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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 `\ IaeMvo  
                                    
"B"ql-K  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 tp!eF"v=  
,SdxIhL  
建模任务 7iv g3*  
z$g__q-  
系统构建块-扫描源                                                
0%HAa|L,,  
6kR3[]:16v  
How to Set Up a Scanning Source *Ev8f11i&  
                                                                               8~.8"gQ  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 n) HV:8j~  
@_c&lToj_  
系统构建块-参数耦合 mxJe\[I  
   y9@j-m&  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ih75 C"  
                                                                              
 '@.Lg0`  
系统构建块-失真分析仪 u9c^YCBM  
                                                                      
tOk=m'aUK  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 wXdt\@Qr  
;<0~^,Xm  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               XS&;8 PO  
,|zwY~l t5  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
U F89gG4  
&FZ~n?;hQ  
w_QWTD 0  
!VudZ]Sg  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: CSWA/#&8>  
6y?uH; SL  
Universal Detector D^];6\=.i  
                                                                               pD~."fb  
总结-组件 5yV>-XT+-  
||7x51-yj  
O_ $zK  
系统观感   _]3#C[1L  
W5Jb5  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 fv* $=m  
].QzOV'  
fL'Ci;.;+  
性能评估-点位偏差 \qG` ts  
*'{9(Oj  
                              
v`7~#Avhz  
性能评估-光斑直径测量                                                       &f)pU>Di  
j&8G tE1b  
<{Rz1CMc  
(v}l#M7w  
6HVX4Z#VH  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 H:z<]Rc  
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VirtualLab Fusion技术 ?c fFJl  
    
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