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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 e+wINW  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 aoU5pftC  
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建模任务                                                         7G  3e  
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光栅元件   !w:pb7+G  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: -n6e;p]  
• FMM/RCWA Q `z2SYz>  
• Diffractive Lens Component UMlvu?u2p1  
                                                             zl)r3#6hW  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       5ih5=qX  
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正弦光栅-传输相位形态     $~'G<YYF4  
p+^K$w^Cs  
                                                
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正弦光栅-传输相位形态                                                         P B{7u  
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正弦光栅-衍射效率 Xb1is\JB  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       c"NGE  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   m0JJPBp  
                                  
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闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) cEEnR1  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         5[H1nC @C  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         10m`LG  
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                                                             Dos';9Uq  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         \|$GBU  
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]9hhAT44  
                                                             \Z625jt  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         aTE;Gy,W  
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                                                             }Hb_8P  
VirtualLab Fusion技术   Y2(,E e2  
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