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2023-02-27 08:35 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
2|'v[ 内容简介 (<sZ8n=AD Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >!+.M9 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 q6A!xQs< 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
V|=PaO 2p\CCzw
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 8N<0|u 目录 e$F]t*)Xa Preface 1 fDc>E+, 内容简介 2 _\E{T5 目录 i n}== 1 引言 1 w0QN5? 2 光学薄膜基础 2 _^4\z*x 2.1 一般规则 2 ?DcR D)X 2.2 正交入射规则 3 =`2nv0%2 2.3 斜入射规则 6 eUQ., mP 2.4 精确计算 7 \)'nxFKqV 2.5 相干性 8 !_GY\@} 2.6 参考文献 10 4R!A.N 9 3 Essential Macleod的快速预览 10 H5t 9Mg| 4 Essential Macleod的特点 32 8@%Xd^ 4.1 容量和局限性 33 b i^h&H 4.2 程序在哪里? 33 2m.RM&TdB 4.3 数据文件 35 HZMs],GX 4.4 设计规则 35 9xWC<i 4.5 材料数据库和资料库 37 Z=%+U _, 4.5.1材料损失 38 \8\)5#? 4.5.1材料数据库和导入材料 39 -_=0PW5{ 4.5.2 材料库 41 a] :tn:q 4.5.3导出材料数据 43 YArNJ5z= 4.6 常用单位 43 iO=xx|d 4.7 插值和外推法 46 x_1JQDE 4.8 材料数据的平滑 50 L'{;V\d 4.9 更多光学常数模型 54 4GJ1P2 4.10 文档的一般编辑规则 55 ={' "ATX(U 4.11 撤销和重做 56 zb9^ii$g 4.12 设计文档 57 RAR0LKGX 4.10.1 公式 58 j`^':! 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 0z?b5D; 4.10.3 沉积密度 59 @k~?h=o\b 4.10.4 平行和楔形介质 60 *D`qcv 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 3_=~7B)
8 4.10.4 性能 61 ln.kEhQ3B 4.10.5 保存设计和性能 64 GF~^-5 4.10.6 默认设计 64 *Yv"lB8 4.11 图表 64 3{_A zL 4.11.1 合并曲线图 67 t
K;E&: 4.11.2 自适应绘制 68 P# 2&?.d\ 4.11.3 动态绘图 68 P8NKpO\ 4.11.4 3D绘图 69 !8&,GT 4.12 导入和导出 73 ^|}C!t+ 4.12.1 剪贴板 73 k*|dX.C: 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 1wUZ0r1' 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 y8: 0VZox 4.13 背景 77 #oMbE<//" 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 WO*yJ`9] 4.15 生成Rugate 84 dsDoPo0! 4.16 参考文献 91 ~\dpD 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
7'FDI`e[ 5.1 Jobs 92 "@B!5s0 5.2 创建一个新Job(工作) 93 43rM?_72 5.3 输入材料 94
N>`+{ 5.4 设计数据文件夹 95 wo2^,Y2z+ 5.5 默认设计 95 TI}H(XL( 6 细化和合成 97 pH#&B_S6z= 6.1 优化介绍 97 O%9Cq}* 6.2 细化 (Refinement) 98 kFv\V 6.3 合成 (Synthesis) 100 1=#r$H 6.4 目标和评价函数 101 322W"qduTZ 6.4.1 目标输入 102 q?z6|]M|u 6.4.2 目标 103 U[d/` 6.4.3 特殊的评价函数 104 A(_AOoA' 6.5 层锁定和连接 104 3M{!yPlj 6.6 细化技术 104 T~$ePVk>L 6.6.1 单纯形 105 R+]p
-NI^ 6.6.1.1 单纯形参数 106 D,xWc|V 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Z{#^lhHx 6.6.2.1 Optimac参数 108 iMx+y5O 6.6.3 模拟退火算法 109 3sGrX"0D 6.6.3.1 模拟退火参数 109 MIa].S# 6.6.4 共轭梯度 111 4 E3@O 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 QOuy(GY
6.6.5 拟牛顿法 112 GQqw(2Ub} 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 1E$Z]5C9 6.6.6 针合成 113 /6{`6(p 6.6.6.1 针合成参数 114 qNHS 1 6.6.7 差分进化 114 <6<uO\B\ 6.6.8非局部细化 115 d1e'!y}R5 6.6.8.1非局部细化参数 115 ulfpop*2 6.7 我应该使用哪种技术? 116 wdBytH6r. 6.7.1 细化 116 rQ}4\PTi
6.7.2 合成 117 ]+0-$t7Y 6.8 参考文献 117 SUD]Wl7G`r 7 导纳图及其他工具 118 N(vbo 7.1 简介 118 XeDU
