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infotek 2023-03-16 09:09

导出制造数据

光整形>衍射光学 mv><HqDL1  
mq l Z?-  
任务说明 -LSWmrj  
s~>}a  
#tHK"20  
+q4O D$}  
灵活地导出制造数据: SM '|+ d  
- 平滑的界面 1 zZlC#V  
- 量化界面 "%_+-C<L4  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 x2EUr,7  
|pK !S  
亮点 >?b!QU* a  
 导出各种表面形状的制造数据 PCvWS.{  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ?[AD=rUC  
     wJ]d&::@h  
SBpL6~NW  
一般界面的制造数据 sK{e*[I>W  
[ 3Gf2_  
7v kL1IA  
0[`^\Mv4y  
支持文件格式: oRFq @g  
- 纯文本 KXy6Eno  
- ASCII码 *hx  
- 点云 <} .$l  
- CAD格式(例如,STL,IGES) D- c4EV  
]lbuy7xj63  
STL导出平滑界面(例如Asphere) b-DvW4B  
-"`=1l  
采样高度剖面的STL导出 f 2.HF@  
3<!7>]A  
2HdC |$_+  
G2D$aSh  
量化界面的GDSII导出 I0 -MRU~[K  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ZH8,K Y"  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。  &HW9Jn  
fl(wV.Je|  
f?Lw)hMrA  
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