用于光学检测的斐索干涉仪

4;<?ec(dc   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 Rf^$?D&^   "n^h'// mn   t:eZ`6o$T\   %nSm 32/t3   建模任务 S*Qip,u   IX$dDwY|O>   hxP%m4xF +   qg7.E+   测试表面 }TzMWdT   3=RVJb   =3]}87   Ynl^Z   非序列追迹 Oz'x5/%G   %YkJA:   f*,jhJ_I   LBq~?Q.e   通用探测器和探测器附加组件 )e d5~ok   )a AKO`    0w>V![   NoTEbFrV   总结-组件… wN>k&J   DzydS=`w   {F6>XuS=u   m2F2   9UsA>m.   观测下的倾斜平面 5%BexIk   ELfcZfJ   @<=xfs   mk(O..)2   被观测圆柱面 gHdNqOy c   x' >Nz{B,P   @}eEV[Lli   f!%G{G^`   被观测球面 dn(I$K8   B>Tfyo

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