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2023-02-27 08:35 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
6\/(TW& 内容简介 )u5+<OG}= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 :#spL*FIx 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ^WIGd"^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 E#+|.0*!s ;kF+V*
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 9GVv[/NAb 目录 *8xMe Preface 1 }JBLzk5| 内容简介 2 kT4Tb%7KM 目录 i X\LiV{c 1 引言 1 |jyoT%SQ 2 光学薄膜基础 2 W&0KO-}ot 2.1 一般规则 2 Q.L.B7'e7 2.2 正交入射规则 3 dht*1i3v 2.3 斜入射规则 6 S9S%7pE 2.4 精确计算 7 ^
Nm!b 2.5 相干性 8 *z\L 2.6 参考文献 10 si3@R?WR6* 3 Essential Macleod的快速预览 10 #R3|nL 4 Essential Macleod的特点 32 5KDN8pJN 4.1 容量和局限性 33 .Zv uhOn^ 4.2 程序在哪里? 33 +HNM$yp 4.3 数据文件 35 InR/g@n+D1 4.4 设计规则 35 rnTjw
"% 4.5 材料数据库和资料库 37 4z> SI\Ss 4.5.1材料损失 38 ^N:bT;;$nZ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 [&a=vE 4.5.2 材料库 41 ,[<+7 4.5.3导出材料数据 43 B1Cu?k);. 4.6 常用单位 43 l^%W/b>?b 4.7 插值和外推法 46 = F"vL 4.8 材料数据的平滑 50 ptEChoZ6 4.9 更多光学常数模型 54 "Z*u2_ H 4.10 文档的一般编辑规则 55 C{8(ew 4.11 撤销和重做 56 HH94?& 4.12 设计文档 57 El#"vIg(\ 4.10.1 公式 58 "s5[w+,R 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 x 2Cp{+} 4.10.3 沉积密度 59 %T'<vw0 4.10.4 平行和楔形介质 60 r:Rk!z* 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 DDwm;,eZ 4.10.4 性能 61 VgyY7INx9 4.10.5 保存设计和性能 64 ]:r6 4.10.6 默认设计 64 ]KE"|}B 4.11 图表 64 M|xs>+r* 4.11.1 合并曲线图 67 U[t/40W}P 4.11.2 自适应绘制 68 \RDS~u\d 4.11.3 动态绘图 68 FA3YiX(-e 4.11.4 3D绘图 69 E|v9khN(]. 4.12 导入和导出 73 {<1 ]cP 4.12.1 剪贴板 73 "8sB,$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 DZE@C^0% 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 -oR P ZtW 4.13 背景 77 5isqBu 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 =/SBZLR(9 4.15 生成Rugate 84 5VR=D\j 4.16 参考文献 91 qaZQ1<e 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ;dVYR=l 5.1 Jobs 92 Y~[k_! 5.2 创建一个新Job(工作) 93 pW4$$2S?9 5.3 输入材料 94 %29lDd(< 5.4 设计数据文件夹 95 N>Q~WXvV# 5.5 默认设计 95 oZwu`~h Y 6 细化和合成 97 G24Ov&H 6.1 优化介绍 97 !rZ r:@ 6.2 细化 (Refinement) 98 ]<Kkq! 6.3 合成 (Synthesis) 100 #$0*Gd-N 6.4 目标和评价函数 101 xfK@tLEZ-1 6.4.1 目标输入 102 iw\yVd^]:k 6.4.2 目标 103 j;SK{Oq 6.4.3 特殊的评价函数 104 ykat0iqo 6.5 层锁定和连接 104 _-5| "oJ 6.6 细化技术 104 $~5ax8u&!# 6.6.1 单纯形 105 eNc>^:&y* 6.6.1.1 单纯形参数 106 ALXie86a8 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 V18A|]k 6.6.2.1 Optimac参数 108 KIXp+Z 6.6.3 模拟退火算法 109 s_}q 6.6.3.1 模拟退火参数 109 vMYL( ]e 6.6.4 共轭梯度 111 ?8]g&V 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ,y}@I" 6.6.5 拟牛顿法 112 <`'T#e$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 <@H`5[R 6.6.6 针合成 113 z,xGjSP 6.6.6.1 针合成参数 114 hh7unHt- 6.6.7 差分进化 114 ( we)0AxF' 6.6.8非局部细化 115 +*L<"@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 []b=
