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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 |!ELV 7?(
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1. 描述 F?0Ykjh3
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Yy8g( bU
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Rq -ZL{LR7
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 VbYdZCC
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2. 系统 43cE`9~
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd &=[WIG+rk
UMi~14& ;
3. 透镜系统组件编辑 Gv&V|7-f0
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 >P(.:_ ^p
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 mFeP9MfJ
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 y_)FA"IkE
■ 包括序列光学表面和光学介质。 kJU2C=m@e2
P}iE+Z 3
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4. 光线追迹系统分析器-选项 *CMx- _
kZ~~/?B
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 rv;3~'V
■ 可以选择选取光线的方法： l (o~-i\M
— 在x-y-网格 Om&Dw |xG8
— 六边形 /v }`l
— 自由选取 [[ZJ]^n,
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 XppOU
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5. 系统的3维视图 f$( e\+ +
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6. 其他系统参数 ]9-\~Mwh
■ 系统由单色平面波照明 bt *k.=p
■ 照明波长266.08nm ICCc./l|
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ~&O%N
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 G}*hM$F
— 一个虚拟屏位于焦平面 CTK;dM'uQ
— 光束尺寸探测器置于焦平面 k)u[0}
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 L];b< *d
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7. 光线追迹系统分析器的结果 E7hhew
光线经过整个光学系统的三维视图 $'TM0Yu,
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） llDJ@
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 R+| h w;
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 - di o5a
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 !w NO8;(
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <VcQ{F
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 fVwU e _Y
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9. 焦平面上的结果 Mtv?:q
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 GfG|&VNlz
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 ^{{ q V
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm l,: F
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Qd6F H2Pl
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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10. 总结 zQA`/&=Y
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ] - .aL
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 }Lv;!
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 23 ?rEhKe
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 |
