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2023-03-20 09:58 |
Macleod镀膜工具书
《Essential Macleod中文手册》 Ca
?d8 R7/ET" 目 录 i!yE#zew ^wz 2e ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 G{gc]7\=Cd 第1章 介绍 ..........................................................1 z
m+3aF 第2章 软件安装 ..................................................... 3 ]|_+lik# 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 +!$]a^3l 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 5=/j 第5章 软件结构 ............................................................... 21 <aQ5chf7 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 ^J)0i_RS 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 cFr`9A\-n 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 N)4R.} 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 dZCnQ IS 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 #,9#x]U#v 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 QBb%$_Z 第12章 优化和综合 ..................................................................120 Nf%/)Tk 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 Fb6d1I^wR 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 .+&M,%
x 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 3,1HD_ 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 u,./,:O%= 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 OJD!Ar8Q 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 MzE1he1 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 BH0s` K" 第20章 运行表单 .................................................................... 251 5
Q/yPQN 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 RO[6PlrRN 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 FT\%=>{ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 wY3|5kbDj 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 yiMqe^zy 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 Hz j%G> 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 'oF
XNO 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 w%- S5# 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 g0#w
4rGF) 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 fWyXy%Qq |q
c <C&O i&j]FX6q !,R=6b$E5 u>/Jb+ o8~<t]Ejw 内容简介 DB(!*6#? Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 J~AmRo0!k 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ~.CmiG.7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 *d9RD~Ee 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 $hy0U_}6 hGRHuJ 目录 Fz' s\ Preface 1 vbfQy2q 内容简介 2 a}X.ewg 目录 i &]pY~zVc 1 引言 1 *!ecb1U5 2 光学薄膜基础 2 "O~kIT?/v 2.1 一般规则 2 D#gC-, 2.2 正交入射规则 3 <u/(7H 2.3 斜入射规则 6 odn3*{c{x 2.4 精确计算 7 %e:[[yq)G 2.5 相干性 8 PJ\k| 2.6 参考文献 10 EI496bsRHm 3 Essential Macleod的快速预览 10 /0Mt-8[ 4 Essential Macleod的特点 32 ""*g\ 4.1 容量和局限性 33 je%D&ci$ 4.2 程序在哪里? 33 5v^tPGg4 4.3 数据文件 35 $W%-Mm 4.4 设计规则 35 6[?5hmc"w 4.5 材料数据库和资料库 37 3,n" d- 4.5.1材料损失 38 KDb`g}1Q 4.5.1材料数据库和导入材料 39 v-wZHkdd1 4.5.2 材料库 41 Z\cD98B# 4.5.3导出材料数据 43 y+KAL{AGK 4.6 常用单位 43 .A0fI";Q 4.7 插值和外推法 46 e^;%w#tEqI 4.8 材料数据的平滑 50 1 J}ML}h) 4.9 更多光学常数模型 54 zO@>)@~ 4.10 文档的一般编辑规则 55 VfozqUf 4.11 撤销和重做 56 i.\ e/9]f 4.12 设计文档 57 ]B$J8.{q0 4.10.1 公式 58 Q>71uM%e` 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 =2}V=E/85 4.10.3 沉积密度 59 8H|ac[hXK2 4.10.4 平行和楔形介质 60 >GLoeCRNu 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {h
