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2023-05-05 08:32 |
JCMsuite应用：一维周期线栅
这是一维周期线栅的简单案例。周期单元包含通过光栅的二维截面。在这种情况下，线栅的横截面呈梯形，它位于衬底上，被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。 Z<W f/
光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度。 PdEPDyFk h
S偏振光照明的近场强度 P偏振光照明的近场强度 o^/ fr&,9
后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。 U# IPYyV
y<*\D _J
参数扫描 OJ7 Uh_;/
r"7 PSJ
Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度： lKf kRyO_S
{3SK|J`
在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定时，线栅的宽度从150nm增至250nm。这将产生以下线栅宽度依赖关系： P)LQ=b}V#;
PT~F ^8,)
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