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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 z, m3U (
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1. 描述 + ,)k@OI
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 oz{X"jfu
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 W[)HFh(#
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 PP'5ANK
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2. 系统 XZ@+aG_%q
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd .@nfqv7{
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3. 透镜系统组件编辑 [Ca''JqrA
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 k&t.(r\
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 L7rr/D
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 e#mf{ 1&
■ 包括序列光学表面和光学介质。 jmq^98jB
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4. 光线追迹系统分析器-选项 (NR( )2
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 u?SwGXi~8
■ 可以选择选取光线的方法： dT 7f yn
— 在x-y-网格 4>L* 7i
— 六边形 A ?V- Sz#
— 自由选取 [W$Mn.5<s
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ERK{smL
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5. 系统的3维视图 Ne s|4Z<
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6. 其他系统参数 O zC%6;6h
■ 系统由单色平面波照明 K-Pcew^?
■ 照明波长266.08nm Er@xrhH
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 8o,0='U
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p(GI02|n
— 一个虚拟屏位于焦平面 hUvA;E(qD
— 光束尺寸探测器置于焦平面 GGHeC/ 4
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7vPG b :y
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7. 光线追迹系统分析器的结果 Z)(#D($-
光线经过整个光学系统的三维视图 _M7|:*
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） pg,JY n
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 JC Z &TK
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 4C:dkaDq]
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ^ -~=U^2tC
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 9"B ;o
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 @sd{V
0$y HO2 f
9. 焦平面上的结果 _Y6Ezh.
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 p!Tac%D+k
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 :m'(8s8
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 67Tu8I /r
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 e cvZwL
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 RJT55Rv{
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10. 总结 4 #lLC-k
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [5b[ztN %
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 Fgh an.F
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 RdpOj >fT
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 |
