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低温TI3O5 SIO2。RF辅助镀膜。膜强度差。什么原因造成?
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repent134
2023-03-30 09:36
低温TI3O5 SIO2。RF辅助镀膜。膜强度差。什么原因造成?
成膜后破坏镀膜表层,用擦拭液擦拭膜层延展性比较大
yzhuang
2023-03-30 09:58
这个Ti3O5成膜温度一般不能太低吧,建议150℃以上,低温成膜牢固度与吸收均不够理想,如果想低温成膜,高折射率材料用Ta2O5可能更好一些
bRu9*4t
repent134
2023-03-30 10:10
主要SIO2打底层,掉膜也是掉到了基板
小时候_我很帅
2023-03-30 12:32
离子源&充氧&电子枪速率方面看下
嘤击长空
2023-03-31 01:27
建议测一下温度
石前林
2023-03-31 10:54
基片是否干净,扩散泵是否返油,第一层速率及离子源参数
79 ;uHR&S