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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 .=TXi<8Brw  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 N`,\1hHMT  
kx?Yin8K  
建模任务  +:-xV  
P1T {5u!T  
系统构建块-扫描源                                                
3MFT P5~  
=g! Pw]  
How to Set Up a Scanning Source R"V90bCf  
                                                                               zMu9A|  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 $b1>,d'oz  
|xcC'1WU  
系统构建块-参数耦合 `Ucj_6&Tqs  
   H"8B4~*7H  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 05T?c{ ;  
                                                                              
2m:K %Em6u  
系统构建块-失真分析仪 3PZ(Kn<  
                                                                      
o]Ne|PEpO  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Se'SDJl=  
; Z7!BU  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ~Yi4?B<  
v$Fz^<Na  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
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n19A>,m  
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eG!ma`v  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: } SW p~3P  
D^6iQW+.P  
Universal Detector BLt58LYGX  
                                                                               B os`+Y  
总结-组件 >fI\f <ez  
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系统观感   UHvA43  
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通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 4~h 0/H"  
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性能评估-点位偏差 (~N?kh:  
RVttk )Ny  
                              
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性能评估-光斑直径测量                                                       tt?`,G.(]  
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此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 \]f+{d- &  
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VirtualLab Fusion技术 $Bz};@  
    
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