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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 06NW2A%wv  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 QV>hQ]L  
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建模任务 ]--" K{  
MDauHtF,  
系统构建块-扫描源                                                
(9KiIRN   
(5GjtFojY|  
How to Set Up a Scanning Source 3vj 1FbY  
                                                                               '3]M1EP  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 A5^tus/y  
vw*,_f  
系统构建块-参数耦合 YhO-ecN  
   | $D`*  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion O4oI&i 7  
                                                                              
e=Q{CsP  
系统构建块-失真分析仪 !h70<Q^  
                                                                      
_ q^JjR  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Q tl!f  
% U|4%P  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                                zt2#6v  
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通用探测器和探测器附加组件                                                    
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Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: i\C~]K~O!  
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Universal Detector Eb89B%L62G  
                                                                               cIg+^Tl  
总结-组件 w">-r}HnJ  
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系统观感   lj 2OOU{  
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通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 '7UIzk|  
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性能评估-点位偏差 c}mWAZ=wF  
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性能评估-光斑直径测量                                                       jbTsrj"g  
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H",q-.!  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 ?U(`x6\:  
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VirtualLab Fusion技术 PLhlbzcf  
    
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