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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 F~Z 0  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 uuUVE/^V'  
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建模任务                                                         X%9xuc  
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光栅元件   q*y9/HnI  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: H;t8(-F@'  
• FMM/RCWA *liPJ29C[  
• Diffractive Lens Component o4[2`mT  
                                                             #Hn yE+tD  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       SJ[@fUxO)  
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正弦光栅-传输相位形态     mQA<t)1  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         HlL@{<  
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正弦光栅-衍射效率 ][5p.owJse  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       5B.??;xtaV  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   ty< tv|p  
                                  
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                                                             DF[b?  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) IK?$!jh  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         x[>_I1TJ  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         DPxu3,Y  
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闪耀光栅-效率vs.周期                                                         {uM{5GSL  
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                                                             I2lZ>3X{  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         f -nC+   
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VirtualLab Fusion技术   9la~3L_g  
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