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infotek 2023-03-16 09:11

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

光学测量>显微 mq`N&ABO!K  
5gARGA  
任务/系统视图 QMea2q|3$  
8+{WH/}y8  
lBqu}88q0  
6e&Y%O'8  
亮点 Ap9CQ h=!  
H$zjN8||"  
:BKY#uH~  
:P #   
 显微镜系统中光栅的全矢量分析 +Gqh  
 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ;Xg6'yxJ  
 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 KT~J@];Fb  
<&\HXAOd  
说明:光源 A ^ $9[_  
b2u_1P\  
}WS%nQA  
8fFURk  
pj;cL ]L  
k<wX??'  
说明:透镜系统 !^cQPX2<  
gm~Ka%O|F  
$J"}7+  
说明:样品结构 ke_Dd?  
hu%rp{m^,  
VJ;n0*/  
QE[ETv  
说明:探测器 YqX/7b+  
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^eQK.B(  
3ddH@Y|  
J7W]Str  
YQe9g>G&  
结果:3D光线追迹 Z7% |'E R  
%myg67u  
D@*<p h=  
5jD2%"YUV  
J5h;~l!y  
T5?@'b8F6  
结果:光线追迹 5 BR9f3}  
"& 'h\  
m-S4"!bl  
_Z z" `  
结果:光线追迹衍射级数 "f/lm 2<  
W(a31d  
jR`q  y<  
s9svuFb  
结果:场追迹采样平面 K.4t*-<`[  
ce!0Ws+  
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ysm)B?+k  
结果:场追迹焦平面 )w_0lm'v{r  
Gh}sk-Xk=  
TbbtD"b?  
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结果:减小光栅周期 h'YC!hjp   
Wcd;B7OH  
随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 d?^bCf+<  
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   9gR@Q%b)  
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