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infotek 2023-03-20 09:58

Macleod镀膜工具书

《Essential Macleod中文手册》 zcP_-q]1  
Dgp"RUP  
目  录 wGLZzqgq  
v34XcA  
ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 z9'ME   
第1章 介绍 ..........................................................1 O6l j^  
第2章 软件安装 ..................................................... 3 <_ddGg~  
第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 v\0[B jhL?  
第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 {p1#H`  
第5章 软件结构 ............................................................... 21 kCLz@9>FQ  
第6章 应用窗口 ................................................................. 44 n\wO[l)  
第7章 设计窗口 .................................................................. 62 k+&LOb7  
第8章 图形窗口 .................................................................. 100 tE=P9 \4  
第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 q\[f$==p  
第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 }\P9$D+  
第11章 表格窗口 ................................................................. 116 I tp7X  
第12章 优化和综合 ..................................................................120 LF{d'jJ&K  
第13章 材料管理 ........................................................................ 149 Rb|\!  
第14章 多层膜 ........................................................................... 167  K7 U`  
第15章 分析和设计工具 ........................................................180 %R-"5?eTtu  
第16章 逆向工程 ................................................................ 200 W?5^cEF  
第17章 报告生成器 ............................................................. 208 u ;f~  
第18章 堆栈 ......................................................................... 213 Xr6UN{_-  
第19章 功能扩展 .................................................................. 229 >Vn;1|w  
第20章 运行表单 .................................................................... 251 \h,S1KmIBD  
第21章 模拟器 ...................................................................... 271 ,*}SfCon  
第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 V)f/umT%g  
第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 .@gv }`>  
第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 _<yJQ|[z~i  
第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 ^<.mUaP  
第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 w8%<O^wN,  
第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 0!eZ&.h?4  
第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 aS-rRL|\L  
第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 v<HhB.t.  
VSL6tQp  
D42Bm&JocO  
a=.A/;|0*  
Y2"X;`<  
)lTkqz8v  
内容简介 4 B"tz!  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 hdXdz aNS  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 j[.R|I|  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 nNSq6 Cj  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
\/xWsbG\  
T&H[JQ/h  
目录 qfd/t<?|D  
Preface 1 kid3@  
内容简介 2 cz~Fz;)2{N  
目录 i _{_ybXG|  
1  引言 1 uosFpa  
2  光学薄膜基础 2 rn"'tvhm  
2.1  一般规则 2 U,_uy@fE=?  
2.2  正交入射规则 3 @{ _[bKg  
2.3  斜入射规则 6 3P2H!r  
2.4  精确计算 7 m-xSF]q=<  
2.5  相干性 8 .z^ePZ|mV  
2.6 参考文献 10 6}qp;mR E]  
3  Essential Macleod的快速预览 10 wf)T-]e  
4  Essential Macleod的特点 32 u]lf~EE  
4.1  容量和局限性 33 jjN ]*{s  
4.2  程序在哪里? 33 F *_g3K!!  
4.3  数据文件 35 q"7rd?r52  
4.4  设计规则 35 #2<.0@@ TI  
4.5  材料数据库和资料库 37 <7NY.zvwk]  
4.5.1材料损失 38 ] lE6:^V  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 /o Q^j'v  
4.5.2 材料库 41 ^oDCF  
4.5.3导出材料数据 43 a/A$ MXZ_  
4.6  常用单位 43 A.8{LY;  
4.7  插值和外推法 46 )kfj+/  
4.8  材料数据的平滑 50 o?BcpWp  
4.9 更多光学常数模型 54 !C]0l  
4.10  文档的一般编辑规则 55 F)Oe;z6  
4.11 撤销和重做 56 00X~/'!  
