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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 I4jRz*Ufe?  
                                    
u*Xp%vNe  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 Gu~*ZKyJ  
(&eF E;c  
建模任务 S j~SG  
"."(<c/3  
系统构建块-扫描源                                                
lh'S_p8g  
<$e|'}>A  
How to Set Up a Scanning Source ?< b{  
                                                                               O_1[KiZ  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 ,9bnR;f\  
FiiDmhu  
系统构建块-参数耦合 h97#(_wV>  
   1V1I[CxlX  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Cty#|6 k  
                                                                              
Oq.ss!/z  
系统构建块-失真分析仪 [ -$ Do  
                                                                      
D BHy%i  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 =^u;uS[IW  
&$/ #"lW,V  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Zw9;g+9  
* $f`ouJl  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
XJe=+_K9  
T3P9  
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~)ys,Q  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: h[]9F.[  
EWD^=VITL  
Universal Detector WChP,hw  
                                                                               )k,n}  
总结-组件 \_1a#|97e  
DD$> 3`  
!} TsFa  
系统观感   lNL=Yu2p_  
V_SH90@)+  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 $].htm  
Z#d#n!Lz  
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性能评估-点位偏差 _h!.gZB3  
)cJ>&g4]  
                              
v3-' G gM  
性能评估-光斑直径测量                                                       GjhTF|  
ps 3 )d  
=D/zC'l  
!e|\1v'0  
Tsg9,/vXM  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 |EE1S{!24m  
U7s$';y"%  
VirtualLab Fusion技术 ~(d {j}M>  
    
|HK:\)L%  
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