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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 Rq`d I~5!b  
                                    
1RHFWK5Si  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 CqFk(Td9-D  
w#qE#g %1  
建模任务 #EG$HX]  
*TyLB&<t  
系统构建块-扫描源                                                
<Dk6o`7^N  
9u0<$UY%  
How to Set Up a Scanning Source 9Ib#A  
                                                                               6Cj$x.-K  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 ,azBk`$iQr  
AJYZ`  
系统构建块-参数耦合 o$q})!  
   &9OnN<mT1  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 6N< snBmd  
                                                                              
2QIx~Er  
系统构建块-失真分析仪 pOq9J7BS  
                                                                      
1[:tiTG|C  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 *G&3NSM-  
 -^ceTzW+  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               r7FFZNs!  
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通用探测器和探测器附加组件                                                    
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\%/Y(YVm  
T/$hN hQK  
5c ($~EFr  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: sI<PYi={-6  
b=PB"-  
Universal Detector CaB@,L  
                                                                               n?mV(?N  
总结-组件… +/ U6p!  
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系统观感   ab8F\%y-8  
0#: St  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 E}lNb  
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性能评估-点位偏差 x5(B(V@b  
*pSD[E>SU  
                              
.azA1@V|  
性能评估-光斑直径测量                                                       7N8a48$8  
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(5h+b_eB  
A(1d q  
l<-0@(x)  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 |5g1D^b]s^  
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VirtualLab Fusion技术 m\eYm;R Vj  
    
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