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infotek 2023-05-10 08:14

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 DjyqQ yq~  
DFgQ1:6[  
1. 描述 ~[_u@8l!mN  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 0}'xoYv f  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 50s1o{xwc  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 B0h|Y.S8%1  
Vu0d\l^$  
2. 系统 e=>:(^CS   
FAkrM?0/  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
&d%\&fCm(  
3. 透镜系统组件编辑 x7<2K(  
8t1XZ  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 SmpYH@  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ; _ziRy  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3WVH8Sb  
包括序列光学表面和光学介质。 Bi.,@7|>  
@ 0'j;")XV  
~ u)} /  
4. 光线追迹系统分析器-选项 m4 k:uk7N  
R ]h3a :ic  
x|b52<dLL&  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 H[S}&l\D4  
可以选择选取光线的方法: l&/V4V-  
— 在x-y-网格 43VBx<"  
— 六边形 H;h$k]T  
— 自由选取 t)4><22of  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
|p .o^  
!K8Kw W|X  
5. 系统的3维视图 J dM0f!3  
x>cl$41!W  
kqH:H~sgD  
6. 其他系统参数 i_c'E;|  
系统由单色平面波照明 ,qT^e8E+  
照明波长266.08nm tD~ n PbbB  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: e=cb%  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 u|mTF>L  
— 一个虚拟屏位于焦平面 r4isn^g  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 i V$TvD+  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~n"?*I`  
k-Z :z?M  
H|IG"JB  
fTOGW`s^  
03/mB2|TF(  
7. 光线追迹系统分析器的结果 ELN1F0TneH  
`0_,>Z  
光线经过整个光学系统的三维视图
mDXG~*1   
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
.6=;{h4cpB  
Hl#?#A5  
(KLhF  
;u-[%(00S  
Dr)jB*yK  
.6LlkM6[g  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 k%TBpG:T  
3xz|d`A  
LVNA`|>  
VirtualLab可用于计算点列图。 <t&Qa~mA  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 G J{XlH  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 `Frr?.3&-  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 |vw],r6  
;nx.:f  
9. 焦平面上的结果 0j!xv(1  
*3KSOcQ  
D$AvD7_  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 MtVvi6T  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 S"t\LB*'Ls  
焦平面上的光斑尺寸为183mm Ne)3@?  
此外,背景颜色也可以预先设置。 ' GUCXx  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
8OMMV,QF  
>WA'/Sl<A<  
10. 总结 #N$\d4q9  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 k. NJ+  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `TYC]9  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 r1Hh @sxn  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。  )$GCur~  
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