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2023-03-20 09:58 |
Macleod镀膜工具书
《Essential Macleod中文手册》 Ici4y*`M WY@g=W>+ 目 录 n;=FD;}j+ oBub]<.J ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 eF7I5k4 第1章 介绍 ..........................................................1 q6E'W" Q 第2章 软件安装 ..................................................... 3 1]0;2THx 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 ;m.6 ~A 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 |%XcI3@* 第5章 软件结构 ............................................................... 21 jbZTlG 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 )AcevEHB 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 C`qV+pV 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 ydY(*] 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 lZIJ[. 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 F" M/gy 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 se>\5k 第12章 优化和综合 ..................................................................120 U8>4Cl J4 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 W<^t2 j' 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 R64f0NK. 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 byt$Wqdl 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 PvW4%A@0 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 ppLLX1S 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 JP( tf+ 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 tD#) 第20章 运行表单 .................................................................... 251 iYYuZ. 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 2PeMt^ 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 GJS( 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 1Lje.%(E. 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 v/~&n 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 qG~6YCqii 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 s%vy^x29 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 `) ],FE*: 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 .dxELSV 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 Ax=)J{4v d5{=<j )'7Qd(4WT Vz-q7*o$S dOaCdnd~ c}),yQ|!: 内容简介 I!kR:Z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Hc|cA(9sh9 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 /D|q-`*K 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 [x=(:soEqC 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 >e.KD)qA w03Ur4>T 目录 b-<@3N.9] Preface 1 D(<0tU^[ 内容简介 2 iY,oaC~?"N 目录 i <RC %< 1 引言 1 k}}'fA 2 光学薄膜基础 2 Q*'OY~ 2.1 一般规则 2 C}jrx^u> 2.2 正交入射规则 3 #^aa&*<D_ 2.3 斜入射规则 6 o F_{oV' 2.4 精确计算 7 i+T5(P$ 2.5 相干性 8 _):@C:6 2.6 参考文献 10 pz/W#VN 3 Essential Macleod的快速预览 10 %FqQ+0^ 4 Essential Macleod的特点 32 \WdSj 4.1 容量和局限性 33 h|Qb:zEP, 4.2 程序在哪里? 33 Ii/{xVMD 4.3 数据文件 35 <rui\/4NJ 4.4 设计规则 35 cZoj|=3a 4.5 材料数据库和资料库 37 >XiT[Ru 4.5.1材料损失 38 ;:R2 P@6f 4.5.1材料数据库和导入材料 39 .YB/7-%M[ 4.5.2 材料库 41 Bzt:9hr6BO 4.5.3导出材料数据 43 ywyg(8>zE 4.6 常用单位 43 # SJJ@SM 4.7 插值和外推法 46 ^liW*F"UY 4.8 材料数据的平滑 50 "8U=0 a 4.9 更多光学常数模型 54 A yn$, 4.10 文档的一般编辑规则 55 l S
