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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 T ^z M m  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 ]7_O#MY1  
9 kS;_(DB  
建模任务 -;o`(3wZq  
>oc&hT  
系统构建块-扫描源                                                
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aOo;~u2-=  
How to Set Up a Scanning Source vpqMKyy  
                                                                               Nx4X1j?-n  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 E 5bo60z  
3+# "4O  
系统构建块-参数耦合 lIL{*q(  
   Y@M l}43  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion {:d9q  
                                                                              
N&+DhKw  
系统构建块-失真分析仪 G,b1u"  
                                                                      
HA%r:Px  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 lIF*$#`oh*  
wKs-<b%;  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               }x}JzA+2  
I`}<1~ue  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
H(Q|qckj  
7Ke#sW.HN  
LC:bHM, e  
-}2e+DyAy  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: wC[Bh^]  
O1K~]Nt  
Universal Detector 1)f~OL8o  
                                                                               *]_GFixi  
总结-组件 cxQ8/0^  
2Md'<.  
M.R] hI  
系统观感   Nd4!:.  
PNMf5'@m  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 -"e$ VB  
pu*vFwZ  
RDu'N  
性能评估-点位偏差 \V,;F!*#G  
+~A<&7[}  
                              
)vFZl]  
性能评估-光斑直径测量                                                       #GHLF  
8QGj:3  
|E)IJj 3  
(^Kcyag4  
/RmHG H!  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 h}_1cev?  
UMJ>6 Ko8  
VirtualLab Fusion技术 K9y!ZoB  
    
!*gTC1bvB  
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