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infotek 2023-03-16 09:11

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

光学测量＞显微 F4QVAOM]U  
?6!LL5a.  
任务/系统视图 6BlXLQ,8q  
 7GGUV  
4+n\k  
t20K!}D_  
亮点 Z+SRXKQ  
%b0*H_ok7  
x`s>*^  
 'u658Tj  
 显微镜系统中光栅的全矢量分析 [g,}gyeS(  
 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 \8tsDG(1 '  
 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 +ZYn? #IQ  
]e3Ax(i)  
说明：光源 =4!mAo}  
`cO:<^%  
hTkyz la  
%O<BfIZ  
\e_O4  
XW9!p.*.U  
说明：透镜系统 Bvj0^fSm  
MD]>g>  
PF2nLb2-  
说明：样品结构 *hrd5na  
1YA% -~  
Xj*Wu_  
|ZBw<f  
说明：探测器 iLT}oKF2N;  
,Q B<7a+I  
<3iMRe  
E^PB)D(.  
 Z)!C'cb  
)0MB9RMk1  
结果：3D光线追迹 =41xkAMnk  
3T 9j@N77  
;<5q]/IHK  
q4q6c")zp  
m|# y >4  
0YzpZW"+  
结果：光线追迹 Vi}_{ Cy  
0V]s:S  
"b[5]Y{ U  
0c &+|> !  
结果：光线追迹衍射级数 ]4{H+rw  
l0] EX>"E  
Q\)F;:|  
,Q,^3*HX9}  
结果：场追迹采样平面 *I'yH8Fcn  
!W0v >p  
M2|is ~  
#g=XUZ/"  
结果：场追迹焦平面 /xQPTT  
edV\-H5<  
"L1Zi.)  
z2c6T.1M  
结果：减小光栅周期 H"KCK6  
 P4?glh q#  
随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 }Lv;!  
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   C?Ucu]cW  
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