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2023-04-24 14:03 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
1pUIZ$@?` 内容简介 nvJ2V$ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 D^E+#a 1 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 <2\4eusk 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 jslfq@5v ' O\me
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 m &U
$V 目录 1I'ep\`"X Preface 1 4_#yl9+ 内容简介 2 \Ty%E< 目录 i |_Y[931< 1 引言 1 JG2)-x;9 2 光学薄膜基础 2 U9om}WKO 2.1 一般规则 2 }F*u
9E 2.2 正交入射规则 3 2Z ?
N 2.3 斜入射规则 6 }ph;~og}y 2.4 精确计算 7 VW7
?{EL7 2.5 相干性 8 $
}u,uI 2.6 参考文献 10 E&?z-,-o@ 3 Essential Macleod的快速预览 10 ~(TS>ck@ 4 Essential Macleod的特点 32 %-Z0OzWe 4.1 容量和局限性 33 b,?@_*qv+ 4.2 程序在哪里? 33 zLG5m]G4D 4.3 数据文件 35 )xJo/{? 4.4 设计规则 35 uW.)(l 4.5 材料数据库和资料库 37 ^,Sl^ 9K 4.5.1材料损失 38 c`'2 4.5.1材料数据库和导入材料 39 a;Nj'M~U 4.5.2 材料库 41 ,{@,dw`lUz 4.5.3导出材料数据 43 a\wpJ|3{=T 4.6 常用单位 43 LnN6{z{M 4.7 插值和外推法 46 "}"Bvp^ 4.8 材料数据的平滑 50 oSb,)k@ 4.9 更多光学常数模型 54
+["t@Q4IQ 4.10 文档的一般编辑规则 55 UuV<#N) 4.11 撤销和重做 56 Min^EAG@ 4.12 设计文档 57 0]v:Ix 4.10.1 公式 58 t"0Z=`Wi 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 *):x K;o 4.10.3 沉积密度 59 {9 >jWNx 4.10.4 平行和楔形介质 60 IC-k 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 !l7eB@O 4.10.4 性能 61 xh7#\m_U8 4.10.5 保存设计和性能 64 it2@hZc5 4.10.6 默认设计 64 o{EWNkmj 4.11 图表 64 q@;z((45 4.11.1 合并曲线图 67 =YPvh]][ 4.11.2 自适应绘制 68 (6C%w)8' 4.11.3 动态绘图 68 J?ljqA}i 4.11.4 3D绘图 69 z 0;+.E! 4.12 导入和导出 73 MZt~
Abt 4.12.1 剪贴板 73 a@&^t( 1 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 rYnjQr2a 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 2
{lo 4.13 背景 77 J%?'Q{ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 >?b9Xh 4.15 生成Rugate 84 0Hz*L,Bh4 4.16 参考文献 91 H];QDix? 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Pg3O )D9 5.1 Jobs 92 PvzB, 2": 5.2 创建一个新Job(工作) 93 jk0Ja@8PK 5.3 输入材料 94 6Xjr0C+ 5.4 设计数据文件夹 95 *QzoBpO< 5.5 默认设计 95 SwESDo) 6 细化和合成 97 qDqgU 6.1 优化介绍 97 <r*A(}Y 6.2 细化 (Refinement) 98 q%u;+/|l 6.3 合成 (Synthesis) 100 iJg3`1@j 6.4 目标和评价函数 101 D0?l$]aE 6.4.1 目标输入 102 ^O
cM)Z6h 6.4.2 目标 103 `I.Uw$,P 6.4.3 特殊的评价函数 104 W/PZD ( 6.5 层锁定和连接 104 Qh )QdW4 6.6 细化技术 104 e[t+pnRh 6.6.1 单纯形 105 b469 6.6.1.1 单纯形参数 106 tlU&p' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ER:)Fk>_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 Te`Z
Qqb 6.6.3 模拟退火算法 109 I!y[7^R 6.6.3.1 模拟退火参数 109 *$nz<? 6.6.4 共轭梯度 111 s)q;{wz 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 _"8\k7S* 6.6.5 拟牛顿法 112 m:77pE&o 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 o@}+b}R} 6.6.6 针合成 113 MtAD&+3$ 6.6.6.1 针合成参数 114 F=C8U$'S 6.6.7 差分进化 114 Z9rs,_A 6.6.8非局部细化 115 CVsc#=w0 6.6.8.1非局部细化参数 115 N@UO8'"9K& 6.7 我应该使用哪种技术? 116 n/_cJD\ 6.7.1 细化 116 v%|()Z0 6.7.2 合成 117 yQ>
*F 6.8 参考文献 117 T,h,)|:I^ 7 导纳图及其他工具 118 $wa )e 7.1 简介 118 6aG/=fq 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 zT|]!', 7.2.1 四分之一波长规则 119 h(hb?f@1: 7.2.2 导纳图 120 ]p(jL7 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 `jR;RczC 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ZFy>Z:&S, 7.5 斜入射导纳图 141 QE7
