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infotek 2023-05-10 08:14

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 S0zk<S  
8b!-2d:*  
1. 描述 &4 ~C%{H3  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 V=+wsc  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 l`V^d   
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 s2N~p^  
Eg/=VBtc  
2. 系统 Dau'VtzN  
|GqKa  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Zf [#~4  
3. 透镜系统组件编辑 zmEg4v'I  
wgV?1S>Z  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 `{ 6K~(  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 \5ZDP3I  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |."thTO  
包括序列光学表面和光学介质。 5Y}=,v*h}  
_(&XqEX  
Pd^v-}[  
4. 光线追迹系统分析器-选项 8t$w/#'@  
`VzjXJw  
E#I^D/0  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 sm1(I7y  
可以选择选取光线的方法: iAWd 9x  
— 在x-y-网格 >qT4'1S*g  
— 六边形 d0"Xlle ld  
— 自由选取 '*XX|\.  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
OY?x'h  
0**.:K<i  
5. 系统的3维视图 dEuts*@ Q  
F\"`^`(O  
CPj8`kl  
6. 其他系统参数 fkjo  
系统由单色平面波照明 S.$/uDwo  
照明波长266.08nm xD|CQo}:  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: w]ZE('3%W  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (uk-c~T!u  
— 一个虚拟屏位于焦平面 *53@%9 {u  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 "N\tR[P!  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [$bK%W{f  
|_ u  
FO/ [7ZH  
I\FBf&~  
%x2_njDd  
7. 光线追迹系统分析器的结果 },W<1*|  
F4|Z:e,Hr  
光线经过整个光学系统的三维视图
c'gV  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
=bwuLno>  
btV Tt5  
/`b(} m  
f'>270pH  
Pgp`g.$<  
*sPG,6>  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 pm 4"Q!K  
2[; 4D/`*  
MMYV8;c  
VirtualLab可用于计算点列图。 9jC>OZ0s  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 z|5Sy.H>  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 A/%+AH(  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 EG|fGkv"  
?;dfA/  
9. 焦平面上的结果 Up/s)8$.  
eInx\/  
km(Mv  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 G+$A|'<`z  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 5jb/[i^V  
焦平面上的光斑尺寸为183mm *co=<g]4KY  
此外,背景颜色也可以预先设置。 XC D&Im  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
<Z -d5D>  
JTw3uM, e  
10. 总结 #go!"H L  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 sr*3uI-)L  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 D_W,Jmet  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 |1@/gqa  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 < SIe5" {  
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