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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 $'D|}=h<Y  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 yhzC 9nTH  
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建模任务                                                         A1Tk6i<F1  
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光栅元件   'qR)f\em  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Ox .6]W~  
• FMM/RCWA zN2CI6  
• Diffractive Lens Component Z$qLY<aV  
                                                             t>nx#ErS  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       >bQ'*!  
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正弦光栅-传输相位形态     CUIFKM  
\F`%vZrKR  
                                                
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sfb)iH|sW  
正弦光栅-传输相位形态                                                         p0c*)_a*  
AQAZ+g(IK  
XcN"orAo  
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正弦光栅-衍射效率 N]yh8"7X  
D^]g`V*N  
                                                        
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       +5AWX,9,-  
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"d1~(0=6<m  
正弦光栅—选定周期的相位形态   eI20)t`j  
                                  
SSCyq#dl$  
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                                                             =;HC7TUM&  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) -@=As00Bg  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         `i~kW  
`MD%VHQ9U  
\0)v5u  
qYba%g9RN(  
闪耀光栅-衍射效率                                                         @Z}TF/Rx4  
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                                                             0j\} @  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         LH_VdLds  
H\r- ;,&  
~<Eu @8+_  
                                                             A,PF#G(  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         JE~;gz]  
$?Dcp^  
l&JV.}qGB8  
                                                             #(Xv\OE  
VirtualLab Fusion技术   kleE\ 8_  
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