r{ 7.6 对称周期 141 8S1%;@c 7.7 参考文献 142 hia_CuY# 8 典型的镀膜实例 143 4a;8XAl 8.1 单层抗反射薄膜 145 }Y(yDg;" 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 tk5Bb`a 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ;8UHnhk_O 8.4 W-膜层 148 8Ua;< h% 8.5 V-膜层 149 C UOxx,V 8.6 V-膜层高折射基底 150 y: @[QhV 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 9
|Iq&S 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 rvRtR/*?j 8.9 四层抗反射薄膜 153 9V&%_.Z 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 JcxhI]E 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 >a98H4 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 I(E1ym 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 <Tr_,Ya{9 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 vv,OBL~{ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 jcF/5u5e 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 u]P0:)tS. 8.17 1/4波长堆栈 162 Zg%SE'kK 8.18 陷波滤波器 163 fSdv%$;Hc 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ANh5-8y 8.20 褶皱 165 =V:rO;qX+@ 8.21 消偏振分光器1 169 ,R$n I*mf_ 8.22 消偏振分光器2 171 W`], 8.23 消偏振立体分光器 172 V|vU17Cgy 8.24 消偏振截止滤光片 173 d[z+/L 8.25 立体偏振分束器1 174 5EDM?G 8.26 立方偏振分束器2 177
v4sc 8.27 相位延迟器 178 M?5[#0"&V 8.28 红外截止器 179 Q nikgV 8.29 21层长波带通滤波器 180 j3F[C:-zY 8.30 49层长波带通滤波器 181 JMN1+:7i 8.31 55层短波带通滤波器 182 8}m]XO 8.32 47 红外截止器 183 b9HE #*d, 8.33 宽带通滤波器 184 @=)_PG 8.34 诱导透射滤波器 186 D.|h0gU 8.35 诱导透射滤波器2 188 +ib72j%A 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 d|5u<f5 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 0q"&AxNsP 8.35 增益平坦滤波器 193 ,%X~/V 8.38 啁啾反射镜 1 196 xmZ]mu,,$ 8.39 啁啾反射镜2 198 C^RO@kM 8.40 啁啾反射镜3 199 mfLS</A 8.41 带保护层的铝膜层 200 tsq]QTA* 8.42 增加铝反射率膜 201 *nD yB.( 8.43 参考文献 202 HS| &[" 9 多层膜 204 =x}27f%-Mg 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 >:5/V0;, 9.2 内部透过率 204 #X7fs5$& 9.3 内部透射率数据 205 sj003jeko 9.4 实例 206 nm66U4.@ 9.5 实例2 210 [|V<e+>T/ 9.6 圆锥和带宽计算 212 @Y*ONnl 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ws4a(1 10 光学薄膜的颜色 216 yef@V2Z+ 10.1 导言 216 mKynp 10.2 色彩 216 H-?SlVsf 10.3 主波长和纯度 220 yL&F!+(/Ix 10.4 色相和纯度 221 N5[QQtQ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 <LQwH23@ 10.6 色差 226 Ph2jj,K 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 axnkuP( 10.8 颜色渲染指数 234 _OP75kv 10.9 色差计算 235 <9YRSE[Ed 10.10 参考文献 236 MzsDWx;eJ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Q u2W 11.1 短脉冲 238 w<N[K> 11.2 群速度 239 #Zk6
11.3 群速度色散 241 i;`rzsRb 11.4 啁啾(chirped) 245 c3]ZU^ 11.5 光学薄膜—相变 245 D_`MeqF}C 11.6 群延迟和延迟色散 246 ?n>h/[/ 11.7 色度色散 246 &H;0N"Fn 11.8 色散补偿 249 pUZe.S>G 11.9 空间光线偏移 256 rC}r99Pe:x 11.10 参考文献 258 W1M<6T.{7 12 公差与误差 260 %O>ehIerD 12.1 蒙特卡罗模型 260 _!H{\kU 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 \kZxys!4 12.2.1 误差工具 267 u!?.vx<qy 12.2.2 灵敏度工具 271 vL{sk|2& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 BdB/`X* 12.2.2.2 灵敏度分布 275 $S|bD$e 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 i[@*b/A 12.3 参考文献 276 3J~Q pw0< 13 Runsheet 与Simulator 277 #, W7N_mt 13.1 原理介绍 277 HlgF%\@a+U 13.2 截止滤光片设计 277 $0V<wsVM 14 光学常数提取 289 8v\BW^z3 14.1 介绍 289 ,ClGa2O 14.2 电介质薄膜 289 4]u53` 14.3 n 和k 的提取工具 295 Eic/#j{4 14.4 基底的参数提取 302 f"q='B9_T\ 14.5 金属的参数提取 306 >`Gys8T 14.6 不正确的模型 306 7NV1w*>/ 14.7 参考文献 311 i5w 15 反演工程 313 \ $}^u5Y 15.1 随机性和系统性 313 ~~,\BhG? 15.2 常见的系统性问题 314 h)7{Cj 15.3 单层膜 314 xrxORtJ< | |