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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 2 /\r)$ 2i  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 ~*&H$6NJS  
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建模任务 ar!R|zmf  
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系统构建块-扫描源                                                
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jjB~G^n  
How to Set Up a Scanning Source ,GbR!j@6  
                                                                               ,F8Yn5h  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 )Pa'UGY  
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系统构建块-参数耦合 r"3=44St  
   FF`T\&u  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion :1. L}4"gg  
                                                                              
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系统构建块-失真分析仪 ,*TmIPNK  
                                                                      
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实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 TVtvuvQ2K  
 L2[($l  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               YNyk1cE  
T"}5}6rSG  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
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Tj` ,Z5vy  
Drgv`z  
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Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Hh3X \  
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Universal Detector Gi|w}j_  
                                                                               Wq D4YGN  
总结-组件 HTv2#  
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系统观感   p}z<Fdu 0  
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通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 U/66L+1  
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g]l'' 7G  
性能评估-点位偏差 eH'av}  
+5g_KS  
                              
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性能评估-光斑直径测量                                                       q"CVcLi9  
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Y!aSs3c  
*2>&"B09`  
8rAg \H3E  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 zJKv'>?  
8?B!2  
VirtualLab Fusion技术 A_"w^E{P  
    
q<x/Hat)  
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