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2023-02-27 08:35 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
^m/oDB- 内容简介 k~/>b~.c Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ZWm8*}3]7_ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 H{AMZyV0/d 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 z OSs[[ tBm_YP[
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 9Li%KOY 目录 .!6>oL/iF Preface 1 =;3fq- 内容简介 2 a3VM' 目录 i 3 AHY| 1 引言 1 uu/+.9 2 光学薄膜基础 2 u1~9{"P* 2.1 一般规则 2 Zo}y(N1K} 2.2 正交入射规则 3 Bcjx>#3?L 2.3 斜入射规则 6 ! {82D[5 2.4 精确计算 7 #9m$ N 2.5 相干性 8 ; h`0ir4[A 2.6 参考文献 10 }HG#s4 3 Essential Macleod的快速预览 10 ,j?.4{rHJ 4 Essential Macleod的特点 32 p)=~% 7DV 4.1 容量和局限性 33 0}:2Q# 4.2 程序在哪里? 33 c=;:R0_'t 4.3 数据文件 35 -wv6s#"u 4.4 设计规则 35 yg2uC(2 4.5 材料数据库和资料库 37 (Si=m;g 4.5.1材料损失 38 6MG9a>= 4.5.1材料数据库和导入材料 39 qTB$`f'|$ 4.5.2 材料库 41 >;#=gM 4.5.3导出材料数据 43 z*a8sr 4.6 常用单位 43 9~0^PzTA 4.7 插值和外推法 46 `Rdm-[& 4.8 材料数据的平滑 50 jS!`2li?{ 4.9 更多光学常数模型 54 kip`Myw+ 4.10 文档的一般编辑规则 55 20TCG0%x 4.11 撤销和重做 56 om3`[r[{ 4.12 设计文档 57 ?,=f\Fz! 4.10.1 公式 58 $LHa?3 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Z Dhx5SL& 4.10.3 沉积密度 59 Fa epDjY8 4.10.4 平行和楔形介质 60 : 5U"XY x@ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 n q19Q) 4.10.4 性能 61 GI7=xh 4.10.5 保存设计和性能 64 Q*YYTmZ 4.10.6 默认设计 64 \#rO!z
d 4.11 图表 64 (5<^p& 4.11.1 合并曲线图 67 ,WQ^tI=O 4.11.2 自适应绘制 68 /U$8TT8+- 4.11.3 动态绘图 68 a1.|X i'/z 4.11.4 3D绘图 69 j+8TlVur 4.12 导入和导出 73 3p*-tBOO 4.12.1 剪贴板 73 -z:&*= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ;XC@=RpX 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ` r']^
, 4.13 背景 77 MDRe(rF= 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 UkfB^hA 4.15 生成Rugate 84 _0pO8o-x 4.16 参考文献 91 @4!x>q$3 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 %@R~DBS 5.1 Jobs 92 <8#ObdY! 5.2 创建一个新Job(工作) 93 '(#g1H3 5.3 输入材料 94 t=R6mjb 5.4 设计数据文件夹 95 S*"u/b; 5.5 默认设计 95 p{=QGrxB* 6 细化和合成 97 quo^fqS&a 6.1 优化介绍 97 (vJ2z
=z 6.2 细化 (Refinement) 98 8V$3b?] 6.3 合成 (Synthesis) 100 ~SjZk| 6.4 目标和评价函数 101 pl V7+?G 6.4.1 目标输入 102 Iia.k'N 6.4.2 目标 103 h7;bclU 6.4.3 特殊的评价函数 104 o0pT6N) 6.5 层锁定和连接 104 *OdX u&5 6.6 细化技术 104 S^cH}-+ 6.6.1 单纯形 105 -qe bQv 6.6.1.1 单纯形参数 106 fj4^VXD 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 #^&jW 6.6.2.1 Optimac参数 108 *C,N'M<u 6.6.3 模拟退火算法 109 ]v5-~E! 6.6.3.1 模拟退火参数 109 VG*'"y*%w 6.6.4 共轭梯度 111 -U>7
H`5 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 E=/[s]@5 6.6.5 拟牛顿法 112 ,fnsE^}.U 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 LQ-6vrbs 6.6.6 针合成 113 nDlO5 pe"d 6.6.6.1 针合成参数 114 3AlqBXE"Z< 6.6.7 差分进化 114 ?z"KnR+?Q 6.6.8非局部细化 115 ~2/{3m{3 A 6.6.8.1非局部细化参数 115 hkW{88 6.7 我应该使用哪种技术? 116 gvnj&h.GV 6.7.1 细化 116 -{9Gagy2& 6.7.2 合成 117 zH'2s-.bi 6.8 参考文献 117 aQcN&UA@ 7 导纳图及其他工具 118 <]8^J}8T{D 7.1 简介 118 ,.g}W~S) 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Q-zdJt 7.2.1 四分之一波长规则 119 C>*n9l[M~ 7.2.2 导纳图 120 M^H90GN)X 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 wq4nMY:# 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 7aQcP 7.5 斜入射导纳图 141 u fw cF* 7.6 对称周期 141 HR3_@^<7 7.7 参考文献 142 n=`w9qajd 8 典型的镀膜实例 143 *`KrVu 6s 8.1 单层抗反射薄膜 145 DzPs!