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2023-03-20 09:58 |
Macleod镀膜工具书
《Essential Macleod中文手册》 eF]8Ar1 2}=@n*8*d 目 录 iO&*WIbg xP_/5N=f ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 O wuc9 第1章 介绍 ..........................................................1 #}Yrxf 第2章 软件安装 ..................................................... 3 DuNindo8 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 p^|6 /b 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 re_nb)4g 第5章 软件结构 ............................................................... 21 81"` B2 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 ,jEc4ih4 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 }toe'6 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 tAE(`ow/Ur 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 &8w#
4*W 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 Y0.'u{J* 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 67hfv e 第12章 优化和综合 ..................................................................120 7*j!ZUzp 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 63 'X#S 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 7UY4* j|[C 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 ~;?<OOt|wG 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 ^GAJ9AF@( 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 DI8<0.L 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 q8&l%-d` 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 H<[~V0= 第20章 运行表单 .................................................................... 251 ]+46r!r| 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 R|}N"J _ 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 70GBf" 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 ax>j3HKi 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 (ix. 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 2mnAL# 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 Db<#gH 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 Vi: ^bv 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 P
woiX#vz 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 %0} ^M1 );%H;X+x w6Nnx5Ay R2n
2mQ < hiBsksZRnk /ZD 6pF 内容简介 "5Y6.$Cuf! Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 t+}wTis 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 |bz%SB 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 #kASy 2t 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ?9a%g\`?: ^e_LnJ+ 目录 8'zZVX D< Preface 1 5gtf`ebs/ 内容简介 2 Ac|\~w[\ 目录 i J6n>{iE 1 引言 1 hK{H7Ey* 2 光学薄膜基础 2 }1e4u{ 2.1 一般规则 2 Z.Yq)\it 2.2 正交入射规则 3 q6)fP4MQ] 2.3 斜入射规则 6 jZzTnmm&? 2.4 精确计算 7 GM0Q@`d 2.5 相干性 8 5K ;E*s, 2.6 参考文献 10 2^=.j2 3 Essential Macleod的快速预览 10 3}<U'%sd 4 Essential Macleod的特点 32 #M16qOEw 4.1 容量和局限性 33 /W$i8g 4.2 程序在哪里? 