利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 DjyqQyq~ DFgQ1:6[ 1. 描述 ~[_u@8l!mN ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 0}'xoYv
f ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 50s1o{xwc ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 B0h|Y.S8%1 Vu0d\l^$ 2. 系统 e=>:(^CS FAkrM?0/
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd &d%\&fCm( 3. 透镜系统组件编辑 x7<2K( 8t1XZ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 SmpYH@ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ; _ziRy ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3WVH8S b ■ 包括序列光学表面和光学介质。 Bi.,@7|> @
0'j;")XV ~ u)}/ 4. 光线追迹系统分析器-选项 m4 k:uk7N R]h3a:ic x|b52<dLL& ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 H[S}&l\D4 ■ 可以选择选取光线的方法: l&/V4V- — 在x-y-网格 43VBx<" — 六边形 H;h$k]T — 自由选取 t)4><22of ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |p .o ^ !K8Kw
W|X 5. 系统的3维视图 JdM0f!3 x>cl$41!W
kqH:H~sgD 6. 其他系统参数 i_c'E;| ■ 系统由单色平面波照明 ,qT^e8E+ ■ 照明波长266.08nm tD~
nPbbB ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: e=cb% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 u |mTF>L — 一个虚拟屏位于焦平面 r4isn^g — 光束尺寸探测器置于焦平面 iV$TvD+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~n"?*I` k-Z:z?M H|IG"JB fTOGW`s^ 03/mB2|TF( 7. 光线追迹系统分析器的结果 ELN1F0TneH `0_,>Z
光线经过整个光学系统的三维视图 mDXG~*1
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) .6=;{h4cpB Hl#?#A5 (KLhF ;u-[%(00S Dr)jB*yK .6LlkM6[g 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 k%TBpG:T 3xz|d`A LVNA`|> ■ VirtualLab可用于计算点列图。 <t&Qa~mA ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 GJ{XlH ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 `Frr?.3&- ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 |vw],r6 ;nx.:f 9. 焦平面上的结果 0j!xv(1 *3KSOcQ D$AvD7_ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 MtVvi6T ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 S"t\LB*'Ls ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Ne)3@? ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ' GUCXx ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 8OMMV,QF >WA'/Sl<A< 10. 总结 #N$\d4q9 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 k. NJ+ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `TYC]9 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 r1Hh @sxn ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 )$GCur~
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