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infotek 2023-03-20 09:58

Macleod镀膜工具书

《Essential Macleod中文手册》 hFDo{yI  
0|~3\e/QV  
目  录 ]dnB ,  
8&v%>wxR@  
ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 %F]:nk`  
第1章 介绍 ..........................................................1 Bmi9U   
第2章 软件安装 ..................................................... 3 @BqSu|'Du,  
第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 |$c~Jq  
第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 ,/..f!bp  
第5章 软件结构 ............................................................... 21 UvVq#<-  
第6章 应用窗口 ................................................................. 44 0zXF{5Up  
第7章 设计窗口 .................................................................. 62 Z|zT%8.8N  
第8章 图形窗口 .................................................................. 100 LS4E.Xdn  
第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 CDWchY  
第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 ?yAjxoE~?  
第11章 表格窗口 ................................................................. 116 E^t}p[s  
第12章 优化和综合 ..................................................................120 'h;x>r  
第13章 材料管理 ........................................................................ 149 `MXGEJF  
第14章 多层膜 ........................................................................... 167 P>ZIP* Gr  
第15章 分析和设计工具 ........................................................180  X&.LX  
第16章 逆向工程 ................................................................ 200 P6;Cohfh  
第17章 报告生成器 ............................................................. 208 m"mU:-jk`  
第18章 堆栈 ......................................................................... 213 tCr? !Y~  
第19章 功能扩展 .................................................................. 229 (?~*.g!  
第20章 运行表单 .................................................................... 251 KgEfhO$W  
第21章 模拟器 ...................................................................... 271 r<-@.$lf  
第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 %o#|zaK  
第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 /7Ft1f  
第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 q@Sj$  
第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 go5l<:9  
第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 }G 1hB#j  
第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 *gN)a%9  
第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 S$i3/t  
第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 '0/[%Q  
3H@29TrJ+  
t}-rN5GO  
^|=3sJ4[U  
`rI[   
=s1Pf__<k  
内容简介 *]* D^'  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Be2yS]U  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 "6o5x&H  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 u YJL^I8M'  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
\k*h& :$  
-gb'DN1BG  
目录 v6+<F;G3y>  
Preface 1 2?\L#=<F  
内容简介 2 =bB7$#al  
目录 i nAW`G'V#  
1  引言 1 |iB svI:  
2  光学薄膜基础 2 c9R|0Yn^J  
2.1  一般规则 2 :*s+X$x,<  
2.2  正交入射规则 3 $#d.@JWi  
2.3  斜入射规则 6 hS +R /7  
2.4  精确计算 7 \x+"1  
2.5  相干性 8 dSIZsapH  
2.6 参考文献 10 E>O1dPZcM  
3  Essential Macleod的快速预览 10 wT-@v,$  
4  Essential Macleod的特点 32 =hB0p^a  
4.1  容量和局限性 33 xzTF| Z\  
4.2  程序在哪里? 33 ?u_O(eg  
4.3  数据文件 35 gPg2Ve0Qy  
4.4  设计规则 35 Z;nUS,?om  
4.5  材料数据库和资料库 37 cp<jwcc!  