xRJM 6.7 我应该使用哪种技术? 116 =M`Xu#eRk 6.7.1 细化 116 #sM`>KG6T1 6.7.2 合成 117 '@dk3:3t 6.8 参考文献 117 ~1:_wni 7 导纳图及其他工具 118 %fMFcL#h 7.1 简介 118 ]e6$ ={ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 !q!5D` 7.2.1 四分之一波长规则 119 i+ICgMcd 7.2.2 导纳图 120 GUn$IPOM 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 <%?!3 n* 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ToR@XL!%rP 7.5 斜入射导纳图 141 sWv!ig_ 7.6 对称周期 141 Z;~ 7L*| 7.7 参考文献 142 !xvAy3 8 典型的镀膜实例 143 OF/hD2V 8.1 单层抗反射薄膜 145 O;+
sAt 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 {4eI}p< 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 D6,Ol4d 8.4 W-膜层 148 ^C'{# p" 8.5 V-膜层 149 )~-r&Q5d 8.6 V-膜层高折射基底 150 8_/,`}9
8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |.;*,bb|3 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 xSrjN 8.9 四层抗反射薄膜 153 RA1K$D ?A 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 @%BsQm 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 sA2esA@C<o 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 MSE0z!t 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ZRj/lQ2D 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 0K4A0s_R` 8.15十五层宽带抗反射膜 159 3b[.s9Q 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 X`28? 8.17 1/4波长堆栈 162 *$Y_ %} 8.18 陷波滤波器 163 Ug )eyu 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 apjoIO-< 8.20 褶皱 165 S!66t?vHB 8.21 消偏振分光器1 169 ?Ta<.j 8.22 消偏振分光器2 171 5,J.$Sax 8.23 消偏振立体分光器 172 '| p"HbJ 8.24 消偏振截止滤光片 173 jo'
V.]\ 8.25 立体偏振分束器1 174 W`uq,r0Xsy 8.26 立方偏振分束器2 177 {Z1KU8tp 8.27 相位延迟器 178 ;)FmN[ 8.28 红外截止器 179 Pk>S;KT. 8.29 21层长波带通滤波器 180 .d6b?t 8.30 49层长波带通滤波器 181 fJ=v? 8.31 55层短波带通滤波器 182 KW!+Ws 8.32 47 红外截止器 183 fp}5QUm- 8.33 宽带通滤波器 184 P*n/qj8h 8.34 诱导透射滤波器 186 t;`ULp~& 8.35 诱导透射滤波器2 188 ZCuo YE$g 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 qM<CBcON 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 i.{.koH< 8.35 增益平坦滤波器 193 2~R%_r+< 8.38 啁啾反射镜 1 196 wLzV#8> 8.39 啁啾反射镜2 198 86);0EBX 8.40 啁啾反射镜3 199 !v8](UI8- 8.41 带保护层的铝膜层 200 />wE[` 8.42 增加铝反射率膜 201 q07H{{h/B 8.43 参考文献 202 Xk!wT2; 9 多层膜 204 (/FG#D. 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 wI;sZJc 9.2 内部透过率 204 Hb/8X
!= 9.3 内部透射率数据 205 5O;D\M{> 9.4 实例 206 my0iE: 9.5 实例2 210 Xzl$Qc 9.6 圆锥和带宽计算 212 a"`>J! 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 >pp#>{} 10 光学薄膜的颜色 216 -@ra~li,yQ 10.1 导言 216 r'4Dj&9Ac 10.2 色彩 216
XRHngW_A 10.3 主波长和纯度 220 "L!U7|9J 10.4 色相和纯度 221 &8I}q]'k 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 +cM~| 10.6 色差 226 %CrTO( 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 uAV7T /' 10.8 颜色渲染指数 234 q0DRT4K 10.9 色差计算 235 )7p(htCz5 10.10 参考文献 236 z,bK.KFSs 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 -{q'Tmst 11.1 短脉冲 238 ;/t~MH 11.2 群速度 239 10)RLh|+ 11.3 群速度色散 241 2x<!>B 11.4 啁啾(chirped) 245 J~n|5*cz 11.5 光学薄膜—相变 245 0