p"(& 4.11 撤销和重做 56 DC BN89# 4.12 设计文档 57 p_JWklg^ 4.10.1 公式 58 H;tE= 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 BjTgZ98J 4.10.3 沉积密度 59 ^Ojg}'.Ygv 4.10.4 平行和楔形介质 60 6<5:m:KE 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 4
540Lw'A 4.10.4 性能 61 6
A#xFPYY{ 4.10.5 保存设计和性能 64 ~>0H
k}Hv 4.10.6 默认设计 64 ){eQ.yW 4.11 图表 64 Nx*1m
BC 4.11.1 合并曲线图 67 4qsxlN>4O 4.11.2 自适应绘制 68 g$hEVT 4.11.3 动态绘图 68 +7_U(|gO 4.11.4 3D绘图 69 <|82)hO 4.12 导入和导出 73 SlT>S1`rnG 4.12.1 剪贴板 73 Z8Vof~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 }'>mT,ytgk 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 @k'V`ZQF 4.13 背景 77 Ix@B*Xz:` 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 &u6n5-!v 4.15 生成Rugate 84 0mmHN`< 4.16 参考文献 91 BxQ,T@ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 CM[83> 5.1 Jobs 92 WT1y7+_g(d 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ^~bdAO81 5.3 输入材料 94 $T7 qd
5.4 设计数据文件夹 95 M:& %c3 5.5 默认设计 95 z>
DQ 6 细化和合成 97 >*!^pbZfX 6.1 优化介绍 97 ^mC,Z+! 6.2 细化 (Refinement) 98 15aPoxo> 6.3 合成 (Synthesis) 100 cc}#-HKR[ 6.4 目标和评价函数 101 -F3~X R 6.4.1 目标输入 102 uf (_<~ 6.4.2 目标 103 P7/Xh3 6.4.3 特殊的评价函数 104 bF+j%= 6.5 层锁定和连接 104 Pv\8 \,B9 6.6 细化技术 104 \6"=`H0} 6.6.1 单纯形 105 M_r[wYt! 6.6.1.1 单纯形参数 106 &2q<#b 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 W5:fY>7 6.6.2.1 Optimac参数 108 8?: 2< 6.6.3 模拟退火算法 109 ~.0'v [N 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ^L7!lzyo 6.6.4 共轭梯度 111 ) vVf- zU 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 +KNd%AJ 6.6.5 拟牛顿法 112 JV'aqnb.8\ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 fZ;}_wR-H 6.6.6 针合成 113 "^wIoJ6H' 6.6.6.1 针合成参数 114 3/]FT#l]i 6.6.7 差分进化 114 .j**>&7L 6.6.8非局部细化 115 NZ6:ZzM 6.6.8.1非局部细化参数 115 1~LfR 6.7 我应该使用哪种技术? 116 asLrXGGyT 6.7.1 细化 116 UA]fKi 6.7.2 合成 117 r_
B.bK 6.8 参考文献 117 Rr[Wka9[ 7 导纳图及其他工具 118 tXZMr 7.1 简介 118 A^LS^!Jz 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 wrX n|aV 7.2.1 四分之一波长规则 119 9nFWJn 7.2.2 导纳图 120 ~
L>M-D4o 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 19!;0fe= 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 |k%1mE(+=s 7.5 斜入射导纳图 141 b0@K ~O;g 7.6 对称周期 141 7-~)/7L 7.7 参考文献 142 gMkSl8[ 8 典型的镀膜实例 143 Hr!$mf)h 8.1 单层抗反射薄膜 145 d&f!\n_~ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 "Ehh9 m1& 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ?d{O'&|: 8.4 W-膜层 148 7y)Ar 8!D 8.5 V-膜层 149 pLV
