利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

@L84>3O   关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 NRnRMY-   )oo~m\`   1. 描述 |6J ?8y   ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [~W`E1,   ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 zWw2 V}U!   ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 KDi|(   tC8(XMVx   2. 系统 QVZD/shq   文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd CZ2`H[8   f#%JSV"7   3. 透镜系统组件编辑 puSLqouTM   M|T4~Q U&   ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 50jOA#l[   ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 -O:_!\uA   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 qv 3^5d   ■ 包括序列光学表面和光学介质。  OwzJO   .=9s1~]   Auy".br'   4. 光线追迹系统分析器-选项 m!XI{F@x   PDx)S7+w[   Kj=gm .   ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [{[N(g&d   ■ 可以选择选取光线的方法： [}nK"4T"Ri   — 在x-y-网格 nR \'[~+   — 六边形 gLD`wfZR   — 自由选取 CDMfa& ;T   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 a<XCNTaVT   !Gs} tiMH   5. 系统的3维视图 #~:P}<h   ]*"s\ix   4 YG/`P   6. 其他系统参数 !&kL9A).   ■ 系统由单色平面波照明 /z." l!u6   ■ 照明波长266.08nm `&7RMa4=   ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： n/e BE q   — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2f,B$-#   — 一个虚拟屏位于焦平面 `hh9"Ws%   — 光束尺寸探测器置于焦平面 O0l^*nZ46t   ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 E+_&HG}a   i`U:gw   (ClhbfzD   kka"C]!   %Tcf6cK"   7. 光线追迹系统分析器的结果 8 5U.wpG   光线经过整个光学系统的三维视图 N$aZ== $5   光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） g#^|oYuH6   % +Pl+`?E   wvc>0?t'   CDg AGy   t\y-T$\\   E:A!wS`"   h* .w"JO   8. 透镜系统后虚拟屏的结果 3P=w =~e   OD9 yxN>P   ~uaP$*B[   ■ VirtualLab可用于计算点列图。 L/r{xS   ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 CMVS W6   ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 O]=C#E{   ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 qc8Ta"   }C6@c1myq-   9. 焦平面上的结果 rY70^<z   H^(L90   -CBD|fo[h   ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 xPQL?.   ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 1bRL"{m^)-   ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm l ] 5%   ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 pCt}66k}   ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 gue(C(~.k_   31XU7 A   10. 总结 nR'#s%Kj   ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \C/z%Hf7-   ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 :C%47qv   ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 R;THA!   ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。

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