利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ]C5JP~#z 2)4{ 1. 描述 &qrH ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `(*5yX C ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 l}:9)nXA{ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 mgH4)!Z*56 KY2xKco 2. 系统
(nvSB}? TyGXDU
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd Q\ro )r 3. 透镜系统组件编辑 P(A%z2Ql 9-}&znLZe ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A/BL{ U} ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]%shs ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !C#q ■ 包括序列光学表面和光学介质。 -kQ{~">w {%UY1n ~~'XY( \L@ 4. 光线追迹系统分析器-选项 t=A|
K 1)%9h>F7 E
hd* ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 u )
fbR ■ 可以选择选取光线的方法: Dve5Ml- — 在x-y-网格 4y%N(^ — 六边形 f8'&(- — 自由选取 BXyZn0k ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }IEYH&4! hvZW~
=75 5. 系统的3维视图 i"sVk8+o! I:AlM?
'<4OA!,^) 6. 其他系统参数 ?Mji'ZW} ■ 系统由单色平面波照明 >{npg2 ■ 照明波长266.08nm !Y`nKC(=z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Y @pkfH — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 k{"~G#GwP — 一个虚拟屏位于焦平面 +>c)5Jih — 光束尺寸探测器置于焦平面 IxgnZX4N ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 F
N(&3Ull w;r -TLf y(6&90cr *A
c~ Y:*mAv;& 7. 光线追迹系统分析器的结果 lE=Q(QUr 6mMJ$FY+
光线经过整个光学系统的三维视图 !=q {1\#
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) !>9*$E
| ^'v6
,*:4 +(UrqK4Av SZvw>=)a "wexG]R=5 <(#cPV@j 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 r`wL_>"{n U{eC^yjt"o ?ix0n,m ■ VirtualLab可用于计算点列图。 nV"[WngN ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 BniFEW:< ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <Hm:#<\ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 r/3!~??x zXUE<\ 9. 焦平面上的结果 }u:^ Mz 9c#9KCmc ukq9Cjs ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ((;9%F:/$ ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^/Gjk ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm AVNB)K" ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 a[ Txd=b ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 `acorfpi W+Gu\=s%O 10. 总结 \+L_'*&8 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 br$!}7#=L ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 EkWe6m ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gtjgC0 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Y k~ i.p
|