光栅结构中场分布的严格分析

:/.SrkN(A7   该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 %VSjMZ   03!!# 5iJ   1. 建模任务1：金属光栅 {SQ#n@Q&$   O1 KT   $YPU(y    在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 kwM1f=!-    对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 ZQVr]/W^r   k>'c4ay290   2. 建模任务2：介质光栅 IHrG!owf   ^wtr~D|    在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 d,"6s=4(q    对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 Q!T+Jc9N   WlF}R\N!   3. 建模任务 O 8\wH   l)d(N7HME   K,$Ro@!    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 z5UY0>+VdS    通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 1Fs:&*=    场分布计算能够检测结构内部的热点 M?nYplC   x,+2k6Wn!   4. TE和TM照明线性光栅 f\zu7,GU   8etNS~^   5. 铬狭缝的分析 .O1Kwu    Ln4zy*v{   jkrv2 `"    通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 .Z2zv*    左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 4Gsbcl{    对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 7/UdE:~]*=    红线说明了结构的形状（手动添加） 0c,)T1NG>   ,iy;L_N   6. 三角光栅的分析 yf/c    左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 op|:XLR5   #6'+e35^8   w%NT 0J    如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 p?#%G`dm    由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 g3h:oQCS    红线说明了结构的形状（手动添加）。 N+V_[qr#    左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 sZ7RiH+I   4Up3x+bg    与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状（手动添加）。 )2YZ [~3   [? 1m6u;   7. 总结 Nm;V9*5   8A,="YIt    VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 AgU 7U/yk    内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 <8?jn*$;\    对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 6tDCaB    光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。

q_gsYb

'C")X