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infotek 2023-03-16 09:11

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

光学测量>显微 i'wAE:Xe  
1, ~SS  
任务/系统视图 -O!Zxg5x  
(S`2[.j  
;~u{56  
Y.U[wL>  
亮点 FH%GIi  
\$OF1i@  
zyg  }F  
XNb ZNaAd  
 显微镜系统中光栅的全矢量分析 AT)a :i  
 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 7ei|XfR  
 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 v\"S Gc  
Gkxj?)`  
说明:光源 \3jW~FV  
n?urE-_  
xvSuPP4 m  
`VL}.h  
t 6^l`6:p  
{]]|5 \F  
说明:透镜系统 &0BdUU+:<  
.eO?Z^  
-+em!g'  
说明:样品结构 )Cw`"n  
p/ >`[I  
LW:LFzp  
JQ-gn^tsy  
说明:探测器 TSsKfexQ  
*d',Vuv&[  
D\YE^8/  
Wt9Q;hK  
ulJX1I=|p  
2',w[I  
结果:3D光线追迹 FsGlJ   
EmT`YNuc  
HH>:g(bu  
@Ehn(}  
xN@Pz)yo  
o!r8{L  
结果:光线追迹 zPKr/  
ZB[Qs   
K!mOr  
nPgeLG"00  
结果:光线追迹衍射级数 \rV B5|D?  
7RvUH-S[  
6Ik,zQL  
#s%-INcR  
结果:场追迹采样平面 ow'lRHZ  
56Z\-=KAU  
rBN)a"  
Px>va01n  
结果:场追迹焦平面 xyE1Gw`V  
x)_@9ldYv  
 X}6#II  
$8BE[u|H2  
结果:减小光栅周期 ,[nm_^R*\  
STA4 p6  
随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 qJ_1*!!91  
[;b=A  
fXQiNm[P  
*}):<nB$^  
pNE(n4v  
   N|2y"5  
   -)y%~Zn  
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