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infotek 2023-03-20 09:58

Macleod镀膜工具书

《Essential Macleod中文手册》 E3/:.t  
]>i~6!@  
目  录 $mA5@O~C5\  
^4v*W;Q  
ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 /"qcl7F  
第1章 介绍 ..........................................................1 N?4q  
第2章 软件安装 ..................................................... 3 S\NL+V?7h  
第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 (3,.3)%`  
第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 Ja^ 5?Ar|  
第5章 软件结构 ............................................................... 21 MN= sIP,zk  
第6章 应用窗口 ................................................................. 44 f%qt)Ick  
第7章 设计窗口 .................................................................. 62 KT*:F(4`  
第8章 图形窗口 .................................................................. 100 %NHYW\sKX  
第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 QYE7p\  
第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 = Rc"^oS  
第11章 表格窗口 ................................................................. 116 iT )WR90  
第12章 优化和综合 ..................................................................120 \Xg?Ug*9w  
第13章 材料管理 ........................................................................ 149 2C+(":=}  
第14章 多层膜 ........................................................................... 167 mU{4g`Iw  
第15章 分析和设计工具 ........................................................180 4,eQW[;kk  
第16章 逆向工程 ................................................................ 200 :pKG\A  
第17章 报告生成器 ............................................................. 208 m24v@?*  
第18章 堆栈 ......................................................................... 213 e 3@x*XI  
第19章 功能扩展 .................................................................. 229 .{rbw9  
第20章 运行表单 .................................................................... 251 wgd<3 X  
第21章 模拟器 ...................................................................... 271 oFg'wAO.  
第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 Wpm9`K  
第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 =&NOHT>  
第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 /(6zsq'v|  
第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 B%b_/F]e  
第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 E3\ZJjG  
第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 C!UEXj`l9  
第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 r\mPIr|  
第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 @W9H9 PWv&  
Zq?_dIX %  
d(l|hmj4j9  
wc[c N+p  
_g6wQdxT  
~zMKVM1Q.,  
内容简介 swZpWC  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 |3@=CE7G  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ?M"HXu  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 t,Q'S`eTU  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
,kE=TR.|  
/+P5)q TKL  
目录 ;Uk!jQh  
Preface 1 44Qk;8*  
内容简介 2 j];G*-iv{  
目录 i .\4l'THn,0  
1  引言 1 kknhthJ  
2  光学薄膜基础 2 [D9:A  
2.1  一般规则 2 vTcZ8|3e  
2.2  正交入射规则 3 '_E c_F  
2.3  斜入射规则 6 ReqE?CeV  
2.4  精确计算 7 ~bFdJj 1*  
2.5  相干性 8 yI4DVu.  
2.6 参考文献 10 \d$Rd")w  
3  Essential Macleod的快速预览 10 >gGil|I  
4  Essential Macleod的特点 32 777rE[\@b  
4.1  容量和局限性 33 &$Ci}{{n#  
4.2  程序在哪里? 33 U[Nosh)hu\  
4.3  数据文件 35 \3: L Nt  
4.4  设计规则 35 BUV/twU)  
4.5  材料数据库和资料库 37 @oA0{&G{  
4.5.1材料损失 38 .CvFE~  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 k)Zn>  
4.5.2 材料库 41 iU,/!IQ  
4.5.3导出材料数据 43 e+x*psQ  
4.6  常用单位 43 DUQ9AT#3  
4.7  插值和外推法 46 2\ ,e  
4.8  材料数据的平滑 50 $oc9 |Q 7  
4.9 更多光学常数模型 54 +L n M\n  
4.10  文档的一般编辑规则 55 gDMAc/V`l  
4.11 撤销和重做 56 J/= +r0c  
4.12  设计文档 57 (A2U~j?Ry}  
4.10.1  公式 58 vD_u[j]  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 >b3@>W  
4.10.3  沉积密度 59 ` v>/  
4.10.4 平行和楔形介质 60 )4Bwt`VX  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 3V"dG1?  
4.10.4  性能 61 |^>u<E5  
4.10.5  保存设计和性能 64 /#@LRN<oCq  
4.10.6  默认设计 64 l'W3=,G[?  
