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infotek 2023-05-10 08:14

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ]C5JP~ #z  
2)4{  
1. 描述 &qrH  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `(*5yXC  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 l}:9)nXA{  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 mgH4)!Z*56  
KY2xKco  
2. 系统 (nvSB}?  
TyGXDU  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Q\ro )r  
3. 透镜系统组件编辑 P(A%z2Ql  
9-}&znLZe  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A/BL{ U}  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]%shs  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !C#q  
包括序列光学表面和光学介质。 -kQ{~"> w  
{%UY1n  
~~'XY(\L@  
4. 光线追迹系统分析器-选项 t=A| K    
1)%9h>F7  
E hd*  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 u) fbR  
可以选择选取光线的方法: Dve5Ml-  
— 在x-y-网格 4y%N(^  
— 六边形 f8'&(-  
— 自由选取 BXyZn0k  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
}IEYH&4!  
hvZW~ =75  
5. 系统的3维视图 i"sVk8+o!  
I:AlM ?  
'<4OA!,^)  
6. 其他系统参数 ?Mji'ZW}  
系统由单色平面波照明 >{npg2  
照明波长266.08nm !Y`nKC(=z  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Y @pkfH  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 k{"~G#GwP  
— 一个虚拟屏位于焦平面 +>c)5Jih  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 IxgnZX4N  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 F N(&3Ull  
w;r -TLf  
y(6&90cr  
*A c~   
Y:*mAv;&  
7. 光线追迹系统分析器的结果 lE=Q(QUr  
6mMJ$FY+  
光线经过整个光学系统的三维视图
!=q {1\#  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
!>9*$E |  
^'v6 ,*:4  
+(UrqK4Av  
SZvw>=)a  
"wexG]R=5  
<(#cPV@j  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 r`wL_>"{n  
U{eC^yjt"o  
?ix0n,m  
VirtualLab可用于计算点列图。 nV"[WngN  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 BniFEW:<  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <Hm:#<\  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 r/3 !~??x  
zXUE<\  
9. 焦平面上的结果 }u:^Mz  
9c#9KCmc  
ukq9Cjs  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ((;9%F:/$  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^/Gjk  
焦平面上的光斑尺寸为183mm AVNB)K"  
此外,背景颜色也可以预先设置。 a[Txd=b  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
`acorfpi  
W+Gu\=s%O  
10. 总结 \+L_'*&8  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 br$!}7#=L  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 EkWe6m  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gtjgC0   
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Y k~ i.p  
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