利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 38Z"9 Md
{,@ G 1. 描述 <E
BgHD) ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 asW1GZO ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 KW&&AuPb} ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Vrz!.X~ tTyu,%/m 2. 系统 Z=!*7@QY 1qUdj[Bj
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd MZw%s(lv 3. 透镜系统组件编辑 gqD`1/ %TG$5')0 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 X{#@ :z$ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 %1VMwqC]E ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 oJ8_hk<Va8 ■ 包括序列光学表面和光学介质。 D-3/?"n >W'SG3Hmc =b% J@}m`& 4. 光线追迹系统分析器-选项 hDlk! #* \Zf&&7v \-s) D#Y;r ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 MmWJYF= ■ 可以选择选取光线的方法: R[&lk~a{= — 在x-y-网格 : 6>H\ — 六边形 iW"L!t#\| — 自由选取 d;<n [)@ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 GYO\l.%V5y 4nl>&AV 5. 系统的3维视图 E;4Ns b7AuKY{L
U*&ZQw 6. 其他系统参数 0"2 [I ■ 系统由单色平面波照明 cZ!s/^o?f ■ 照明波长266.08nm }=;>T)QmMO ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ^Nsl5 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @>9p2u)= — 一个虚拟屏位于焦平面 5GJ0E Z'X — 光束尺寸探测器置于焦平面 uCu,'F,6Y ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 G'Q7(c ^CK)q2K>[ 9uS7G * oo Z-T>$ D`t e|K5 7. 光线追迹系统分析器的结果 Y$ChMf Oq[E\8Wn
光线经过整个光学系统的三维视图 ;n;^f&;sJ
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) F7;xf{n< ,K9UT#h f0D Ch] 7
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s)T GcU/ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 !%u#J:z2 <y.D0^68 4]B3C\
v ■ VirtualLab可用于计算点列图。 CD&m4^X5D ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6gKOpa ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Pj.~|5gnf ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Agi1r]W gNqV>p 9. 焦平面上的结果 w//w$}v |?|
u-y llleo8 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 (t]>=p%4g ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 .HQ<6k:
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ya_'Oz!C ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 }-L@AC/\# ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 <=inogf T8441qo{> 10. 总结 $dnHUBB ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 2:N_c\Vi ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 iTt=aQjd ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 |f:d72{Qr ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 - X_w&
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