| ouyuu |
2023-04-04 09:30 |
镀膜稳定性的讨论2--温度
镀膜机环境里，除了真空度之外，还有个重要的因素就是温度。 D*2*FDGI
影响温度稳定的有以下几点：加热丝和冷却水，温度探头还有温控。 XcT!4xG0
=5*Wu+S4r
1,温控：虽然共用一个温度探头，但是加热丝内中外圈是用不同的温控仪控制的， E0RqY3
温控参数设置也不同（一般内圈的功率输出比率比较低；外圈的功率输出比率比较高） rkji#\_-FV
所以一旦加热盘拆卸后重新安装，接错线的话，会造成内外圈温度偏差很大。 :z P:4 N W
这时候除了重新连接没有其他办法。 Kw" e4 a
另外时间长了之后，温控仪的输出也会发生变化，这时候可以微调一下温控仪的输出比率。 ) ??N]V_U
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2,温度探头：温度探头一般是悬空在真空腔里面，如果在清扫腔体的时候不小心碰到， \h3HaNC
造成温度探头的位置变化或者折断，则容易产生镀膜温度发生很大变化。 U9T}iI
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3,加热丝和冷却水：发生问题一般会报警，也很容易察觉。 U - OD
（比如用手去碰腔壁，某些地方异常烫的）所以不多做叙述。
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