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2023-02-27 08:35 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
>~sI8czR* 内容简介 -.@r#d/ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 kr5">"7 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 y8Z_Itlf 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 +I:Unp B6nX$T4zP
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 vq0Tk
bzs 目录 eKLZt%= Preface 1 V/LLaZTE 内容简介 2 9y8&9<# 目录 i 7Lc]HSZo, 1 引言 1 #7$
H 2 光学薄膜基础 2 /-qNh>v4 2.1 一般规则 2
4*#18<u5 2.2 正交入射规则 3 |=ba9&q 2.3 斜入射规则 6 V-2(?auZd 2.4 精确计算 7 6NuD4Ga 2.5 相干性 8 gHEu/8E 2.6 参考文献 10 cJ
n= 3 Essential Macleod的快速预览 10 Y>T-af49 4 Essential Macleod的特点 32 6|%?te x 4.1 容量和局限性 33 L>NL:68yN 4.2 程序在哪里? 33 YnS#H" 4.3 数据文件 35 vHc%z$-d 4.4 设计规则 35 fLD,5SN 4.5 材料数据库和资料库 37 oUr66a/[U 4.5.1材料损失 38 4JXeV&5Qk' 4.5.1材料数据库和导入材料 39 )Y0!~#
` 4.5.2 材料库 41 x7w4[QYw 4.5.3导出材料数据 43 rjAn@!|:+ 4.6 常用单位 43 z}9(x.I 4.7 插值和外推法 46 Z'W=\rl 4.8 材料数据的平滑 50 :T$|bc 4.9 更多光学常数模型 54 t%FwXaO# 4.10 文档的一般编辑规则 55 g\:[
55;8 4.11 撤销和重做 56 t!X.|`h 4.12 设计文档 57 Rz/gtEP 4.10.1 公式 58 9c'xHO` 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 hJ? O],4J 4.10.3 沉积密度 59 XS{Qnx_# 4.10.4 平行和楔形介质 60 ~2N"#b&J 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 1Z2HUzqh. 4.10.4 性能 61 ({)+3]x 4.10.5 保存设计和性能 64 fk>aqm7D! 4.10.6 默认设计 64 .},'~NM] 4.11 图表 64 su(1<S} 4.11.1 合并曲线图 67 gp?uHKsM 4.11.2 自适应绘制 68 EwT"uL*V; 4.11.3 动态绘图 68 EU;9*W< 4.11.4 3D绘图 69 Fb>?1i`RN 4.12 导入和导出 73 :#ik. D 4.12.1 剪贴板 73 D%Sl AzZ3 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ]Sz:|%JP1 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 YnMvl 4.13 背景 77 "|
g>'wM* 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 EGS)b 4.15 生成Rugate 84 (OL4Ex' ] 4.16 参考文献 91 6l1jMm|=
X 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |F[+k e 5.1 Jobs 92 wo/\]5 5.2 创建一个新Job(工作) 93 h"Q8b}$^) 5.3 输入材料 94 iC~^)-~H=w 5.4 设计数据文件夹 95 M h}m;NI 5.5 默认设计 95 UnV.~ u~ 6 细化和合成 97 =v&hWjP 6.1 优化介绍 97 7U"g3a)= 6.2 细化 (Refinement) 98 5H9z4-i x? 6.3 合成 (Synthesis) 100
#A/ 6.4 目标和评价函数 101 >T-u~i$s
6.4.1 目标输入 102 "m8^zg hL 6.4.2 目标 103 CwzZ8.o$i 6.4.3 特殊的评价函数 104 &`r-.&Y 6.5 层锁定和连接 104 9:|{6_Y 6.6 细化技术 104 &h)yro 6.6.1 单纯形 105 rJ4S%6w 6.6.1.1 单纯形参数 106 v{N`.~,^ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ]Q1yNtN 6.6.2.1 Optimac参数 108 %)1?TU 6.6.3 模拟退火算法 109 M
FMs[+2_o 6.6.3.1 模拟退火参数 109 3(N$nsi 6.6.4 共轭梯度 111 U9 s& 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 &PHTpkaam 6.6.5 拟牛顿法 112 {\1?ZrCI& 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 bsli0FJSh' 6.6.6 针合成 113 : *#- %0 6.6.6.1 针合成参数 114 '<)n8{3Q5w 6.6.7 差分进化 114 .`H5cuF` 6.6.8非局部细化 115 my1@41
