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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 =g2; sM/  
                                    
2md1GWyP  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 .#6Dad=S*  
P6zy<w  
建模任务 pA+W 8v#*  
a [iC!F2  
系统构建块-扫描源                                                
Zk)]=<H  
Gb<)U[Hfd  
How to Set Up a Scanning Source "44VvpQC  
                                                                               $VhUZGuG>  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 gpe^G64c`  
UW<V(6P  
系统构建块-参数耦合 j>+x|!k  
   Ni'vz7j  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Ti!j  
                                                                              
^* ^te+N  
系统构建块-失真分析仪 .KGW#Qk8  
                                                                      
S`BLwnU`#  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 :z56!qU  
>0=`3X|Y7  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               uR|Jn)/m(  
-wy$ ?Ha  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
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D:U:( pg  
G?{BVWtl}  
H*!j\|v0  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: [2gK^o&t  
>lU[ lf+/  
Universal Detector fKf5i@CvB@  
                                                                               WQ<J<$$uu  
总结-组件 +#}I^N  
j~(rG^T  
j` 9pZAF  
系统观感   &7!&]kA+  
p)N=  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 Aj#CB.y  
$U<so{xn%  
<- Q=h?D  
性能评估-点位偏差 V{p*N*  
4*g`!~)  
                              
SG2s!Ht  
性能评估-光斑直径测量                                                       E'?yI' ~=  
yo`Jp$G  
)C5<puh  
$*V:; -H  
a?.hvI   
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 2i;G3"\  
l Ot3^`  
VirtualLab Fusion技术 rP>iPDf  
    
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