, 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 PkDL\Nqe 7.2.1 四分之一波长规则 119 u-UUF 7.2.2 导纳图 120 ?d+B]VYw 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ^S ,E "Q 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 SNvK8,"g 7.5 斜入射导纳图 141 t{~"vD9Am 7.6 对称周期 141 !P@u4FCs 7.7 参考文献 142 "EEE09~l\ 8 典型的镀膜实例 143 QN_5q5 8.1 单层抗反射薄膜 145 \(T;@r 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 W\.f:"2qr 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 7vr)JT= 8.4 W-膜层 148 'IfM~9'D 8.5 V-膜层 149 K'?ab 0 8.6 V-膜层高折射基底 150 o*p7/KvoT 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |<y[gj4`T/ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 2IjqTL 8.9 四层抗反射薄膜 153 5mSXf"R^ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 N)poe2[
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 1<\cMY6 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 czMLvPXRx 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 GsDSJz 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 zN5i}U=|r 8.15十五层宽带抗反射膜 159 nt;A7pI` 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 \!cqeg*53 8.17 1/4波长堆栈 162 d1y(Jt 8.18 陷波滤波器 163 #S<>+,Lk 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Fi5,y;]R 8.20 褶皱 165 (59<Zo 8.21 消偏振分光器1 169 CWBsiL
f 8.22 消偏振分光器2 171 *3"C"4S 8.23 消偏振立体分光器 172 D%^EG8i n. 8.24 消偏振截止滤光片 173 M8juab%y 8.25 立体偏振分束器1 174 {g/\5Z\b 8.26 立方偏振分束器2 177 <R3S{ty 8.27 相位延迟器 178 1Za\T?V 8.28 红外截止器 179 O')Ivm,E 8.29 21层长波带通滤波器 180 }1R k]$XC 8.30 49层长波带通滤波器 181 uaU!V4- 8.31 55层短波带通滤波器 182 $%1[<}< 8.32 47 红外截止器 183 2YwV} 8.33 宽带通滤波器 184 ke3=s 8.34 诱导透射滤波器 186 _|A)ueY 8.35 诱导透射滤波器2 188 Q;5\( 0w5 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ^S<Z'S 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Hlz4f+#I 8.35 增益平坦滤波器 193 R1P,0Yf 8.38 啁啾反射镜 1 196 sp_(j!]jX 8.39 啁啾反射镜2 198 a'T|p)N.;T 8.40 啁啾反射镜3 199 ; $y.+5 q 8.41 带保护层的铝膜层 200 sgCIY:8 8.42 增加铝反射率膜 201 up:e0di{ 8.43 参考文献 202 ~7~nU>Vv 9 多层膜 204 >Y2Rr9 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 2&tGJq-E 9.2 内部透过率 204 gpw(j0/Fs 9.3 内部透射率数据 205 \!S C; 9.4 实例 206 @L0wd> 9.5 实例2 210 4yBe(&N-d 9.6 圆锥和带宽计算 212 Szg<;._J 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 QT|m N 10 光学薄膜的颜色 216 >Mvt;'c 10.1 导言 216 {Or|] 0 10.2 色彩 216 @'}X&TN<a 10.3 主波长和纯度 220 pg>P]a{ 10.4 色相和纯度 221 BV!Kiw 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 nmSpNkJ5 10.6 色差 226 G %#us3x 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 {Ua5bSbh 10.8 颜色渲染指数 234 t: [[5];E 10.9 色差计算 235 n:#ji|wM 10.10 参考文献 236 (yX Vp2k 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 @8CD@SDv 11.1 短脉冲 238 4uu*&B 11.2 群速度 239 R#T6Ii 11.3 群速度色散 241 <4O=[Q 5S 11.4 啁啾(chirped) 245 (>8fcQUBb 11.5 光学薄膜—相变 245 -Z;:_"&9 11.6 群延迟和延迟色散 246 W:) M}}&H 11.7 色度色散 246 Ko%rB+d 11.8 色散补偿 249 94a_ W9 11.9 空间光线偏移 256 ZDVaKDqZ_ 11.10 参考文献 258 `nizGg~1 12 公差与误差 260 >K
