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2023-03-16 09:09 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 Q{%2Npvq fM,!9}< 任务说明 y8} fj= N>h/!#
ZC =5:L#` . V~#e%&73FH 灵活地导出制造数据: =$ bJ`GpJ - 平滑的界面 (al.7VA;9 - 量化界面 6Gt~tlt:L - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 $ti*I;)h4 M)v\7a 亮点 nW)-bAV< 导出各种表面形状的制造数据 ]U[y3 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Xjb 4dip ?O(@BT
MZYh44 一般界面的制造数据 5zk<s`h TUE*mDRmP 9Z?P/
o )m8ve)l 支持文件格式: 5ggmS<= - 纯文本 lT.Q)( - ASCII码 "ijpqI - 点云 v[$-)vs*ag - CAD格式(例如,STL,IGES) Yz<,`w5/6~ j^4KczJl STL导出平滑界面(例如Asphere) 'u9,L FO 99QMMup 采样高度剖面的STL导出 [tN^)c`s/ +IS+!K0?) cnJL*{H<2
P9d%80(b4 量化界面的GDSII导出 R$>]7-N} 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 !-G'8a|7 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 GCrIaZ 2bJqZ,@ L >*
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