光栅结构中场分布的严格分析

t| 'N+-T3   该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 Wh%ucX&   UGuxV+Nwf   1. 建模任务1：金属光栅 k31I ysh   ^1L>l9F   E5N{j4\F    在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 7 <Q5;J&;    对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 7g(F#T?;'   =<NljOR4`   2. 建模任务2：介质光栅 tc!wLnhG   FN%m0"/Z{t    在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 e`v`XSA[p    对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 ?HV`| Cw   Hx\H $Y   3. 建模任务 |7}CQU   N1}={yF.fQ   K%X^n>O7C    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 cPU/tkc    通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 CBD6bl|A    场分布计算能够检测结构内部的热点 S-'fS2   y(=#WlK}   4. TE和TM照明线性光栅 _dJ{j    nYa*b=[.   5. 铬狭缝的分析 T7d9ChU\#.   &_gTD   j~e;DO    通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 \;mH(-    左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 Iz{R}#8CZ    对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 (<Th=Fns?    红线说明了结构的形状（手动添加） ;XDz)`c   Zt&6Ua[Y}   6. 三角光栅的分析 L     左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 MiRdX#+Y   =l0Jb#d   2d {y M(=(    如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 Iy.rqc/86    由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 aKd+CO:    红线说明了结构的形状（手动添加）。 &09U@uc$    左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 z8J."27ND   ]+m/;&0    与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状（手动添加）。 WzI8_uM   ocyb5j   7. 总结 A,)VM9M_l   T1r3=Y4    VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 4L73]3&    内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 vYU;_R    对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 a+9*@z2    光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。

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