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2023-03-20 09:58 |
Macleod镀膜工具书
《Essential Macleod中文手册》 z~L4BY @z Kg VLXI6 目 录 )xiic3F SJ6lI66OX ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 d0Py[37V 第1章 介绍 ..........................................................1 HN7(-ml=B 第2章 软件安装 ..................................................... 3 Ih ;6(5z 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 1/jJ;}
第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 TKx.`Cf
m 第5章 软件结构 ............................................................... 21 9jDV]!N4 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 L
Bb&av 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 -w1U/o. 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 MSUkCWt! 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 kUUN2 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 4rO07)~l 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 ^+F@KXnL 第12章 优化和综合 ..................................................................120 9.m_3"s 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 TbXp%O:[W 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 ` Xhj7%> 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 lE78Yl] 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 2o] V q 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 p(8H[L4Y 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 W2O
=dG` 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 H1yl88K 第20章 运行表单 .................................................................... 251 awB1ryrOF 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 Pp7}|/ 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 j5Vyo> 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 VE+Q Y9( 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 ^Y8?iC<+ 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301
\U(qv(T 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 E
y1mlW 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 \sEq
r)\k 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 w=
|).qQ] 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 )'?3%$EM q!\K!W \ !o+#T==p luACdC { " woBOaA &|'1.^f@;E 内容简介 vR.=o*!% Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Wz)s# 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 T?4MFx# 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 RZ#b)l 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 zlco?Rt X`/8fag 目录 >B<jR$`6@ Preface 1 @d:TAwOI' 内容简介 2 Azvj(j 目录 i bCHJLtDQ 1 引言 1 l
tE` 2 光学薄膜基础 2 lQj3#!1} 2.1 一般规则 2 i2j_=X- 2.2 正交入射规则 3 ghq [oK 2.3 斜入射规则 6 kG@~;*;l 2.4 精确计算 7 I(y:Td 2.5 相干性 8 2kzm(K 2.6 参考文献 10 b-ZC~#?|b 3 Essential Macleod的快速预览 10 ?9'Ukw`
g 4 Essential Macleod的特点 32 VRQ'sn@ 4.1 容量和局限性 33 xTiC[<j 4.2 程序在哪里? 33 P /|2s 4.3 数据文件 35 A:Pp;9wl 4.4 设计规则 35 @xIKYJyU 4.5 材料数据库和资料库 37 hC2 @Gq 4.5.1材料损失 38 j;6kN-jx 4.5.1材料数据库和导入材料 39 I!>pHF4 4.5.2 材料库 41 mX66}s}# 4.5.3导出材料数据 43 ~3bH2,{L[ 4.6 常用单位 43 r#hA kOw 4.7 插值和外推法 46 1(t{)Z< 4.8 材料数据的平滑 50 Ox9WH4E 4.9 更多光学常数模型 54 Q{-T;T 4.10 文档的一般编辑规则 55 Qau\6p>^ 4.11 撤销和重做 56 &v9*D`7L 4.12 设计文档 57 uv,&/,;S 4.10.1 公式 58 "=8= G 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 _]zm02| 4.10.3 沉积密度 59 6/e+=W2 4.10.4 平行和楔形介质 60 ;U$Fz~rJ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 FbO\ #p s 4.10.4 性能 61 s[6y|{&ze 4.10.5 保存设计和性能 64 }\Kki 4.10.6 默认设计 64 Jd#g"a>zZ 4.11 图表 64 #fdQ\)#q> 4.11.1 合并曲线图 67 N~Zcrt_D 4.11.2 自适应绘制 68 vU|=" # 4.11.3 动态绘图 68 h2~b%|Pv 4.11.4 3D绘图 69 t$+[(}@+ 4.12 导入和导出 73 4'EC(NR7N 4.12.1 剪贴板 73 %z1y3I|`[t 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 N;N,5rxV 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 93I.Wp_{ 4.13 背景 77 K`%{(^}. 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 mtfEK3?2* 4.15 生成Rugate 84 ]1YyP 4.16 参考文献 91 Qn0 1ig
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 V% -wZL/ 5.1 Jobs 92 ~t0\Q; @($ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Y243mq- 5.3 输入材料 94 [@K#BFA 5.4 设计数据文件夹 95 9qe< bds1 5.5 默认设计 95 Vm6
0aXm_ 6 细化和合成 97 ?
