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infotek 2023-05-15 08:50

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)

H*rx{F?  
/VO^5Dnb  
内容简介 5DOE3T`^Oc  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 r4?b0&Xq  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 e />:K' {  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ]~8v^A7u  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
&n|*uLn  
ec?V[v  
目录 T(V8; !  
Preface 1 rrcwtLNbu  
内容简介 2 KmL$M  
目录 i w" JGO  
1  引言 1 U` hfvTi  
2  光学薄膜基础 2 \?&A u  
2.1  一般规则 2 *NlpotW,f  
2.2  正交入射规则 3 f05=Mc&)  
2.3  斜入射规则 6 /EU ; ?O  
2.4  精确计算 7 J$QBI&D  
2.5  相干性 8 Vho0e V=  
2.6 参考文献 10 q^*6C[G B  
3  Essential Macleod的快速预览 10 'gDe3@ci!  
4  Essential Macleod的特点 32 4P%m>[   
4.1  容量和局限性 33 xnbsg!`;7W  
4.2  程序在哪里? 33 @rwU 1T33  
4.3  数据文件 35 ax_YKJ5#P  
4.4  设计规则 35 c 0-w6  
4.5  材料数据库和资料库 37  so fu  
4.5.1材料损失 38 "OL~ul5  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 J &{xP8uq_  
4.5.2 材料库 41 G52Z)^  
4.5.3导出材料数据 43 HabzCH  
4.6  常用单位 43 Go <'  
4.7  插值和外推法 46 ^.vmF>$+I  
4.8  材料数据的平滑 50 '9J*6uXf.  
4.9 更多光学常数模型 54 nU/;2=f<  
4.10  文档的一般编辑规则 55 OJ/SYZ.r  
4.11 撤销和重做 56 *Hs*,}MS  
4.12  设计文档 57 3wC R|ab}  
4.10.1  公式 58 /\J|Uj  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 =j~Q/-`EC0  
4.10.3  沉积密度 59 `*yAiv>  
4.10.4 平行和楔形介质 60 #mLuU  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 ooE{V*Ie  
4.10.4  性能 61 3taa^e.  
4.10.5  保存设计和性能 64 ]1sNmi$T  
4.10.6  默认设计 64 QaQ'OrP  
4.11  图表 64 iF9_b  
4.11.1  合并曲线图 67 ~HmxEk9  
4.11.2  自适应绘制 68 %l7fR}  
4.11.3  动态绘图 68 =yqHC<8:  
4.11.4  3D绘图 69 VVuR+=.&  
4.12  导入和导出 73 7>n"}8i  
4.12.1  剪贴板 73 <9ifPSvJ  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 yC !/PQ"  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 T2weAk#J  
4.13  背景 77 = .`jjDJ  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 l6 7KJ  
4.15  生成Rugate 84 |RhM| i  
4.16  参考文献 91 I:$"E% >=  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 +\`rmI  
5.1  Jobs 92 kus}W  J  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 ;6m;M63z  
5.3  输入材料 94 2 9#]Vr  
5.4  设计数据文件夹 95 ?QpNjsF  
5.5  默认设计 95 (oaYF+T  
6  细化和合成 97 3t(c_:[%  
6.1  优化介绍 97 ^o d<JD4  
6.2  细化 (Refinement) 98 HZZDv+  
6.3  合成 (Synthesis) 100 2o5;Uz1{  
6.4  目标和评价函数 101 `;F2n2@  
6.4.1  目标输入 102 f z}?*vPW  
6.4.2  目标 103 u7=T(4a  
6.4.3  特殊的评价函数 104 Q2s&L]L=  
6.5  层锁定和连接 104 'MQ%)hipA  
6.6  细化技术 104 B8V,)rn  
6.6.1  单纯形 105 w%xCTeK[  
6.6.1.1 单纯形参数 106 &ao(!/im  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 .y):Rh^  
6.6.2.1 Optimac参数 108 ndi+xaQtG  
6.6.3  模拟退火算法 109 ,W*H6fw+  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 q;A;H)?g  
6.6.4  共轭梯度 111 V'StvU  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 _x %1F  
6.6.5  拟牛顿法 112 DDw''  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 $1 @,Qor  
6.6.6  针合成 113 X9XI;c;b-  
6.6.6.1 针合成参数 114 >n$ !<  
6.6.7 差分进化 114 tcL2J.  
