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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 EC2+`HJ"  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 k(>h^  
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建模任务 3`d}~v{  
0]KraLu"N  
系统构建块-扫描源                                                
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How to Set Up a Scanning Source OMhef,,H  
                                                                                B[=(#W  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 2]GdD*  
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系统构建块-参数耦合 S= R7`a<.5  
   fbyQjvURnC  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion C*U'~qRK  
                                                                              
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系统构建块-失真分析仪 ]-oJ[5cQ0v  
                                                                      
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实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 >_rha~   
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虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               UNijFGi  
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通用探测器和探测器附加组件                                                    
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{Q+gZcu  
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Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 3iw{SEY  
}kw/W#)J  
Universal Detector G+B~Ix-  
                                                                               ;^*Unyt[4]  
总结-组件 ]| N3eu  
u` oq(?|  
o]nw0q?  
系统观感   m(], r})  
 `:P  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 d(g^M1 m  
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性能评估-点位偏差 ??n*2s@t  
: ^ 8  
                              
$P1O>x>LIL  
性能评估-光斑直径测量                                                       j p $Z]  
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Yvn\x ph3  
i)#s.6.D>  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 !LkW zn3  
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VirtualLab Fusion技术 Zy|Mz&  
    
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