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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 镀膜稳定性的讨论1-充氧 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

ouyuu 2023-04-04 09:07

镀膜稳定性的讨论1-充氧

首先声明一下,在这里表达的只是个人看法,并不一定有道理。 y=y/d>=w  
关于镀膜,大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 ;F" kD  
甚至为了稳定性,一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 e<&_tx   
比如说镀膜过程中使用APC充氧: mg/C Ux  
很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。  WMt&8W5  
其实不然。使用离子源的情况下,氧其实是足够的。 .N'%hh  
APC充氧还有一个重要的目的,维持镀膜环境的稳定性。 +-xSuR,  
APC是自动压力控制的英文缩写,它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 :Q0?ub]  
1mvu3}ewx  
在真空中,有个平均自由程的概念,一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 n#/U@qVgc  
真空度越高,平均自由程越长,电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 >"2\D|-/  
但是随着腔体的逐渐变脏,镀膜时候的真空度会变差,到达基板的原子和离子就会变少。 !xJLeQFJI]  
一般会表现为外圈和内圈的分布变化,还有折射率的变化。 TZvBcNi   
为了让分布和折射率稳定,在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 HY@kw>I  
rF <iWM=  
APC充氧口(也有充氮,充其他气体的)的位置也很重要。 ^H@!)+ =  
如果是补氧和维持真空度兼而有之的,一般充氧口放在底板的中心位置。 nA{ncTg1\  
如果有其他特殊原因(比如说工艺和外观的要求),会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环, >n@>h$]  
均匀开孔以便于均匀充氧。
ouyuu 2023-04-04 09:34
补充几个和真空相关的因素: $Sc08ro  
1,真空计污染:皮拉尼真空计容易受污染, ePIly)=X  
所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 59"Nn\}3gE  
.j+2x[`l  
2,扩散泵返油:使用劣质回收油,或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候, o{ YW  
扩散泵容易返油,返油也会造成脱膜,膜质不好,分布问题。
coldking 2023-04-04 15:28
我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 .3g\[p   
[xp~@5r'  
XQ+-+CD  
coldking 2023-04-04 15:29
coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 *F4G qX3  
 (2023-04-04 15:28)  80l3.z,:  
A?{aUQB~|  
APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白
ouyuu 2023-04-08 00:27
coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 5<GRi "7A@  
 (2023-04-04 15:28)  L5N{ie_  
kGTc~p(  
光驰机做的比较高,镀膜距离比较长,没有充氧的余量了。
谭健 2023-04-09 13:26
谢谢分享 #di_V"  
阿俊 2023-04-14 15:48
支持楼主!
jzdxzw 2023-05-19 16:06
大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 Xs,PT  
逸轩yx 2024-03-26 13:47
取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 JGNxJ S<]  
~E|V{z%  
产品 5 nIlG  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG
逸轩yx 2024-03-26 13:48
jzdxzw:大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 9+Hb`  
 (2023-05-19 16:06)  To? bp4  
>^HTghgRD  
取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 . TS=[WGMS  
!#s7 F  
产品 jz:c)C&/  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG
comebackz 2024-07-31 20:23
谢谢分享
quan6658 2024-08-29 13:57
镀钛开APC产品很容易发白,镀钽没必要充APC,所以我选择不开
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