PB% 4.10.4 性能 61 Pm,.[5uc 4.10.5 保存设计和性能 64 k SgE_W) 4.10.6 默认设计 64 *eX/ZCn 4.11 图表 64 7O:g;UI# 4.11.1 合并曲线图 67 wJ7^)tTRF 4.11.2 自适应绘制 68 u:mndTpB6x 4.11.3 动态绘图 68 /nn~&OU 4.11.4 3D绘图 69 $x,EPRNs 4.12 导入和导出 73 SPXvi0Jg 4.12.1 剪贴板 73 9M5W4& 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 _3< P(w{ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 H8g%h}6h 4.13 背景 77 64]8ykRD- 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 m)3M) 8t 4.15 生成Rugate 84 kW1w;}n$ 4.16 参考文献 91 sN2m?`?"G 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 BC\W`K 5.1 Jobs 92 pWq+`|l$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 r-yUWIr
S 5.3 输入材料 94 *,IK4F6>: 5.4 设计数据文件夹 95 v5@M 34 5.5 默认设计 95 ('AAHq/ 6 细化和合成 97 -/V(Z+dj 6.1 优化介绍 97 (m6V)y 6.2 细化 (Refinement) 98 !Q*w] 6.3 合成 (Synthesis) 100 ?5/7
@V 6.4 目标和评价函数 101 '#h ORQB 6.4.1 目标输入 102 \KzJNCOT 6.4.2 目标 103 Q J-|zS.W 6.4.3 特殊的评价函数 104 /|<SD.: 6.5 层锁定和连接 104 &GkD5b 6.6 细化技术 104 :0QDV~bs 6.6.1 单纯形 105 a(=lQ(v/? 6.6.1.1 单纯形参数 106 Ie|5,qw
E 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 GC' e 6.6.2.1 Optimac参数 108 fGqX
dlP 6.6.3 模拟退火算法 109 g6;smtu_T 6.6.3.1 模拟退火参数 109 nj1o!+9>$ 6.6.4 共轭梯度 111 <oV[[wl 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 {L~dER 6.6.5 拟牛顿法 112 )Jdku}Pf 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ZWo~!Z [Y 6.6.6 针合成 113 %y|pVN!U 6.6.6.1 针合成参数 114 _> x}MW+ 6.6.7 差分进化 114 #o7)eKeQ 6.6.8非局部细化 115 y_w
<3 6.6.8.1非局部细化参数 115 K3M.ZRh\;` 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ^D6TeH 6.7.1 细化 116 |R _rfJh 6.7.2 合成 117 &(A#F[ =0 6.8 参考文献 117 yCav;ZS_ 7 导纳图及其他工具 118 V7r_Ubg@K 7.1 简介 118 8'jt59/f 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 )$bF* 7.2.1 四分之一波长规则 119 i?;#ZNh 7.2.2 导纳图 120 MP)Prl> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 x,.= VB 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 #v<`|_ 7.5 斜入射导纳图 141 7 QNx*8 p 7.6 对称周期 141 =CJ`0yDQ> 7.7 参考文献 142 DXI4DM"15I 8 典型的镀膜实例 143 !Q15qvRS 8.1 单层抗反射薄膜 145 l`ZL^uT 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 KFwuz()7 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 T3@2e0u ) 8.4 W-膜层 148 @#OL{yMy 8.5 V-膜层 149 eZqEFMBTm 8.6 V-膜层高折射基底 150 `bfUP s 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 OKlR`Vaty 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 lZL+j6Q 8.9 四层抗反射薄膜 153 Z4Dx:m- 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 7@%qm|i>w 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 #IvKI+" 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 cx$h" 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 -X!<$<\y; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 gBv!E9~l 8.15十五层宽带抗反射膜 159 "Zh,;)hS 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 SsTBjIX 8.17 1/4波长堆栈 162 nPdkvs 8.18 陷波滤波器 163 ^tGAJ_b79 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 cZ|*Zpk 8.20 褶皱 165 41<h|WA 8.21 消偏振分光器1 169 T`":Q1n 8.22 消偏振分光器2 171 "Gp Tmu? 8.23 消偏振立体分光器 172
