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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 JfP\7  
Y K?*7  
任务/系统说明 p-'6_\F.Ke  
51ajE2+X&  
tC@zM.v%  
01{r^ZT`RH  
亮点 X!#i@V  
rv%ye H  
 D"x$^6`c}  
(&P0la 1  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） !G"9xrr1  
 严格分析光栅衍射效率 @X|i@{<';  
 考虑入射光的方向分布 (XG[_  
ueE?"Hk  
说明：光源 Z?~d']XD  
Zu0;/_rN  
mj(&`HRs4  
|:e|~sism  
说明：光束分束器 aO^:dl5  
(+gL#/u  
s*)41\V0  
Oa}V>a  
说明：检测透镜系统 zOiY0`=  
yK&* ,J |  
Z4HA94  
I>kiah*  
说明：微型晶片 EOBs}M;  
s?@)a,C%k  
iO9nvM<  
jr[<i\!  
说明：检测物镜 `j}_BW_  
o/dMm:TF  
W3jXZ>  
5U)ab3 :  
说明：探测器 FM9X}%5nu9  
J~iOP  
Wiq{wxe  
UKKSc>D1  
结果：3D光线追迹（只有0级） &PRx,G5  
mZbWRqP[|_  
@3 -,=x  
43J\8WBn@  
结果：3D光线追迹（所有级） $*AC>i\  
|%'6f}fnE  
w\o)bn  
V\@jC\-5Vt  
结果：光线追迹 '9*5-iO  
pK6e/eC  
 2/v35| ?  
e~+(7_2  
结果：场追迹 " K 8&{=  
6WE&((r ^  
 ? o~:'Z  
VX^o"9Ntl  
结果：线性偏振光的场追迹 }A4nJ>`tq  
9TVB<}0G  
~|CJsD/  
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