《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（第二版 精装）

1?}T=)3+$   TOt dUO   内容简介 ];m_4   Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 L0,'m S   《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 l#o  ~W`   薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 1Mzmg[L8   讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 qGo.WZ$   ) 7F/O3Tq   目录 ?`s8 pPc4   Preface 1 dPlV>IM$z   内容简介 2 @JMiO^   目录 i 3fj4%P"   1  引言 1 tmqOJ   2  光学薄膜基础 2 iS^QTuk3%   2.1  一般规则 2 `yyG/l   2.2  正交入射规则 3 [y(MCf19   2.3  斜入射规则 6 pBH Ra?Y5   2.4  精确计算 7 01]f2.5   2.5  相干性 8 _6Sp QW   2.6 参考文献 10 (`^1Y3&2   3  Essential Macleod的快速预览 10 Sjqpec8   4  Essential Macleod的特点 32 (.:e,l{U%   4.1  容量和局限性 33 e'~3oqSvR   4.2  程序在哪里？ 33 >MZ/|`[M   4.3  数据文件 35 ="+#W6bZT   4.4  设计规则 35 5m@V#2^P   4.5  材料数据库和资料库 37 #qki   4.5.1材料损失 38 ch]IzdD   4.5.1材料数据库和导入材料 39 kiEa<-]   4.5.2 材料库 41 HMXE$d=[   4.5.3导出材料数据 43 :WEDAFq0   4.6  常用单位 43 F9PxSk_\9   4.7  插值和外推法 46 _BufO7`.   4.8  材料数据的平滑 50 `5*}p#G   4.9 更多光学常数模型 54 dysS9a,   4.10  文档的一般编辑规则 55 00 (\ZUj   4.11 撤销和重做 56 )0 `C@um   4.12  设计文档 57 \bXa&Lq   4.10.1  公式 58 &oNAv-m^GD   4.10.2 更多关于膜层厚度 59 $xsd~L&   4.10.3  沉积密度 59 VbYdZCC   4.10.4 平行和楔形介质 60  mh%VrAq   4.10.5  渐变折射率和散射层 60 43cE`9~   4.10.4  性能 61 &=[WIG+rk   4.10.5  保存设计和性能 64 *. t^MP   4.10.6  默认设计 64 ~%oR[B7=|   4.11  图表 64 g)-te+ ?6   4.11.1  合并曲线图 67 =pNY eR_[   4.11.2  自适应绘制 68 kh<2BOV   4.11.3  动态绘图 68 C!gZN9-   4.11.4  3D绘图 69 CpN>p.kM   4.12  导入和导出 73 gXU8hTd8   4.12.1  剪贴板 73 +`4A$#$+y   4.12.2  不通过剪贴板导入 76 sOY:e/_F   4.12.3  不通过剪贴板导出 76 BT$_@%ea&   4.13  背景 77 @Qe0! (_=   4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 pH;%ELZ   4.15  生成Rugate 84 P?<y%c<   4.16  参考文献 91 SbZ6t$"   5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 y_,bu^+*   5.1  Jobs 92 MV"=19]   5.2  创建一个新Job（工作） 93 +ZYn? #IQ   5.3  输入材料 94 )oZ dj`   5.4  设计数据文件夹 95 e20-h3h+   5.5  默认设计 95 `cO:<^%   6  细化和合成 97 gw(z1L5 n   6.1  优化介绍 97 %O<BfIZ   6.2  细化 (Refinement) 98 y`F w-!'o   6.3  合成 (Synthesis) 100 WIOV2+   6.4  目标和评价函数 101 _F{C\}   6.4.1  目标输入 102 a*;b^Ze`v   6.4.2  目标 103 V&i;\ 9   6.4.3  特殊的评价函数 104 Ac6=(B   6.5  层锁定和连接 104 iLT}oKF2N;   6.6  细化技术 104 6*?F@D2&   6.6.1  单纯形 105 6~{C.No}   6.6.1.1 单纯形参数 106 )jj0^f1!j   6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 oU|c .mYe   6.6.2.1 Optimac参数 108 :N@^?q{b   6.6.3  模拟退火算法 109 }G=M2V<L   6.6.3.1　模拟退火参数 109 e!`i3KYn"   6.6.4  共轭梯度 111 C~[,z.FvO   6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [lAp62i5   6.6.5  拟牛顿法 112 @x1-! ~z#   6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 c,22*.V/   6.6.6  针合成 113 +p^u^a   6.6.6.1 针合成参数 114 V :eD]zq5   6.6.7 差分进化 114 =sFTxd_"iQ   6.6.8非局部细化 115 !wNO8;(   6.6.8.1非局部细化参数 115 <VcQ{F   6.7  我应该使用哪种技术？ 116 fVwUe _Y   6.7.1 　细化 116 wzaV;ac4K   6.7.2　 合成 117 Mtv? :q   6.8  参考文献 117 H]!"Zq k   7  导纳图及其他工具 118 &zhAh1m   7.1  简介 118 GfG|&VNlz   7.2  薄膜作为导纳的变换 118 !BI;C(,RL   7.2.1  四分之一波长规则 119 l,:F   7.2.2  导纳图 120 x"(KBEK~   7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 *VeRVaBl   7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 4YHY7J   7.5  斜入射导纳图 141 zQA`/&=Y   7.6  对称周期 141 HDKbF/   7.7  参考文献 142 07)yG:q*x   8  典型的镀膜实例 143 }Lv; !   