| hnzhang |
2007-03-31 10:28 |
OEBG-103A电子枪
电子枪主要技术指标: p3'mJ3MA Vf\?^h(tP EUYa =- D[FfJcV'$ 1、 电子束偏转角:270°; EIVQu~,H ADJ5ZD<Q NUO,"Bqq =QO1FO 2、 高压输出:-4KV ~ -10KV;输出稳定性小于±2%;纹波小于±5%; *X=f IQIb\OUo!v 4jZi62 ct|'I]nB.h 3、 发射电流:0 ~ 1000mA(10KV时),稳定性±2%; LQ&d|giA 4<K ,w{I =G3J.S*Riy @a7(*<". 4、 最大输出功率:10KW; yvH#1F`{q bQnwi?2 5、 灯丝电压:8V (B~V:Yt \?`d=n= 6、 电子溯流变化率:±3% ,:Ix s^- vN6]6nUOiT 7、 可以使用的真空度:7x10-2~5x10-5Pa =-B3vd:LF EVE xL 8、 XY位置移动: ±20mm =Q8^@i4[&D 9@&Z`b_ 9、 XY扫描宽度: ±20mm >+c`GpZH Vp0GmZ 10、X扫描频率:50Hz Y扫描频率:500Hz ,LW%'tQ~" KLv 此电子枪工作稳定,运行可靠,采用日本技术和进口元件,枪头为开放式,电子束偏转靠的是永磁铁,枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚,使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制,以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标,数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字,且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定,使蒸发面平整,不会出现“扎坑”现象。 8T1DcA* *R~(:z>> 扫描光斑大小可以任意调整,形状为方型,可根据用户镀膜工艺要求,蒸镀高料和低料调整电子枪扫描光斑大小存储在工控机内,在镀膜时自动提取扫描方式,实现自动镀膜。有存储扫描方式15种, /;(%Xd&:
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