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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 6zf3A:]&{
6~r O(
1. 描述 %!vgAH4
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 eM1=r:jgE
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 I/&uiC{l@
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4L`<xX;:{
/KCJ)0UU
2. 系统 xyvG+K&
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd A$a>=U|Z8
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3. 透镜系统组件编辑 9td[^EB#(h
nB+UxU@
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 -< jd/ 5
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 @8 ;0p
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ?vd_8C2B
■ 包括序列光学表面和光学介质。 XoZw8cY
W bP
wO
.vm.g= -q
4. 光线追迹系统分析器-选项 &|% F=/VU
~ ZN]2 }
AvxP0@.`
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 RhPEda2
■ 可以选择选取光线的方法： <8SRt-Cr
— 在x-y-网格 EK
JPe eRY
— 六边形 Onqd2'%<
— 自由选取 8!!iwmH{
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ,];4+&|8kW
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5. 系统的3维视图 ,;)1|-^nu
 D{ J+}*y
6. 其他系统参数 "92Z"I~1
■ 系统由单色平面波照明 j_I
■ 照明波长266.08nm TX%W-J _
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ,O;+fhUJ(
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 m K);NvJ!
— 一个虚拟屏位于焦平面 +=qazE<:0
— 光束尺寸探测器置于焦平面 ;Bs^+R7
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 YdT-E
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7. 光线追迹系统分析器的结果 #G/
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光线经过整个光学系统的三维视图 R'.YE;leBG
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） _]Ei,Ua
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 &7gE=E(M
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 N-+`[8@(P<
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 k/|j e~$
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 CL U[')H0
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 !{L6
4qI
*"% MT:
9. 焦平面上的结果 6J\Yi)v<
z+J4XpX0,
Hsoe?kUHF
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4*<27
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 b,7@)sZ*
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm SAa
hkX
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 wkp|V{k
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 =}12S:Qhj
6
s+ Z
10. 总结 +QqEUf<U*,
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 cE*Gd^
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 m;v/(d>
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 4I [g{S
nF
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 |