8.1  单层抗反射薄膜 145 8Y3I0S   8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 5r_|yu   8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 -&;TA0~;   8.4  W-膜层 148 "ta x?   8.5  V-膜层 149 fh{`Mz,o   8.6  V-膜层高折射基底 150 C?Ucu]cW   8.7  V-膜层高折射率基底b 151 J; %Xfx]   8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 3F0 N^)@   8.9  四层抗反射薄膜 153 9cgUT@a   8.10  Reichert抗反射薄膜 154 2%>FR4a   8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 -+5>|N#   8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 uM v1O{   8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 j4b4!^fV   8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 &R siVBA   8.15十五层宽带抗反射膜 159 [V!tVDs&'o   8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 Ug`djIL   8.17  1/4波长堆栈 162 Wf<LR3   8.18  陷波滤波器 163 >MK98(F   8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ]{kPrey   8.20  褶皱 165 kl,3IKHa   8.21  消偏振分光器1 169 6Iw\c   8.22  消偏振分光器2 171 .KC++\{HE   8.23  消偏振立体分光器 172 V,9cl,z+   8.24  消偏振截止滤光片 173 8D].MI^   8.25  立体偏振分束器1 174 8] ikygt"   8.26  立方偏振分束器2 177 ~v83pu1!2s   8.27  相位延迟器 178 Th[dW<   8.28  红外截止器 179 d1kJRJ    8.29  21层长波带通滤波器 180 [r-p]"R   8.30  49层长波带通滤波器 181 {PmZ9   8.31  55层短波带通滤波器 182 /@Zrq#o zx   8.32  47 红外截止器 183 MPk5^ua:   8.33  宽带通滤波器 184 };g"GNy   8.34  诱导透射滤波器 186 c)tfAD(N8x   8.35  诱导透射滤波器2 188 \?N2=jsu$   8.36  简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 ??T#QQ   8.37  高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 d %#b:(,   8.35  增益平坦滤波器 193 "]iB6   8.38  啁啾反射镜 1 196 Ev P{p   8.39  啁啾反射镜2 198 'RRE|L,   8.40  啁啾反射镜3 199 H|D.6^   8.41  带保护层的铝膜层 200 xm@_IL&P   8.42  增加铝反射率膜 201 W%)Y#C   8.43  参考文献 202 s@DLt+ O5   9  多层膜 204 ?rIx/>C9   9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 BB'OCN   9.2  内部透过率 204 M[u A@   9.3 内部透射率数据 205 EP+J N   9.4  实例 206 KdlQ!5(?X   9.5  实例2 210 Wm3X[?V   9.6  圆锥和带宽计算 212 C $JmzrE   9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 -(#iIgmP   10  光学薄膜的颜色 216 }{"fJ3] c^   10.1  导言 216 X76e&~   10.2  色彩 216 PT9*)9<L   10.3  主波长和纯度 220 HKr Mim-   10.4  色相和纯度 221 @R  6@]Dm   10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Lxk[;j+   10.6 色差 226 e$pV%5=   10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 e]tDy0@   10.8  颜色渲染指数 234 L: 8q8i   10.9  色差计算 235 W];dD$Oqg   10.10  参考文献 236 r4f~z$QK   11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 x=jK:3BF   11.1  短脉冲 238 `#gie$B{   11.2  群速度 239 WT}H >T   11.3  群速度色散 241 9E6R0D}   11.4  啁啾(chirped) 245 9M9?%N:ra   11.5  光学薄膜—相变 245 ,1##p77.   