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infotek 2023-03-16 09:09

导出制造数据

光整形>衍射光学 *Y'@|xf*  
y<bA Y_-[  
任务说明 V )CS,w  
|[/[*hDZ9  
2`qO'V3Q  
z;GR(;w/  
灵活地导出制造数据: ;q&6WO  
- 平滑的界面 7yGc@kJ?  
- 量化界面 \M-}(>Pfk  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 rnvKfTpZDU  
RHc63b\  
亮点 og<mFbqkq7  
 导出各种表面形状的制造数据 AvF:$ kG  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 WZ @/'[  
     dGf:0xE"  
Ergh]"AD6-  
一般界面的制造数据 JX%B_eUlAs  
spIkXEK  
9~8 A>  
ns|)VX   
支持文件格式: I^>m-M.  
- 纯文本 gPs%v`y)*D  
- ASCII码 +cS%b}O`$  
- 点云 ?}4 =A&][  
- CAD格式(例如,STL,IGES) \8v{9Yb  
0J-]  
STL导出平滑界面(例如Asphere) /XtpGk_1)  
V7}5Zw1  
采样高度剖面的STL导出 ^V]DQ%v"I  
J ik+t\A  
5g9lO]WDI  
>*#clf;@p  
量化界面的GDSII导出 C{mL]ds<  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 %Q9 iR5?  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 DU9A3Z  
TX7B(JZD  
NjT#p8d X  
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