| infotek | 2023-04-20 08:30 |
抗反射蛾眼结构的严格分析与优化1. 建模任务  对全部反射光进行严格仿真并对结构参数进行优化。 假设确定的蛾眼结构作为截锥三维光栅。 2. 建模任务：3维平顶锥   VirtualLab提供了不同预定义的光学界面用来简化复杂3维光栅的设计。 例如截锥金字塔和锥体可从现有目录中选择。 可将周期性再现功能应用于任意形状光学界面，用来建立微透镜阵列或混合透镜。 4. 结构参数 优化过程中保持不变的参数： 1. 高度因子：1(该参数可用于翻转结构) 2. 底部直径：125nm 3. 周期尺寸：125nm 优化过程中变化的参数： 1. 高度(顶圆直径=30nm) 2. 顶部直径(高度为1中优化后的高 5. 3维截锥结构的建模  VirtualLab提供了不同选项来设计3维截锥结构。 如高度、顶部及底部直径等重要的参数可非常方便地进行调整。 通过“周期化”标签，所有指定的面都可被周期化定义。 6. 顶部直径的优化  利用参数运行文档，找到最佳的顶部直径(最低的反射率) 当截锥顶部直径小于100nm时，随直径增大，反射率缓慢增大；当顶部直径大于100nm时，随直径增大，反射率迅速增大。 直径过小可能给生产带来问题。因此，在后续的演示中将直径选择30nm 7. 锥体高度的优化  利用参数运行功能确定最佳的锥体高度(考虑之前优化后的顶部直径30nm)。 在锥体高度为390nm处获得最小反射率(对于垂直入射)。 8. 角度敏感度分析  在入射角小于60°时，抗反射结构有效降低反射率(近似于0) 由于采用偏振光(TM)，以55°入射在无抗反射结构的平面上时，反射率为0(所谓的布儒斯特角)。 9. 波长关系分析  抗反射结构在宽光谱范围内(可见光范围)降低了反射率，此处显示的是垂直入射。 利用在532nm的优化策略使反射率最低值出现在532nm处。 10. 总结 VirtualLab中的光栅工具箱可对亚波长级别的3维光栅结构进行严格的分析。 这种分析采用全矢量傅里叶模态法，并在VirtualLab中使用。 利用参数运行，可进行光栅参数的优化以及光学函数的执行。 利用参数运行功能，也可对3维周期结构与入射角度和波长的关系进行分析。 |
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