光栅结构中场分布的严格分析

v=? /c-J*   该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 j.SE'a_   \&^U9=uq   1. 建模任务1：金属光栅 #c`/ f6z   7G 3e   !'kr:r}gg    在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 -}"nb-RR\    对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 6:`4bo   q$jwH] .   2. 建模任务2：介质光栅 )S|&3 \   SnGXEQ    在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 2mfG:^^c    对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 GT-ONwVDq   v=x)]<E"_   3. 建模任务 F&D,y-CQ   >xIb|Yp)&   [lE^0_+    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 /Ca M(^W     通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 G -Zn-I    场分布计算能够检测结构内部的热点 agnEYdM_   Nq[-.}Z6   4. TE和TM照明线性光栅 8,]wOxwqi   4}*V=>z   5. 铬狭缝的分析 P B{7u   GCp90   >9X+\eg-    通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 ZKVM9ofXRi    左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 a#+;BH1    对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 .8]=yPm    红线说明了结构的形状（手动添加） j`_tb   MO *7:hI   6. 三角光栅的分析 /D;cm    左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 Q VWVZ >l   FES0lw{G#   {&pBy    如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 L:Me    由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 WWv.kglz    红线说明了结构的形状（手动添加）。 s~g]`/h$r    左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 9&1$\ZH   BqDOo(%1)    与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状（手动添加）。 A1x    68nPz".X   7. 总结 XknbcA|   KqWO9d?w.    VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 L+0O=zJF    内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 bl4I4RB    对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 HVNX"`]"    光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。

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