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2023-02-27 08:35 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
/7W N,a 内容简介 9 [qEJ$-- Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 m\a_0!K 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 #T\Yi|Qs# 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 RiHOX&-7 /*g9drwaa
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 |Z%I3-z_DS 目录 Hg8n`a;R Preface 1 D(3\m) 内容简介 2 a& >(*PQ 目录 i (_&W@:"z 1 引言 1 4o,%}bo& 2 光学薄膜基础 2 f8]Qn8 2.1 一般规则 2 2+KOUd&jS 2.2 正交入射规则 3 3L2@C% 2.3 斜入射规则 6 >r Nff!Ow 2.4 精确计算 7 Cj). 2.5 相干性 8 !eb}jL 2.6 参考文献 10 $HjKELoJ< 3 Essential Macleod的快速预览 10 -QH[gi{%` 4 Essential Macleod的特点 32 =)Z!qjf1U 4.1 容量和局限性 33 O6rrv,+_L 4.2 程序在哪里? 33 *"rgK|CM$ 4.3 数据文件 35 )
V}q7\G~ 4.4 设计规则 35 L #'N 4.5 材料数据库和资料库 37 e&&;"^@- 4.5.1材料损失 38 jO'+r'2B9 4.5.1材料数据库和导入材料 39 [~&C6pR 4.5.2 材料库 41 k<b`v&G 4.5.3导出材料数据 43 JQVu&S 4.6 常用单位 43 KX*Hev'K 4.7 插值和外推法 46 bkmW[w:M 4.8 材料数据的平滑 50 &{ B-a 4.9 更多光学常数模型 54 ZLA&<]Ad"$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 H^jFvAI,8 4.11 撤销和重做 56 wg6![Uh 4.12 设计文档 57 |7IlYy&: 4.10.1 公式 58 8+^?<FKa 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 r,p6J7/lfS 4.10.3 沉积密度 59 gcImk0NIY 4.10.4 平行和楔形介质 60 w)bLdQ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 '&L ;y 4.10.4 性能 61 S@suPkQ<> 4.10.5 保存设计和性能 64 ; n2|pC^ 4.10.6 默认设计 64 ]h (TZu 4.11 图表 64 ^+Ez[S{8 4.11.1 合并曲线图 67 yQwj[ 4.11.2 自适应绘制 68 (]'Q!MjGa 4.11.3 动态绘图 68 4}{S8fGk% 4.11.4 3D绘图 69 VdpkE0 4.12 导入和导出 73 ?f+w:FO 4.12.1 剪贴板 73 @_0g "Ul 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 %N)o*H& 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 &fBLPF% 6 4.13 背景 77 2A3;#v 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Uo{h.
.7? 4.15 生成Rugate 84 ]2n&DJu 4.16 参考文献 91 Zl]Zy}p* + 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 DQg:W |A 5.1 Jobs 92 5qco4@8 5.2 创建一个新Job(工作) 93 4)=LOGW 5.3 输入材料 94 dfB#+wh 5.4 设计数据文件夹 95 &]~z-0`$! 5.5 默认设计 95 LV:oNK( 6 细化和合成 97 `Rj<qz^7 6.1 优化介绍 97 `n8) o %E9 6.2 细化 (Refinement) 98 9GS<d.#Nvc 6.3 合成 (Synthesis) 100 b5YjhRimS 6.4 目标和评价函数 101 _I_Sq,Z# 6.4.1 目标输入 102 TX{DZ# 6.4.2 目标 103 u(JC 4w' 6.4.3 特殊的评价函数 104 qs6yEuh# 6.5 层锁定和连接 104 5YIiO7@4 6.6 细化技术 104 Egt;Bj#% 6.6.1 单纯形 105 Ah)OyO6 6.6.1.1 单纯形参数 106
^SCZ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Ty%4#9``0 6.6.2.1 Optimac参数 108 p#.B Fy 6.6.3 模拟退火算法 109 >HnD'y* 6.6.3.1 模拟退火参数 109 LBtVK, ? 6.6.4 共轭梯度 111 ]sO}) 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 !@-j!Ub 6.6.5 拟牛顿法 112 >]"5K<-1 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 P]2M 6.6.6 针合成 113 u;DF$
6.6.6.1 针合成参数 114 JGZ,5RTq4- 6.6.7 差分进化 114 zdn e2 6.6.8非局部细化 115 >q
<,FY!A 6.6.8.1非局部细化参数 115 f(DGC2R
