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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 W03mdRW  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 |,p"<a!+{w  
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建模任务                                                         m=sEB8P  
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光栅元件   <wk  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Sc]K-]1(H  
• FMM/RCWA 3s/1\m%  
• Diffractive Lens Component 7H)$NG<U$  
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正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       CdF;0A9.3  
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正弦光栅-传输相位形态     b'\Q/;oz>  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         z )'9[t  
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正弦光栅-衍射效率 qg& /!\  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       KE3`5Y!  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   _# sy  
                                  
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闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) &^"Ru?MK  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         Mwnr4$]  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         _=~u\$  
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闪耀光栅-效率vs.周期                                                         8TFQ%jv  
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                                                             _/LGGt4&%  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ekhv.;N~  
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VirtualLab Fusion技术   mLuNl^)3  
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