关于ALD镀SiO2薄膜后，薄膜性能如何？-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 关于ALD镀SiO2薄膜后，薄膜性能如何？ [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

lu5253	2023-03-27 14:10
关于ALD镀SiO2薄膜后，薄膜性能如何？关于ALD镀SiO2薄膜后，薄膜性能如何？例如在电学性能，折射率、消光系数以及镀膜后应力等方面的性能。

查看本帖完整版本: [-- 关于ALD镀SiO2薄膜后，薄膜性能如何？ --] [-- top --]