6.6.8非局部细化 115 (E!!pz  
6.6.8.1非局部细化参数 115 .zC*Z&e,.[  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 O4Dr ]Xc]  
6.7.1  细化 116 213\ehhG<  
6.7.2  合成 117 A3+6 #?:;  
6.8  参考文献 117 ycX{NDGs  
7  导纳图及其他工具 118 J(iV0LAZb  
7.1  简介 118 g7V_ [R(6  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 p;%<mUI  
7.2.1  四分之一波长规则 119 U5+vN[ K  
7.2.2  导纳图 120 4JO@BV>t  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 |_zO_Frtp  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 $YM_G=k  
7.5  斜入射导纳图 141 VKrShI  
7.6  对称周期 141 '3;v] L?G  
7.7  参考文献 142 V#^yX%  
8  典型的镀膜实例 143 w*~Tm>U  
8.1  单层抗反射薄膜 145 ]~jN^"o_B  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 `s /?b|,  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 I3)Zr+  
8.4  W-膜层 148 ][:rLs  
8.5  V-膜层 149 8^ #mvHah  
8.6  V-膜层高折射基底 150 J@#?@0]F  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 <avQR9'&  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 fRHKQ(a#  
8.9  四层抗反射薄膜 153 KoHGweKl#  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 4#BRx#\O  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 CqoG.1jJS  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 -dRFA2 Y  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 5*G%IR@@LK  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 @ 4UxRp6+  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 Zb(t3I>n  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 , =y#m- 9  
8.17  1/4波长堆栈 162 [1( FgyE  
8.18  陷波滤波器 163 ^v :Zo  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 r"]'`qP,  
8.20  褶皱 165 sb.J bE8  
8.21  消偏振分光器1 169 AsxD}Nw[Z*  
8.22  消偏振分光器2 171 E*CcV;  
8.23  消偏振立体分光器 172 2@Lb foA  
8.24  消偏振截止滤光片 173 r88"#C6E'  
8.25  立体偏振分束器1 174 <z0WLw0'z  
8.26  立方偏振分束器2 177 V|FrN*m  
8.27  相位延迟器 178 bToq$%sCg  
8.28  红外截止器 179 X0uJNHO  
8.29  21层长波带通滤波器 180 f_\_9o"l  
8.30  49层长波带通滤波器 181 {eHAg<+  
8.31  55层短波带通滤波器 182 @;)PSp*j  
8.32  47 红外截止器 183 ~`cwG` 'N  
8.33  宽带通滤波器 184 .<&s%{EW  
8.34  诱导透射滤波器 186 wAF,H8 -DK  
8.35  诱导透射滤波器2 188 |jG~,{  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 0Y?H0  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 QLo(i  
8.35  增益平坦滤波器 193 &ab|2*3?X  
8.38  啁啾反射镜 1 196 ;ojiJ ?jU  
8.39  啁啾反射镜2 198 }[!92WS/ee  
8.40  啁啾反射镜3 199 !G?gsW0\h  
8.41  带保护层的铝膜层 200 qVgd(?hJ#  
8.42  增加铝反射率膜 201 j]5WK_~M  
8.43  参考文献 202 g8pO Lr'  
9  多层膜 204 S4A q'  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 PkUd~c  
9.2  内部透过率 204 !1Y&Y@ze  
9.3 内部透射率数据 205 g>j| ]6  
9.4  实例 206 NiSO'=y$n  
9.5  实例2 210 @WOM#Kc  
9.6  圆锥和带宽计算 212 l-)B ivoi  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 #h'@5 l  
10  光学薄膜的颜色 216 p*qPcuAA  
10.1  导言 216 b{cU<;G)y.  
10.2  色彩 216 ~~qWI>. 4  
10.3  主波长和纯度 220 W!la-n  
10.4  色相和纯度 221 <+U|dX  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Ew,T5GG  
10.6 色差 226 U@-2Q=  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 [kB `  
10.8  颜色渲染指数 234 a. %LHb  
10.9  色差计算 235 cxyM\@QB3  
10.10  参考文献 236 ?S[Y:<R{:  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 #I0pYA2m  
11.1  短脉冲 238 ukAKFc^)k  
11.2  群速度 239 H[WQ=){  
11.3  群速度色散 241 -n))*.V  
11.4  啁啾(chirped) 245 cy3Td28,  
11.5  光学薄膜—相变 245 dl|gG9u4Q  
11.6  群延迟和延迟色散 246 _elX<o4  
11.7  色度色散 246 /yPXMJ6W~R  
11.8  色散补偿 249 F4C!CUI  
11.9  空间光线偏移 256 tw K^I6@  
11.10  参考文献 258 `DW2spd  
12  公差与误差 260 k$7Z^~?Fz  
12.1  蒙特卡罗模型 260 !{UTD+|=N  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 e@]-D FG  
12.2.1  误差工具 267 Af-UScD%G  
12.2.2  灵敏度工具 271 0!GAk   
12.2.2.1 独立灵敏度 271 nb, 2,H  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 F jrINxL7^  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 &"E lm  
12.3  参考文献 276 {7"0,2 Hb?  
13  Runsheet 与Simulator 277 &xd.Qi2  
13.1  原理介绍 277 rpV1y$n<F  
13.2  截止滤光片设计 277 [0@`wZ  
14  光学常数提取 289 grom\  
14.1  介绍 289 URTzX 2'[  
14.2  电介质薄膜 289 k2^a$k}  
14.3  n 和k 的提取工具 295 L8$1K&!  
