用于光学检测的斐索干涉仪

_zm<[0(   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 o<P%|>qX   8gBqur{   ^"+cJ)   /yrR f;}<O   建模任务 G';oM;~/|   r?/>t1Z   OR"ni   2#W%--   测试表面 9f,HjR P   F<-Pbtw   'Dk(jpYB   gYzKUX@   非序列追迹 3y 3 U`Mo   7P|(j<JX6'   ?QVD)JI*k   ^QW%<X   通用探测器和探测器附加组件 " 31C8   #2HygS   `&9#!T.   R#\8jvv   总结-组件… "hlIGJ?_=   ={L:q8v)   Y@.JW   W+K=M*^D;c   053W2Si    观测下的倾斜平面 @fE^w^K7   [Q 2t,tQx   bh7 1Zu   ^*{xTB57   被观测圆柱面 >9u6@   o!\ O)   E!Fy2h>[Z   0U/:Tpyr   被观测球面 %] #; ~I%   vCpi|a_eCu

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