用于光学检测的斐索干涉仪

g`(3r   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 `hf`l q^   kfgkZ"9   +-:o+S`q~   Vr:`?V9Q2(   建模任务 2QgD<   ]P>c{   J,*+Ak ~   k] A(nr   测试表面 %J8uVD.2   uvl>Z= "   U&W/Nj   'Pe;Tp>`   非序列追迹 L:\>)6]Ls   :3[;9xCHj   TPn#cIPG   mLfY^&2Pr   通用探测器和探测器附加组件 Z~]G+(   ^B!()39R?   _%u t#   E:y^= Y   总结-组件… ^p~QHS/   ,AH2/^:%c   tYp 185   biPj(Dd   )jj L'   观测下的倾斜平面 owx0J,,G   ^% L;FGaA   !JtM`x/yR   mD%IHzbn H   被观测圆柱面 3+&k{UZjt   ~gaWZQXyu   1\J9QZX0   A8g_BLj!e   被观测球面 \U<d)j/   [ldBI3

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