}t[ 6.1 优化介绍 97 aG&ay3[& 6.2 细化 (Refinement) 98 A\xvzs.d 6.3 合成 (Synthesis) 100 iH&BhbRu_ 6.4 目标和评价函数 101 67,@*cK3?J 6.4.1 目标输入 102 FH Hi/yh 6.4.2 目标 103 BBkYc:B=SA 6.4.3 特殊的评价函数 104
a@mMa { 6.5 层锁定和连接 104 q2>dPI;3T 6.6 细化技术 104 znVao %b 6.6.1 单纯形 105 @xu/&pbI 6.6.1.1 单纯形参数 106 $<c;xDO&t 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )2lzPK t 6.6.2.1 Optimac参数 108 BZUA/;Hz & 6.6.3 模拟退火算法 109 \~ACWF7l 6.6.3.1 模拟退火参数 109 v7Q= 6.6.4 共轭梯度 111 LA\)B"{J 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 :Ca]/ ]] 6.6.5 拟牛顿法 112 >S]_{pb 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 RlW7l1h& 6.6.6 针合成 113 Wa {()Cz 6.6.6.1 针合成参数 114 sD_" 6.6.7 差分进化 114 aNcuT,=(?8 6.6.8非局部细化 115 !`UHr]HJ 6.6.8.1非局部细化参数 115 ICbT{Mla 6.7 我应该使用哪种技术? 116 w26x)(7 6.7.1 细化 116 ?A]@$ 6.7.2 合成 117 4=b{k,kzgA 6.8 参考文献 117 Vy+UOV&v- 7 导纳图及其他工具 118 QAI!/bB 7.1 简介 118 qjc8 $#zXS 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 R MrrLT 7.2.1 四分之一波长规则 119 moe5H 7.2.2 导纳图 120 -( d,AX 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 hp:8e@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 R3`Rrj Z 7.5 斜入射导纳图 141 ;Xzay| 7.6 对称周期 141 kVG]zt2 7.7 参考文献 142 $IdY(f:.:5 8 典型的镀膜实例 143 fxR}a,a 8.1 单层抗反射薄膜 145 }zK/43Vx 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 =2BB ~\G+ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 @qGg=)T 8.4 W-膜层 148 }'o[6#_*X 8.5 V-膜层 149 QqS?- 8.6 V-膜层高折射基底 150 s3.,
N| 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 `/1Zy}cD 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 r]0UF0# 8.9 四层抗反射薄膜 153 1zz.`.R2U 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 g;M\4o 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 5[1#d\QR 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 jNO8n)a&p 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ~w>Z !RuhT 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Q302!N 8.15十五层宽带抗反射膜 159 O8J:Tw}M* 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 JN{xh0* 8.17 1/4波长堆栈 162 8G SO] R 8.18 陷波滤波器 163 e>oE{_e 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 8/4Gr8o 8.20 褶皱 165 FyZ iiH4| 8.21 消偏振分光器1 169 =XT'D@q~W 8.22 消偏振分光器2 171 o`@B*, @ 8.23 消偏振立体分光器 172 o4Bl!7U 8.24 消偏振截止滤光片 173 bhFAt1h 8.25 立体偏振分束器1 174 bnWKfz5 8.26 立方偏振分束器2 177 i"rrM1/r
8.27 相位延迟器 178 ,0~/ Cn
