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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 _p^ "!  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 k.VOS 0  
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建模任务                                                         |0Ug~jKU  
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光栅元件   dQoMAsxzM  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: {}2p1-(  
• FMM/RCWA " ~hjB  
• Diffractive Lens Component  PW\FcT  
                                                             T[II;[EiE  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ]qT r4`.  
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正弦光栅-传输相位形态     +m},c-,=$w  
E^ti !4{<  
                                                
LU=)\U@Q  
FK('E3PG  
正弦光栅-传输相位形态                                                         V'4}9J  
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正弦光栅-衍射效率 ]@g$<&  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       b,sc  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   F'Vl\qPt  
                                  
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                                                             y=`(`|YW}`  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) SZ){1Hu  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         H!=BjU1Pmg  
~;s)0M  
jzw?V9Ijb  
nJ@hzK.  
闪耀光栅-衍射效率                                                         m^+ ~pC5  
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                                                             (`xnA~BN  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         tYa*%|!v  
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g>CQO,s;w  
                                                             M] *pBc(o0  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         C_)>VPD  
h!]A(T\J  
A4x3TW?  
                                                             b>EUa> h  
VirtualLab Fusion技术   EC/R|\d?Un  
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