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infotek 2023-03-16 09:09

导出制造数据

光整形>衍射光学 Q{%2Npvq  
fM,!9}<  
任务说明 y8} fj=  
N>h/!# ZC  
=5:L#` .  
V~#e%&73FH  
灵活地导出制造数据: =$bJ`GpJ  
- 平滑的界面 (al.7VA;9  
- 量化界面 6Gt~tlt:L  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 $ti*I;)h4  
M)v\7a  
亮点 nW)-bAV<  
 导出各种表面形状的制造数据 ]U[y3  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Xjb 4dip  
     ?O(@BT  
MZYh44  
一般界面的制造数据 5zk<s`h  
TUE*mDRmP  
9Z?P/ o  
)m8ve)l  
支持文件格式: 5ggmS<=  
- 纯文本 lT.Q)(  
- ASCII码 "i jpqI  
- 点云 v[$-)vs*ag  
- CAD格式(例如,STL,IGES) Yz<,`w5/6~  
j^4KczJl  
STL导出平滑界面(例如Asphere) 'u9,L FO  
99QMMup  
采样高度剖面的STL导出 [tN^)c`s/  
+IS+!K0?)  
cnJL*{H<2  
P9d%80(b4  
量化界面的GDSII导出 R$>]7-N}  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 !-G'8a|7  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 GCrIa Z  
2bJqZ,@  
L >* F8|g  
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