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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 omzG/)M:O  
hU6oWm  
任务/系统说明 t4v@d  
=bJ7!&  
;7E c'nC4  
7-#   
亮点 cK.z&y0]  
U'k 0;  
 cB=ExD.Q  
Lz{z~xNHW.  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） "."ow|  
 严格分析光栅衍射效率 )9i$ 1"a(  
 考虑入射光的方向分布 }\0ei(%H  
.bY R  
说明：光源 {;vLM* '  
V@rqC[on  
ez<V  
]p!)8[<  
说明：光束分束器 gy>B 5ie  
d$hBgJe>N  
QtQbr*q@%  
76cLf~|d~  
说明：检测透镜系统 i93 6+[  
T/]f5/  
%X|u({(zb  
F.),|t$\  
说明：微型晶片 pZz\o  
bEm9hFvd  
"S H=|5+  
'^)}"sZ@G  
说明：检测物镜 LhRd0  
iD*L<9  
1Li*n6tLX`  
Q_>W!)p Gz  
说明：探测器 \@[,UZ  
LUdXAi"f  
R$X~d8o>%  
"+E\os72|  
结果：3D光线追迹（只有0级） s'|t2`K("  
X ,{ 3_  
BP}@E$  
S5V:HRj{?  
结果：3D光线追迹（所有级） *3)kr=x  
Al=ByX@  
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iX[g  
结果：光线追迹 2VzYP~Jg  
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 4*&k~0#t  
#_{Q&QUk  
结果：场追迹 o7 t{?|  
U*b7 Pxq;  
 |]?zH~L  
vA}_x7}n(  
结果：线性偏振光的场追迹 M*f]d`B  
?~b(iZ  
n*Uk<_WA  
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