8.28 红外截止器 179 $B
iG7,[# 8.29 21层长波带通滤波器 180 >QusXD"L> 8.30 49层长波带通滤波器 181 ? }k~>. \ 8.31 55层短波带通滤波器 182 I)-u)P?2x 8.32 47 红外截止器 183 ^z[-pTY 8.33 宽带通滤波器 184 Kk^tQwj/QE 8.34 诱导透射滤波器 186 iZ`1Dzxgk 8.35 诱导透射滤波器2 188 kt";Jx 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 l7]$Wc[ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 J)l]<## 8.35 增益平坦滤波器 193 }/Wd9x 8.38 啁啾反射镜 1 196 p,?8s% 8.39 啁啾反射镜2 198 '(/ZJ88JP 8.40 啁啾反射镜3 199 Xcq9*!%o 8.41 带保护层的铝膜层 200 n},~2 8.42 增加铝反射率膜 201 jH*+\:UP- 8.43 参考文献 202 u&=SZX&G k 9 多层膜 204 6]|NB & 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ==psPyLF@ 9.2 内部透过率 204 AJ;Y Nb 9.3 内部透射率数据 205 |U_48 9.4 实例 206 1%L* 9>e 9.5 实例2 210 NLJD}{8Ot 9.6 圆锥和带宽计算 212 5k`[a93T 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 !U"1ZsO)l 10 光学薄膜的颜色 216 Y/t:9Aau 10.1 导言 216 I +,D,Vg 10.2 色彩 216 '_n{+eR74 10.3 主波长和纯度 220
*it(o 10.4 色相和纯度 221 qj71
rj 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 I(8,D[G.m 10.6 色差 226 Zq|oj^ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 }9=\#Le~\ 10.8 颜色渲染指数 234 #lyvb.; 10.9 色差计算 235 s z.(_{5! 10.10 参考文献 236 Z`xz |:D+ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 F<?e79},` 11.1 短脉冲 238 N(?yOB4gt 11.2 群速度 239 'JEZ;9} 11.3 群速度色散 241 h^P>pI~ 11.4 啁啾(chirped) 245 `8F%bc54iw 11.5 光学薄膜—相变 245 Y2Mti-\ 11.6 群延迟和延迟色散 246 r'hr'wZ 11.7 色度色散 246 #K7i<Bf 11.8 色散补偿 249 " 7!K'i 11.9 空间光线偏移 256 u[U~`*i*rA 11.10 参考文献 258 L%a ni}V 12 公差与误差 260 h<*l=`# 12.1 蒙特卡罗模型 260 .2hQ!)+ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ,_T,B'a: 12.2.1 误差工具 267 $JTy`g0>x 12.2.2 灵敏度工具 271 p5C
sw5 12.2.2.1 独立灵敏度 271 )2oWoZvi9 12.2.2.2 灵敏度分布 275
9`^VuC' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 +asJV1a 12.3 参考文献 276 xIF
z@9+k 13 Runsheet 与Simulator 277 ]Bs ? 13.1 原理介绍 277 %^"T z,f 13.2 截止滤光片设计 277 ;T6^cS{ Gj 14 光学常数提取 289 dUn8Xqj1 14.1 介绍 289 ,"PwNv 14.2 电介质薄膜 289 +[r%y,k 14.3 n 和k 的提取工具 295 mW 5L;> 14.4 基底的参数提取 302 }se)=7d8
Z 14.5 金属的参数提取 306 w\_NrsO!x 14.6 不正确的模型 306 *6Rl[eXS 14.7 参考文献 311 >w9)c| 15 反演工程 313 ##u+[ ! 15.1 随机性和系统性 313 Qd!;CoOmZs 15.2 常见的系统性问题 314 )+ Wr- Yay 15.3 单层膜 314 xn@?CP`-y 15.4 多层膜 314 j&fr4t3 15.5 含义 319 _dsd{& 15.6 反演工程实例 319 S#+G?I3w 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Sct-,K%i 15.6.2 反演工程提取折射率 327 _89
