| hnzhang |
2007-03-31 10:28 |
OEBG-103A电子枪
电子枪主要技术指标： '-p<E"#4Z
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1、 电子束偏转角：270°； $ &M"Ji
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2、 高压输出：－4KV ~ －10KV；输出稳定性小于±2%；纹波小于±5%； 'KMyaEh.u
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3、 发射电流：0 ~ 1000mA（10KV时），稳定性±2%； Sp: `Z1kH
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4、 最大输出功率：10KW； i=#<0! m
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5、 灯丝电压：8V V )V\M6
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6、 电子溯流变化率：±3% P(8zJk6h),
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7、 可以使用的真空度：7x10-2~5x10-5Pa @x3x/g U
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8、 XY位置移动： ±20mm n KC$
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9、 XY扫描宽度： ±20mm Z.Z+cFi
N'w ;1,c+
10、X扫描频率：50Hz Y扫描频率：500Hz Q9=X|
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此电子枪工作稳定，运行可靠，采用日本技术和进口元件，枪头为开放式，电子束偏转靠的是永磁铁，枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚，使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制，以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标，数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字，且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定，使蒸发面平整，不会出现“扎坑”现象。 D'2&'7-sm\
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扫描光斑大小可以任意调整，形状为方型，可根据用户镀膜工艺要求，蒸镀高料和低料调整电子枪扫描光斑大小存储在工控机内，在镀膜时自动提取扫描方式，实现自动镀膜。有存储扫描方式15种， l'n" iQ!G
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