4.12  设计文档 57 \bNN]=  
4.10.1  公式 58 FW~%xUSE5  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 E&ou(Q={  
4.10.3  沉积密度 59 r%QTUuRXC3  
4.10.4 平行和楔形介质 60 Eh/B[u7T[  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 cBs:7Pnp%  
4.10.4  性能 61 !A!}j.s  
4.10.5  保存设计和性能 64 xXkP(^ Y  
4.10.6  默认设计 64 8@ y@}  
4.11  图表 64 EX zA(igS  
4.11.1  合并曲线图 67 -]HPDN,OB  
4.11.2  自适应绘制 68 {8`V5:  
4.11.3  动态绘图 68 !ZlBM{C  
4.11.4  3D绘图 69 rV;X1x}l  
4.12  导入和导出 73 O1!hSu&  
4.12.1  剪贴板 73 Jse;@K5y  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 7 L2$(d4  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 ^~\cx75D  
4.13  背景 77 UolsF-U}'  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 kYMKVR  
4.15  生成Rugate 84 [l"|x75-  
4.16  参考文献 91 K`}8fU   
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 Z{&dzc  
5.1  Jobs 92 ^I2+$  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 E$!0h_.(  
5.3  输入材料 94 od\-o:bS  
5.4  设计数据文件夹 95 W:s`;8iM$  
5.5  默认设计 95 oTS/z\C"<u  
6  细化和合成 97 jFAnhbbCE  
6.1  优化介绍 97 BCUn[4Gp  
6.2  细化 (Refinement) 98 E&js`24 &  
6.3  合成 (Synthesis) 100  M18<d1*  
6.4  目标和评价函数 101 a@+n  
6.4.1  目标输入 102 9Q)9*nHe  
6.4.2  目标 103 5ZpU><y  
6.4.3  特殊的评价函数 104 SbrKNADH%  
6.5  层锁定和连接 104 y$-;6zk\]  
6.6  细化技术 104 V+04X"  
6.6.1  单纯形 105 Zw4z`x1f  
6.6.1.1 单纯形参数 106 !mX-g]4E  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 <WPLjgtn3  
6.6.2.1 Optimac参数 108 :&59N^So|  
6.6.3  模拟退火算法 109 $Sg5xkV,a  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 F`C$F!GE  
6.6.4  共轭梯度 111 (tY0/s  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Eu;f~ V  
6.6.5  拟牛顿法 112 4o|-v  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 OH+kN /Fd  
6.6.6  针合成 113 {c|{okQ;Q  
6.6.6.1 针合成参数 114 O:G5n 5J  
6.6.7 差分进化 114 ?7?hDw_Nk  
6.6.8非局部细化 115 Wra$  
6.6.8.1非局部细化参数 115 XXwe/>J  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 YoU|)6Of   
6.7.1  细化 116 aFfd!a" n  
6.7.2  合成 117 on0MhW  
6.8  参考文献 117 ]; CTr0  
7  导纳图及其他工具 118 o$4xinK  
7.1  简介 118 P84uEDY  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 >)+ -:  
7.2.1  四分之一波长规则 119 ZjB]pG+  
7.2.2  导纳图 120 B)!ty"  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 cT&!_g#g  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 vGIe"$hNh  
7.5  斜入射导纳图 141 |``rSEXYs  
7.6  对称周期 141 ,SVl>~!  
7.7  参考文献 142 v-utDQT3  
8  典型的镀膜实例 143 wR(>' ?  
8.1  单层抗反射薄膜 145 He1hgJ)N  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 YU]|N 'mL2  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 i L48  
8.4  W-膜层 148 7]J7'!Iz  
8.5  V-膜层 149 ;"R1>tw3)  
8.6  V-膜层高折射基底 150 p)k5Uh"  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 x 8_nLZ  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 hKjG/g:#G  
8.9  四层抗反射薄膜 153 9CNeMoA$p:  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 B3';Tcs  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 n)bbEXO  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 9!>Ks8'.d  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 C{<dzooz  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 2m8|0E|@  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 T=W;k<P\k  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 <0h,{28  
8.17  1/4波长堆栈 162 # 9@K  
8.18  陷波滤波器 163 b;2[E/JKB  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 iTu~Y<'m  
8.20  褶皱 165 n@PXC8}  
8.21  消偏振分光器1 169 tbm/gOBw  
8.22  消偏振分光器2 171 N'@E^ rYc  
8.23  消偏振立体分光器 172 @?/>$  
8.24  消偏振截止滤光片 173 x^XP<R{D  
8.25  立体偏振分束器1 174 n~mP7X%wE7  
8.26  立方偏振分束器2 177 k>V~ iA  
8.27  相位延迟器 178 \; FE@  
8.28  红外截止器 179 e&\+o}S  
8.29  21层长波带通滤波器 180 } b/Xui9Q  
8.30  49层长波带通滤波器 181 v~AD7k2{8  
8.31  55层短波带通滤波器 182 4R&e5!  