33 *$ g!/, 4.3 数据文件 35 !Fp %2gt| 4.4 设计规则 35 d]]z ) 4.5 材料数据库和资料库 37 #dj?^n g 4.5.1材料损失 38 az6& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 7bzm5w@v 4.5.2 材料库 41 +ODua@ULFB 4.5.3导出材料数据 43 nf/?7~3?[ 4.6 常用单位 43 SOhM6/ID2/ 4.7 插值和外推法 46 (MI>7| '; 4.8 材料数据的平滑 50 RkYn6 4.9 更多光学常数模型 54 m4 (pMrJ 4.10 文档的一般编辑规则 55 O`9c!_lis 4.11 撤销和重做 56 `SFeln{1B 4.12 设计文档 57 aX^T[ 4.10.1 公式 58 3&+dyhL'w 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 /ooGyF 4.10.3 沉积密度 59 yx5e 4.10.4 平行和楔形介质 60 ::oFL#+ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Y=P*
4.10.4 性能 61 i=aR~ 4.10.5 保存设计和性能 64 fz=?QEG 4.10.6 默认设计 64 W5
F\e[Ax5 4.11 图表 64 z#GZb 4.11.1 合并曲线图 67 eo0-aHs 4.11.2 自适应绘制 68 +-^>B%/&Z 4.11.3 动态绘图 68 1IA1; 4.11.4 3D绘图 69 WFOJg& 4.12 导入和导出 73 Hw]E#S 4.12.1 剪贴板 73 /h0bBP 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 2'Dl$DH 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 X
."z+-eh 4.13 背景 77 `F7]M 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 {h?pvH_> 4.15 生成Rugate 84 XMuZ}u[U 4.16 参考文献 91 t]LiFpy2IC 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ^HSxE 5.1 Jobs 92 [CI&4) # 5.2 创建一个新Job(工作) 93 il5C9ql$ 5.3 输入材料 94 0SIC=p=J 5.4 设计数据文件夹 95 \X8b!41 5.5 默认设计 95 "tz6O0D 6 细化和合成 97 fHup&|. 6.1 优化介绍 97 zeHF-_{ 6.2 细化 (Refinement) 98 lGd'_~'= 6.3 合成 (Synthesis) 100 7AV{
h[J 6.4 目标和评价函数 101 <k:I2LF_ 6.4.1 目标输入 102 +
Q-b} 6.4.2 目标 103 ;5 j|B|v 6.4.3 特殊的评价函数 104 *,\"}x* 6.5 层锁定和连接 104 !g|O.mt 6.6 细化技术 104 VL9wRu; 6.6.1 单纯形 105 ^c\O,*: 6.6.1.1 单纯形参数 106 }%_|k^t 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 NKO"'
6.6.2.1 Optimac参数 108 5*YoK)2J 6.6.3 模拟退火算法 109 +~^S'6yB 6.6.3.1 模拟退火参数 109 : ,l7e 6.6.4 共轭梯度 111
>2s4BV[( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 uY&1[(Pb 6.6.5 拟牛顿法 112 l_^OdQ9D 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 W{}$c`,R 6.6.6 针合成 113 ?"x4u#x 6.6.6.1 针合成参数 114 F0:]@0>r 6.6.7 差分进化 114 4[gmA 6.6.8非局部细化 115 7rjl-FUA~ 6.6.8.1非局部细化参数 115 GcVQz[E 6.7 我应该使用哪种技术? 116 68tyWd} 6.7.1 细化 116 d51lTGH7Z 6.7.2 合成 117 y]j.PT`Cw 6.8 参考文献 117 {"ST
hTZ 7 导纳图及其他工具 118 I=0c\ U} 7.1 简介 118 8Qg10Yjy 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 L/8oqO| 7.2.1 四分之一波长规则 119 / Q1*Vh4 7.2.2 导纳图 120 cJ4My#w 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \O|SPhaIf 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Lw>B:3e 7.5 斜入射导纳图 141 {iD/0q 7.6 对称周期 141 C`.YOkpj 7.7 参考文献 142 -b-a21,m> 8 典型的镀膜实例 143 ?v2_7x& 8.1 单层抗反射薄膜 145 [b++bCH3 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 $J7V]c*-b 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,!:c6F+ 8.4 W-膜层 148 $BwWQ?lp 8.5 V-膜层 149 )CFJXc: 8.6 V-膜层高折射基底 150 *qpu!z2m|| 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Cj0r2^` 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 C>Ik ; 8.9 四层抗反射薄膜 153 -<g9) CV5 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 /@9Q:'P 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 A({czHLhN5 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 j
