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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 !XE aF]8  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 C".1+Um  
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建模任务                                                         Ww9;UP'G  
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光栅元件   4iX-(ir,  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: >IvBU M[Rt  
• FMM/RCWA p]|LV)R n  
• Diffractive Lens Component >.%4~\U  
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正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       zmFws-+A  
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正弦光栅-传输相位形态     CY"i-e"q<Q  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         .KA V)So"  
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正弦光栅-衍射效率 !k&)EWP?  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       8I#D`yVKc  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   7sV /_3H+  
                                  
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闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) %J P!{mqj  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         _/x& <,3  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         W<'<'z5  
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闪耀光栅-效率vs.周期                                                         uLW/f=7 L  
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                                                             TmP8 q  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         +VOb  
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                                                             SMO*({/  
VirtualLab Fusion技术   myvh@@N  
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