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infotek 2023-05-10 08:14

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 38Z"9  
Md {,@ G  
1. 描述 <E BgHD)  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 asW1GZO  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 KW&&AuPb}  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Vrz!.X~  
tT yu,%/m  
2. 系统 Z=!*7@QY  
1 qUdj[Bj  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
M Zw%s(lv  
3. 透镜系统组件编辑 gqD`1/  
%TG$5' )0  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 X{#@ :z$  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 %1VMwqC]E  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 oJ8_hk<Va8  
包括序列光学表面和光学介质。 D-3/?"n  
>W'SG3Hmc  
=b%J@}m`&  
4. 光线追迹系统分析器-选项 hDlk! #*  
\Zf&&7v  
\-s) D#Y;r  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 MmWJYF=  
可以选择选取光线的方法: R[&lk~a{=  
— 在x-y-网格 : 6>H\  
— 六边形 iW"L!t#\|  
— 自由选取 d;<n [)@  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
GYO\l.%V5y  
4nl>&AV  
5. 系统的3维视图 E;4Ns  
b7AuKY{L  
U*&ZQw  
6. 其他系统参数 0"2 [I  
系统由单色平面波照明 cZ!s/^o?f  
照明波长266.08nm }=;>T)QmMO  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ^ Nsl5  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @>9p2u)=  
— 一个虚拟屏位于焦平面 5GJ0EZ'X  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 uCu,'F,6Y  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 G'Q7(c  
^CK)q2K>[  
9uS7G*  
ooZ-T>$  
D`t e|K5  
7. 光线追迹系统分析器的结果 Y$ChMf  
Oq[E\8Wn  
光线经过整个光学系统的三维视图
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光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
F7;xf{n<  
,K9UT#h  
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7 YK+TGmU^  
HQ s)T  
GcU/   
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 !%u#J:z2  
<y.D0^68  
4]B3C\ v  
VirtualLab可用于计算点列图。 CD&m4^X5D  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6 gKOpa  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Pj.~|5gnf  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Agi1r]W  
gNqV>p  
9. 焦平面上的结果 w//w$}v  
|?| u-y  
llleo8  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 (t]>=p%4g  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 .HQ<6k:  
焦平面上的光斑尺寸为183mm ya_'Oz!C  
此外,背景颜色也可以预先设置。 }-L@AC/\#  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
<=inogf  
T8441qo{>  
10. 总结 $dnHUBB  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 2:N_c\Vi  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 iTt=aQjd  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 |f:d72{Qr  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 - X_w&  
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