4.11  图表 64 ysL0hwir  
4.11.1  合并曲线图 67 rA[nUJ,  
4.11.2  自适应绘制 68 8TUF w@H%  
4.11.3  动态绘图 68 b_q! >&c  
4.11.4  3D绘图 69 8rla0d@  
4.12  导入和导出 73 $U\!q@'$  
4.12.1  剪贴板 73 3D{82*&  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 \a\^(`3a[  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 "vv$%^  
4.13  背景 77 unx;m$-c  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 GH [ U!J  
4.15  生成Rugate 84 u!hqq^1  
4.16  参考文献 91 GjG{qR  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 !a.3OpQ  
5.1  Jobs 92 e{c._zr,  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 ?,.HA@T%  
5.3  输入材料 94 L&+% Wd~  
5.4  设计数据文件夹 95 N )b|  
5.5  默认设计 95 s?4%<jz  
6  细化和合成 97 =e"H1^Ml  
6.1  优化介绍 97 ;mCGh~?G  
6.2  细化 (Refinement) 98 pZni,< Q  
6.3  合成 (Synthesis) 100 ^EnNbFI  
6.4  目标和评价函数 101 &!3VqHQ`  
6.4.1  目标输入 102 k1~nd=p  
6.4.2  目标 103 ^sr:N5~z`  
6.4.3  特殊的评价函数 104 Z&?+&q r^  
6.5  层锁定和连接 104 gPA>*;?E;@  
6.6  细化技术 104 8`R +y  
6.6.1  单纯形 105 N|j;=y!  
6.6.1.1 单纯形参数 106 3Vb=6-|  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 qr<-eJf  
6.6.2.1 Optimac参数 108 8Izn'>"  
6.6.3  模拟退火算法 109 I8pv:>EhC  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 aHVdClD2o  
6.6.4  共轭梯度 111 ~%8Q75tn.  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ?-RoqF  
6.6.5  拟牛顿法 112 )Yy#`t  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 TCEXa?,L  
6.6.6  针合成 113 _taHf %\4  
6.6.6.1 针合成参数 114 1b %T_a  
6.6.7 差分进化 114 mV! @oNCK  
6.6.8非局部细化 115 :DJ7d  
6.6.8.1非局部细化参数 115 w50Bq&/jX  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 6iV"Tl{z-  
6.7.1  细化 116 Vm,f3~  
6.7.2  合成 117 q|]0on~ ]  
6.8  参考文献 117 7gdU9c/q,  
7  导纳图及其他工具 118 ;([tf;  
7.1  简介 118 #.<F5  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 9Qs"X7iH  
7.2.1  四分之一波长规则 119 EV?47\ ~  
7.2.2  导纳图 120 5{d9,$%8&  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 #()cG  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 :z0>H5  
7.5  斜入射导纳图 141 7)(`  
7.6  对称周期 141 BtNW5'^  
7.7  参考文献 142 U)I `:J+A  
8  典型的镀膜实例 143 cLyuCaH>c  
8.1  单层抗反射薄膜 145 =`\,2Nb  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 >*t>U8  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 o"ah\"#el  
8.4  W-膜层 148 4{pemqS*  
8.5  V-膜层 149 1={Tcq\]  
8.6  V-膜层高折射基底 150 %d[xr h  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 %}ApO{  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 P7k$^n  
8.9  四层抗反射薄膜 153 61rh\<bn  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 |Q)w3\S$  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 6[2?m*BsN  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 .iN*V|n  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 whm tEY  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 Nb!6YY=Ez-  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 dbUZGn~  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 BSu)O~s  
8.17  1/4波长堆栈 162 ,8o*!(uO2  
8.18  陷波滤波器 163 @oc%4~zl  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 +j: Ld(  
8.20  褶皱 165 Ce'2lo  
