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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 镀膜稳定性的讨论1-充氧 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

ouyuu 2023-04-04 09:07

镀膜稳定性的讨论1-充氧

首先声明一下,在这里表达的只是个人看法,并不一定有道理。 :(ni/,~Q  
关于镀膜,大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 $^~dqmE2,  
甚至为了稳定性,一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 FK ? g  
比如说镀膜过程中使用APC充氧: `,~8(rIM  
很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 {5`=){  
其实不然。使用离子源的情况下,氧其实是足够的。 L{&5Ets  
APC充氧还有一个重要的目的,维持镀膜环境的稳定性。 ^I!u H1G  
APC是自动压力控制的英文缩写,它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 pQ2'0u5w5  
D6z*J?3^#&  
在真空中,有个平均自由程的概念,一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 *{TB<^ *  
真空度越高,平均自由程越长,电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 dK.k,7R  
但是随着腔体的逐渐变脏,镀膜时候的真空度会变差,到达基板的原子和离子就会变少。 }*Z *wC  
一般会表现为外圈和内圈的分布变化,还有折射率的变化。 Ct@OS227x  
为了让分布和折射率稳定,在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 ebv"`0K$  
A-S!Z2m\  
APC充氧口(也有充氮,充其他气体的)的位置也很重要。 so=Ux2  
如果是补氧和维持真空度兼而有之的,一般充氧口放在底板的中心位置。 ,.6)y1!  
如果有其他特殊原因(比如说工艺和外观的要求),会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环, | 6/ # H*  
均匀开孔以便于均匀充氧。
ouyuu 2023-04-04 09:34
补充几个和真空相关的因素: I)s~kA.e  
1,真空计污染:皮拉尼真空计容易受污染, 1>)q 5D  
所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 k z{_H`5.  
D^dos`L0b  
2,扩散泵返油:使用劣质回收油,或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候, (?y (0%q  
扩散泵容易返油,返油也会造成脱膜,膜质不好,分布问题。
coldking 2023-04-04 15:28
我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 lD+f{GR  
R%EpF'[~[  
jt5:rWB  
coldking 2023-04-04 15:29
coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 :i};]pR   
 (2023-04-04 15:28)  $>*TO1gb+  
t^')ST  
APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白
ouyuu 2023-04-08 00:27
coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 *;u'W|"/~  
 (2023-04-04 15:28)  %j4AX  
y7Sey;  
光驰机做的比较高,镀膜距离比较长,没有充氧的余量了。
谭健 2023-04-09 13:26
谢谢分享 yzH[~O7  
阿俊 2023-04-14 15:48
支持楼主!
jzdxzw 2023-05-19 16:06
大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 ^Ee"w7XjD  
逸轩yx 2024-03-26 13:47
取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 Mv%"aFC  
+J;T= p  
产品 ,)beK*Iw  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG
逸轩yx 2024-03-26 13:48
jzdxzw:大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 SpJIEw  
 (2023-05-19 16:06)  )0UXTyw^  
efUa[XO  
取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 K}a3Bj,  
hcX`X2^  
产品 J)n^b  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG
comebackz 2024-07-31 20:23
谢谢分享
quan6658 2024-08-29 13:57
镀钛开APC产品很容易发白,镀钽没必要充APC,所以我选择不开
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