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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 ?\T):o;/  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 VaFv%%w  
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建模任务 +Zi@+|"BCN  
~HyqHx y  
系统构建块-扫描源                                                
WH0$v#8`v  
FTZaN1%`  
How to Set Up a Scanning Source #F|w_P  
                                                                               dIRSgJ`  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 3h>5 6{P  
 Qf(mn8  
系统构建块-参数耦合 Uz; pNWMk  
   ; Uf]-uS  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 4l"oq"uc  
                                                                              
<+${gu?^  
系统构建块-失真分析仪 d^ YM@>%  
                                                                      
Zjkrne{  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 jMB&(r  
zD}2Zh]  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               *Z=:?4u  
dQH9NsV7g  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
Nh/B8:035  
*^ -~J/  
w%Tjn^d  
8X2NEVH]  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: fp2.2 @[  
sas:5iB5  
Universal Detector Ju 0  
                                                                               B&k"B?9mL  
总结-组件 O!#bM< *  
dAj;g9N/h  
%Ut7%obpi  
系统观感   zd+<1R;  
1{7*0cv$iL  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 .q7|z3@,  
:")iS?l  
W|aFEY  
性能评估-点位偏差 h TY7`m">  
{E+o+2L  
                              
2wki21oY  
性能评估-光斑直径测量                                                       & e~g}7  
V:vYS  
)"Vd8*e  
z&r@c-l@  
(lBwkQNQGd  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 yG<`7v  
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VirtualLab Fusion技术 0qU Bt9rA  
    
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