tfcalc68 |
2023-03-17 17:45 |
求助各位大佬,怎么才能过双85环测?
用MGF2+H4这两种材料,什么工艺才能过双85环测呀? ILU7Yhk 目前试过:设定温度320℃,MGF2速率3.0A/S,H4速率1.5A/S,最后镀15nm SIO2,速率1.5A/S,MGF2打底层,高温高湿脱膜,看上去像是最外层膜脱落 2YbI."ob 也试过:320℃,MGF2速率5.0A/S,H4速率3.0A/S,最外层镀10nm金刚膜,MGF2打底层,高温高湿有亚克,太阳辐照脱膜 ev'` K=n8 用这两种材料能过环测吗?人都麻了
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