利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

m_cO<LB   关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 "e~k -\^Y   %oAL   1. 描述 :ar?0   ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Uh>.v |P6   ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ! mm5I#s   ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 D+f'*|   ?Q@L-H`   2. 系统 J#0GlK@"   文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd u FMIY(vB   *i`v~>   3. 透镜系统组件编辑 RXBb:f   vKU`C?,L   ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 O~.U:45t   ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 U);OR   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 CE{z-_{^   ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ?8Et[tFg   L59bu/LfL   R4V \B   4. 光线追迹系统分析器-选项 [_h%F,_ A   lj)f4zu   ^Z2kq2}a   ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 x"vwWJN Q   ■ 可以选择选取光线的方法： 'V&2X vl%   — 在x-y-网格 (zY *0lN   — 六边形 8 4z6zFv?Q   — 自由选取 ]pWP?Ws   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 Xtft*Z   "9qp"%   5. 系统的3维视图 \EZ+#3u   Raefj(^V   wy''tqg6   6. 其他系统参数 9UP:J0 `   ■ 系统由单色平面波照明 /KAlK5<   ■ 照明波长266.08nm }&1Iyb   ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： yLW/ -%I#u   — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @44P4?;   — 一个虚拟屏位于焦平面 p'&*r2_ram   — 光束尺寸探测器置于焦平面 gv9=quG   ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 @;m$ua*|:   \OcMiuw   Z v4<b   O-j$vzHpdY   l)Zs-V!M^\   7. 光线追迹系统分析器的结果 J='W+=N   光线经过整个光学系统的三维视图 "V 3}t4   光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） JvkL37^n:   0O~p7D   )Pli})   &3Tx@XhO   8%[HYgd5)   Xr S\+y3   Ziz=]D_   8. 透镜系统后虚拟屏的结果 6Nt $ZYS   Wr>(#*r7q   /BpxKh2p   ■ VirtualLab可用于计算点列图。 m"4B!S&Fc(   ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }E;F)=E   ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ; xK_qBIP   ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 U<47WfcW   !8*McOI   9. 焦平面上的结果 .$Bwb/a   B,_`btJ h   .+E#q&=   ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 LmQ/#Gx   ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 xQu eE{   ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 6z?gg3GV   ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。  i-W   ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 m&IsDAn   TJaeQqob   10. 总结 5j{Np,K   ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 6GYtY>   ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 S &JJIFftO   ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @Z; 1 g   ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。

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