11.6  群延迟和延迟色散 246 w\brVnt   11.7  色度色散 246 BCcjK6'   11.8  色散补偿 249 _,d~}_$`i   11.9  空间光线偏移 256 "}JZU!?   11.10  参考文献 258 VYhbx 'e   12  公差与误差 260 lA-h`rl/   12.1  蒙特卡罗模型 260 So 5N5,u@=   12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Z:7fV5b(   12.2.1  误差工具 267 O<e{   12.2.2  灵敏度工具 271 6u}</>}   12.2.2.1 独立灵敏度 271 ;Q&5,< N)j   12.2.2.2 灵敏度分布 275 yH}s<@y;7   12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 Ib0ZjX6   12.3  参考文献 276 ilva,WFa^   13  Runsheet 与Simulator 277 +t:0SRSt   13.1  原理介绍 277 pO.2<   13.2  截止滤光片设计 277 RAK-UN   14  光学常数提取 289 jb;hcraR   14.1  介绍 289 TNr :pE<   14.2  电介质薄膜 289 Uv~QUL3>   14.3  n 和k 的提取工具 295  _\HQvH   14.4  基底的参数提取 302 :Xd<74Nu   14.5  金属的参数提取 306 ,i@:5X/t   14.6  不正确的模型 306 ',4iFuY   14.7  参考文献 311 N{~YJ$!8   15  反演工程 313 @Pz u^   15.1  随机性和系统性 313 1 3=.H5   15.2  常见的系统性问题 314  bnLPlf   15.3  单层膜 314 .eP.&   15.4  多层膜 314 :$9tF>   15.5  含义 319 P_#bow   15.6  反演工程实例 319 qWKAM@   15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 wuJ4kW$   15.6.2 反演工程提取折射率 327 SG4%}wn%   16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 [R7Y}k:9U   16.1  光学性质的热致偏移 329 r{%qf;   16.2  应力工具 335 .%C|+# &d   16.3  均匀性误差 339 aCLqk'   16.3.1  圆锥工具 339 ;l-!)0U   16.3.2  波前问题 341 QZ%`/\(!8_   16.4  参考文献 343 D+7Rz_=   17  如何在Function（模块）中编写操作数 345 'anG:=   17.1  引言 345 Sa`Xf\   17.2  操作数 345 *``JamnSO   18  如何在Function中编写脚本 351 5j-YM   18.1  简介 351 N<KS(@v y   18.2  什么是脚本？ 351 ,$+V   18.3  Function中脚本和操作数对比 351 klR|6u]%   18.4  基础 352 f ! .<$ih   18.4.1  Classes（类别） 352 ^4Ah_U   18.4.2  对象 352 yD6[\'%   18.4.3  信息（Messages） 352 Bv%GJ *>>   18.4.4  属性 352 Z@@K[$   18.4.5  方法 353 x*&|0n.D   18.4.6  变量声明 353 {Wu$YWE*sx   18.5  创建对象 354 =+MPFhvg!   18.5.1  创建对象函数 355 X<; f   18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 ~B(4qK1G   18.5.3 丢弃对象 356 %O;bAC_M   18.5.4  总结 356 %lGfAYEM=   18.6  脚本中的表格 357 j;iAD:nf   18.6.1  方法1 357 PO7Lf#9]   18.6.2  方法2 357 @\P ;W(m.i   18.7 2D Plots in Scripts 358 *lw_=MXSK   18.8 3D Plots in Scripts 359 0aa&m[Mk   18.9  注释 360 KC#q@InK   18.10  脚本管理器调用Scripts 360 4G>H   18.11  一个更高级的脚本 362 dIBE!4 V[   18.12  <esc>键 364 Q=20IQp   18.13 包含文件 365 'B0{_RaTb   18.14  脚本被优化调用 366 -JjM y X   18.15  脚本中的对话框 368 q,eVjtF   18.15.1  介绍 368 zXxT%ZcCj   18.15.2  消息框-MsgBox 368 -kwXvYu\   18.15.3  输入框函数 370 dg"3rs /?A   18.15.4  自定义对话框 371 `eCo~(Fy   18.15.5  对话框编辑器 371 7 uKY24   18.15.6  控制对话框 377 !pdb'*,n   18.15.7  更高级的对话框 380 %vhnl'   18.16 Types语句 384 JU5C}%Q6   18.17 打开文件 385 vv+z'(l   18.18 Bags 387 &_|# .   18.13  进一步研究 388 Fv<F}h?6   19  vStack 389 ;Q*or2"!   19.1  vStack基本原理 389 #c?j\Y9nz   19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 aAMVsE{   19.3  五棱镜 393 364`IC( a   19.4 光束距离 396 g($DdKc|g   19.5 误差 399 %H&@^Tt a   19.6  二向分色棱镜 399 \EtQ5T*u   19.7  偏振泄漏 404 Rt!FPoN,y   19.8  波前误差—相位 405 d]6#m'U   19.9  其它计算参数 405 aV|hCN~   20  报表生成器 406 91g2A|   20.1  入门 406 &wCg\j_c   20.2  指令(Instructions) 406 |O9O )o   20.3  页面布局指令 406 q$tUH)0   20.4  常见的参数图和三维图 407 '*w00   20.5  表格中的常见参数 408 EYEnN   20.6  迭代指令 408 ?D*/*Gk{   20.7  报表模版 408 ~%=MpQ3   20.8  开始设计一个报表模版 409 &NoS=(s,   21  一个新的project 413 >kp?vK;'B   21.1  创建一个新Job 414 i?g5_HI   21.2  默认设计 415 [8,yF D_U   21.3  薄膜设计 416 {~sDYRX   21.4  误差的灵敏度计算 420 -pGE]nwDL   21.5  显色指数计算 422 @u]rWVy;\[   21.6  电场分布 424 P5nO78   后记 426

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