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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 F$C6( C?  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 c0qp-=^&.  
                                                             2cR[~\_9.  
建模任务                                                         $ik*!om5  
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Mo,&h?VOM?  
光栅元件   S+ kq1R  
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9)Fx;GxL  
通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: CMa6':~  
• FMM/RCWA VdLoi\-/L  
• Diffractive Lens Component CXa[%{[n  
                                                             JVZ-nHf(9  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       XKoY!Y\  
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T] zEcx+e  
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正弦光栅-传输相位形态     h>-P/  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         p4`1^}f&Ie  
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LG #^g6P  
正弦光栅-衍射效率 E+f)Zg :  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       NAbVH{*\U  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   ]c.w+<  
                                  
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闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) /%wS5IZ^  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         NYm"I`5w  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         0RUk^  
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闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ajYe?z  
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                                                             r*X,]\V0x  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         y<)TYr  
nm'l}/Ug  
JF~i.+{ h  
                                                             Dk1& <} I  
VirtualLab Fusion技术   Sg#XcTG  
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