8.21  消偏振分光器1 169 gL}Y5U+s  
8.22  消偏振分光器2 171 4Z~Dxo  
8.23  消偏振立体分光器 172 S1= JdN  
8.24  消偏振截止滤光片 173 PM<LR?PLc  
8.25  立体偏振分束器1 174 ~5!TV,>ls  
8.26  立方偏振分束器2 177 L8tLW09  
8.27  相位延迟器 178 8Pdnw/W  
8.28  红外截止器 179 JR<-'  
8.29  21层长波带通滤波器 180 v_h*:c  
8.30  49层长波带通滤波器 181 k\<Ln w  
8.31  55层短波带通滤波器 182 })SdaZ  
8.32  47 红外截止器 183 ^`MDP`M;  
8.33  宽带通滤波器 184 71&+dC  
8.34  诱导透射滤波器 186 khIa9Nm  
8.35  诱导透射滤波器2 188 i6:yNb ='  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ;/q6^Nk3A  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 d@f2Vxe7  
8.35  增益平坦滤波器 193 AX RNV  
8.38  啁啾反射镜 1 196 VX[!Vh  
8.39  啁啾反射镜2 198 l'%R^  
8.40  啁啾反射镜3 199 X3O$Sd(D  
8.41  带保护层的铝膜层 200 c+/C7C o  
8.42  增加铝反射率膜 201 /(pChY>  
8.43  参考文献 202 Fh $&puF2  
9  多层膜 204 dKTAc":-}  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 !QS<;)N@  
9.2  内部透过率 204 'k Z1&_{  
9.3 内部透射率数据 205 XqH<)B ]  
9.4  实例 206 lB~'7r`  
9.5  实例2 210 `3oP^#  
9.6  圆锥和带宽计算 212 S Tk#hhx  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 iRHQRdij  
10  光学薄膜的颜色 216 MXV4bgltT  
10.1  导言 216 695ppiKU  
10.2  色彩 216 53 05N!  
10.3  主波长和纯度 220 PzDgl6C  
10.4  色相和纯度 221 5K~6`  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 uwA3!5  
10.6 色差 226 x's-UO"^  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 cSk}53  
10.8  颜色渲染指数 234 $u"$mg7x  
10.9  色差计算 235 :%MWbnVSC,  
10.10  参考文献 236 hiHp@"l<  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 q:.BY}X9  
11.1  短脉冲 238 &[5az/Hj*  
11.2  群速度 239 [F EQ@  
11.3  群速度色散 241 <-}\V!@E!  
11.4  啁啾(chirped) 245 }L9j`17  
11.5  光学薄膜—相变 245 1PSb72h<  
11.6  群延迟和延迟色散 246 UI;{3Bn  
11.7  色度色散 246 m.1BLN[9  
11.8  色散补偿 249 a~>h'}C>  
11.9  空间光线偏移 256 sXu+F2O  
11.10  参考文献 258 `l"~"x^Rr  
12  公差与误差 260 ^dv>n]?  
12.1  蒙特卡罗模型 260 EA.U>5Fq  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 i;Y^}2   
12.2.1  误差工具 267 5Y^ YKV{  
12.2.2  灵敏度工具 271 f6 nltZ  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 +F|[9o z  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 v<1;1m  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 6EY4@0%A  
12.3  参考文献 276 p<4':s;*  
13  Runsheet 与Simulator 277 ~_%[j8o&l  
13.1  原理介绍 277 ^iNR(cwgX  
13.2  截止滤光片设计 277 rNc>1}DDS  
14  光学常数提取 289 . {I7sUQ  
14.1  介绍 289 2dfA}i>k  
14.2  电介质薄膜 289 z61 o6mb  
14.3  n 和k 的提取工具 295 }_ E  
14.4  基底的参数提取 302 ;G$FLL1   
14.5  金属的参数提取 306 3$Je,|bs  
14.6  不正确的模型 306 &D:88   
14.7  参考文献 311 _EP}el  
15  反演工程 313 1Q<a+ l  
15.1  随机性和系统性 313 d9s"y?8  
15.2  常见的系统性问题 314 $3>|R lxYA  
15.3  单层膜 314 m`Z4#_s2  
15.4  多层膜 314 2sngi@\  
15.5  含义 319 ZD3S|1zSQ  
15.6  反演工程实例 319 945psG@|  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 H X8q+  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 < javZJ  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 ,~v1NK*  
16.1  光学性质的热致偏移 329 @:}z\qBM  
16.2  应力工具 335 !T}`h'  
16.3  均匀性误差 339 0/c4%+ Ln  
16.3.1  圆锥工具 339  m{~r6@  
16.3.2  波前问题 341 ~/t# J  
16.4  参考文献 343 =Oy,SX  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 pcE.  
