利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

}s>.Fh   关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ,fR/C   K>_~zWnc   1. 描述 AJWV#J%nB   ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 >$ok3-tuU   ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 W}0cM9 g   ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %X ^K5Io   D$&LCW#x   2. 系统 ]?"1FSu-8r   文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd =|Vm69   "u=U@1 ^   3. 透镜系统组件编辑 ?VCM@{9   <^v-y)%N:A   ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 9~Ve}NB#z&   ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 |Js?@   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 "gQA|NHwV   ■ 包括序列光学表面和光学介质。 5U[bn=n   wrJ:jTh   :.J]s<J(F   4. 光线追迹系统分析器-选项 ?K9zTas@   sQ05 wAv   \'[C_+;X   ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G~$[(Fhk   ■ 可以选择选取光线的方法： L32[IL|   — 在x-y-网格 J~=tR1k   — 六边形 ;:l>Kac   — 自由选取 S1&Df%Ra   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 WJJwhr   p*l]I*x'<   5. 系统的3维视图 WN`|5"?$   -NuRf#   PD$@.pib   6. 其他系统参数 z( $h7TZ$   ■ 系统由单色平面波照明 DI,8y"!5   ■ 照明波长266.08nm :0o,pndU   ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： *\4u:1Cu   — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 gT8%?U:   — 一个虚拟屏位于焦平面 -!JnyD   — 光束尺寸探测器置于焦平面 -ZKo/N>6}   ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 E6njmdu   XI8rU)q   ouO<un   |o0?u:   P S [ifC   7. 光线追迹系统分析器的结果 U|!L{+F   光线经过整个光学系统的三维视图 ,'>,N/JA   光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） l$mfsm|{:   |WMP_sGn   klON6<w   @5Zg![G   rJ7yq|^Z   a-(OAzQ_   IN# Z(FMVC   8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~4{|   uU;]/   8/oO}SLF   ■ VirtualLab可用于计算点列图。 yL.Z{w d   ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 z&@O\>Q   ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 hErO.ad1o   ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 n(.U>_ P   8e{S(FZ7Ed   9. 焦平面上的结果 WY3D.z-</   fAHf} j   6OOdVS3\J   ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 c u:1|gt   ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 |y}iOI   ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 8n`O{8:fi   ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 O>)Fl42IeD   ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 ehe;<A   +`D,7"{Eu   10. 总结 ` 0}z ;&:   ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 uhJnDo   ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 YKtF)N;m]   ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 K[/sVaPZ   ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。

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