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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 +2El  
                                    
ys/vI/e\  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 @H6%G>K,  
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建模任务 Eh:yR J_8  
88#N~j~P  
系统构建块-扫描源                                                
OFp#<o,p  
IE|, ~M2  
How to Set Up a Scanning Source lqauk)(A0  
                                                                               =^#0.  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 [Zh2DNp  
ps "9;4P  
系统构建块-参数耦合 k 5t{  
   JLml#Pu4  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Ls(&HOK[p  
                                                                              
:ET x*c  
系统构建块-失真分析仪 ["<5?!bU  
                                                                      
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实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 50COL66:7  
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虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               7WXiG0  
K[n<+e;G  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
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G}Gb|sD Zq  
@kS|Jz$iY  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: OW?uZ<z  
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Universal Detector W%=Zdm rv  
                                                                               V, E9Uds  
总结-组件 5VuC U  
xNn>+J  
5[1@`6j   
系统观感   $tEdBnf^ca  
pz.Y=V\t  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 w' .'Yu6  
Hi$#!OU  
PKl]Geg P  
性能评估-点位偏差 /nwxuy  
.V7Y2!4TE  
                              
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性能评估-光斑直径测量                                                       1<;\6sg  
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',:3>{9  
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kx:c*3q.k  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 NJ.rv  
"0!~g/X`rK  
VirtualLab Fusion技术 7k.d|<mRv  
    
`^?}s-H+  
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