vYG#S 11.6 群延迟和延迟色散 246 |3^U\r^zo 11.7 色度色散 246 |QD#Dx1_ 11.8 色散补偿 249 v^)B[e! 11.9 空间光线偏移 256 @vB-.XU 11.10 参考文献 258 o/Q|R+yXV 12 公差与误差 260 +z:>Nl 12.1 蒙特卡罗模型 260 ~FQHT?DAo 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 )U7fPKQ 12.2.1 误差工具 267 #SG.`J<% 12.2.2 灵敏度工具 271 xkU8(= 12.2.2.1 独立灵敏度 271 "0,FB4L[U5 12.2.2.2 灵敏度分布 275 -+M360 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /]U;7) 12.3 参考文献 276 IRueq @4 13 Runsheet 与Simulator 277 !zvOCAb, 13.1 原理介绍 277 )0DgFA6k_ 13.2 截止滤光片设计 277 VN(*m(b 14 光学常数提取 289 I9Uj3cL\ 14.1 介绍 289 *l;S"}b*,_ 14.2 电介质薄膜 289 #6v357-5 14.3 n 和k 的提取工具 295 !XM<`H/ 14.4 基底的参数提取 302 z>\l%_w 14.5 金属的参数提取 306 &]GR*a 14.6 不正确的模型 306 KVh#"]<WV 14.7 参考文献 311 9X,iQ 15 反演工程 313 1uppE| 15.1 随机性和系统性 313 ^*.+4iHx 15.2 常见的系统性问题 314 tTF<DD}8 15.3 单层膜 314 J@"UFL'^ 15.4 多层膜 314 jm@,Ihz=wI 15.5 含义 319 {M7`"+~w 15.6 反演工程实例 319 QqRF?%7q"q 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 '7/F]S0K 15.6.2 反演工程提取折射率 327 >*opE I+ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ;]b4O4C\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 tW94\3)1 16.2 应力工具 335 ck%YEMs 16.3 均匀性误差 339 KeRC8mYp 16.3.1 圆锥工具 339 j7QK8O$XL 16.3.2 波前问题 341 vm{8x o 16.4 参考文献 343 v+[S${ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 /-i m
g^^ 17.1 引言 345 9#m3<oSJ 17.2 操作数 345 0[M2LF!m 18 如何在Function中编写脚本 351 PTLlLa85< 18.1 简介 351 l
U8pX$ 18.2 什么是脚本? 351 bJ2>@|3* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 g1}:;VG= 18.4 基础 352 #z
_<{'
P" 18.4.1 Classes(类别) 352 ^_g%c&H 18.4.2 对象 352 C:}1r 18.4.3 信息(Messages) 352 ]jC{o,?s 18.4.4 属性 352 "]kzt ux 18.4.5 方法 353 M_Q`9 18.4.6 变量声明 353 71Za!3+ 18.5 创建对象 354 xr]bH.> 18.5.1 创建对象函数 355 p
JT)X8K" 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 +Ugy=678Tr 18.5.3 丢弃对象 356 n6.Z{Q'b 18.5.4 总结 356 8Iu6r}k?~` 18.6 脚本中的表格 357 tgl(*[T2 18.6.1 方法1 357 'I+S5![< 18.6.2 方法2 357 [DDe}D3C 18.7 2D Plots in Scripts 358 :aomDK* 18.8 3D Plots in Scripts 359 .r{t&HO;Y 18.9 注释 360 yYYP;N?g4k 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 `B4Ilh"d 18.11 一个更高级的脚本 362 yn$1nt4 18.12 <esc>键 364 IN<nZ?D# 18.13 包含文件 365 w8R7Ksn( 18.14 脚本被优化调用 366 ZS4dW_*[ 18.15 脚本中的对话框 368
{U$XHG 18.15.1 介绍 368 =0]K(p, 18.15.2 消息框-MsgBox 368 bGL} nPo 18.15.3 输入框函数 370 *?d\Zcj85[ 18.15.4 自定义对话框 371 d~r A`!s7` 18.15.5 对话框编辑器 371 sR>>l3H 18.15.6 控制对话框 377 Yl>Y.SO 18.15.7 更高级的对话框 380 O/FI>RT\H 18.16 Types语句 384 vs[!B- 18.17 打开文件 385 /g!ZU2&l 18.18 Bags 387 a>W++8t1 ; 18.13 进一步研究 388 V 0Oqq0\ 19 vStack 389 " "m-5PGYo 19.1 vStack基本原理 389 e)B1)c 8s 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 4'dN7E1*f 19.3 五棱镜 393 b@8z+,_ 19.4 光束距离 396 %(p9AE 19.5 误差 399 "{qnm+G 19.6 二向分色棱镜 399 ;`LG WT-<F 19.7 偏振泄漏 404 tc[Ld# 19.8 波前误差—相位 405 97\K ]Tr 19.9 其它计算参数 405 R*2N\2 20 报表生成器 406 pTG[F 20.1 入门 406 K$,<<hl 20.2 指令(Instructions) 406 J&fIWZ 20.3 页面布局指令 406 1E
/G+pm 20.4 常见的参数图和三维图 407 W)bSLD 20.5 表格中的常见参数 408 4gC(zJ 20.6 迭代指令 408 gBhX=2% 20.7 报表模版 408 yP# Y:s 20.8 开始设计一个报表模版 409 4)D~S4{E5 21 一个新的project 413 @(35I 21.1 创建一个新Job 414 xok
T 21.2 默认设计 415 aReJ@ 21.3 薄膜设计 416 8Cp@k= 21.4 误差的灵敏度计算 420 95~bM;TVr 21.5 显色指数计算 422 xtD(tiqh.; 21.6 电场分布 424 VnkhY 后记 426 WwTl|wgvyI 有兴趣可以扫码联系[attachment=116484] ; 8DtnnE
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