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这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同，但代替周期性排列的线，现在使用单线。因此，二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件，而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 6I.N:)=
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KCGs *kp>
光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 ]m{;yOQdsC
S偏振光照明的近场强度 BBm.;=8@ ^  P偏振光照明的近场强度 jW}n6w5
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后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 gz;( ).{
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在实验中，远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 #?k$0|60
lNs 'jaD
PostProcess { JR<#el
OpticalImaging { &kB[jz_[A
InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" (9CB&LZ(+E
OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" c BQ|m A
OpticalSystem { {:$0j|zL1
SpotMagnification = 2.0 Wct
+T,8
} Sd2R $ r
} yK+76\} I
L%ND? '@
输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置)，用于S偏振照明。 5@" bx=
线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波) N'+d1 Hv>A$x$q  线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波) |
