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2023-03-16 09:09 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 )%Lgo${[; lj+}5ySG/ 任务说明 "*oN~&flc F m$;p6&j &^JYIRn1\ `\Hs{t] 灵活地导出制造数据: )A*Sl2ew - 平滑的界面 12 S[m~L% - 量化界面 e=4k|8 G - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 -z?O^:e#x U\`yLsKvH` 亮点 >vk?wY^f 导出各种表面形状的制造数据 I%#
e\ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 eSA%:Is. <^YZ#3~1T
>YP]IQ 一般界面的制造数据 od`:w[2\ h@D</2> 2@+MT z F/chE c
V 支持文件格式: xx
EcmS#> - 纯文本 1`@rAA>h' - ASCII码 8+U':xR - 点云 /u N3"m5i - CAD格式(例如,STL,IGES) tX.{+yyU Jm{~H% STL导出平滑界面(例如Asphere) :rX/ILAr -nKBSls 采样高度剖面的STL导出 x|IG'R1:Y CJ
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MESPfS+ 量化界面的GDSII导出 j,CMcP7A - 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Co^a$K 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 :fE*fU@ h|
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