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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 Xaca=tsO  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 <A_LZi  
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建模任务 ?<l,a!V'6  
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系统构建块-扫描源                                                
Rpi@^~aPE  
a IA9rn  
How to Set Up a Scanning Source %nmD>QCe  
                                                                               Y@+e)p{  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 X;hV+| Bo  
J=*X%^jX9Z  
系统构建块-参数耦合 (q@DBb4  
   'rX!E,59  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion NFEF{|}BM  
                                                                              
+-VkRr#  
系统构建块-失真分析仪 T"NDL[*  
                                                                      
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实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 "i}?jf {a  
O7MFKAaD  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               $Eo)i  
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通用探测器和探测器附加组件                                                    
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7<ZP(I5X  
YCWt%a*I'  
KXAh0A?&+  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ex- 0@  
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Universal Detector mX2(SFpJar  
                                                                               RP"YSnF3  
总结-组件 4t%g:9]vr  
D]{#!w(d  
A`NkgVq5:  
系统观感   e)Be*J]4  
TT'sO[N[  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 +E{'A7im8=  
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性能评估-点位偏差 :#?Z)oQpT  
E*uz|w3S)Y  
                              
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性能评估-光斑直径测量                                                        2]$ 7  
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v*Fr #I0U  
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jO|D# nC  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 [SFX;v!9  
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VirtualLab Fusion技术 u@;6r"8q  
    
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