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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 e^LjB/<Th  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 wtl3Ex,DO  
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建模任务 }508wwv  
-> ^Ex`  
系统构建块-扫描源                                                
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_%@dlT?  
How to Set Up a Scanning Source bu?4$O  
                                                                               %.h&W;  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 `WUyffS/!  
yTxrbE  
系统构建块-参数耦合 *;&[q{hz  
   khc1<BBsT  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion .E:3I!dH7  
                                                                              
VMee"'08  
系统构建块-失真分析仪 (GW"iL#.  
                                                                      
|JL?"cc  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 [n2+`A  
k-Z :z?M  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Ao U Pq  
}Q?a6(4  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
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Ud_7>P$a  
3;O4o]`  
2Ij,OIcdBE  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 2dyS_2u  
Yyr qO^9m  
Universal Detector 'ti~TG  
                                                                               i91 =h   
总结-组件… {E;oirv&  
FN w0x6,~R  
E !9(6G4  
系统观感   EzeU-!|W  
tb^/jzC  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 j"A<qI  
B1V+CP3t  
w:pPd;nz0Y  
性能评估-点位偏差 oF~+L3&X  
7w<e^H?  
                              
>B<#,G  
性能评估-光斑直径测量                                                       #Dea$  
3L CT-rp  
x*sDp3f[*  
8wrO64_NO  
D$AvD7_  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 sU+8'&vBp  
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VirtualLab Fusion技术 t#VX#dJ  
    
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