&b,o,[ 12.1 蒙特卡罗模型 260 u5,IH2BU 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 {K|{a 12.2.1 误差工具 267 $K,aLcu 12.2.2 灵敏度工具 271 fe0 Y^vW 12.2.2.1 独立灵敏度 271 I9u=RIs 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Lte\;Se.tu 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 F;_;lRAb 12.3 参考文献 276 ?.Kl/8ml 13 Runsheet 与Simulator 277 M 0"feq 13.1 原理介绍 277 }BfwMq4E)n 13.2 截止滤光片设计 277 |BW956fBU 14 光学常数提取 289 3AB5Qs< 14.1 介绍 289 .9ROa#7U;n 14.2 电介质薄膜 289 MRC5c:( 14.3 n 和k 的提取工具 295 K3Xy%pqR# 14.4 基底的参数提取 302 ZU@V]+ww 14.5 金属的参数提取 306 !l\pwfXP&% 14.6 不正确的模型 306 P `oR-D 14.7 参考文献 311 P;y/`_jo 15 反演工程 313 s e1ipn_A 15.1 随机性和系统性 313 A9R}74e4g 15.2 常见的系统性问题 314 m0#hG
x 15.3 单层膜 314 *o>E{ 15.4 多层膜 314 2
43DdIG$ 15.5 含义 319 !*cf}<Kmw 15.6 反演工程实例 319 \UC4ai2MK 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ~Ep&:c4:D 15.6.2 反演工程提取折射率 327 D{4
Y:O&J 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 z7K?rgH 16.1 光学性质的热致偏移 329 ECSC,oJ 16.2 应力工具 335 ^ID%pd 16.3 均匀性误差 339 @V-ZV 16.3.1 圆锥工具 339 _9-Ajv 16.3.2 波前问题 341 =DCQ!02 16.4 参考文献 343
h43k
17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 4 '+)9&g 17.1 引言 345 RS:0xN\JN 17.2 操作数 345 )N=wJN1 18 如何在Function中编写脚本 351 *\`C!r 18.1 简介 351 %z.G3\s0 18.2 什么是脚本? 351 q"cFw${ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 zZRqb/20 18.4 基础 352 O3_Mrn(R 18.4.1 Classes(类别) 352 L fi]s 18.4.2 对象 352 *dQRs6 18.4.3 信息(Messages) 352 H{V-C_ 18.4.4 属性 352 m0edkt-x 18.4.5 方法 353 PU>;4l 18.4.6 变量声明 353 m=K XMX 18.5 创建对象 354 >}I}9y+ 18.5.1 创建对象函数 355 2ReulL8j 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 kj8zWG4KH 18.5.3 丢弃对象 356 (r|T&'yK 18.5.4 总结 356 [X
I5Bu ~ 18.6 脚本中的表格 357 :.~a[\C@V< 18.6.1 方法1 357 s=$ 7lYX 18.6.2 方法2 357 p"JSYF
9] 18.7 2D Plots in Scripts 358 P]TT 18.8 3D Plots in Scripts 359 0{,zE 18.9 注释 360 }/LYI 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ZJ4"QsF 18.11 一个更高级的脚本 362 %,^7J; 18.12 <esc>键 364 ]`NbNr]K 18.13 包含文件 365 DYl^6] 18.14 脚本被优化调用 366 70NHU;&N 18.15 脚本中的对话框 368 qYh,No5\;t 18.15.1 介绍 368 daorKW4 18.15.2 消息框-MsgBox 368 :b>|U"ux 18.15.3 输入框函数 370 x
B?:G 18.15.4 自定义对话框 371 Y1~SGg7(@ 18.15.5 对话框编辑器 371 H )}WWXK 18.15.6 控制对话框 377 ZChY:I$< 18.15.7 更高级的对话框 380 R*y[/Aw 18.16 Types语句 384 I>xB.$A 18.17 打开文件 385 TAi\#cnl(6 18.18 Bags 387 yI%>
w4Z 18.13 进一步研究 388 HB}gn2.1& 19 vStack 389 PYUY bRn 19.1 vStack基本原理 389 ~
/[Cgh0 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 mx[^LaR>v 19.3 五棱镜 393 So^`L s;S 19.4 光束距离 396 e.+)0)A- 19.5 误差 399 2%8Y-o? 19.6 二向分色棱镜 399 IX(yajc[~M 19.7 偏振泄漏 404 I5A^/=bf& 19.8 波前误差—相位 405 nsp K.*? 19.9 其它计算参数 405 3azc `[hl 20 报表生成器 406 e^GW[lT 20.1 入门 406 C{Ug ?hVP 20.2 指令(Instructions) 406 s,v#lJ]d0W 20.3 页面布局指令 406 d{hYT\7~1( 20.4 常见的参数图和三维图 407 L8zqLDi& 20.5 表格中的常见参数 408 =s]{ 20.6 迭代指令 408 ]*@$%iCPE 20.7 报表模版 408 J){\h-4 20.8 开始设计一个报表模版 409 QT$1D[> 21 一个新的project 413 ,OCTm%6e 21.1 创建一个新Job 414 _PbfFY # 21.2 默认设计 415 IpJ v\zH7 21.3 薄膜设计 416 h6e$$-_ 21.4 误差的灵敏度计算 420 $te,\$&} 21.5 显色指数计算 422 G7;}309s 21.6 电场分布 424 lnWiE}F 后记 426 F"H!CJJu& 有兴趣可以扫码联系[attachment=116484] 5Nb_K`Vp*
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