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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 MF5o\-&dN  
                                    
!ac,qj7spa  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 yt`K^07@  
T^nOv2@,  
建模任务 T5TA kEVl  
@t#Ju1Y  
系统构建块-扫描源                                                
K|wB0TiXP  
C.VU"= -  
How to Set Up a Scanning Source |#O>DdKHT  
                                                                               lMb&F[KJ7  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 =zwn3L8fL  
TDW\n  
系统构建块-参数耦合 PCiwQ4~  
   s>e)\9c  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ZcrFzi  
                                                                              
z~RE}k  
系统构建块-失真分析仪 &jE@i#  
                                                                      
n4Q ^   
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 p) m0\  
mq oB]H,  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               GNI:k{H@"?  
"VQ7Y`,+  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
/ #D R|  
@@#h-k%k-  
)8JM.:,  
?%i~~hfH#N  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Kr@6m80E5  
u:%Ln_S  
Universal Detector yey]#M[y  
                                                                                t'e5!Ma  
总结-组件 eDS,}Z'  
Ws:MbZyr  
- ~`)V`@  
系统观感   qW|_|%{U+  
$3^Cp_p6  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 'Em633  
klx28/]  
E8b:MY  
性能评估-点位偏差 iO{LsG*5Z  
%<^j=K= 0  
                              
e3]v *<bj  
性能评估-光斑直径测量                                                       $'93:9tg  
H[U"eS."  
S0!w]Ku  
JO&L1<B{v  
I@:"Qee  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 $9?<mP2-*  
wg]VG,  
VirtualLab Fusion技术 o&#!W(   
    
L=V.@?  
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