倾斜光栅的参数优化及公差分析

对于背光系统、光内连器和近眼显示器等许多应用来说，将光高效地耦合到引导结构中是一个重要的问题。对于这种应用，倾斜光栅以能够高效地耦合单色光而闻名。在本例中，提出了利用严格傅里叶模态方法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅的优化方法。优化后的光栅的衍射效率超过90%。此外，还研究了其对光栅的倾角偏差和圆角边缘的影响。

建模任务

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为了为倾斜光栅找到一组优化的参数，优化文档允许为目标值定义参数约束和权重值。更多信息请参见：

第一级次的参数优化

结果——公差分析 hPE#l?H@A
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VirtualLab Fusion技术

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