(5[I 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Y&,rTa 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 FD6v/Y 8.4 W-膜层 148 y3yvZD 8.5 V-膜层 149 lEfBe)7+ 8.6 V-膜层高折射基底 150 DuF7HTN[K 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 7Qh_8M 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 r] t )x* 8.9 四层抗反射薄膜 153 U1Yo7nVf 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 3cu9[~K 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 )!C7bTv 4 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 g 2'x#%ET 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
A1Q
+0 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 aqfL0Rg+` 8.15十五层宽带抗反射膜 159 b~W)S/wF$P 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 +5*vABvCu 8.17 1/4波长堆栈 162 5.k}{{+ 8.18 陷波滤波器 163 ]
C,1%( 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 n+quSF) 8.20 褶皱 165 2cjEex:& 8.21 消偏振分光器1 169 B~_Spp 8.22 消偏振分光器2 171 1D$::{h 8.23 消偏振立体分光器 172 GEtbs+ [ 8.24 消偏振截止滤光片 173 g+9v$[! 8.25 立体偏振分束器1 174 ]xR4->eix 8.26 立方偏振分束器2 177 zKJ.Tj W 8.27 相位延迟器 178 |yAK@Hl' 8.28 红外截止器 179 h]P/KVqR. 8.29 21层长波带通滤波器 180 d +xA: 8.30 49层长波带通滤波器 181 hwDXm9 8.31 55层短波带通滤波器 182 ;\s~%~\ 8.32 47 红外截止器 183 M]B3vPA/v 8.33 宽带通滤波器 184 Uk02IOXQ 8.34 诱导透射滤波器 186 q5?L1 8.35 诱导透射滤波器2 188 s$3`X(Pn 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 U"B.:C2 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 h^d\xn9GT# 8.35 增益平坦滤波器 193 .M+v?Ad 8.38 啁啾反射镜 1 196 OT+ Ee 8.39 啁啾反射镜2 198 )]A9~H 8.40 啁啾反射镜3 199 M,JA;a, _ 8.41 带保护层的铝膜层 200 o4'Wr 8.42 增加铝反射率膜 201 k<, u0 8.43 参考文献 202 jnDQ{D 9 多层膜 204 j=Q$K#sBt 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 gr\@sx?b 9.2 内部透过率 204 *N'hA5.z 9.3 内部透射率数据 205 <c\]Ct 9.4 实例 206 /4H[4m]I 9.5 实例2 210 :K;T Q 9.6 圆锥和带宽计算 212 ?k::tNv0 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 -s89)lUkS 10 光学薄膜的颜色 216 2R] XH
0 10.1 导言 216 hU)'OKe 10.2 色彩 216 Nor`c+,4 10.3 主波长和纯度 220 &_YtY47 10.4 色相和纯度 221 PnJ*Zea 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 HNFhH0+^ 10.6 色差 226 X
[!X>w&z| 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 W'V@ 10.8 颜色渲染指数 234 7y;u} 1 10.9 色差计算 235 WzlS^bZ 10.10 参考文献 236 K@*rVor{ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 DH/L`$ 11.1 短脉冲 238 *0-v!\{ 11.2 群速度 239 RZe#|k+
8 11.3 群速度色散 241 lc"qqt 11.4 啁啾(chirped) 245 ru DP529; 11.5 光学薄膜—相变 245 33,;iE 11.6 群延迟和延迟色散 246 y 3IA ' 11.7 色度色散 246 `LE^:a:8, 11.8 色散补偿 249 ;fj9n- 11.9 空间光线偏移 256 =Iy/cHK 11.10 参考文献 258 N-D(y 12 公差与误差 260 Gxo#
! 12.1 蒙特卡罗模型 260
