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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 shgAhx  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 $nPAm6mH  
R_kQPP  
建模任务 e3m*i}K}  
k\7:{y@,  
系统构建块-扫描源                                                
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..<3%fL3  
How to Set Up a Scanning Source \a|L/9%  
                                                                               ~<9{#uM  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 N_DT7  
)S@jDaU<  
系统构建块-参数耦合 G/?~\ }:s  
   Hs(D/&6%  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion K_/B?h  
                                                                              
E4[}lX}  
系统构建块-失真分析仪 csQfic  
                                                                      
Re= WfG  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 [aqu }Su  
0$P/jt  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               NAr1[{^E,  
b~0N^p[&%  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
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HOi C  
`a]44es9q  
V H^AcO  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: $2#7D* Rx  
C+V* Fh3  
Universal Detector !<\Br  
                                                                               Rf"Mr:^  
总结-组件 4)1;0,tlG  
#D%ygh=  
6][1 <}8  
系统观感   5g ;ac~g  
Iy7pt~DJ,  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 %$ceJ`%1e  
8cWZ"v  
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性能评估-点位偏差 bKbp?-]  
vS?odqi#n  
                              
cu7(.  
性能评估-光斑直径测量                                                       /SR^C$h'I  
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FG-L0X  
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M8;lLcgu.  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 xFF r  
_}Ps(_5D  
VirtualLab Fusion技术 lE#m]D  
    
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