< 6.7 我应该使用哪种技术? 116 +3vK=d_Va 6.7.1 细化 116 I"3Qdi 6.7.2 合成 117 ) 0$7{3 6.8 参考文献 117 }jTE gog 7 导纳图及其他工具 118 -;T>4B= 7.1 简介 118 %Zx/XMs}e 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 J{$C}8V 7.2.1 四分之一波长规则 119 %Ua*}C 7.2.2 导纳图 120 J),7ukLu^ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 .CI]8O"3y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 =KNg "| 7.5 斜入射导纳图 141 po"M$4`9 7.6 对称周期 141 @Th.= 7.7 参考文献 142 oypq3V=5 8 典型的镀膜实例 143 yVQqz 8.1 单层抗反射薄膜 145 <PW*vo9v 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 xN2M|E] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 X=(8t2 8.4 W-膜层 148 ^/R@bp#< 8.5 V-膜层 149 ,{itnKJC 8.6 V-膜层高折射基底 150 dT,X8 " 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 6\O4R 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ci5ERv` 8.9 四层抗反射薄膜 153 '.atbl 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 mMrvr9% 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 >?M:oUVDU 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
-N5r[*> 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 D8h?s 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 NNutpA}s 8.15十五层宽带抗反射膜 159 8c+i+gp! 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 *|$s0ga C 8.17 1/4波长堆栈 162 @Qruc\_ 8.18 陷波滤波器 163 RNoS7[& 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 -sO EL{ 8.20 褶皱 165 DXKk1u?Tq 8.21 消偏振分光器1 169 L7n->8Qk 8.22 消偏振分光器2 171 z^~uq: 8.23 消偏振立体分光器 172 {>QrI4*A 8.24 消偏振截止滤光片 173 ~u%9@}Oo> 8.25 立体偏振分束器1 174 1$@k@*u\ 8.26 立方偏振分束器2 177 '4HwS$mW3 8.27 相位延迟器 178 4s`*o/it 8.28 红外截止器 179 0g]ABzTn 8.29 21层长波带通滤波器 180 L4.yrA-]C% 8.30 49层长波带通滤波器 181 ,2H5CFX/ 8.31 55层短波带通滤波器 182 )^%,\l-! 8.32 47 红外截止器 183 PhKJ#DRbr 8.33 宽带通滤波器 184 u9mMkzgSkP 8.34 诱导透射滤波器 186 s26s:A3rh 8.35 诱导透射滤波器2 188 W@"M/<r@/ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 X@x:
F|/P 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 X/5tZ@ 8.35 增益平坦滤波器 193 3m7$$N| 8.38 啁啾反射镜 1 196 f=~@e#U 8.39 啁啾反射镜2 198 2)[81a 8.40 啁啾反射镜3 199 v .r$]O 8.41 带保护层的铝膜层 200 S)g5Tu) 8.42 增加铝反射率膜 201 axU!o /m> 8.43 参考文献 202 ?3KI}'}EM 9 多层膜 204 n0Ze9W+< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ?/#HTg)!B 9.2 内部透过率 204 ( }JX ]- 9.3 内部透射率数据 205 P[XE5puC 9.4 实例 206 \FVR'A1 9.5 实例2 210 Dvd.Q/f 9.6 圆锥和带宽计算 212 ,vg8iRa 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 )}G
HG#D{ 10 光学薄膜的颜色 216 j?w7X?1( 10.1 导言 216 n)`*{uv$ 10.2 色彩 216 ~&B_ Bswf 10.3 主波长和纯度 220 uT;Qo{G^ 10.4 色相和纯度 221 (CZRX9TT1 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 pk;bx2CP8 10.6 色差 226 0pkU1t~9 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 1grrb&K 10.8 颜色渲染指数 234 Wt8;S$!=R 10.9 色差计算 235 oVC~RKA* 10.10 参考文献 236 8{?Oi'-|0 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 I
&{dan2 11.1 短脉冲 238 <PV @JJ" 11.2 群速度 239 x(mY$l,il 11.3 群速度色散 241 C?hw$^w7T 11.4 啁啾(chirped) 245 Z8'uZ#=Yw 11.5 光学薄膜—相变 245 JvHJ*E 11.6 群延迟和延迟色散 246 !xe<@$ 11.7 色度色散 246 []LNNO],X 11.8 色散补偿 249 lX5(KUN 11.9 空间光线偏移 256 ,dh*GJ{5 11.10 参考文献 258 NO* 1km[# 12 公差与误差 260 p(0!TCBs 12.1 蒙特卡罗模型 260 G VEjB; 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 II~D66 bF 12.2.1 误差工具 267 rxa8X wo8 12.2.2 灵敏度工具 271 ?FMHK\ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 3j.f3~" 12.2.2.2 灵敏度分布 275 .4KXe"~E 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 u1]5qtg" 12.3 参考文献 276 eKStt|M' 13 Runsheet 与Simulator 277 M5%u>$2 13.1 原理介绍 277 1Ete;r%5= 13.2 截止滤光片设计 277 7~ |o_T 14 光学常数提取 289 w,`x(!& 14.1 介绍 289 =gfLl1wY[ 14.2 电介质薄膜 289 S4?ssI 14.3 n 和k 的提取工具 295 vNJ!i\bX 14.4 基底的参数提取 302 AeUwih.
