利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

V#EL n[k   关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 j.&dH tp   aF 2vgE\   1. 描述 :BPgDLL,   ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ogFo/TKM   ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 e}uK"dl(   ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ps<Ef   FOG{dio   2. 系统 .aNh>`OT'   文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd U"r*kO%   d'';0[W)   3. 透镜系统组件编辑 Y+"1'W   6\7c:   ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 FsE D9+/m   ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 !{-W%=Kf   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 )E.AY   ■ 包括序列光学表面和光学介质。 nq!=9r   eke[{%L   HgY@M   4. 光线追迹系统分析器-选项 sx#O3*'>1   1X)#iY   N?qETp-:   ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7z;2J;u`n   ■ 可以选择选取光线的方法： NZ1B#PG,c   — 在x-y-网格 ZN}`A 7   — 六边形 b\"F6TF:   — 自由选取 (u 7Lh>6%   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 6u"wgX]H   ^Gd1T   5. 系统的3维视图 LaJvPO Q   cP?GRMX@}   GN|" RuQ   6. 其他系统参数 ]H/,Q6Q   ■ 系统由单色平面波照明 AOg'4   ■ 照明波长266.08nm fS"u"]j*e   ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： VZqCFE3   — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Ic&~iqQ   — 一个虚拟屏位于焦平面 I7U/={[J   — 光束尺寸探测器置于焦平面 w%\ nXJ   ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :gsRJy 1   lj]M 1zEz&   +t,b/K(?]   `/WxEu3   yP]>eL TSd   7. 光线追迹系统分析器的结果 j/TnKO   光线经过整个光学系统的三维视图 Cj>HMB}   光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） b]u=Iza   NV ./p`k   sK%b16#   Vs" b   HB )+.e   \IQG%L{   h!wq&Vi4   8. 透镜系统后虚拟屏的结果 cpk\;1&t   ]2-Qj)mZ]   P.Tnq   ■ VirtualLab可用于计算点列图。 &W>\Vl1   ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ,It0brF   ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 2(d   ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 )L&y@dy)   L!JC)p.   9. 焦平面上的结果 w~6/p   ]ttF''lH   \8#[AD*@s2   ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 gbMA-r:IC   ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 {U- z(0   ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm w#1BHx   ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 N%Bl+7,q   ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 S<(i/5Z+   ddL3wQ   10. 总结 D<v< :   ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3sV$#l P   ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 W)1nc"WqY   ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 qD%88c)g   ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。

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