4.5.1材料损失 38 ]*JH~.p  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 APT /z0X>  
4.5.2 材料库 41 !0 -[}vvU  
4.5.3导出材料数据 43 yaKw/vV  
4.6  常用单位 43 iZDZ/hohv  
4.7  插值和外推法 46 3eP7vy  
4.8  材料数据的平滑 50 sn?YD'>k  
4.9 更多光学常数模型 54 2@#`x"0  
4.10  文档的一般编辑规则 55 * IBCThj  
4.11 撤销和重做 56  F5FzT^  
4.12  设计文档 57 R SqO$~  
4.10.1  公式 58 zV"oB9\9O  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 x$Tf IFy  
4.10.3  沉积密度 59 'ai!6[|SD  
4.10.4 平行和楔形介质 60 F_C_K"[s  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 ;m cu(J  
4.10.4  性能 61 f!aE/e\  
4.10.5  保存设计和性能 64 !E|k#c9  
4.10.6  默认设计 64 >gLLr1L\  
4.11  图表 64 Ig M_l=  
4.11.1  合并曲线图 67 H{nYZOf/  
4.11.2  自适应绘制 68 j: /cJt  
4.11.3  动态绘图 68 !_SIq`5]@  
4.11.4  3D绘图 69 p7kH"j{xD  
4.12  导入和导出 73 l9X\\uG&  
4.12.1  剪贴板 73 nH % 1lD?:  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 Du."O]syD  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 8'6$t@oT9w  
4.13  背景 77 ccu13Kr>E  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 7f\@3r  
4.15  生成Rugate 84 &b7i> ()  
4.16  参考文献 91 %:WM]dc  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 F_&bE@k  
5.1  Jobs 92 Oe[qfsdW  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 ]J* y`jn  
5.3  输入材料 94 &9F(uk=X  
5.4  设计数据文件夹 95 >hbT'Or@  
5.5  默认设计 95 bxA1fA;  
6  细化和合成 97 ,Y3wXmG  
6.1  优化介绍 97 pRLs*/Bw  
6.2  细化 (Refinement) 98 n%YG)5;  
6.3  合成 (Synthesis) 100 :u$+lq  
6.4  目标和评价函数 101 Lc:DJA  
6.4.1  目标输入 102 ST[+k  
6.4.2  目标 103 +)gXU Vwd  
6.4.3  特殊的评价函数 104 }th^l*g  
6.5  层锁定和连接 104 U\\nSU  
6.6  细化技术 104 &`J?`l X  
6.6.1  单纯形 105 <7%4=  
6.6.1.1 单纯形参数 106 tuiQk=[ c  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 mC}!;`$8p  
6.6.2.1 Optimac参数 108 5Si\hk:o  
6.6.3  模拟退火算法 109 U.B=%S  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 [Ifhh2  
6.6.4  共轭梯度 111 f!"Y"g:@E  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 {UR&Y  
6.6.5  拟牛顿法 112 +e6c4Tw/  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 /-W-MP=Wd  
6.6.6  针合成 113 P_w\d/3  
6.6.6.1 针合成参数 114 ToB^/ n[  
6.6.7 差分进化 114 mzX <!  
6.6.8非局部细化 115 V ^U1o[`  
6.6.8.1非局部细化参数 115 )5Bkm{v3  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 1xkU;no  
6.7.1  细化 116 qJ|n73yn  
6.7.2  合成 117 gxku3<S  
6.8  参考文献 117 %$l^C!qcY  
7  导纳图及其他工具 118 E(&GZ QE  
7.1  简介 118 U|%y `PZ  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 b:iZ.I  
7.2.1  四分之一波长规则 119 P;dp>jL  
7.2.2  导纳图 120 T"GuE[?a  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 /@.c 59r  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 VnJ-nfA  
7.5  斜入射导纳图 141 R;XR?59:.  
7.6  对称周期 141 DJ9;{,gm  
7.7  参考文献 142 ecH-JPm'  
8  典型的镀膜实例 143 `37GVo4  
8.1  单层抗反射薄膜 145 Y,bw:vX  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 a#0G mK  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 W].P(A>m  
8.4  W-膜层 148 q-.e9eoc\  
8.5  V-膜层 149 P'Fy,fNg  
8.6  V-膜层高折射基底 150 G@) I  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 O^ ]I>A#d  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 vl@t4\@3  
8.9  四层抗反射薄膜 153 LaZF=<w(  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 /)i)wxi  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 tH:K6^oR  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 8j,_  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 xrT_ro8  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 |<.b:e\4  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 1q!JpC^  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 \ooqa<_  
