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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 5jYZ+OB  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 yye( ^  
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建模任务                                                         tluyx  
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光栅元件   o=,q4;R'  
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通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: U/|H%b  
• FMM/RCWA _cW (R,i  
• Diffractive Lens Component qU1^ K  
                                                             7JedS  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       G}lP'9/  
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正弦光栅-传输相位形态     aC&ZV}8of  
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                                                 @"`{gdB$  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         PKx ewd  
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正弦光栅-衍射效率 iuX82z`  
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                                                         4+V+SD  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       kJJUu  
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   C(7Y5\"P  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   O>E2G]K]\  
                                   @R|Gz/  
e*Gm()Vu,  
                                                             b,U3b})(  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) cdDMV%V  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         `FP)-^A8  
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 q>~\w1%}a\  
闪耀光栅-衍射效率                                                         +q==Y/z  
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                                                             UH<nc;.B  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         M1MpR+7S  
H(^O{JC]y!  
 JeR8Mb  
                                                             ?,J N?  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         )U`"3R  
yn0OPjH  
 3&D;V;ON}_  
                                                             UC,43 z  
VirtualLab Fusion技术   H?M#7K~[  
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