17.1  引言 345 7\.5G4dr%  
17.2  操作数 345 K.z@Vx.  
18  如何在Function中编写脚本 351 -Jb I7Le  
18.1  简介 351 W*P/~U=  
18.2  什么是脚本? 351 ~`y6YIJ3  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 , =#'?>Kq  
18.4  基础 352 by- B).7  
18.4.1  Classes(类别) 352 h>4\I;Ij  
18.4.2  对象 352 V4|pZ]  
18.4.3  信息(Messages) 352 AtSEKpKc  
18.4.4  属性 352 TtHqdKL  
18.4.5  方法 353 (i {  
18.4.6  变量声明 353 WO|#`HM2  
18.5  创建对象 354 f)>=.sp  
18.5.1  创建对象函数 355 k5((@[  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355  E;k'bz  
18.5.3 丢弃对象 356 lV3\5AEW  
18.5.4  总结 356 90;[5c   
18.6  脚本中的表格 357 SwLul4V  
18.6.1  方法1 357 geua8;  
18.6.2  方法2 357 @Kp2l<P  
18.7 2D Plots in Scripts 358 Y7 = *-  
18.8 3D Plots in Scripts 359 |*Hw6m  
18.9  注释 360 K^EW*6vB8O  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 LyH{{+V  
18.11  一个更高级的脚本 362 .#@*)1A#t  
18.12  <esc>键 364 Pr9$( 6MX  
18.13 包含文件 365 3V2 "1Ic  
18.14  脚本被优化调用 366 kU0e;r1N  
18.15  脚本中的对话框 368 Ab/gY$l  
18.15.1  介绍 368 >2TDYB|;  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 ng"R[/)In  
18.15.3  输入框函数 370 GG-7YJ  
18.15.4  自定义对话框 371 7' ]n_-fu  
18.15.5  对话框编辑器 371 {%*,KB>b  
18.15.6  控制对话框 377 N[:;f^bH49  
18.15.7  更高级的对话框 380 4 cDjf~n  
18.16 Types语句 384 -A^18r  
18.17 打开文件 385 x\T 9V~8a  
18.18 Bags 387 V4PI~"4q#1  
18.13  进一步研究 388 kaq H.e(  
19  vStack 389 R7pdwKD  
19.1  vStack基本原理 389 YMb\v4  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 ya.!zGH  
19.3  五棱镜 393 %5Q5xw]w3  
19.4 光束距离 396 hH_&42E6  
19.5 误差 399 GG<{n$h  
19.6  二向分色棱镜 399 845a%A$  
19.7  偏振泄漏 404 2[-@ .gH  
19.8  波前误差—相位 405 ?tx%K U\3  
19.9  其它计算参数 405 <?yf<G'$  
20  报表生成器 406 `< _A#@  
20.1  入门 406 $v5)d J  
20.2  指令(Instructions) 406 YD>5zV%!D  
20.3  页面布局指令 406 ;J [ed>v;3  
20.4  常见的参数图和三维图 407 c$fi3O  
20.5  表格中的常见参数 408 +pMa-{  
20.6  迭代指令 408 !A_<(M<  
20.7  报表模版 408 ^jY/w>UdH  
20.8  开始设计一个报表模版 409 N!me:|Dn  
21  一个新的project 413 o9GtS$ O\  
21.1  创建一个新Job 414 PH!^ww6  
21.2  默认设计 415 <=O/_Iu(  
21.3  薄膜设计 416 hv. 33l  
21.4  误差的灵敏度计算 420 "!w$7|% T  
21.5  显色指数计算 422 9c pjO  
21.6  电场分布 424 ^v2-"mX<  
后记 426 HV0!G-h  
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