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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 |e:rYLxm:
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1. 描述 y[7C% W j
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 iyc$)"w
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 V; k#})_-
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 T RDxT
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2. 系统 &5d\~{;
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd '=p?
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3. 透镜系统组件编辑 dkpQ ZXi9%
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
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■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。
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■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 r,0@~;zA
■ 包括序列光学表面和光学介质。 cN 5"i0xk
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4. 光线追迹系统分析器-选项 FD))'! >
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *t]v}ZV*
■ 可以选择选取光线的方法： W6i3Psjsw
— 在x-y-网格 ~TM>"eB b
— 六边形 $cu]_gu
— 自由选取 :Pf>Z? /d
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 hVkO%]?
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5. 系统的3维视图 L0xsazX:x
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6. 其他系统参数 5# 2jq<D
■ 系统由单色平面波照明 _Z$?^gn
■ 照明波长266.08nm % 0zS
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ~U3S eo }
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 A$:|Qd7F1
— 一个虚拟屏位于焦平面 lCHo+>\Z
— 光束尺寸探测器置于焦平面 >8 (jW
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 )'t&q/Wn
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7. 光线追迹系统分析器的结果 _ ~[M+IO
光线经过整个光学系统的三维视图 D7gHE
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） nd.hHQ
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 K[]K53N k
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■ VirtualLab可用于计算点列图。
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 1mix+.d
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 zofx+g\(W
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 &(7$&Q
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9. 焦平面上的结果 D J_DonO]
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 yV2e5/i
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 1$ (
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm t}~UYG( h~
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 !-,Ww[G>
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 }*Zo6{B-
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10. 总结 vpV$$=Qwp
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ?;RD u[eD
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 EBwK 7c
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 TzY *;
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 |
