白光干涉仪和激光共聚焦显微镜的区别
对于现代愈发复杂的工艺检测，诸如半导体、电子封装及光学加工等产业中，由于表面微观轮廓结构的准确性决定着产品的功能和效能，所以不管是抛光表面还是粗糙表面的工件（诸如半导体硅片及器件、薄膜厚度、光学器件表面、其他材料分析及微表面研究），都需要测量断差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、体积、线宽等。 5 Px.G*
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同为微纳米级表面光学分析仪器，白光干涉仪和激光共聚焦显微镜都具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点，都有表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，适用范围广，可测多种类型样品的表面微细结构。但白光干涉仪与共聚焦显微镜还是有着不同之处。
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1、测量原理 n $P v2qw
白光干涉仪是以白光干涉技术为原理，实现器件亚纳米级表面形貌测量的光学检测仪器；[attachment=116764] D!<$uAT
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共聚焦显微镜是以共聚焦技术为原理，实现器件微纳米级表面形貌测量的光学检测仪。[attachment=116766] |knP
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共焦显微镜光路示意图 /Z% ?;
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2、应用 y$ &a(S]
白光多用于测量大范围光滑的样品，尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的准确；（SuperViewW1白光干涉仪测量行程有140*100*100㎜，对于测量物体整个区域表面情况，还可以使用自动拼接测量、定位自动多区域测量功能。拼接测量功能3轴光栅闭环反馈，在样品表面抽取多个区域测量，就可以快速实现大区域、高精度的测量，从而对样品进行评估分析。）[attachment=116768] .kYzB.3@]
超光滑透镜测量 [attachment=116769] mvL'l )
自动拼接功能 [attachment=116770] Hc VPJ uD
大尺寸样品拼接测量 0Fw\iy1o
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而共聚焦更容易测陡峭边缘，擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽在检测分辨率上略逊，但成像图色彩斑斓，便于观察。 PRLV1o1#
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