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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 u >81dO]H  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 ?_8%h`z  
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建模任务                                                         &|s+KP|d  
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光栅元件   k\nH&nb  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: *Yj~]E0`1  
• FMM/RCWA nt drXg  
• Diffractive Lens Component Xg,0/P~  
                                                             <%M\7NDWDA  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       (D0C#<4P  
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正弦光栅-传输相位形态     @bc[ eas  
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*^X#Eb  
正弦光栅-传输相位形态                                                         oG+K '(BB  
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正弦光栅-衍射效率 (m<R0  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       wCV>F-  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   p.@0=)  
                                  
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闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) O3_D~O ."  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         J ZVr&KZN  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         =#OHxM  
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闪耀光栅-效率vs.周期                                                         1 ;_{US5FR  
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闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         2>!_B\%)H  
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VirtualLab Fusion技术   "2)+)Db  
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