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infotek 2023-05-04 08:39

JCMsuite应用:孤立线栅

6,7Fl=<  
这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 6I.N:)=  
K@Twiw~rB  
KCGs*kp>  
光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 ]m{;yOQdsC  
S偏振光照明的近场强度
BBm.;=8@ ^  
P偏振光照明的近场强度 jW}n6w5  
@f{yx\u/  
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 gz;().{  
:=UiEDN@  
在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 #?k$0|60  
lNs 'jaD  
PostProcess { JR<#el  
  OpticalImaging { &kB[jz_[A  
  InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" (9CB&LZ(+E  
  OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" c BQ|m A  
  OpticalSystem { {:$0j|zL1  
    SpotMagnification = 2.0 Wct +T,8  
  } Sd2R $r  
} yK+76\} I  
L%ND?'@  
输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 5@" bx=  
线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波) N'+d1  
Hv>A$x$q  
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)
&THM]3:  

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