利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

1Ai^cf:S   关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 >=w)x,0yX   }Ou}+^Bc   1. 描述 dqcL]e   ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 |JsZJ9W+J   ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ;<4a*;IO   ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &uVnZ@o42   M8 69MDo   2. 系统 AbOf6%Env   文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd M D#jj3y   F((4U"    3. 透镜系统组件编辑 #Bw0,\   y8xE 6i   ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 tpx2IE   ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 \z)%$#I   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 K:WDl;8(d   ■ 包括序列光学表面和光学介质。 sa8Vvzvo.   pTuS*MYz   :rP=t ,   4. 光线追迹系统分析器-选项 #lO Mm9   iN.n8MN=I   \ B%+fw   ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "9807OME   ■ 可以选择选取光线的方法： Pc]HP   — 在x-y-网格 !dT4   — 六边形 lNv|M)I   — 自由选取 9jGu}Vo   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 o#N+Y?O   dQG=G%W   5. 系统的3维视图 qxJ\ye+'*   Ws12b$   >.D4co>   6. 其他系统参数  _',' 9|   ■ 系统由单色平面波照明 *OQ2ucC8j   ■ 照明波长266.08nm #s9aI_   ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 2+WaA,    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 CU~PT.   — 一个虚拟屏位于焦平面 _WbxH   — 光束尺寸探测器置于焦平面 c4zR*   ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Y|/ 8up   UL9n-M=   $NO&YLS@   HOJV,9v N   . 'yCw#f   7. 光线追迹系统分析器的结果 P+HXn8@   光线经过整个光学系统的三维视图 *n"{J(Jt`   光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） #,v{Ihn   B|X!>Q<g   |+"(L#wk   a09<!0Rp   W(/h Vt   q75 s#[<ap   (uidNq   8. 透镜系统后虚拟屏的结果 HtYwEjI   C9 j|OSgk   P1f[%1   ■ VirtualLab可用于计算点列图。 ?Ss!e$jf   ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \lNN Msd&   ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Z5]>pJFq,   ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 !Xw5<J3L-   0Y5_PTWb+Y   9. 焦平面上的结果 @=f\<"$vt   j*m%*_kO   ;xn0;V'=   ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 p{dj~ &v   ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 GsM<2@?   ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm mB)bcuPv   ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 a"u0Q5J   ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 G .4X'   5Jnlz@P9   10. 总结 6D_D';o   ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @`Su0W+.   ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 k$}fWR   ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 w@fi{H(R   ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。

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