%g#h 8.6 V-膜层高折射基底 150 L%QRWhB 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 I|<]>D -8 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Y5;afU=' 8.9 四层抗反射薄膜 153 tLq]#9kL 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Q7<VuXy 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 u4m8^fj+T 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 I;eoy, 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 uGqeT#dP 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 6%>'n? 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Ht\2 IP 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 "bWx< 8.17 1/4波长堆栈 162 S $o1Q 8.18 陷波滤波器 163 k)X\z@I' 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 U?5lqq 8.20 褶皱 165 -o{ x
;:4 8.21 消偏振分光器1 169 #d/T7c# 8.22 消偏振分光器2 171 ?TK`s Gy 8.23 消偏振立体分光器 172 [?O4l` 8.24 消偏振截止滤光片 173 iF837ng5 8.25 立体偏振分束器1 174 ~w|h;*Bj 8.26 立方偏振分束器2 177 -"i$^Q` 8.27 相位延迟器 178 v-q-CI?B# 8.28 红外截止器 179 3/yt 8.29 21层长波带通滤波器 180 YhfQpe 8.30 49层长波带通滤波器 181 4#]g852 8.31 55层短波带通滤波器 182 @F$}/ 8.32 47 红外截止器 183 llWY7u" 8.33 宽带通滤波器 184 /93z3o7D> 8.34 诱导透射滤波器 186 g;6/P2w 8.35 诱导透射滤波器2 188 tY!l}:E[ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 H)"]I3 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ZX1/6|_ 8.35 增益平坦滤波器 193 !J X7y%J 8.38 啁啾反射镜 1 196 Ak kF6d+ 8.39 啁啾反射镜2 198 4\ *:Lc,- 8.40 啁啾反射镜3 199 :D-D+x 8.41 带保护层的铝膜层 200 rBi<Yy$z 8.42 增加铝反射率膜 201 L=EkY O%\" 8.43 参考文献 202 tgi%#8ZDpz 9 多层膜 204 G
kG#+C0L 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 C<I?4WM 9.2 内部透过率 204 :9%e:- 9.3 内部透射率数据 205 ?b{y#du2a 9.4 实例 206 W;UPA~nT~ 9.5 实例2 210 Y&U-d{" 9.6 圆锥和带宽计算 212 Kl%[f jI) 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 l5&5VC) 10 光学薄膜的颜色 216 ?<
teHFj 10.1 导言 216 H@$K/ 10.2 色彩 216 [MwL=9;!H 10.3 主波长和纯度 220 a=A12< 10.4 色相和纯度 221 0a8\{(w 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ]y=U"g 10.6 色差 226 Qj_)^3`e 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 bPP@ 10.8 颜色渲染指数 234 ?YZgH>7" 10.9 色差计算 235 c$2kR: 10.10 参考文献 236 -Fn/= 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 V4ePYud;^ 11.1 短脉冲 238 .PVYYhrt 11.2 群速度 239 gT$WG$^i 11.3 群速度色散 241 W)/f5[L 11.4 啁啾(chirped) 245 d v[.u{#tP 11.5 光学薄膜—相变 245 *GBV[D[G, 11.6 群延迟和延迟色散 246 !-470J 11.7 色度色散 246 :f39)g5> 11.8 色散补偿 249 ~/-SKGzo- 11.9 空间光线偏移 256 'h'pM#D 11.10 参考文献 258 SM
RKEPwp& 12 公差与误差 260 LTo!DUi` 12.1 蒙特卡罗模型 260 eaDZ^Z
Er 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 %H" 12.2.1 误差工具 267 Fs $FR-x 12.2.2 灵敏度工具 271 ]1d)jWG
12.2.2.1 独立灵敏度 271 { >izfG,\ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ;w"h n* 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 P![ZO6`:W' 12.3 参考文献 276 6V1oZ-:} 13 Runsheet 与Simulator 277 VV/T)qEe7> 13.1 原理介绍 277 )z@
