用于光学检测的斐索干涉仪

WYm\)@   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 }(J}f)   OUPUixz2Z   >=I|xY,   _ @NL;w:!   建模任务 Ar I2wM/v   +s,=lL   jUYWrYJ   'j8:vq^ d   测试表面 w7.V6S$Ga   C\Wmq [   *k(XW_>   #C74z$   非序列追迹 Z*]9E^   Q^9_'t}X   ;40/yl3r3[   D[[|")Fn   通用探测器和探测器附加组件 zx"s*:O   )np:lL$$   m{Wu" ;e   `_Zg3_K.dS   总结-组件… 36&e.3/#   q.^;!f1   rK6l8)o   2+N]PW\V   b5dD/-Vj   观测下的倾斜平面 hP%M?MKC   g#pr yYz   T9E+\D   93 )sk/j   被观测圆柱面 x/ I%2F   ~OYiq}g   JQ_sUYh~3   t:x\kp   被观测球面 Hh3X \   :gv{F} ##

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