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F-Theta物镜激光扫描系统的性能分析
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infotek
2023-03-30 08:43
F-Theta物镜激光扫描系统的性能分析
kGakdLl
激光扫描系统(LSC.0002 v1.0)
>?G!>kw
kE!ky\E
应用案例概述
h uR ^l
se}$/Y}t
系统细节
X &G]ci
0m\( @2E
光源
m6 Y0,9
– 绿光二极管
1|>bG#|
元件
*KU:D Y{
– 双轴振镜扫描仪
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– F-Theta物镜
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探测器
>fkV65w{*
– 场曲和畸变探测器
{ ~(XO@;b
– 光束强度剖面探测器
rg 0u#-
– 焦点区域探测器
)|5mW
– 光束参数探测器
n* .<L
模拟/设计
l <Z7bo
– 光线追迹:分析扫描场尺寸,场曲以及畸变
+>c%I&h}`
– 场追迹:考虑衍射效应,进行更精确的光束尺寸和剖面的研究
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300[2}Y]
系统说明
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T8W^qrx.v
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激光扫描系统的性能评估
t+^__~IX
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一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜,在一维扫描过程中(沿入射角Theta),通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。
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此外,计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。
F<dhG>E9
uBC#4cX`D*
模拟和设计结果
y`/:E<fVk
{W%XSE
^?A>)?Sq
其他的VirtualLab特征
[p(0g;bx
W* n|T{n
在此案例中,你将从以下选择的特征中获益:
UF}Ji#fqn
各种探测器
=vDDfPR
- 测量与反射镜扫描角度相关的焦点位置
0wF)bQv1
- 测量探测器平面上的光束位置
XXD4T9Wy
- 使用焦点区域探测器计算焦点区域中的场
ofgNL .u
参数耦合
r CUs
- 针对扫描光学部分的期望输入扫描角度Theta来调整反射镜方位
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参数运行
YhN:t?
- 估计扫描场尺寸
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- 生成场曲和畸变图
$H/: -v
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总结
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VirtualLab可以
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模拟一个由双轴扫描反射镜和一个F-Theta物镜构成的激光扫描系统
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分析目标平面上的光束偏转
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- 通过光线追迹来计算扫描场尺寸,场曲和畸变
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- 通过几何场追迹来计算光束剖面
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- 场追迹可以更准确地分析光束位置和焦点
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应用案例详述
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系统参数
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应用案例内容
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LSC.0001和LSC.0002为激光扫描系统。
Z8f?uF
在这个案例中,通过模拟扫描过程来分析F-Theta物镜的场区和畸变。
'=Acg"aT
相对于LSC.0001,显示了性能提高。
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强烈建议首先阅读LSC.0001。
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