A<2I! 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 n'ehB%" 12.2.1 误差工具 267 [qW<D/@ 12.2.2 灵敏度工具 271 (GnVwJ<v9V 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ckAsGF_B~! 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Pf{`/UlD 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 'HJ/2-= 12.3 参考文献 276 G{/; AK 13 Runsheet 与Simulator 277 H/pcXj 13.1 原理介绍 277 )&XnM69~b 13.2 截止滤光片设计 277 -`Da`ml 14 光学常数提取 289 7F=2t_2O 14.1 介绍 289 Uld_X\;Q4 14.2 电介质薄膜 289 G&.d)NfE 14.3 n 和k 的提取工具 295 g>UBZA4 14.4 基底的参数提取 302 8g.AT@ ,Q 14.5 金属的参数提取 306 =?wMESU 14.6 不正确的模型 306 )-)ss"\+Ju 14.7 参考文献 311 (LRNU)vD7$ 15 反演工程 313 HgYc@P*b 15.1 随机性和系统性 313 &|s+KP|d 15.2 常见的系统性问题 314 [k!-;mi 15.3 单层膜 314 uXjoGcW 15.4 多层膜 314 2wGF-V 15.5 含义 319 +g)_4fV0| 15.6 反演工程实例 319 .4Iw=T_ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 fE'-.nA+ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 BXNI(7xi 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 B%TXw#| 16.1 光学性质的热致偏移 329 +:fqL 16.2 应力工具 335 <"hb#Tn 16.3 均匀性误差 339 yI3Q |731) 16.3.1 圆锥工具 339 Tt{U"EFO 16.3.2 波前问题 341 '`9%'f) 16.4 参考文献 343 gW'P`Oxw 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Hde]DK,d 17.1 引言 345 ;I[ht 17.2 操作数 345 '$n:CNha 18 如何在Function中编写脚本 351 tCuN?_UG 18.1 简介 351 )Y=w40Yzd 18.2 什么是脚本? 351 qUifw @ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 fL(':W&n- 18.4 基础 352 i/5y^
18.4.1 Classes(类别) 352 rny@n^F 18.4.2 对象 352 VV?]U$ 18.4.3 信息(Messages) 352 7fap* 18.4.4 属性 352 : :F! 18.4.5 方法 353
o G(0i 18.4.6 变量声明 353 J"/JRn 18.5 创建对象 354 UedvA9$&; 18.5.1 创建对象函数 355 Fl B, (Cm 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 E}]I%fi 18.5.3 丢弃对象 356 ls [Ls 18.5.4 总结 356 uo]Hi^r.l 18.6 脚本中的表格 357 xN e_qO 18.6.1 方法1 357 hq5NQi`
% 18.6.2 方法2 357 nu#aa#ex> 18.7 2D Plots in Scripts 358 Tg3:VD 18.8 3D Plots in Scripts 359 2=igS#h 18.9 注释 360 LN@lrC7X 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ]jHgo](% 18.11 一个更高级的脚本 362 IUluJ.sXIf 18.12 <esc>键 364 V<7R_}^_7 18.13 包含文件 365 fKPiRlLS 18.14 脚本被优化调用 366 Bv2z4D4f+ 18.15 脚本中的对话框 368 "}S9`-Wd| 18.15.1 介绍 368 B@ZqJw9J[ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 )$ ofl%+ 18.15.3 输入框函数 370 Xy[4f=X}z 18.15.4 自定义对话框 371 =nJOaXR0 18.15.5 对话框编辑器 371 OT-n\sL$ 18.15.6 控制对话框 377 s$f+/Hs 18.15.7 更高级的对话框 380 e*Uz#w: 18.16 Types语句 384 K)yCrEZ 18.17 打开文件 385 ~bQFk?ZN+ 18.18 Bags 387 u3Zzu \{ 18.13 进一步研究 388 B] A 5n8< 19 vStack 389 $w|o@ Ml) 19.1 vStack基本原理 389 [ea6dv4p 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 S% JNxT7' 19.3 五棱镜 393 XX]5T`D 19.4 光束距离 396 M[:O( 19.5 误差 399 c*y$bf< 19.6 二向分色棱镜 399 YWt"| 19.7 偏振泄漏 404 Jo6~r- 19.8 波前误差—相位 405 q`/amI0 19.9 其它计算参数 405 Ft3N#!ubl 20 报表生成器 406 tb-OKZq 20.1 入门 406 Q3B'-BZe 20.2 指令(Instructions) 406 '_q: vjX 20.3 页面布局指令 406 uznoyj6g 20.4 常见的参数图和三维图 407 8CHb~m@^$ 20.5 表格中的常见参数 408 Bg+<*z-?e 20.6 迭代指令 408 , aRJ!AZ 20.7 报表模版 408 l%sp[uqcg 20.8 开始设计一个报表模版 409 p?dGZ2` [I 21 一个新的project 413 6Nfof 21.1 创建一个新Job 414 2+T 8Y,g 21.2 默认设计 415 c8k6(#\ 21.3 薄膜设计 416 cCo07R 21.4 误差的灵敏度计算 420 m[g< K 21.5 显色指数计算 422 ~pd1) 21.6 电场分布 424 jSeA%Te 后记 426 jMz1s%C 有兴趣可以扫码联系[attachment=116484] 3bg4# c
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