U7.  
19.8  波前误差—相位 405 bv+PbK]iO  
19.9  其它计算参数 405 2Bx\nLf/ K  
20  报表生成器 406 @E}4LTB  
20.1  入门 406 P\Ka'i  
20.2  指令(Instructions) 406 (|WqOwmoUt  
20.3  页面布局指令 406 ,Rf<6/A  
20.4  常见的参数图和三维图 407 u+-}|  
20.5  表格中的常见参数 408 J^u{7K,  
20.6  迭代指令 408 Wg#>2)>  
20.7  报表模版 408 H7uW|'XWz  
20.8  开始设计一个报表模版 409 9Gy1T3y5"  
21  一个新的project 413 rT x]%{  
21.1  创建一个新Job 414 T3bBc  
21.2  默认设计 415 I!{5*~ 3  
21.3  薄膜设计 416 bk V_ ^8  
21.4  误差的灵敏度计算 420 ^JH 4: h  
21.5  显色指数计算 422 oR5'g7?  
21.6  电场分布 424 O)&V}hU*  
后记 426
NL1Ajms`  
3t8VH`!mL{  

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