8.32  47 红外截止器 183 tVr^1Y  
8.33  宽带通滤波器 184 Evy_I+l  
8.34  诱导透射滤波器 186 }xb?C""q^q  
8.35  诱导透射滤波器2 188 "IA :,j.#g  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 z0-[ RGg  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 1x3>XN]a  
8.35  增益平坦滤波器 193 g><i tA?  
8.38  啁啾反射镜 1 196 {;^GKb+  
8.39  啁啾反射镜2 198 #DkdFy %`  
8.40  啁啾反射镜3 199 j G^f_w  
8.41  带保护层的铝膜层 200 5STk"  
8.42  增加铝反射率膜 201 r-'CB  
8.43  参考文献 202 1F]jy  
9  多层膜 204  8\Uy  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 Fu\!'\6  
9.2  内部透过率 204 tpj6AMO/`d  
9.3 内部透射率数据 205 WCL#3uYk"  
9.4  实例 206 lDVw2J'p  
9.5  实例2 210 3ahbv%y  
9.6  圆锥和带宽计算 212 *OU&`\bmE  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 VxqoE]Dh  
10  光学薄膜的颜色 216 n h&[e  
10.1  导言 216 kj]m@mS[  
10.2  色彩 216 hnTk)nq5#  
10.3  主波长和纯度 220 bS&XlgnKi  
10.4  色相和纯度 221 #VU>Z|$@N  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 PE&$2(  
10.6 色差 226 #``Alh8  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 c1}i|7/XSi  
10.8  颜色渲染指数 234 5XF&yYWq  
10.9  色差计算 235 #%{x*y:Ms  
10.10  参考文献 236 xv 9 G%  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 30<3DA_P  
11.1  短脉冲 238 dCO7"/IHW  
11.2  群速度 239 HbMD5(  
11.3  群速度色散 241 +Cs.v.GA5  
11.4  啁啾(chirped) 245 }S=m: VKH  
11.5  光学薄膜—相变 245 #]}]ZE  
11.6  群延迟和延迟色散 246 }@<Ru  
11.7  色度色散 246 -o B` v'  
11.8  色散补偿 249 ur JR[$p  
11.9  空间光线偏移 256 U*cWNn:."  
11.10  参考文献 258 =(Pk7{  
12  公差与误差 260 p.RSH$]  
12.1  蒙特卡罗模型 260 Y=(%t:#_  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 '~n=<Y  
12.2.1  误差工具 267 3bZ:*6W.6  
12.2.2  灵敏度工具 271 @q<d^]po  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 9HG"}CGZP  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 k!ac_}&NNv  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 |3dIq=~1"Y  
12.3  参考文献 276 CW'<Nh  
13  Runsheet 与Simulator 277 6T-iBJT  
13.1  原理介绍 277 TSKR~3D#  
13.2  截止滤光片设计 277 J  7]LMw7  
14  光学常数提取 289 a{+;&j[!  
