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infotek 2023-03-16 09:11

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

光学测量＞显微 }ew )QHd  
h}m9L!+n8  
任务/系统视图 JGhK8E  
s/;S2l$`  
(LVzE_`  
#; P-*P  
亮点 [w  FK!?  
W$D:mw7  
sA"B/C|(g  
 se_Oi$VZ{  
 显微镜系统中光栅的全矢量分析 oC!z+<  
 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 gazX2P[D  
 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 j3?@p5E(  
>IKIe  
说明：光源 `apCu  
)DQcf]I  
>\lBbq a#  
'2p,0Bk9i  
( ~>-6Nb 5  
cGg ~+R2P  
说明：透镜系统 )h%tEY$AJ  
5cr\ JR  
Jd|E 4h~(  
说明：样品结构 <{HV|B7  
,G$<J0R1  
S; !7 /z  
I<&) P#"  
说明：探测器 YO.+ 06X  
$C{-gx+:  
|)ALJJ=+  
f Lns^  
 jpiBHi]5+  
?j8_j  
结果：3D光线追迹 \-Q6z 8  
Q"GZh.m  
gF|u%_y-qt  
EHq?yj;  
F{m?:A  
j;&su=p"  
结果：光线追迹 @PKY>58)  
#ChF{mh  
s";9G^:  
=%crSuP  
结果：光线追迹衍射级数 eC$ Jdf  
_GL:4  
kK]L(ZU +  
y>JSo9[@  
结果：场追迹采样平面 @_"Z]Y ,D0  
T^nOv2@,  
T5TA kEVl  
@t#Ju1Y  
结果：场追迹焦平面 IKeO&]k  
rhwjsC6  
kfs[*ku  
Cfst)[j  
结果：减小光栅周期 ? wZ`U Oi  
 ,D{D QJ(B  
随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 pb|,rLNZ  
^" UZ.@sq'  
 lD1m<AC  
ks(BS k4  
EpH\;25u  
   /baSAoh/e  
   ^[hx`Rh`t  
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