14.4  基底的参数提取 302 K 1#ji*Tp  
14.5  金属的参数提取 306 1y"3  
14.6  不正确的模型 306 b$JBL_U5Ch  
14.7  参考文献 311 aMuVqZw  
15  反演工程 313 O[q\e<V<  
15.1  随机性和系统性 313 5f7zk  
15.2  常见的系统性问题 314 z~oDWANP  
15.3  单层膜 314 kdrod[S  
15.4  多层膜 314 p .K*UP  
15.5  含义 319 -*ELLY[  
15.6  反演工程实例 319 _^S]gmE  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 eVz#7vqv   
15.6.2 反演工程提取折射率 327 msx-O=4g  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 F2I 5q C/  
16.1  光学性质的热致偏移 329 x~DLW1I  
16.2  应力工具 335 PGn);Baq  
16.3  均匀性误差 339 }F=^O[  
16.3.1  圆锥工具 339 6z,Dyy]tl  
16.3.2  波前问题 341 > 0>  
16.4  参考文献 343 %5'6Tj  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 +Wn&,?3^  
17.1  引言 345 'S4)?Z  
17.2  操作数 345 &%=D \YzG  
18  如何在Function中编写脚本 351 |`O5Xs1{B  
18.1  简介 351 hvV_xD8|  
18.2  什么是脚本? 351 :z"!kzdJ  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 ;O#g"8  
18.4  基础 352 z!wDpG7b  
18.4.1  Classes(类别) 352 /Ft:ffR|R  
18.4.2  对象 352 .K8w8X/3  
18.4.3  信息(Messages) 352 S/A1RUt  
18.4.4  属性 352 n{5NNV6  
18.4.5  方法 353 :py\ |  
18.4.6  变量声明 353 IVvtX}  
18.5  创建对象 354 s|yVAt|=  
18.5.1  创建对象函数 355 wTq{sW&  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 }^ FulsC  
18.5.3 丢弃对象 356 Rd&9E  
18.5.4  总结 356 pHE}ytcT  
18.6  脚本中的表格 357 n%%7KTqu  
18.6.1  方法1 357  ht97s  
18.6.2  方法2 357 K >tf,  
18.7 2D Plots in Scripts 358 rfcN/:k  
18.8 3D Plots in Scripts 359 | }&RXD  
18.9  注释 360 C}}/)BYi  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 VDF)zA1V  
18.11  一个更高级的脚本 362 jQs>`P-CM  
18.12  <esc>键 364 X$?3U!  
18.13 包含文件 365 Zl/< w(f_  
18.14  脚本被优化调用 366 ^V*-1r1  
18.15  脚本中的对话框 368 u0s8yPA  
18.15.1  介绍 368 fRZ KEIyk  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 cDEJk?3+  
18.15.3  输入框函数 370 k;y w#Af8  
18.15.4  自定义对话框 371 C|-pD  
18.15.5  对话框编辑器 371 Gc tsp2ndW  
18.15.6  控制对话框 377 4\otq%Y  
18.15.7  更高级的对话框 380 h:bru:ef  
18.16 Types语句 384 ,yMU@Vg  
18.17 打开文件 385 AI ijCL  
18.18 Bags 387 N5U)*U'-u  
18.13  进一步研究 388 ;T+pu>)  
19  vStack 389 ( <*e  
19.1  vStack基本原理 389 4$6T+i2E   
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 `_X;.U.Mv  
19.3  五棱镜 393 Cr ? 4Ngw  
19.4 光束距离 396 \6I +K"  
19.5 误差 399 {MdLX.ycc)  
19.6  二向分色棱镜 399 ^]C&tG0 !  
19.7  偏振泄漏 404 !]` #JAL7  
19.8  波前误差—相位 405 9SQ4cv*2  
19.9  其它计算参数 405 X|LxV]  
20  报表生成器 406 wBk@F5\<  
20.1  入门 406 bO5k6i  
20.2  指令(Instructions) 406 ]bdFr/!'S+  
20.3  页面布局指令 406 ~ Hy,7  
20.4  常见的参数图和三维图 407 _Xcn N:Rt  
20.5  表格中的常见参数 408 XMN:]!1J  
20.6  迭代指令 408 &BE  g  
20.7  报表模版 408 9O*_L:4o  
20.8  开始设计一个报表模版 409 lK7m=[ j  
21  一个新的project 413 sJx+8 -  
21.1  创建一个新Job 414 m} ?rJ  
21.2  默认设计 415 ~X(UcZ2  
21.3  薄膜设计 416 g| <wyt[  
21.4  误差的灵敏度计算 420 nz.{P@[Qk  
21.5  显色指数计算 422 /$N~O1"0)  
21.6  电场分布 424 =WZqQq{  
后记 426
yL4 T  
K5t0L!6<+  

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