8.17  1/4波长堆栈 162 |zu>G9m  
8.18  陷波滤波器 163 xae rMr  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 g)'tr '  
8.20  褶皱 165 'D-#,X C  
8.21  消偏振分光器1 169 j8os6I  
8.22  消偏振分光器2 171 LoG@(g&)  
8.23  消偏振立体分光器 172 !v2,lH  
8.24  消偏振截止滤光片 173 KrkZv$u,  
8.25  立体偏振分束器1 174 Q:~w;I  
8.26  立方偏振分束器2 177 (nrrzOax  
8.27  相位延迟器 178 9ok|]d P  
8.28  红外截止器 179 HHZ!mYr  
8.29  21层长波带通滤波器 180 Vk_*]wU  
8.30  49层长波带通滤波器 181 K74oRKv  
8.31  55层短波带通滤波器 182 ,l<-*yMD  
8.32  47 红外截止器 183 u,F d[[t  
8.33  宽带通滤波器 184 P:k(=CzZ@J  
8.34  诱导透射滤波器 186 +29;T0>a  
8.35  诱导透射滤波器2 188 Ut-6!kAm  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 2al~`  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 3i(k6)H$4  
8.35  增益平坦滤波器 193 ~~1~_0?e  
8.38  啁啾反射镜 1 196 *vhm  
8.39  啁啾反射镜2 198 4Sg!NPuu7&  
8.40  啁啾反射镜3 199 A2&&iL=j/  
8.41  带保护层的铝膜层 200 `Ik}Xw  
8.42  增加铝反射率膜 201 +$>ut r  
8.43  参考文献 202 ID+'$u &  
9  多层膜 204 w=e,gNO  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 w#mnGD  
9.2  内部透过率 204 \ b9,>  
9.3 内部透射率数据 205 f9- |! ]s  
9.4  实例 206 * Kzs(O  
9.5  实例2 210 ga^<_;5<  
9.6  圆锥和带宽计算 212 0]oQ08  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 :=L[kzX  
10  光学薄膜的颜色 216 ^z&xy41#B  
10.1  导言 216 p>eD{#2  
10.2  色彩 216 ~vl:Tb  
10.3  主波长和纯度 220 L)nVNY@Mc  
10.4  色相和纯度 221 %y w*!A1  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 nv$  
10.6 色差 226 x}x@_w   
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 Z `\7B e  
10.8  颜色渲染指数 234 oh@r0`J]x  
10.9  色差计算 235 gy =`cMS@  
10.10  参考文献 236 8v^i%Gg  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 qk,cp},2K  
11.1  短脉冲 238 T (2,iG8  
11.2  群速度 239 ,IJNuu\  
11.3  群速度色散 241 6vaxp|D  
11.4  啁啾(chirped) 245 3Xh&l[.  
11.5  光学薄膜—相变 245 f[}SS]d:E  
11.6  群延迟和延迟色散 246 <Ab:yD`K!  
11.7  色度色散 246 :s'%IGy>:  
11.8  色散补偿 249 .V.N^8(:a  
11.9  空间光线偏移 256 f A,+qs  
11.10  参考文献 258 NUnP'X=J,  
12  公差与误差 260 g?$9~/h :;  
12.1  蒙特卡罗模型 260 ONGe/CEXT  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Z],"<[E  
12.2.1  误差工具 267 Awh"SU Oh0  
12.2.2  灵敏度工具 271 `X^e}EGWu  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 GO)rpk9  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 BkZ%0rw%  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 F>b6fUtR  
12.3  参考文献 276 -KNJCcBJ  
13  Runsheet 与Simulator 277 'j3'n0o  
13.1  原理介绍 277 ;Z`)*TRp4  
13.2  截止滤光片设计 277 |TUpv*pq  
14  光学常数提取 289 JZXc1R| 9  
14.1  介绍 289 wwAT@=X*}  
14.2  电介质薄膜 289 O^xt  
14.3  n 和k 的提取工具 295 aXJe"IT.u  
14.4  基底的参数提取 302 5?fk;Q9+\  
14.5  金属的参数提取 306 \fKE~61  
14.6  不正确的模型 306 5,c`  
14.7  参考文献 311 |@g1|OWd|  
15  反演工程 313 0/gcSW b  
15.1  随机性和系统性 313 IcoL/7k3  
15.2  常见的系统性问题 314 OWjZ)f/  
15.3  单层膜 314 e"CLhaT  
15.4  多层膜 314 jFXU xf  
15.5  含义 319 +i>q;=~  
15.6  反演工程实例 319 h[8y$.YsC  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 =@w:   
15.6.2 反演工程提取折射率 327 Zb }PP;O  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 c'B"Onu@m*  
16.1  光学性质的热致偏移 329 "XY?v8*c  
16.2  应力工具 335 9>#|~P&FE  
16.3  均匀性误差 339 /)I9+s#q9o  
16.3.1  圆锥工具 339 X2uX+}h*tA  
16.3.2  波前问题 341 3PA'Uk"5Z  
16.4  参考文献 343 mCGcM^21-x  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 $;CC lzw  
17.1  引言 345 CN=&Je%I  
17.2  操作数 345 uJOW%|ZN`  
18  如何在Function中编写脚本 351 tAA7  
18.1  简介 351 W*<]`U_.  
