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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 keJec`q=X
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1. 描述 w:L u
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 h.?[1hT4R
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Q|ik\
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 5ef&Ih.3
pM46I"
2. 系统 'nT#3/r L
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd rqF PUp
u^]yz&9V
3. 透镜系统组件编辑 g r fF\_[:
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 `PW=_f={
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 KPR{5
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 dt \O7Rjw8
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ,gOQI S 56
D46| )-
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4. 光线追迹系统分析器-选项 .|aSGv E
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 mCE})S
■ 可以选择选取光线的方法： ^LNc
— 在x-y-网格 WuNu}Ibl}m
— 六边形 8@A[ `5
— 自由选取 YSwD#jO0
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 DA
wzXsx
f9 Xw]G9
5. 系统的3维视图 rL
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6. 其他系统参数 l3afuD :
■ 系统由单色平面波照明 ua[\npz5
■ 照明波长266.08nm /,>.${,;u
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： |X.z|wKT6
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @s@
— 一个虚拟屏位于焦平面 Orb(xLChJ
— 光束尺寸探测器置于焦平面 @i68%6 H`?
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 &q< 8tTW5
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7. 光线追迹系统分析器的结果 Y{yr-E #~M
光线经过整个光学系统的三维视图 Y o(B8}?0!
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） .UYpPuAkn
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OZ" <V^"`
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 L C7L O
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 {_~G+rqY
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 (lnQ ! 4LK
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 aOHCr>po,
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 J50 ~B3bj`
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9. 焦平面上的结果 +B m+Pj>
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 q KM]wu0Et
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 -^b^ 6= #
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm [86'/:L\2
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 pt R
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 3+-(;>>\
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10. 总结 FJLJ;]`7+
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {K:Utdu($q
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 'oz = { ;
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;*2e;m~)?
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 |
