用于光学检测的斐索干涉仪

SB,#y>Zv?   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 2=,d.1E3d   /0b7"Kr   |lN=q44I   /9 o6R:B   建模任务 iy|;xBI,   mc4|@p*   IZuP{7p$   B.L_EIw   测试表面 +wfZFJ:1l   5xQ5)B4k   :-$TD('F   +xQj-r)-   非序列追迹 G"ixw   b^A7R{G7   eoJ*?v   <?%49   通用探测器和探测器附加组件 8S5Q{[!    -.K'rW   udPLWrPF\   rpc;*t+z   总结-组件… ? M.'YB2   h-fm)1S_   {vk%&{D0)   S<z8   |@VhR(^O$   观测下的倾斜平面 ),H1z`c&I   E85TCS1   -`$J& YU   [LrO"9q(   被观测圆柱面 b>]UNf"-   O&sUPv   ng9_c   !wC( ]Y   被观测球面 `JyI`@,!   J!">L+Zcx

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