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ouyuu 2023-04-04 09:07

镀膜稳定性的讨论1-充氧

首先声明一下,在这里表达的只是个人看法,并不一定有道理。 TM{m:I:Z*n  
关于镀膜,大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 q`{@@[/ (y  
甚至为了稳定性,一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 9 c9$cnQ  
比如说镀膜过程中使用APC充氧: @H$am  
很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 Y=<ABtertS  
其实不然。使用离子源的情况下,氧其实是足够的。 K/C}  
APC充氧还有一个重要的目的,维持镀膜环境的稳定性。 "?6*W"N9  
APC是自动压力控制的英文缩写,它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 hs;|,r  
*!"T^4DEg  
在真空中,有个平均自由程的概念,一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 M5+R8ttc  
真空度越高,平均自由程越长,电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 }0E@eL  
但是随着腔体的逐渐变脏,镀膜时候的真空度会变差,到达基板的原子和离子就会变少。 :RB7#v={  
一般会表现为外圈和内圈的分布变化,还有折射率的变化。 KYB3n85 1  
为了让分布和折射率稳定,在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 B&X)bGx8  
3=ME$%f  
APC充氧口(也有充氮,充其他气体的)的位置也很重要。 jWxa [ >  
如果是补氧和维持真空度兼而有之的,一般充氧口放在底板的中心位置。 ld(_+<e  
如果有其他特殊原因(比如说工艺和外观的要求),会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环, T<7}IH$6xE  
均匀开孔以便于均匀充氧。
ouyuu 2023-04-04 09:34
补充几个和真空相关的因素: &f'Lll  
1,真空计污染:皮拉尼真空计容易受污染, B &Z0ZWx  
所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 8b,Z)"(U3  
wd|^m%  
2,扩散泵返油:使用劣质回收油,或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候, ^8oN~HLZ  
扩散泵容易返油,返油也会造成脱膜,膜质不好,分布问题。
coldking 2023-04-04 15:28
我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 w].DLoz  
Dy. |bUB!f  
u_ :gqvC=  
coldking 2023-04-04 15:29
coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 G\f:H%[5[  
 (2023-04-04 15:28)  , YE+k`:  
4%jSqT@  
APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白
ouyuu 2023-04-08 00:27
coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 \G]vTK3  
 (2023-04-04 15:28)  oJ}$ /_  
tj!~7lo  
光驰机做的比较高,镀膜距离比较长,没有充氧的余量了。
谭健 2023-04-09 13:26
谢谢分享 ATU]KL!{  
阿俊 2023-04-14 15:48
支持楼主!
jzdxzw 2023-05-19 16:06
大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 Rwz (20n\^  
逸轩yx 2024-03-26 13:47
取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 3H/4$XJB  
iX'#~eK*<  
产品 }#f~"-O  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG
逸轩yx 2024-03-26 13:48
jzdxzw:大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 |cE 69UFB  
 (2023-05-19 16:06)  Z6`[ dAo  
;4 ON  
取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 I=I'O?w  
AlRng& o~  
产品 )9 QeVf  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG
comebackz 2024-07-31 20:23
谢谢分享
quan6658 2024-08-29 13:57
镀钛开APC产品很容易发白,镀钽没必要充APC,所以我选择不开
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