4 14.5 金属的参数提取 306 37lmB
'~ 14.6 不正确的模型 306 u[d8)+VX
14.7 参考文献 311 Keof{>V=CA 15 反演工程 313 UTs0=:+,t 15.1 随机性和系统性 313 3s>&h-E 15.2 常见的系统性问题 314 .}CPZ3y 15.3 单层膜 314 ;TaT=% 15.4 多层膜 314 z@iY(;Qo 15.5 含义 319 {W0]0_mI( 15.6 反演工程实例 319 >nl*aN 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 *y N,e.t 15.6.2 反演工程提取折射率 327 @p`#y 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 \:"s*- 16.1 光学性质的热致偏移 329 i[jAAr$ 16.2 应力工具 335 40q8,M 16.3 均匀性误差 339 %C)U
F 16.3.1 圆锥工具 339 }A2@1TTPX 16.3.2 波前问题 341 O[`n{Vl/ 16.4 参考文献 343 P5aHLNit 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 {}lw%d?A 17.1 引言 345 a(BC(^1! 17.2 操作数 345 ~yO.R)4v 18 如何在Function中编写脚本 351 lWOB!l 18.1 简介 351 (6JD<pBm 18.2 什么是脚本? 351 r}vI#;& 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 WJJ!NoP 18.4 基础 352 ]p#Zdm1EL 18.4.1 Classes(类别) 352 GbNVcP.ocP 18.4.2 对象 352 <y`yKXzBUV 18.4.3 信息(Messages) 352 6= 9 18.4.4 属性 352 Ye(0'*-jyc 18.4.5 方法 353 Lw!@[;2 18.4.6 变量声明 353 v3aiX 18.5 创建对象 354 ]`:Fj|> 18.5.1 创建对象函数 355 m'429E]\S 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 x28Bz*O 18.5.3 丢弃对象 356 x{ZcF=4 18.5.4 总结 356 ][qZOIk@ 18.6 脚本中的表格 357 i4Fw+Z 18.6.1 方法1 357 B`KpaE] 18.6.2 方法2 357 $1UN?(r 18.7 2D Plots in Scripts 358 cJH7zumM) 18.8 3D Plots in Scripts 359 G-}
zkax 18.9 注释 360 ew"[]eZ:ut 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Bpqq-_@ 18.11 一个更高级的脚本 362 [x)BQX' 18.12 <esc>键 364 I#9K/[ 18.13 包含文件 365 o.j;dsZ 18.14 脚本被优化调用 366 iOD9lR`s 18.15 脚本中的对话框 368 }*0%wP 18.15.1 介绍 368 _
k>j?j- 18.15.2 消息框-MsgBox 368 {`1zVT p[< 18.15.3 输入框函数 370 %0"o(y+zt 18.15.4 自定义对话框 371 -98bX]8 18.15.5 对话框编辑器 371 B"{CWH O 18.15.6 控制对话框 377 7f
7*id 18.15.7 更高级的对话框 380 W;0_@!?mr} 18.16 Types语句 384 -8TJ~t%w4 18.17 打开文件 385 @c.QrKSaD 18.18 Bags 387 4V[+6EV 18.13 进一步研究 388 1zl@$ Nt 19 vStack 389 Rhr]ML 19.1 vStack基本原理 389 %Cm4a49FNi 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 A}oR,$D- 19.3 五棱镜 393 az19-QIcg 19.4 光束距离 396 ,cj34W`FWq 19.5 误差 399 "w|GIjE+ 19.6 二向分色棱镜 399 r2H]n.MT 19.7 偏振泄漏 404 U8.DPRa 19.8 波前误差—相位 405 `%rqQnVB 19.9 其它计算参数 405 Ou,B3kuQ+ 20 报表生成器 406 sg9ZYWcL 20.1 入门 406 =P2T&Gb 20.2 指令(Instructions) 406 v'Lckw@G4 20.3 页面布局指令 406 Q OdvzVy< 20.4 常见的参数图和三维图 407 {zg}KiNDZd 20.5 表格中的常见参数 408 "_5av!;A
g 20.6 迭代指令 408 h{>8W0W* 20.7 报表模版 408 N!btj,vx 20.8 开始设计一个报表模版 409 ~omX(kPzK 21 一个新的project 413 YJr@4!j* 21.1 创建一个新Job 414 jIuE1ve 21.2 默认设计 415 b}k`'++2, 21.3 薄膜设计 416 4?d2#Xhs8 21.4 误差的灵敏度计算 420 u6|7P<HUfb 21.5 显色指数计算 422 o>j3<#? 21.6 电场分布 424 GKm)wOb(*S 后记 426 m#8mU,7 有兴趣可以扫码联系[attachment=116484] ;.m"y-
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