镀膜稳定性的讨论1-充氧

首先声明一下，在这里表达的只是个人看法，并不一定有道理。
关于镀膜，大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。
甚至为了稳定性，一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。
比如说镀膜过程中使用APC充氧：
很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。
其实不然。使用离子源的情况下，氧其实是足够的。
APC充氧还有一个重要的目的，维持镀膜环境的稳定性。
APC是自动压力控制的英文缩写，它能起到稳定真空腔体真空度的作用。

在真空中，有个平均自由程的概念，一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。
真空度越高，平均自由程越长，电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。
但是随着腔体的逐渐变脏，镀膜时候的真空度会变差，到达基板的原子和离子就会变少。
一般会表现为外圈和内圈的分布变化，还有折射率的变化。
为了让分布和折射率稳定，在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。

APC充氧口（也有充氮，充其他气体的）的位置也很重要。
如果是补氧和维持真空度兼而有之的，一般充氧口放在底板的中心位置。
如果有其他特殊原因（比如说工艺和外观的要求），会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环，
均匀开孔以便于均匀充氧。

ouyuu	2023-04-04 09:34
补充几个和真空相关的因素： ]f\rB8k\|& 1，真空计污染：皮拉尼真空计容易受污染， 9hq7: 所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 }Jc^p U_J\|{*4S.! 2，扩散泵返油：使用劣质回收油，或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候， c=K M[s. 扩散泵容易返油，返油也会造成脱膜，膜质不好，分布问题。

coldking	2023-04-04 15:28
我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 k4\|YaGhf W}e5 4-lu ffWvrY;j[

coldking	2023-04-04 15:29
coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 U_!6pqFc (2023-04-04 15:28) =A,i9Z& )UxF lp;\ APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白

ouyuu	2023-04-08 00:27
coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 p-;*K(#X (2023-04-04 15:28) \[Q,>{^ p6sXftk 光驰机做的比较高，镀膜距离比较长，没有充氧的余量了。

谭健	2023-04-09 13:26
谢谢分享 4D0"Y#&G

阿俊	2023-04-14 15:48
支持楼主！

jzdxzw	2023-05-19 16:06
大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 T,5]EHea

逸轩yx	2024-03-26 13:47
取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 RtN5\ Ia[e7 产品 YQ;?N66 膜层脱落。干拉/水煮百格NG

逸轩yx	2024-03-26 13:48
jzdxzw:大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 j KGfm9\|zj (2023-05-19 16:06) ;=fOyg hxZ5EKBy 取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 )[oegfnn- \!x~FVA 产品 $SQUN*/> 膜层脱落。干拉/水煮百格NG

comebackz	2024-07-31 20:23
谢谢分享

quan6658	2024-08-29 13:57
镀钛开APC产品很容易发白，镀钽没必要充APC，所以我选择不开

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