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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 k0 D):  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 d}wE4(]b  
S";}gw?r6  
建模任务 eF?jNO3  
r9p ((ir  
系统构建块-扫描源                                                
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fONycXM]  
How to Set Up a Scanning Source ,My'_"S?  
                                                                               /*G bl  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 +NoVe#  
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系统构建块-参数耦合 rd,!-w5  
   ]ClqX;'weJ  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 9{%/I   
                                                                              
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系统构建块-失真分析仪 lU`t~|>r+  
                                                                      
Ct$\!|aR  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。  {IT xHt  
n{=Ot^ ";  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               A(z m  
wdIJ?\/763  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
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T*k}E  
/xd|mo)D  
oAv LSFn  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ^~s!*T)\  
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Universal Detector [buLo*C4:  
                                                                               H%{k.#O  
总结-组件 azG"Mt |7Z  
J 2k4k  
M]xfH*  
系统观感   f67t.6Vw2+  
W)L*zVj~  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 xrkR)~ E  
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性能评估-点位偏差 eKRE1DK  
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性能评估-光斑直径测量                                                       #!P>." .  
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z~ua#(z1S  
/Eu|Jg=I  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 NMzq10M=6  
B[d%?L_  
VirtualLab Fusion技术 Xm<|m#  
    
rx@2Dmt6  
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