3<Ci {3 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 zj`c%9N+ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 k1B
](@xt 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ~fXNj-'RW 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 !<w6j-S 8.17 1/4波长堆栈 162 ,P~e)<. 8.18 陷波滤波器 163 j\uZo.Ot+ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 b<a3Ue% 8.20 褶皱 165 mY 1l2 8.21 消偏振分光器1 169 )M8d\] 8.22 消偏振分光器2 171 iJTG+gx 8.23 消偏振立体分光器 172 \RDN_Z 8.24 消偏振截止滤光片 173 Igo`\JY 8.25 立体偏振分束器1 174 $JFjR@j 8.26 立方偏振分束器2 177 ZX_QnSNZ? 8.27 相位延迟器 178 Q7+WV`& 8.28 红外截止器 179 3!P^?[p3 8.29 21层长波带通滤波器 180 ktU:Uq 8.30 49层长波带通滤波器 181 Zo=,!@q( 8.31 55层短波带通滤波器 182 MfQ0O?oBp 8.32 47 红外截止器 183 st w@@GQ 8.33 宽带通滤波器 184 Q YA4C1h' 8.34 诱导透射滤波器 186 [<B,6nAl 8.35 诱导透射滤波器2 188 :DH@zR 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 SzLlJUV X 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 !{&r|6 8.35 增益平坦滤波器 193 Q=Q+*oog 8.38 啁啾反射镜 1 196 +wQ5m8E 8.39 啁啾反射镜2 198 N<JI^%HBgP 8.40 啁啾反射镜3 199 =9&2udV1 8.41 带保护层的铝膜层 200 dX?j/M- 8.42 增加铝反射率膜 201 \%r#>8c8 8.43 参考文献 202 V
FM[- 9 多层膜 204 h%j4(v}r{C 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 }wf8y 9.2 内部透过率 204 #c|l|Xvq2 9.3 内部透射率数据 205 }cz58% 9.4 实例 206 0hS&4nW 9.5 实例2 210 m0G"Aj 9.6 圆锥和带宽计算 212 Md6u4c 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 u8"s#%>Ny 10 光学薄膜的颜色 216 H;=yR]E 10.1 导言 216 hTBJ\1
- 10.2 色彩 216 }%KQrlbHJl 10.3 主波长和纯度 220 n^'d8Y( 10.4 色相和纯度 221 U'jmgHq 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 n[/D>Pi 10.6 色差 226 CX#d 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 puOMtCI 10.8 颜色渲染指数 234 %Vo'\| 10.9 色差计算 235 8z93ETv7` 10.10 参考文献 236 0+0Y$;< 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 $(&uaDYv 11.1 短脉冲 238 5]{rim 11.2 群速度 239 &Zz&VwWR 11.3 群速度色散 241 |(~IfSE2 11.4 啁啾(chirped) 245 ,5 8-h?B0v 11.5 光学薄膜—相变 245 :{w3l O 11.6 群延迟和延迟色散 246 0yjYjIk"T 11.7 色度色散 246 %YxKWZ/? 11.8 色散补偿 249 Va[&~lA) 11.9 空间光线偏移 256 }r04*P( 11.10 参考文献 258 X'd\b}Bm 12 公差与误差 260 n_sV>$f-u 12.1 蒙特卡罗模型 260 =YM 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 K*~xy bA 12.2.1 误差工具 267 n(A;:)W{ 12.2.2 灵敏度工具 271 V xN!Ki= 12.2.2.1 独立灵敏度 271 .WglLUJ:Z 12.2.2.2 灵敏度分布 275 P w6l' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 C4E* q3[Y 12.3 参考文献 276 `~axOp9N 13 Runsheet 与Simulator 277 +) 9=bB 13.1 原理介绍 277 pDC`Fi 13.2 截止滤光片设计 277 yJx,4be 14 光学常数提取 289 *o=Z~U9z 14.1 