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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 >?0f>I%\  
                                    
QzA/HP a  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 y{1|@?ii  
K iG/XnS  
建模任务 %TRH,-@3h  
~CL^%\K  
系统构建块-扫描源                                                
)ia$pe s  
MA5BTq<&  
How to Set Up a Scanning Source ;/<J& #2.  
                                                                               vxx7aPjC  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 Y4n; [nHQ(  
0P6< 4  
系统构建块-参数耦合 O{`r.H1',  
   Bc2PF;n  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion  p(Bn!  
                                                                              
L~xzfO  
系统构建块-失真分析仪 7q,M2v;  
                                                                      
,c'a+NQ_t  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 5T;,wQ<  
\m;"KyP+  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               [!E~pW%|n  
wXxk+DV@  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
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[sH[bmLR  
Uw5`zl  
)0NE_AZ?  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: S vR? nN|  
S[W|=(f9  
Universal Detector 5UHxB"`C  
                                                                               #s'  
总结-组件 L(!mm  
zSFqy'b.M-  
xkzC+ _A  
系统观感   ^zr]#`@G  
7`f',ZK%  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 `[5QouPV  
'F@#.Op`  
kGSB6  
性能评估-点位偏差 lj!f\C}d  
h&6v&%S/L  
                              
* F T )`  
性能评估-光斑直径测量                                                       enGjom  
#7A_p8  
X%._:st  
^J=l]  l  
Dj9).lgc  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 8+ <vumnw  
X4R+Frt8  
VirtualLab Fusion技术 ~y(- j[  
    
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