H 6.6.8.1非局部细化参数 115 ET*SB 6.7 我应该使用哪种技术? 116 I$G['`XX/ 6.7.1 细化 116 qYQl,w 6.7.2 合成 117 f'RX6$}\1X 6.8 参考文献 117 J*A,o~U| 7 导纳图及其他工具 118 %aCqi(.7 7.1 简介 118 _;y9$"A 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 VCkq"f7cw 7.2.1 四分之一波长规则 119 Q3~H{)[Kq 7.2.2 导纳图 120 Hvi49c]] 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 +Kc 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 WpP}stam/ 7.5 斜入射导纳图 141 oZgjQM$YP 7.6 对称周期 141 ^{`exCwMx 7.7 参考文献 142 Nai2W<, 8 典型的镀膜实例 143 :3Ox~o 8.1 单层抗反射薄膜 145 $a]`nLUa 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 1CZgb 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 TIDO@NwF 8.4 W-膜层 148 ]%H`_8<gc 8.5 V-膜层 149 9TC,!0U{_. 8.6 V-膜层高折射基底 150 U7F!Z(
9 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 #trK^( 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 mq.`X:e 8.9 四层抗反射薄膜 153 0s[Hkhls 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 !Ai@$tl[S 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 2%m BK 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 LEdh!</'24 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 b8UO,fY q 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 <%eG:n,# 8.15十五层宽带抗反射膜 159 4+8@`f>s 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 1GcE)e!> 8.17 1/4波长堆栈 162 g!|kp? 8.18 陷波滤波器 163 Q)h(nbbVak 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 %tGO?JMkd 8.20 褶皱 165 $UWZDD 8.21 消偏振分光器1 169 oG\Vxg* 8.22 消偏振分光器2 171 r,p%U!S<hV 8.23 消偏振立体分光器 172 S,UDezxg 8.24 消偏振截止滤光片 173 "!^"[mX4 8.25 立体偏振分束器1 174 I\ob7X'Xu! 8.26 立方偏振分束器2 177 kDxFloK 8.27 相位延迟器 178 _Fl9>C"u 8.28 红外截止器 179 >kVz49j 8.29 21层长波带通滤波器 180 Y$_B1_ 8.30 49层长波带通滤波器 181 3=j"=-= 8.31 55层短波带通滤波器 182 h2R::/2. 8.32 47 红外截止器 183 TC*g|d @b 8.33 宽带通滤波器 184 f]CXu3w(J 8.34 诱导透射滤波器 186 k9!{IScq 8.35 诱导透射滤波器2 188 ~c `l@: 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 } q8ASYNc 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 nNn:- 8.35 增益平坦滤波器 193 NBGH_6DROw 8.38 啁啾反射镜 1 196 W'TZ%K) I 8.39 啁啾反射镜2 198 kxv1Hn"`{E 8.40 啁啾反射镜3 199 x%B/ 8.41 带保护层的铝膜层 200 b\2
ds, 8.42 增加铝反射率膜 201 XSLFPTDEc 8.43 参考文献 202 'H;*W |:-] 9 多层膜 204 ?=Kduef 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 =Xr.'(U 9.2 内部透过率 204 @j/a=4o[ 9.3 内部透射率数据 205 ?Ir:g=RP* 9.4 实例 206 |+9&rAg 9.5 实例2 210 \9T7A& 9.6 圆锥和带宽计算 212 nu%*'. 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 OneY_<*a< 10 光学薄膜的颜色 216 M\BRcz 10.1 导言 216 =I_'.b 10.2 色彩 216 3bI9Zt#J%& 10.3 主波长和纯度 220 ;$g?T~v7 10.4 色相和纯度 221 p`qgrI` 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 kAUymds;O 10.6 色差 226 ECmW`#Otb) 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 >m\(6x8RE 10.8 颜色渲染指数 234 p!%pP}I 10.9 色差计算 235 FS.L\MjV]U 10.10 参考文献 236 xAm6BB
c 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 z
F;K 11.1 短脉冲 238 pA4xbr 2 11.2 群速度 239 JBZ@'8eqi] 11.3 群速度色散 241 -KbYOb 11.4 啁啾(chirped) 245 m1A J{cs 11.5 光学薄膜—相变 245 _Fg5A7or 11.6 群延迟和延迟色散 246 aN3;`~{9 11.7 色度色散 246 HZZn'u 11.8 色散补偿 249 owv[M6lbD 11.9 空间光线偏移 256 B9S@(/"7 11.10 参考文献 258 ^iYj[~ 12 公差与误差 260 R4d=S4i 12.1 蒙特卡罗模型 260 BZ^}J!Q'* 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 .=;