介绍 289 "+Ks# 14.2 电介质薄膜 289 w^~s4Q_>> 14.3 n 和k 的提取工具 295 EhW@iYL 14.4 基底的参数提取 302 UeUOGf , 14.5 金属的参数提取 306 p@$92> ' 14.6 不正确的模型 306 BAqwYWdS 14.7 参考文献 311 ?zo7.R-Vac 15 反演工程 313 |r*y63\T 15.1 随机性和系统性 313 !ggHLZRlz 15.2 常见的系统性问题 314 1\jj3Y'i' 15.3 单层膜 314 98}l`J=i 15.4 多层膜 314 Nj;(QhYZ 15.5 含义 319 3&X5*-U 15.6 反演工程实例 319 G$`hPNSh 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 j%!xb>< 15.6.2 反演工程提取折射率 327 .j!:Hp(z} 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 _=w=!U&W 16.1 光学性质的热致偏移 329 'mU\X!-
4< 16.2 应力工具 335 RZvRV?<bR 16.3 均匀性误差 339 V g7+G( , 16.3.1 圆锥工具 339 S{cK~sZj 16.3.2 波前问题 341 qE^u{S4Z@ 16.4 参考文献 343 <SRSJJR|( 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 wh]v{Fi' 17.1 引言 345 <t *3w 17.2 操作数 345 ]{-ib:f~ 18 如何在Function中编写脚本 351 uN&49o 18.1 简介 351 K>+c2;t; 18.2 什么是脚本? 351 &>@EfW]( 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 !;PKx]/& 18.4 基础 352 !O,`Z`T? 18.4.1 Classes(类别) 352 V=GP_^F 18.4.2 对象 352 Yu9(qRK 18.4.3 信息(Messages) 352 M/6q
^* 18.4.4 属性 352 _t7aOH 18.4.5 方法 353 w3Qil[rg 18.4.6 变量声明 353 .|6Wmn-uS 18.5 创建对象 354 xqKj&RuLu 18.5.1 创建对象函数 355 ^@maF<Jb 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 9(9\kQj{C 18.5.3 丢弃对象 356 dqL)q 3 18.5.4 总结 356 Ut"F b 18.6 脚本中的表格 357 ~EhM"go 18.6.1 方法1 357 2K(zYv54 18.6.2 方法2 357 tjy@sO/Q 18.7 2D Plots in Scripts 358 6[%4Q[ 18.8 3D Plots in Scripts 359 _K>YB>W}7 18.9 注释 360 PwxRu 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 vB/G#\Zqz 18.11 一个更高级的脚本 362 a/
Z\h{* 18.12 <esc>键 364 <yEd'Z 18.13 包含文件 365 /`B:F5r 18.14 脚本被优化调用 366 &q[`lIV, L 18.15 脚本中的对话框 368 }W"/h)q 18.15.1 介绍 368 &14Er,K 18.15.2 消息框-MsgBox 368 AtlUxFX0S 18.15.3 输入框函数 370 bu r0?q 18.15.4 自定义对话框 371 |NWo.j>4- 18.15.5 对话框编辑器 371 ^&8xfI6? 18.15.6 控制对话框 377 n|I5ylt 18.15.7 更高级的对话框 380 5F|oNI}$: 18.16 Types语句 384 ~@Eu4ip)F 18.17 打开文件 385 ^b`aO$ 18.18 Bags 387 +dSO?Y] 18.13 进一步研究 388 4] I7t 19 vStack 389 _QOZ`st 19.1 vStack基本原理 389 eB*0}) 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 T|Fl$is 19.3 五棱镜 393 5XA{<)$ 19.4 光束距离 396 Sy`7 })[ 19.5 误差 399 r(cd?sL96R 19.6 二向分色棱镜 399 /aD3E"Op 19.7 偏振泄漏 404 LYyOcb[x 19.8 波前误差—相位 405 N(^
q%eHp 19.9 其它计算参数 405 ]eZrb%B. 20 报表生成器 406 YeCS`IXm 20.1 入门 406 vTU*6) 20.2 指令(Instructions) 406 <2>Qr(bb 20.3 页面布局指令 406 x\R
8W8M 20.4 常见的参数图和三维图 407 r5g:#mF" 20.5 表格中的常见参数 408 z#elwL6 20.6 迭代指令 408 IX)\z 20.7 报表模版 408 P+nd?:cz 20.8 开始设计一个报表模版 409 uMe]].04 21 一个新的project 413 RwptFO 21.1 创建一个新Job 414 P<A_7Ho 21.2 默认设计 415 /V@9! 21.3 薄膜设计 416
V
t@] 21.4 误差的灵敏度计算 420 m<uBRI*I 21.5 显色指数计算 422 9s'[p'[Z 21.6 电场分布 424 ev;R; 0< 后记 426 wXnluE 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢![attachment=116784] 0B?t:XU ,
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