JCMsuite应用：孤立线栅

_{|a<Keq|   这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同，但代替周期性排列的线，现在使用单线。因此，二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件，而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 5SFr E`   aZZ0eH   }:$cK(|   光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 XG#?fr}L   S偏振光照明的近场强度 18$d-[hX   P偏振光照明的近场强度 Lg4|6.Ez|P   -"-.Z&#   后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 n6Oz[7M   T CT8OU|   在实验中，远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 ~cU1 /CW8   YNr5*P1   PostProcess { ._+cvXy     OpticalImaging { \g0vzo"u     InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" YS3~sA     OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" S5>s&     OpticalSystem { XtCIUC{r,       SpotMagnification = 2.0 2V~E <K-     } k(H&Af+   } eKLvBa-{@   V x#M!os0   输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置)，用于S偏振照明。 X5owAc6   线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波) #1dVp!?3T   ]m_x;5s $   线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)

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