用于光学检测的斐索干涉仪

i3 js'?7E   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 oypLE=H   jnV#Q ;   H [+'>Id:   J.~@j;[2   建模任务 ` k] TOc   VmQ^F| {   b8a(.}8*   U'jmgHq   测试表面 n [/D>Pi   CX#d   )F9IzR-&m   &Hw:65O   非序列追迹 3g7]$}   {Lju7'5L   ceg\lE:8   ~Dg:siw   通用探测器和探测器附加组件 eHx {[J?   6?"Gj}|r   y1`%3\   6~ET@"0uK   总结-组件… 0Cc3NNdz   `c:r`Oi?   ufR|V-BWx   xgOt%7sb   z{.&sr>+v   观测下的倾斜平面 @kd$.7Y9   qLBQ!>lR   S*r }oX0   kU:Q&[/jzH   被观测圆柱面 1sUgjyGQ   b?k,_;\   j\#)'>"   .==c~>N   被观测球面 Lh+7z>1   S?DMeZ{:

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