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2023-03-16 09:09 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 %vThbP#mR| dkn_`j\v 任务说明 d*AV(g#B R1m18GHQ eb8_guZ 6R,;c7Izhd 灵活地导出制造数据: d
z\b]H] - 平滑的界面 &a(w0< - 量化界面 0yZw`|Zh[ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 i*; V4zh Rd!.8K[ 亮点 SMy&K[hJ[ 导出各种表面形状的制造数据 0ib 6}L% 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ;s!H v m$v[
o._^ 一般界面的制造数据 'qD9kJ` i'u;"ot=
*>#cs#) z&:[.B 支持文件格式: h}d7M55#| - 纯文本 Umd!j, - ASCII码 EtcamI*` - 点云 0qZ)$YKq - CAD格式(例如,STL,IGES)
Ay`a>:p Nl8Cctrf STL导出平滑界面(例如Asphere) 3HiW1*5W ~@O4>T+VW 采样高度剖面的STL导出 hh{liS% 10 Qp54(` sg y
0k>&MkM\^ 量化界面的GDSII导出 ;wF|.^_2 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 -I*A `M 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 +Oscy-; 5C&f-* Bh utE:HD.PN
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