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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 Bn}woyJdx  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ul~ux$a  
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建模任务                                                         "H-s_Y#  
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光栅元件   po| Ux`u  
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                                                     [h/T IGE\  
通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: B `(jTL  
• FMM/RCWA lSxb:$g  
• Diffractive Lens Component [&)]-2w2  
                                                             %Bs. XW,  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       w0Qtr>"  
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                                                 UcRP/LR%C  
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正弦光栅-传输相位形态     F.9}jd{  
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                                                 ~k"+5bHa*  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         "Xq_N4  
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T5XXC1+  
正弦光栅-衍射效率 jK|n^5\  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ;Qi:j^+P)  
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   56v G R(  
]Q^)9uE\D  
正弦光栅—选定周期的相位形态   +QChD*  
                                   \J'}CX*aQ  
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                                                             $:9t(X)H  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) V9c.(QY|f  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         u`bD`kfT>  
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O?uICnmi6  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         4G&`&fff]  
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                                                             9+ 'i(q z  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ,\4]uZ<  
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                                                             Q}BMvR 9w  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         4f LRl-)  
4Aj~mA  
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VirtualLab Fusion技术   jJ$\WUQ.  
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