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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 IwR=@Ne8  
                                    
0u bf]Z  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 I].ddR%  
:PNhX2F  
建模任务 kW& zkE{  
nPhREn!  
系统构建块-扫描源                                                
(@Eb+8Zd  
_ygdv\^Tet  
How to Set Up a Scanning Source \`W8#fob  
                                                                               A>6_h1  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 b6g/SIae  
M$e$%kPShE  
系统构建块-参数耦合 G%U!$\j:qd  
   /w2NO9Q  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion {BZ0x2  
                                                                              
Q}uh`?t  
系统构建块-失真分析仪 XsX];I{E,  
                                                                      
cd] X5)$h  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 M $zt;7P|  
jF-0fK;)*  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Hk?E0.  
H>wXQ5?W;  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
n1)].`  
6>b'g ~I  
:Yn{:%p  
~R7{gCqdr  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ceAefKdb  
W=4|ahk$  
Universal Detector `[~LMV&2U  
                                                                               ~>$z1o&}.  
总结-组件 &Q t1~#1  
(, $Lp0mB7  
|T{ZDJ+  
系统观感   ^9XAWj"  
Ox6^=D "  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 Z|j\_VKhl  
9g7Ok9dF  
5D>cbzP@  
性能评估-点位偏差 N|w;wF!3  
c3Zwp%  
                              
BG+X8t8\  
性能评估-光斑直径测量                                                       cBU@853  
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2>im'x 5  
;(IAhWE?7  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 :KsBJ>2ck  
6+Y@dJnPT  
VirtualLab Fusion技术 I bE Nq  
    
ar@ysBy  
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