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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 4{KsCd)  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 Sj ?'T@  
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建模任务 L?fv5 S3  
s-B\8&^C  
系统构建块-扫描源                                                
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How to Set Up a Scanning Source R7i*f/m  
                                                                               f]}F_]  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 Tx(R3B+u7  
Ipe;%as#  
系统构建块-参数耦合 `O/)q^m1L  
   MR}\fw$(.  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 5hAg*zJb5o  
                                                                              
\2jY)UrQs  
系统构建块-失真分析仪 l ;uEw  
                                                                      
J"y@n ~*0  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 c z|IBsa*  
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虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               & \m\QI  
$c-3Q|C  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
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8~i@7~ J  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: M<"D!h9YP  
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Universal Detector ;Yj}9[p;T  
                                                                               E !8y|_(j  
总结-组件 O,cx9N  
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系统观感   X$* 'D)  
JI&>w-~D  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 #lO;G k{  
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性能评估-点位偏差 0`W~2ai  
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性能评估-光斑直径测量                                                       .\VjS^o&Z&  
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F!xK#~e   
A-W7!0  
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此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 ^6*? a9jO>  
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VirtualLab Fusion技术 +FiV!nRkZ  
    
MWl@smRh  
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