用于光学检测的斐索干涉仪

;u};&sm   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 Gi2ad+QH-   E D^ rWE_   d3G{0PX   ]|t.wr3AU   建模任务 -0o6*?[Z   W}2 &Pax   fk7Cf"[w   d<Q+D1   测试表面 7;}3{z   nuO3UD3   sp Q4m   Eh@T W%9*   非序列追迹 +>:}req   IO!1|JMr6   *Iwk47J ;a   Dyk[ug5   通用探测器和探测器附加组件 $#7J\=GZ+   }\939Y   hHc^ZA   8yWu{'G   总结-组件… TG63   ]fADaw-R   Z0ncN])   h lkvk]v   E/7vIg F   观测下的倾斜平面 %g0z)J   :#\B {)(   !0OD(XT   XiRT|%j   被观测圆柱面 CaYos;Pl   f ATA%eA8;   &V#zkW   }(+=/$C"#   被观测球面 =(.mf   ;c X^8;F0

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