14.1  介绍 289 ?a{>QyL  
14.2  电介质薄膜 289 N51WY7  
14.3  n 和k 的提取工具 295 n{E9p3i  
14.4  基底的参数提取 302 ~09kIO)  
14.5  金属的参数提取 306 IIUTo  
14.6  不正确的模型 306 >+F +"NAN  
14.7  参考文献 311 =fcRH:B:  
15  反演工程 313 j38>5DM6L  
15.1  随机性和系统性 313 }-%:!*bLj  
15.2  常见的系统性问题 314 eJ_$Etc  
15.3  单层膜 314 WS2@; 8.N  
15.4  多层膜 314 3im2 `n  
15.5  含义 319 "J*LR  
15.6  反演工程实例 319 b_GAK  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 'OvyQ/T  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 v0,&wdi  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 $X]Z-RCK3  
16.1  光学性质的热致偏移 329 aT}?-CUxx  
16.2  应力工具 335 k*o>ZpjNH  
16.3  均匀性误差 339 +YnQOh%v0s  
16.3.1  圆锥工具 339 vlx\hJ<I  
16.3.2  波前问题 341 'jjJ[16"d  
16.4  参考文献 343 _NB8>v  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 @2R+?2 j  
17.1  引言 345 02mu%|"  
17.2  操作数 345 =(W l'iG   
18  如何在Function中编写脚本 351 *}Nh7 >d(  
18.1  简介 351 {14sI*b16  
18.2  什么是脚本? 351 ( Y)a`[B  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 pb}4{]sI  
18.4  基础 352 ;%Rp=&J  
18.4.1  Classes(类别) 352 Ops""#Zi  
18.4.2  对象 352 :?z E@Ct  
18.4.3  信息(Messages) 352 THHA~;00YN  
18.4.4  属性 352 T(iL#2^  
18.4.5  方法 353 ;ksxz  
18.4.6  变量声明 353 X2to](\% X  
18.5  创建对象 354 <7yn:  
18.5.1  创建对象函数 355 *kKdL  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 Zm#qW2a]P  
18.5.3 丢弃对象 356 .Af H>)E  
18.5.4  总结 356 F>co#  
18.6  脚本中的表格 357 }I ^e:,{  
18.6.1  方法1 357 XaR(~2  
18.6.2  方法2 357 ]_&pIBp  
18.7 2D Plots in Scripts 358 VO+3@d:  
18.8 3D Plots in Scripts 359 KSy.  
18.9  注释 360 iYl$25k/1  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 4Vrx9 sA1  
18.11  一个更高级的脚本 362 \'Ewn8Qv8  
18.12  <esc>键 364 &$hT27A>k  
18.13 包含文件 365 ;P2(C >|  
18.14  脚本被优化调用 366 }*R.>jQ+Y  
18.15  脚本中的对话框 368 wVY;)1?  
18.15.1  介绍 368 iMXK_O%  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 2Ik@L,  
18.15.3  输入框函数 370 v}-jls  
18.15.4  自定义对话框 371 /dt'iai~l  
18.15.5  对话框编辑器 371 :z}  
18.15.6  控制对话框 377 Mv^G%zg2  
18.15.7  更高级的对话框 380 P g1EE"N@  
18.16 Types语句 384 mB]Y;R<  
18.17 打开文件 385 {uuvgFC  
18.18 Bags 387 6mbHfL>cO  
18.13  进一步研究 388 XG_Iq ,  
19  vStack 389 W_z?t;  
19.1  vStack基本原理 389 ?{M!syD<  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 uSi/|  
19.3  五棱镜 393 4Iou| H  
19.4 光束距离 396 ~'2im[f J  
19.5 误差 399 $>mTPNF  
19.6  二向分色棱镜 399 {|Pz9a- :  
19.7  偏振泄漏 404 95CCje{o _  
19.8  波前误差—相位 405 Mb0cdK?hA  
19.9  其它计算参数 405 ,0R2k `m!  
20  报表生成器 406  zOnQ656  
20.1  入门 406 OY/sCx+c  
20.2  指令(Instructions) 406 )wwQv2E  
20.3  页面布局指令 406 !.ot&EbE  
20.4  常见的参数图和三维图 407 %7oB[2  
20.5  表格中的常见参数 408 -O=a"G=  
20.6  迭代指令 408  ^"d!(npw  
20.7  报表模版 408 #Ua+P(1q  
20.8  开始设计一个报表模版 409 uY;2tZldf=  
21  一个新的project 413 "nK(+Z  
21.1  创建一个新Job 414 n/3gx4.g  
21.2  默认设计 415 GL_a`.=@  
21.3  薄膜设计 416 hA81(JWG  
21.4  误差的灵敏度计算 420 @#%rTKD9F  
21.5  显色指数计算 422 Q`]E l<$  
21.6  电场分布 424 G;%Pf9 o26  
后记 426 Ur]~>-Z  
以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢![attachment=116784]
)2 P4EEs[  
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