利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

[}lv!KmzW   关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ,y2ur2   8dUwJ"<5   1. 描述 %dL|i2+*8   ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ft`#]=IS   ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 1&QI1fvx   ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^gkyi/z   .6$ST Ksr   2. 系统 ~AK!_EOs`   文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd GWA_,/jS%   IQScsqM   3. 透镜系统组件编辑 pq -zy6^   :!tQqy2   ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 RPaB4>   ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 N~M:+\   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 fg l"ox   ■ 包括序列光学表面和光学介质。 Ks X@e)8u   .,m$ Cm   ]pb;q(?^   4. 光线追迹系统分析器-选项 Fw"~f5O   ])~*)I~Y   S~/iHXm   ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 HE+VanY![   ■ 可以选择选取光线的方法： l*'jqR')h^   — 在x-y-网格 qI;k2sQR   — 六边形 iyH<!>a   — 自由选取 _vU,avw   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ,* S?L qv^   &R*d/~SU   5. 系统的3维视图 (eO0Ic[c   4ItXZo   -+Q,xxu   6. 其他系统参数 W11_MTIU   ■ 系统由单色平面波照明 VWfrcSZg6M   ■ 照明波长266.08nm T| 4c\   ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： yg\A&0I   — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 e>z7?"N   — 一个虚拟屏位于焦平面 p2&KGtX'   — 光束尺寸探测器置于焦平面 gdCU1D \   ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7qW:^2y   uVscF 4   M"p$9t   V!},a@>p   |UR.7rOV   7. 光线追迹系统分析器的结果 7)_0jp~2   光线经过整个光学系统的三维视图 Nb]qY>K   光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） 'Fc&"(!||   Ujj2A^   qU2>V   iNQk{n   7*`ldao~   &I!2gf   4,<~t>M1   8. 透镜系统后虚拟屏的结果 wEDU*}~   P'Y8 t   8~2A"<{ub   ■ VirtualLab可用于计算点列图。 Brpin   ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 9wWjl}%   ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ]L&_R^   ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 5@Py`   {5%<@<?)   9. 焦平面上的结果 8d$~wh   %eT/ :I   UNY>Q7   ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ^`dp!1.+   ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 8u+ (+25   ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Y_)04dmr@[   ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 {L4^IKI   ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 d[$1:V    K8ThZY%   10. 总结 cL1cBWd   ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 k8*=1kl"   ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 <#R7sco'   ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Q kQd;y   ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。

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