紫外光栅偏振片的参数优化
该应用案例说明了两个不同紫外光谱偏振片的参数优化,紫外偏振片具有亚波长线栅结构。两个系统具有不同的功能,如193nm工作波长和以及在期望光谱范围内效率的一致性。 FEPXuCb &bqT/H18 1. 线栅偏振片的原理 xt'tL:d f\;65k_jq
带金属脊的线栅偏振片(如铝,铬等)。 $wYtyN[ 2. 建模任务 /MB{Pmk$R ]%uZ\Q;9p z|?R/Gf8 全部透射光线的严格仿真和结构参数的优化。 qjJBcu_C'S 偏振元件的重要特性: Sp}D;7 偏振对比度 gx03xPeu 透射率 Iu~\L0R427 效率一致性 ;TcvA 线格结构的应用(金属) j7FN\
cz 2RF^s.W 3. 建模任务: T,fI BD:
x-z方向(截面) x-y方向(俯视图) _8}QlT 4. 建模任务:仿真参数 <]C$xp<2 k{tMzx]F__ 偏振片#1: )CI1; 偏振对比度不小于50@193nm波长 o ]Jv;Iy@? 高透过率(最大化) 4RKW 光栅周期:100nm(根据加工工艺) *F>v]8 光栅材料:钨(适用于紫外波段) 2>}xhQJ 偏振片#2: _ 46X%k 偏振对比度不小于50@300—400nm波段范围内 <)g8yA 在波长范围内具有5%一致性的高透过率 y5= `ap 光栅周期:100nm D2YZ9e
光栅材料:钨 3:"]Rn([P 3$vRW.c\q 5. 偏振片特性 ,1q_pep~?% e@@?AB$n( 偏振对比度:(要求至少50:1) x?x`oirh o01kYBD
D7]#Xk2 }],Z;: 一致性误差,如Ex的透射(在要求波长范围内不超过5%) RjJU4q 8$|8`;I(
rOW-0B+N WWwUwUi 6. 二维光栅结构的建模 _u"nvgVz9 %CZ-r"A lX:|iB 该案例使用一般二维光栅工具,该工具嵌入在VirtualLab光栅工具箱。 >}~#>Ru 通过使用该功能可处理不同类型的光栅形状。 0Q"u#V Sp 通过一个矩形光栅结构来模拟紫外线栅偏振片。 }14{2=!Q U(&oj e
M-NV_W&M 71#I5*8 7. 偏振敏感光栅的分析 -71dN0hWh xy+QbDT 可通过“偏振分析器”对偏振敏感光栅进行分析,该工具是VirtualLab光栅工具箱的一部分。 , xx6$uZ 偏振片最重要的几个特性可直接进行选择(如偏振度、透射率和反射率) 0Q1FL MLV 此外,分析器提供了许多选项。如波长变化和入射角。 GZ!|}$8 8. 利用参数优化器进行优化 Zn:R
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)T907I| zWw2V}U! 利用VirtualLab参数优化器可根据给定的评价函数轻松地对结构参数进行优化。 & |