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JCMsuite应用:孤立线栅
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infotek
2023-05-04 08:39
JCMsuite应用:孤立线栅
HA;G{[X
这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。
1v9#Fr Y
q[~+Zm
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光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度
QqB9I-_
S偏振光照明的近场强度
Hg+bmwM
P偏振光照明的近场强度
pLpWc~#
~ll+/w\4
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。
RA:3ZV
3\?yjL^
在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。
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cG4$)q;q
PostProcess {
90 pt'Jg
OpticalImaging {
ft Rza
InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm"
NfXEW-
OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm"
hWiBLip,z
OpticalSystem {
b[my5Ol
SpotMagnification = 2.0
f5vsxP)Y[
}
DZU} p
}
`j(-y`fo
e-YMFJtoK}
输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。
|BE`ASW;
线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
Q|nGY:98
)C#b83
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)
),4cb
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