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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 >VP\@xt(R[  
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                                                     MnFem $ @  
薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 6,  ag\  
                                                             'ntb.S)  
建模任务                                                         Y">tfLIL_  
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光栅元件   93fKv  
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                                                     )?'sw5C  
通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: O60jC;{F  
• FMM/RCWA 9In&vF7$  
• Diffractive Lens Component R#tz"T@  
                                                             G%ycAm  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       =pWpHbB.  
`]]gD EPG{  
                                                 ]Ke|wRQD  
nL^6{I~  
正弦光栅-传输相位形态     'DsfKR^ s  
V]H<:UE  
                                                 M; zRf3S  
R2Tvo?xI7  
正弦光栅-传输相位形态                                                         } 3:TPW5S  
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正弦光栅-衍射效率 !QVd'e  
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                                                         ?O4Dhu  
F&lc8  
正弦光栅-效率vs. 周期                                                       WbH/K]/1)h  
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   a}E8A DyC  
o~P8=1t   
正弦光栅—选定周期的相位形态    aSHZR  
                                   Kox~k?JK  
9[T#uh!DC  
                                                             1b3Lan_2  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ~R)w 9uq  
.[cT3l/t  
                                                       '4Z%{.;  
闪耀光栅-传输相位形态                                                         ::H jpM  
O-T/H-J`  
m OmT]X  
 }r^MXv~(  
闪耀光栅-衍射效率                                                         u6r-{[W}  
h:bs/q+-  
 MiRH i<g0  
                                                             Arp4$h  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         t 1C{  
#s yP=  
 ^"buF\3L  
                                                             {z F  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ^;@Bz~Z  
vMRKs#&8  
 =:"@YD^a4  
                                                             b:O4d<+%  
VirtualLab Fusion技术   |?8CV\D!  
eHnC^W}|s  
           T}!7LNE  
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