| hnzhang |
2007-03-31 10:28 |
OEBG-103A电子枪
电子枪主要技术指标: XC8z|A-@ yP=isi#dDY ch2e#Jf8 K5c7>I%k 1、 电子束偏转角:270°; "1j\ZCXK_Z Y.hH
fSp {G*:N[pJp PXQ9P<m 2、 高压输出:-4KV ~ -10KV;输出稳定性小于±2%;纹波小于±5%; TB3T:A>2 %A[p!U 0?*I_[Y dvdBRrf 3、 发射电流:0 ~ 1000mA(10KV时),稳定性±2%; GLcZ=6)"' `8b6
/ QCY{D@7T eVK<%r= 4、 最大输出功率:10KW; 7!840 :a?+ `"-!UkD+ 5、 灯丝电压:8V qYrGe ;[\2/$- 6、 电子溯流变化率:±3% .j4ziRa- _"t.1+-K 7、 可以使用的真空度:7x10-2~5x10-5Pa a0j.\g %D6Wlf+^n 8、 XY位置移动: ±20mm 0FR%<u e~~k}2~ 9、 XY扫描宽度: ±20mm Z*Hxrw\!0 *9:6t6x 10、X扫描频率:50Hz Y扫描频率:500Hz q^+NhAMz u~T$F/]k> 此电子枪工作稳定,运行可靠,采用日本技术和进口元件,枪头为开放式,电子束偏转靠的是永磁铁,枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚,使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制,以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标,数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字,且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定,使蒸发面平整,不会出现“扎坑”现象。 *B~:L"N bOGDz|H`` 扫描光斑大小可以任意调整,形状为方型,可根据用户镀膜工艺要求,蒸镀高料和低料调整电子枪扫描光斑大小存储在工控机内,在镀膜时自动提取扫描方式,实现自动镀膜。有存储扫描方式15种, XGl13@=O
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