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infotek 2023-03-16 09:11

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

光学测量>显微 pj|X]4?wdI  
=/Juh7[C  
任务/系统视图 uMiyq<  
m&El)  
5~}!@yzc  
)I9aC~eAD  
亮点 0m=(W^c  
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a%J /0'(d  
nCaLdj?  
 显微镜系统中光栅的全矢量分析 }$aNOf%:  
 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 z8iENECwj  
 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 CeW7Ym  
{D(,ft;s^  
说明:光源 !S,pRS+  
vLn> 4SK  
0wvU?z%WK  
O/9fuEF  
>\bPZf)tJ)  
Zi1YZxF`Y  
说明:透镜系统 E .;io*0  
PqfVX8/q0  
^ f{qJ[,  
说明:样品结构 2"M_sL  
sU%" azc  
yJJ8 "s~i  
k?-S`o%Q  
说明:探测器 i./Y w  
/v$]X4 S`  
(Y;'[.  
eT\p-4b  
.tp=T  
#pa\ 2d|  
结果:3D光线追迹 cYD1~JX.  
-W^2*w   
4vGbG:x  
*1v_6<;2i<  
8Mb$+^zU  
q]l\`/R%u  
结果:光线追迹 V=9Bto00  
/cY[at|p  
*NjMb{[ZQ  
Sy B-iQn  
结果:光线追迹衍射级数 n}5x-SxS0  
$68 XZCx  
Esa6hU#  
2K~tDNv7  
结果:场追迹采样平面 44|03Ty  
a;yV#Y  
]E..43  
KM@`YV_"g  
结果:场追迹焦平面 gQCC>8  
v/(__xN`B  
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结果:减小光栅周期 T/ Ez*iQW  
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随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 7t+]z)  
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