| ouyuu |
2023-04-04 09:30 |
镀膜稳定性的讨论2--温度
镀膜机环境里，除了真空度之外，还有个重要的因素就是温度。 z00:59M 4
影响温度稳定的有以下几点：加热丝和冷却水，温度探头还有温控。 Tb6x@MorP
(tz]!Aa{s
1,温控：虽然共用一个温度探头，但是加热丝内中外圈是用不同的温控仪控制的， ^znv [
温控参数设置也不同（一般内圈的功率输出比率比较低；外圈的功率输出比率比较高） d/z X%
所以一旦加热盘拆卸后重新安装，接错线的话，会造成内外圈温度偏差很大。 l@F
e(^5E
这时候除了重新连接没有其他办法。 oK1[_ko|
另外时间长了之后，温控仪的输出也会发生变化，这时候可以微调一下温控仪的输出比率。 c] 0
Mz. &d:
2,温度探头：温度探头一般是悬空在真空腔里面，如果在清扫腔体的时候不小心碰到， K?m:. ZM
造成温度探头的位置变化或者折断，则容易产生镀膜温度发生很大变化。 T S8E9#1a
9wJmX<Rm
3,加热丝和冷却水：发生问题一般会报警，也很容易察觉。 U8Jj(]},_
（比如用手去碰腔壁，某些地方异常烫的）所以不多做叙述。
|
|