利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

7b,AQ9   关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 W_D%|Ub2X   ^Kum%<[i   1. 描述 YiNo#M91   ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 -faw:   ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 VY{,x; O`   ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ULrbQ}"cva   +1f{_v   2. 系统 4^BLSK~(   文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd KM@`YV _"g   gQCC>8   3. 透镜系统组件编辑 v/(__xN`B   vT}pbOTh   ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 T-!|l7V~f   ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 G`WzJS*}v   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 #PPsRKj3c   ■ 包括序列光学表面和光学介质。 4Xr"d@2(   C64eD X^   o"f%\N0_8   4. 光线追迹系统分析器-选项 LA >dkPB   8ZzU^x   -KA4Inn]5   ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 rcW#6VZ=   ■ 可以选择选取光线的方法： =mAGD*NKu   — 在x-y-网格 GZ.?MnG   — 六边形 U(8I +xZ   — 自由选取 a1_o.A   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ?({PcF/   +*Q9.LjV   5. 系统的3维视图 C`z;,!58%   W>VAbm   <vO8_2,V-   6. 其他系统参数 P'gT6*an,"   ■ 系统由单色平面波照明 UU-v;_oP   ■ 照明波长266.08nm X%*brl$D   ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： dUUPhk0   — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 kKNk2!z`M   — 一个虚拟屏位于焦平面 sCL/pb]   — 光束尺寸探测器置于焦平面 :v''"+\   ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ]Oig..LJ   _TV2)   vl>_e   n,1NJKX   U_.n=d~B   7. 光线追迹系统分析器的结果 5J?bE?X   光线经过整个光学系统的三维视图 8rnb   光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） 60(}_%   OME!W w   zvWO4\   s=3EBh   B6^w{eXN   R4[. n@   F<H`8*q9   8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ZY~zpC_   LS*{]@8q   Cj`pw2.   ■ VirtualLab可用于计算点列图。 I67k M{V   ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 U1OLI]P   ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。  m,xy4   ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Q'>_59   :XNK-A W   9. 焦平面上的结果 6C@0[Q\ER    -fx(H+   ~`tJvUo0   ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 xP<H,og&x=   ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 &h_d|8   ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm #S/pYP`7   ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 \H"/2o%l")   ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 L|dab{9   )dUd`g   10. 总结 *m `KU+o-u   ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 z|oA{VxW>   ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 (2hk <   ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 vV\/pu8   ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。

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