8sG?|u 8.24 消偏振截止滤光片 173 ?Y3i-jY 8.25 立体偏振分束器1 174 R}gdN-941 8.26 立方偏振分束器2 177 \-pwA j? 8.27 相位延迟器 178 'g)f5n a[ 8.28 红外截止器 179 tjwf;g}$ 8.29 21层长波带通滤波器 180 x-k-Pd 8.30 49层长波带通滤波器 181 x\8g ICf 8.31 55层短波带通滤波器 182 oSD=3DQ; 8.32 47 红外截止器 183 (WC
=om 8.33 宽带通滤波器 184 JX&]>#6|E 8.34 诱导透射滤波器 186 v#&;z_I+ 8.35 诱导透射滤波器2 188 ~6n|GxR.[ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 4 H0rS'5d 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
~deS* 8.35 增益平坦滤波器 193 Awxm[:r>^ 8.38 啁啾反射镜 1 196 fc@<' -VA 8.39 啁啾反射镜2 198 J FnE{ 8.40 啁啾反射镜3 199 Q4-d| 8.41 带保护层的铝膜层 200 ftTD-d 8.42 增加铝反射率膜 201 9e
K~g0m 8.43 参考文献 202 m_oUl(pk 9 多层膜 204 \ YF@r7 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 S1Y,5,} 9.2 内部透过率 204 ,.p
36ZLP 9.3 内部透射率数据 205 5X)QW5A 9.4 实例 206 hGY-d}npAJ 9.5 实例2 210 }.)R#hG? 9.6 圆锥和带宽计算 212 g$Y]{VM.J 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ^6kl4:{idE 10 光学薄膜的颜色 216
Yc]k<tQ 10.1 导言 216 OP=brLGu0 10.2 色彩 216 t;VMtIW+E 10.3 主波长和纯度 220 )jgz(\KZ 10.4 色相和纯度 221 ME]4tu 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f|B\Y/*X 10.6 色差 226 ^g6v#]&WA 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 z3i`O
La 10.8 颜色渲染指数 234 KBtqtE'(L 10.9 色差计算 235 !9
kNL 10.10 参考文献 236 WLXt@dK*u 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ,dQ*0XO! 11.1 短脉冲 238 }C_g;7* 11.2 群速度 239 I2CI9,0 11.3 群速度色散 241 w:%NEa,Z 11.4 啁啾(chirped) 245 !Z2h?..O 11.5 光学薄膜—相变 245 5A`>3w{3n 11.6 群延迟和延迟色散 246 elGBX
h 11.7 色度色散 246 6O{QmB0KK 11.8 色散补偿 249 /]z#V' 11.9 空间光线偏移 256 .jqil0#)Y" 11.10 参考文献 258 Q"
h]p 12 公差与误差 260 A,EG0yb 12.1 蒙特卡罗模型 260 =@4,szLO 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 -{OJM|W+ 12.2.1 误差工具 267 y|O3*`&m 12.2.2 灵敏度工具 271 &77J,\C$: 12.2.2.1 独立灵敏度 271 \[{8E}_"^ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Z1q<) O1QX 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 >x6\A7 12.3 参考文献 276 A2\hmp@A@7 13 Runsheet 与Simulator 277 Zc_F"KJL 13.1 原理介绍 277 >ph=?MKD 13.2 截止滤光片设计 277 #@BhGB`9Qt 14 光学常数提取 289 83V\O_7j 14.1 介绍 289 4uO88[= 14.2 电介质薄膜 289 9'H:pb2 14.3 n 和k 的提取工具 295 Szu@{lpP@ 14.4 基底的参数提取 302 0AWxU?$A4 14.5 金属的参数提取 306 N~v<8vJq` 14.6 不正确的模型 306 5Xxdm-0 14.7 参考文献 311 ?E!M%c@, 15 反演工程 313 h#UPU7; 15.1 随机性和系统性 313 Hfj.8$ 15.2 常见的系统性问题 314 9s5s;ntz" 15.3 单层膜 314 8~,zv_Pl 15.4 多层膜 314 J3aom,$o 15.5 含义 319 63\
CE_p 15.6 反演工程实例 319 sSKD" 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 GL0P&$h 15.6.2 反演工程提取折射率 327 )
4t%?wT 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 :dipk,b?n 16.1 光学性质的热致偏移 329 4Hf'/%kW 16.2 应力工具 335 TW 1`{SM 16.3 均匀性误差 339 Y]6dYq{k 16.3.1 圆锥工具 339 )Az0.} 16.3.2 波前问题 341 L:& | |