18.2  什么是脚本? 351 /( V=Um^0  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 ifs*-f  
18.4  基础 352 ]p!J]YV ]0  
18.4.1  Classes(类别) 352 ! -c*lb  
18.4.2  对象 352 eC$v0Gtq  
18.4.3  信息(Messages) 352 {Pb^Lf >  
18.4.4  属性 352 I5L7BTe  
18.4.5  方法 353 C' ._}\nX  
18.4.6  变量声明 353 vs. uq  
18.5  创建对象 354 _o.Z`]  
18.5.1  创建对象函数 355 j1 F+,   
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 hQm4R]a  
18.5.3 丢弃对象 356 A,{D9-%  
18.5.4  总结 356 vy@Lu cB  
18.6  脚本中的表格 357 5 DB>zou   
18.6.1  方法1 357 9>R|k$`  
18.6.2  方法2 357 q&E5[/VK:  
18.7 2D Plots in Scripts 358 ?i~/gjp  
18.8 3D Plots in Scripts 359 Y/0O9}hf  
18.9  注释 360 Fw9``{4w  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 &%X Jf~IQ  
18.11  一个更高级的脚本 362 \=7=>x_  
18.12  <esc>键 364 pYVy(]1I(3  
18.13 包含文件 365 `5-#M/J  
18.14  脚本被优化调用 366 CLfb`rF  
18.15  脚本中的对话框 368 n:'BN([]o  
18.15.1  介绍 368 ~It+|X=Kx  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 ?0mJBA  
18.15.3  输入框函数 370 z,|%? 1  
18.15.4  自定义对话框 371 uAs*{:4n  
18.15.5  对话框编辑器 371 t4_K>Mj+d  
18.15.6  控制对话框 377 " B{0-H+  
18.15.7  更高级的对话框 380 5"am>$rh  
18.16 Types语句 384 AtlR!I EUb  
18.17 打开文件 385 p qN[G=0  
18.18 Bags 387 9'q/&uH  
18.13  进一步研究 388 0juIkN#  
19  vStack 389 F[=lA"F^  
19.1  vStack基本原理 389 )95yV;n   
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 [ |n-x3h  
19.3  五棱镜 393 FRt/{(jro  
19.4 光束距离 396 ^3|$wB=  
19.5 误差 399 $Ds]\j*  
19.6  二向分色棱镜 399 !otq X-  
19.7  偏振泄漏 404 sK-|xU.  
19.8  波前误差—相位 405 ev%t5NZ  
19.9  其它计算参数 405 HQ`nq~%&(  
20  报表生成器 406 @Q\$dneY  
20.1  入门 406 /v)!m&6]>  
20.2  指令(Instructions) 406 "!Oh#Vf  
20.3  页面布局指令 406 ;9p5YxD  
20.4  常见的参数图和三维图 407 ,DuZMGg  
20.5  表格中的常见参数 408 ICbdKgLz  
20.6  迭代指令 408 /B@% pq  
20.7  报表模版 408 (vsk^3R[6  
20.8  开始设计一个报表模版 409 qm8n7Z/  
21  一个新的project 413 u AS8F=9xP  
21.1  创建一个新Job 414 tW.>D;8  
21.2  默认设计 415 _K}_h\e.  
21.3  薄膜设计 416 gQd=0"MV  
21.4  误差的灵敏度计算 420 /Np"J  
21.5  显色指数计算 422 `J#xyDL6?  
21.6  电场分布 424 i? _D]BY4  
后记 426 B Ff. Rd95  
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