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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 DB`QsiC)  
uH\kQ9f  
任务/系统说明 kII7z;<^`  
:Dl% _l  
V+Xl9v4O  
C:\(~D *GS  
亮点 jN/C'\Q L  
znZ7*S >6\  
$T }Tz7(  
MZ#T^Y  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) V*65b(q)  
 严格分析光栅衍射效率 Y/U{Qc\ 6  
 考虑入射光的方向分布 */OI *{Q  
lQ*eH10H  
说明:光源 #Ogt(5Sd  
tSv0" L  
S7n"3.k  
zW4 O4b$T  
说明:光束分束器 Y?Vz(udD  
FUeq \Wuo  
(TSqc5^H  
BIWD/ |LQ  
说明:检测透镜系统 Pg^h,2h  
mVm4fHEYwU  
rhY_|bi4P  
<9@7,2  
说明:微型晶片 D\]&8w6&  
OM9 6`  
#i@h{ R01  
6Dm+'y]l  
说明:检测物镜 <fM>Yi5  
 Iao[Pyk  
p/|(,)'+jx  
: d'65KMi  
说明:探测器 c<qe[iyt/  
rm+v(&  
PM~*|(fA  
++92:decM  
结果:3D光线追迹(只有0级) 2mJ:c  
IUhp;iH  
L :U4N*  
]XrE  
结果:3D光线追迹(所有级) =Nl5{qYz^&  
V;*pL1  
^eTZn[qH>w  
` *9EKj  
结果:光线追迹 ^!@*P,'I  
aR(E7mXQ  
&X w`T9<  
4%bTj,H#  
结果:场追迹 DJ:38_F  
nGZ \<-  
+>E5X4JC  
+#v4B?NR  
结果:线性偏振光的场追迹 ggCr-  
cqg=8$RB  
m'.T2e.u  
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