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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 (wuaxo:  
                                    
W;zpt|kAH  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 LL(|$}yW  
h?Nek+1'  
建模任务 9 |.Ao  
{\G `]r-cM  
系统构建块-扫描源                                                
&gn-Wb?  
=gjDCx$|  
How to Set Up a Scanning Source CqFeF?xd8h  
                                                                               PcC/_+2  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 kz B\'m,l  
m\ S\3n  
系统构建块-参数耦合 c8Z A5|  
   V.6)0fKZW  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 3[d>&xk@$  
                                                                              
1J{fXh  
系统构建块-失真分析仪 :,S98z#  
                                                                      
m#e*c [*G  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 `Ye8 Q5v"]  
W .I\J<=V  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               iWA|8$u4gm  
hmC*^"C>U=  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
3mO;JXd  
wL}l`fRB  
4)kG-[#  
jlqv2V7=/  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: J !HjeZ  
v2)g 1sXd  
Universal Detector Sk}{E@  
                                                                               K j3?ve~  
总结-组件 7 oQ[FdRn*  
)Si2 u5  
=0 qpVFvU  
系统观感   Y?K{(szo ?  
0 1V^L}  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 upy\gkpnGO  
b2C`g]ibQ  
lg$zGa?  
性能评估-点位偏差 h-#1U3d  
o!c] (  
                              
o-C#|t3hH  
性能评估-光斑直径测量                                                       x,n,Qlb  
Gl}Qxv#$  
Iu[|<Cx  
!RW `3  
3Ot~!AlR  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 Cbm\h/PXl  
NZ0O,} m  
VirtualLab Fusion技术 /Ncm^b4  
    
em{(4!W>  
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