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infotek 2023-03-16 09:09

导出制造数据

光整形>衍射光学 %vThbP#mR|  
dkn_`j\v  
任务说明 d*AV(g#B  
R1m18GHQ  
eb8_guZ  
6R,;c7Izhd  
灵活地导出制造数据: d z\b]H]  
- 平滑的界面 &a(w0<  
- 量化界面 0yZw`|Zh[  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 i*; V4zh  
Rd!.8K[  
亮点 SMy&K[hJ[  
 导出各种表面形状的制造数据 0ib 6}L%  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ;s!H  
     v m$v[  
o. _^  
一般界面的制造数据 'qD9k J`  
i'u;"ot=  
*>#cs#)  
z&:[.B   
支持文件格式: h}d7M55#|  
- 纯文本 Umd!j,  
- ASCII码 EtcamI*`  
- 点云 0qZ)$ YKq  
- CAD格式(例如,STL,IGES) A y`a>:p  
Nl8Cctrf  
STL导出平滑界面(例如Asphere) 3HiW1*5W  
~@O4>T+VW  
采样高度剖面的STL导出 hh{liS% 10  
Qp54(`  
sg y  
0k>&MkM\^  
量化界面的GDSII导出 ;wF|.^_2  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 -I*A  `M  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 +Oscy-;  
5C&f-* Bh  
utE:HD.PN  
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