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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 AX8; x1t^.
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1. 描述 #'z\[^vp
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Qw x}e\=
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 %@(6,^3%i
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 {rOz[E9vm
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2. 系统 C78d 29
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd LJZEM;;}
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3. 透镜系统组件编辑 =_cWC l^5
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 `A80""y:M
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 ;BoeE3*
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■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 w`1qx ;/!
■ 包括序列光学表面和光学介质。 N|q:wyS|
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4. 光线追迹系统分析器-选项 vE?qF9I{$0
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 sr#, S(p
■ 可以选择选取光线的方法： J#@ " Yb
— 在x-y-网格 [ sz#*IJ
— 六边形 )'%L#
— 自由选取 _a*Wk
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 6@o_M tI
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5. 系统的3维视图 +cy(} Vp
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6. 其他系统参数 TdD-# |5
■ 系统由单色平面波照明 1t!Mg{&e[x
■ 照明波长266.08nm P9`i 6H'~
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： \"Sqr(~_
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 vR1%&(f{
— 一个虚拟屏位于焦平面 B5B'H3@
— 光束尺寸探测器置于焦平面 f$V']dOj1q
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 dJNYuTZ'
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7. 光线追迹系统分析器的结果 FG#E?G
光线经过整个光学系统的三维视图 ; p\rgam
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） #3u8BLy$Q
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Iob o5B
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 5W<BEcV\
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 e4CG=K3s
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 o'Tqqrr
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 nsgNIE{>gO
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9. 焦平面上的结果 y
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 m@HU;J\I
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 ,rX!V=Z5
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 5QmF0z)wR
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 (Z `Y
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 _5 y) m5I
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10. 总结 <j,7Z>Rk\x
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 %8{ ' XJ!
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 \D}/tz5~B
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 de ](l687I
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 |