+|A 13.2 截止滤光片设计 277 #@`c7SR 14 光学常数提取 289 @YH>|{S& 14.1 介绍 289 Ji9o0Y R 14.2 电介质薄膜 289 H7&y79mB 14.3 n 和k 的提取工具 295 E=,5%>C0#% 14.4 基底的参数提取 302 .u#Hg'o P 14.5 金属的参数提取 306 *qSvSY* 14.6 不正确的模型 306 c|9g=DjK 14.7 参考文献 311 ojf6@p_ 15 反演工程 313 XdV>6<gf{
15.1 随机性和系统性 313 ~zac.:a8 15.2 常见的系统性问题 314 a B MV6' 15.3 单层膜 314 9D=X3{be# 15.4 多层膜 314 ^[m-PS( 15.5 含义 319 Lv/}&'\( 15.6 反演工程实例 319 uchQv]VB 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 (n?f016*%d 15.6.2 反演工程提取折射率 327 XfVdYmii 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 )z74,n7- 16.1 光学性质的热致偏移 329 t!/~_}eD J 16.2 应力工具 335 R"O%##Ws 16.3 均匀性误差 339 VpHwc!APq 16.3.1 圆锥工具 339 ((`{-y\K 16.3.2 波前问题 341 zzI,iEG 16.4 参考文献 343 W?4:sLC#3 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 z,m3U( 17.1 引言 345 `V V>AA5 17.2 操作数 345 J9NuqV3 18 如何在Function中编写脚本 351 ?r&~(<^z 18.1 简介 351 (VN'1a ( 18.2 什么是脚本? 351 t/O^7)% 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 WK*tXc_[b 18.4 基础 352 !BkE-9v?w 18.4.1 Classes(类别) 352 vW*Mf}= 18.4.2 对象 352 R-Lpgi<a" 18.4.3 信息(Messages) 352 gE@Pb 18.4.4 属性 352 )hO%W| 18.4.5 方法 353 DKMkCPX% 18.4.6 变量声明 353 .@nfqv7{ 18.5 创建对象 354 qG
20 18.5.1 创建对象函数 355 e> 9X 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 CUpRtE8@[_ 18.5.3 丢弃对象 356 z-We>KX 18.5.4 总结 356 DU"Gz!X]Jd 18.6 脚本中的表格 357 Lc}hjK 18.6.1 方法1 357 wn_
>Vi1 18.6.2 方法2 357 8h|} Q _ 18.7 2D Plots in Scripts 358 ^znUf4N1 18.8 3D Plots in Scripts 359 $04lL/; 18.9 注释 360 }15&<s 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ~gZ1*8 s` 18.11 一个更高级的脚本 362 By7lSbj 18.12 <esc>键 364 v ,h"u 18.13 包含文件 365 l
7dm@S 18.14 脚本被优化调用 366 _$IWr)8f 18.15 脚本中的对话框 368 Hc\@{17 18.15.1 介绍 368 bV(BwWm 18.15.2 消息框-MsgBox 368 D}!YF~ 18.15.3 输入框函数 370 ,R-k]^O 18.15.4 自定义对话框 371 ]Ri=*KZa 18.15.5 对话框编辑器 371 #M w70@6 18.15.6 控制对话框 377 I(BJ1 8F$ 18.15.7 更高级的对话框 380 [W$Mn.5<s 18.16 Types语句 384 qlPIxd 18.17 打开文件 385 $0$sDN6)x 18.18 Bags 387 Il@K8?H@ 18.13 进一步研究 388 AG vhSd7 19 vStack 389 |;Jt*
_ 19.1 vStack基本原理 389 kkHK~(>G 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 W!XBuk- 19.3 五棱镜 393 _IU5HT}2 19.4 光束距离 396 TeZu*c 19.5 误差 399
R7z @y o 19.6 二向分色棱镜 399 1qn/*9W}= 19.7 偏振泄漏 404 Lhg 19.8 波前误差—相位 405 b g0ix" 19.9 其它计算参数 405 (HeSL),1 20 报表生成器 406 kP('X/ 20.1 入门 406 4PS| 20.2 指令(Instructions) 406 Wy6a4oY 20.3 页面布局指令 406 E3S0u7Es 20.4 常见的参数图和三维图 407 i}>EGmv m 20.5 表格中的常见参数 408 16I[z+RG 20.6 迭代指令 408 TK'y- 5W 20.7 报表模版 408 7],y(:[=v 20.8 开始设计一个报表模版 409 a $'U?% 21 一个新的project 413 A9ld9R 21.1 创建一个新Job 414 =$#5Ge]b 21.2 默认设计 415 N&k\X]U 21.3 薄膜设计 416 #;8VBbc\^ 21.4 误差的灵敏度计算 420 INk|NEX 21.5 显色指数计算 422 M{)eA<6 21.6 电场分布 424 P>~Usuf4 后记 426 IR2Qc6+{ 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢![attachment=116784] TZ
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