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2023-04-10 08:39 |
镀膜中高级课程-从薄膜原理到工艺
.K p 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 jhb6T ?} 课程讲师:讯技光电高级工程师&资深顾问 N<IT w/@^ 课程费用:4800RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)课程概要: F7O(Cy"1 当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时,既可以着手选用所需的基板,镀膜材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手,例如高反射镜不管波宽大小,开始我们一定是以四分之一波膜堆为设计基础,倘若是截止滤光片,则应以对称膜堆为设计基础。当初始设计无法满足要求时,我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化,设计好之后,即刻进行制造成功率分析,亦看膜层厚度的误差值的容许度,若是镀膜机的精密度做不到,则要修改设计,重新分析直达合格为止。 Y]B)'[=h 透明塑料基板质轻价廉,而且容易成型为非球面透镜,被广泛采用在光学系统中,如眼睛镜片、相机透镜、手机镜头、及显示器面板,如OLED,近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致使其具有吸水性,从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射,还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 7Z-O_h3;)@ 该课程一天会全面讲解光学薄膜分析软件Essential Macelod的操作方法,第二天和第三天会讲解薄膜设计和工艺上面的应用。课程大纲: \uza=e 1. Essential Macleod软件介绍 no9;<]4 1.1 介绍软件 5*,f
Fib 1.2 运行程序 ;;:-l99 1.3 创建一个简单的设计 B#.L 1.4 绘图和制表来表示性能 +i@y@<l:+ 1.5 3D绘图-用两个变量绘图表示性能 \l]DQaOEe 1.6 创建一个默认设计 ,^eYlmT>6 1.7 文件位置 aD=A^ktx 1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 RF%KA[Dj 1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 y&?6FY 1.10厚度(物理厚度,光学厚度[FWOT,QWOT],几何厚度) NqDHCI 1.11 单位定义 (4dhuT 1.12 软件如何进行数据插值 }Du}c3 1.13 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) j]aoR 1.14 特定设计的公式技术 \\u<S=G 1.15 交互式绘图 /Q2mMSK1h 2. 光学薄膜理论基础 Z(ACc9k6:' 2.1 介质和波
ng_^ 2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 L.jh 2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 xx{PespNt 2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 S'_-G;g. 2.5 光学薄膜设计理论 ~s]iy9i 3. 理论技术 [`c^4E 3.1 参考波长与g $0lD>yu 3.2 四分之一规则 CB/D4j; 3.3 导纳与导纳图 p4-o/8rO 3.4 斜入射光学导纳 |!"`MIw, 3.5 对称周期 ^w c"&;=c| 4. 光学薄膜设计 vfE6Ggz
4.1 光学薄膜设计的进展 -/ g B|J 4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 G}:lzOlMH 4.3 光学薄膜设计技巧 oIb|*gX^ 4.4 特殊光学薄膜的设计方法 b/{t|io{ 4.5 Macleod软件的设计与优化功能 .[3Z1v, 4.5.1 优化目标设置 b{]z
wpf 4.5.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法) Z^IPZF 4.5.3 膜层锁定和链接 :=\Hoz 5. 常规光学薄膜系统设计与分析 Te}8!_ohyC 5.1 减反射薄膜 Htgx`N|
5.2 分光膜 Z3&_ 5.3 高反射膜 L&%s[ 5.4 干涉截止滤光片 qCqFy#Ms\ 5.5 窄带滤光片 -2 A(5B9Fq 5.6 负滤光片 '4|-9M3f 5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 $l|qk z 5.8 Vstack薄膜设计示例 /|eA9 ] 5.9 Stack应用范例说明 elFtBnL' 6. VR、AR及HUD用光学薄膜 Bb}fj28 6.1 背景介绍 $}jssnoU 6.2 产品特性 pt?q#EfFJ 6.3 典型VR系统光学薄膜设计分析 ~?FpU 6.4 典型AR系统光学薄膜设计分析 ^]a #7/]o 6.5 典型HUD系统光学薄膜设计分析 < VSA 7. 防雾薄膜 ,H19`;Q 7.1自清洁效应 a8 mVFm 7.2 超亲水薄膜 =MLcm^b 7.3 超疏水薄膜 \8 h;K>=h 7.4 防雾薄膜的制备 OSf}Q=BL 7.5 防雾薄膜的性能测试 1PP $XJtyD 8. 材料管理 }XSfst5-H 8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 kT!9`S\ 8.2 金属与介质薄膜 Wv/%^3 8.3 材料模型 thvYL.U: 8.4 介质薄膜光学常数的提取 jr!?v<NoX 8.5 金属薄膜光学常数的提取 ~tR~?b T 8.6 基板光学常数的提取 ykX/9y+-s 8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 +[tE ^`-F 9. 薄膜制备技术 6N;wqn 9.1 常见薄膜制备技术 '_/Bp4i 9.2 光学薄膜制备流程 cdZ~2vk 9.3 淀积技术 )l[M
Q4vWW 9.4 工艺因素 yz LpK; 10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 mA*AeP_$ 10.1 光学薄膜监控技术 'Ub
g0"F( 10.2 误差分析与监控决策 T|dY
2 10.3 Runsheet 与 Simulator应用技巧 .NvQm]N0. 10.4 膜系灵敏度分析 PUBWZ^63 10.5 膜系容差分析 'toa@5 10.6 误差分析工具 y?a
Acn$ 11. 反演工程 /U"CO 8Da 11.1 镀膜过程中两种主要的误差(系统误差和随机误差) PV4(hj 11.2 使用反演工程来控制对设计的搜索 \a6^LD}B 12. 应力、张力、温度和均匀性工具 KB'qRnkc 12.1 光学性质的热致偏移 $d)ca9 12.2 应力工具 cnFI
&,FM 12.3 均匀性误差(圆锥工具、波前问题) 6u`)QUmItg 13. Function功能扩展 0VGPEKRh 13.1 如何在Function中编写操作数 `^FGwx@ 13.2 如何在Function中编写脚本 RQ'H$r.7g 14. 光学薄膜特性测量 elG<k%/2 14.1 薄膜光学常数的测量 (h5'9r 14.2 薄膜堆积密度的测量 OQ>x5?um
14.3 薄膜微观结构分析 !2'jrJGc
14.4 薄膜成分分析 $ n+w$CI) 14.5 薄膜硬度、附着性及耐摩擦性的测量 JoN\]JL\, 14.6 薄膜表面粗糙度的测量 $;/}?QY( 15. 项目管理与应用实例 #z2rzM@/: 15.1 项目管理 {FIXc^m' 15.2 光学薄膜项目开发过程 8-_QFgY 15.3 客户需求分析 1!1beR] 15.4 文档管理与报表生成 b r^_'1 15.5 【案例分析】Macleod 软件在太阳能薄膜中的应用 G-He" 4& $ 15.6 【案例分析】Macleod 软件在激光薄膜设计分析中的应用 )d$glI+ 15.7 【案例分析】Macleod 软件在光电功能薄膜中的应用 -R%<.]fJ 15.8 仿生蛾眼结构在显示技术上的应用 ni6{pK4Wqm 15.9 OLED薄膜及微腔效应 M\Z6$<H?U 15.10 金属线栅偏振器 H*Kj3NgY 16. Q&A
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