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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 H4s~=iB  
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                                                     MjU|XQS:  
薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 _ Ao$)Gu)  
                                                             W%4=x>J-  
建模任务                                                         V:$+$"|  
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光栅元件   wqhktgG  
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                                                     XEgJ7h_  
通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: pZ& ,YX  
• FMM/RCWA "!~o  
• Diffractive Lens Component G@.MP| 2  
                                                             T1]?E]m{  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       6Q^~O*cw  
n:,mo}?X  
                                                 EHk\Q\  
&}r"Z?f)  
正弦光栅-传输相位形态     J0?kEr  
H/c (m|KK  
                                                 Zz0e4C  
Y3Fj3NwS  
正弦光栅-传输相位形态                                                         hW~.F  
V5 w1ET  
 qOwql(vX  
Mf1(4F  
正弦光栅-衍射效率 s V_(9@b  
u= NLR\  
                                                         O$<>v\NC?  
lH}KFFbp  
正弦光栅-效率vs. 周期                                                       <Dd>- K  
J;C:nE|V  
   m^k0j/  
fSkDD>&  
正弦光栅—选定周期的相位形态   =V[uXm  
                                   wI$ a1H  
FJ:^pROpm  
                                                             x4oWZEd  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) s/E|Z1pg3  
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                                                       j]Jgz<  
闪耀光栅-传输相位形态                                                         DxJ;C09xNa  
Z0F~?  
qN $t_  
 S/nPK,^d2  
闪耀光栅-衍射效率                                                         `*C=R  _  
bGPE0}b  
 TSlB.pw%v  
                                                             aD^$v  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         YmziHns`b  
5(3O/C{?~  
 qt@L&v}~j  
                                                             o~Se[p  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         p+VU:%.t  
`(e :H  
 M+)a6ge  
                                                             =V^-@ji)b  
VirtualLab Fusion技术   Gv:~P_vBH[  
CMa6':~  
           VdLoi\-/L  
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