_*t( 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ER5Q` H 16.1 光学性质的热致偏移 329 v5wI?HE 16.2 应力工具 335 p`1d'n[ 16.3 均匀性误差 339 $EviGZFAaR 16.3.1 圆锥工具 339 ACl:~7; 16.3.2 波前问题 341 Oe$cM=Yf 16.4 参考文献 343 WGG|d)'@ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 z}C#+VhQ` 17.1 引言 345 FEaf&'G] 17.2 操作数 345 l$,l3 18 如何在Function中编写脚本 351 'xStA 18.1 简介 351 u{H,i(mx? 18.2 什么是脚本? 351 M=o,Sav5* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 9aZ3W<N`M 18.4 基础 352 j\dkv_L 18.4.1 Classes(类别) 352 ~JLqx/[|s 18.4.2 对象 352 $'9r=#EH 18.4.3 信息(Messages) 352 /gy;~eB01 18.4.4 属性 352 %/etoK 18.4.5 方法 353 dhK$XG 18.4.6 变量声明 353 s^V8FH 18.5 创建对象 354 ]N=C%#ki! 18.5.1 创建对象函数 355 &v4w3'@1 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 O|y-nAZgU 18.5.3 丢弃对象 356 P60 3P 18.5.4 总结 356 .j}u'!LKul 18.6 脚本中的表格 357 a' #-%!] 18.6.1 方法1 357 *$#r% 18.6.2 方法2 357 `Q(ac|
0 18.7 2D Plots in Scripts 358 0E\R\KO$> 18.8 3D Plots in Scripts 359 <u2*(BM4 18.9 注释 360 niy@' 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 i;)g0}x` 18.11 一个更高级的脚本 362 ` V^#Sb 18.12 <esc>键 364 AF3t#)q 18.13 包含文件 365 M5ZWcD.1 18.14 脚本被优化调用 366 "bf8[D 18.15 脚本中的对话框 368 t_]UseP$RF 18.15.1 介绍 368 m\Tq0cT$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 7vj[ AOq3l 18.15.3 输入框函数 370 XIjSwR kYJ 18.15.4 自定义对话框 371 [0 &Lvx 18.15.5 对话框编辑器 371 )&R;!#;5 18.15.6 控制对话框 377 /0o 2 18.15.7 更高级的对话框 380 _L$)~},cT 18.16 Types语句 384 "BFW&<1 18.17 打开文件 385 oQyG 18.18 Bags 387 =dA T^e## 18.13 进一步研究 388 o~4n8 19 vStack 389 EL}v>sC 19.1 vStack基本原理 389 !@YYi[Gk 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 v$tS2N2 19.3 五棱镜 393 X! 2|_ 19.4 光束距离 396 .9^;? Ts 19.5 误差 399 FwW%@Y 19.6 二向分色棱镜 399 4l$8lYi 19.7 偏振泄漏 404 "5y^s!/ 19.8 波前误差—相位 405 |@ldXuYb 19.9 其它计算参数 405 aSF&^/j 20 报表生成器 406 XdS<51 C 20.1 入门 406 YKx0Zs 20.2 指令(Instructions) 406 H~G=0_S 20.3 页面布局指令 406 aZ0H) 20.4 常见的参数图和三维图 407 4Dd9cG,lN 20.5 表格中的常见参数 408 =0f8W=d:Vr 20.6 迭代指令 408 unX^ MPpw 20.7 报表模版 408 }`M6+.z3F 20.8 开始设计一个报表模版 409 =[jBOx& 21 一个新的project 413 Bhs`Y/Ls- 21.1 创建一个新Job 414 .N'UnKz 21.2 默认设计 415 fZ376Z:S$ 21.3 薄膜设计 416 <QkfvK]Q 21.4 误差的灵敏度计算 420 b,`\"'1 21.5 显色指数计算 422 (qG$u& 21.6 电场分布 424 .XE]vo 后记 426 (,TO| 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢![attachment=116784] nx+&
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