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repent134	2023-03-30 09:36
低温TI3O5 SIO2。RF辅助镀膜。膜强度差。什么原因造成？成膜后破坏镀膜表层，用擦拭液擦拭膜层延展性比较大

yzhuang	2023-03-30 09:58
这个Ti3O5成膜温度一般不能太低吧，建议150℃以上，低温成膜牢固度与吸收均不够理想，如果想低温成膜，高折射率材料用Ta2O5可能更好一些 %kKtPrT

repent134	2023-03-30 10:10
主要SIO2打底层，掉膜也是掉到了基板

小时候_我很帅	2023-03-30 12:32
离子源&充氧&电子枪速率方面看下

嘤击长空	2023-03-31 01:27
建议测一下温度

石前林	2023-03-31 10:54
基片是否干净，扩散泵是否返油，第一层速率及离子源参数 i7:j(W^I8

ouyuu	2023-04-08 00:25
1，注意一下清洗，必要手擦几片做比较。 ?5"~V^L3 2，镀膜前用离子源清洗，用质量大的Ar，多打一阵子。 2A {k>TjQ 3，基板如果是玻璃就加到150度以上， MZ6?s(mkx 如果是塑胶，用卤素灯加热（不要用加热丝） =@&]PYv h5.u W8 其他的上面的都讲过了，其实工艺参数很重要。 /3'>MRzR 如果是塑胶片，加热很重要

jimmy_	2024-02-19 17:21
请教一下为什么加热不能用加热丝，光驰机里好像没有卤素灯

ouyuu

2024-02-20 20:44

jimmy_:请教一下为什么加热不能用加热丝，光驰机里好像没有卤素灯 (2024-02-19 17:21) hp@giu7

因为塑胶片导热不行。
加热丝最初加热的是片子背面，热量靠传导再到镀膜面，
一个是升温慢，一个是均匀性差。
而卤素灯照射的是镀膜面，升温会比较快，而且温度的均匀度也好。
加热快的，吸收的水气出来的也多

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