; 12.2.1 误差工具 267 tZo} ;|~' 12.2.2 灵敏度工具 271 @C aG9] 12.2.2.1 独立灵敏度 271 #g!.T g' 12.2.2.2 灵敏度分布 275 F:DrX_O% 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 |y!A&d=xYn 12.3 参考文献 276 X}0cCdW 13 Runsheet 与Simulator 277 q@2siI~W 13.1 原理介绍 277 EoDA]6?Lj 13.2 截止滤光片设计 277 8q7b_Pq1U 14 光学常数提取 289 e+K^Aq 14.1 介绍 289 sDV Q#}a 14.2 电介质薄膜 289 }<:}XlwT% 14.3 n 和k 的提取工具 295 g9F?z2^ 14.4 基底的参数提取 302 RD&PDXT4 14.5 金属的参数提取 306 C7AUsYM 14.6 不正确的模型 306 4B][S'f 14.7 参考文献 311 tq?!-x+> 15 反演工程 313 FVBYo%Ap 15.1 随机性和系统性 313 NGW xN8P6 15.2 常见的系统性问题 314 (7*}-Uy[C 15.3 单层膜 314 i!Ga5 v8n: 15.4 多层膜 314 i}?>g -( 15.5 含义 319 3;Fhg!ZO 15.6 反演工程实例 319 #_ lDss 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 zx7{U8*`< 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ml$o5&sN 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 T[A69O]v 16.1 光学性质的热致偏移 329 LOJAWR9$^U 16.2 应力工具 335 xId.GWY1 16.3 均匀性误差 339 E4xa[iZ 16.3.1 圆锥工具 339 fikkY= 16.3.2 波前问题 341 Du){rVY^d 16.4 参考文献 343 BsJC0I( 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 1-QS~)+ 17.1 引言 345 |^H5^k "Bv 17.2 操作数 345 g=o4Q<
#^y 18 如何在Function中编写脚本 351 ,7b[!#?8 18.1 简介 351 RpYERAgT 18.2 什么是脚本? 351 sp`Dvqx0 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 {]|J5Dgfe 18.4 基础 352 ~u+9J} 18.4.1 Classes(类别) 352 VLN_w$iEq 18.4.2 对象 352 _<2E"PrT 18.4.3 信息(Messages) 352 I++. ee 18.4.4 属性 352 N17RLz *\ 18.4.5 方法 353 Z EO WO 18.4.6 变量声明 353 s"?3]P 18.5 创建对象 354 "C3/T&F 18.5.1 创建对象函数 355 6S\8$ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ,6W>can 18.5.3 丢弃对象 356 WOf 4o 18.5.4 总结 356 M&
CqSd 18.6 脚本中的表格 357 Zj4Uak 18.6.1 方法1 357 jlg(drTo 18.6.2 方法2 357 1@=po)Hnp 18.7 2D Plots in Scripts 358 ^/=KK:n~ 18.8 3D Plots in Scripts 359 9]@!S|1 18.9 注释 360 /5AJ.r 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 R_xRp&5 18.11 一个更高级的脚本 362 Nl1Do:PY 18.12 <esc>键 364 9Lfv^V0 18.13 包含文件 365 e(8Ba X_ 18.14 脚本被优化调用 366 G9@0@2aY8 18.15 脚本中的对话框 368 W'TaBuCb 18.15.1 介绍 368 8sK9G`
k 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ;IM}|2zuN 18.15.3 输入框函数 370 F1Bq$*'N$w 18.15.4 自定义对话框 371 ,wdD8ZT'Ip 18.15.5 对话框编辑器 371 Q.c\/& 18.15.6 控制对话框 377 7i1q wRv 18.15.7 更高级的对话框 380 S`m]f5u| 18.16 Types语句 384 n@[O|?S 18.17 打开文件 385 vEz"xz1j!] 18.18 Bags 387 $a ` G 18.13 进一步研究 388 '(jG[ry&T 19 vStack 389 >~+ELVB& 19.1 vStack基本原理 389 i<g-+ Qs 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 CQDkFQq-dq 19.3 五棱镜 393 t9IW/Q 19.4 光束距离 396 |)/aGZ+ 19.5 误差 399 Tkgs]q79 19.6 二向分色棱镜 399 yyy|Pw4:Z 19.7 偏振泄漏 404 !m?-!: 19.8 波前误差—相位 405 i8HTzv"J 19.9 其它计算参数 405 NSA-}2$ 20 报表生成器 406 }?v )N).kW 20.1 入门 406 LC!bIm5' 20.2 指令(Instructions) 406 0NX,QD 20.3 页面布局指令 406 x# 5A(g 20.4 常见的参数图和三维图 407 gt w Q- 20.5 表格中的常见参数 408 D*|Bb? 20.6 迭代指令 408 WQO) =n 20.7 报表模版 408 K8Y=S12Ti 20.8 开始设计一个报表模版 409 x`)&J
B 21 一个新的project 413 OprkR 21.1 创建一个新Job 414 G[q$QB+ 21.2 默认设计 415 [0D.K}7| 21.3 薄膜设计 416 )q3p-)@kQ 21.4 误差的灵敏度计算 420 Q6I:"2u1 21.5 显色指数计算 422 (Px OE 21.6 电场分布 424 'K,:j 388 后记 426 v^+Sh|z/ 有兴趣可以扫码联系[attachment=116484] by/jYg)+
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