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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 4&r^mGs,  
(m=-oQ&Ro  
任务/系统说明 G*mk 19Z  
>Rjk d>K3  
-O\!IXG^  
_%;$y5]v  
亮点 L=VJl[DL  
]k]P (w  
  EP'2'51  
!V$m!i;  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） :u`  
 严格分析光栅衍射效率 /{d7%Et6  
 考虑入射光的方向分布 ;a XcGa  
5"c#O U  
说明：光源 `3SY~&X  
SI*O#K=w  
O]~cv^  
g,7`emOX  
说明：光束分束器 ~0!s5  
My76]\Psh  
|(*ReQ?=  
G  2+A`\]  
说明：检测透镜系统 \d2Ku10v[  
:xm, Ok  
TPt<(-}W  
x}i:nLhL  
说明：微型晶片 p./zW )7+  
D?)91P/R  
PR|F-/o  
|gA~E>IqF  
说明：检测物镜 D4ESo)15'  
"Up3W%]SB  
4)!aYvaER  
PzWhB* iBR  
说明：探测器 &{]zL  
3u^U\xB  
DFQp<Eq]7  
)AEJ` xC  
结果：3D光线追迹（只有0级） TIbiw  
$5jQm,V$K  
75u/'0~5  
u K6R+a  
结果：3D光线追迹（所有级） HJo&snT3  
|77.Lqqy,  
Kp'_lKW)]q  
b lP@Cn2  
结果：光线追迹 KaNi'=nW  
P hs4]!  
 3s<~}&"  
U$&G_&*0a  
结果：场追迹 :3pJGMv(  
OS;qb:;  
 LuM:dJ  
0?8O9i  
结果：线性偏振光的场追迹 rkugV&BhV  
J]yUjnQ[h  
y{ %2Q)  
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