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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 &UfP8GE9  
&.1qixXIr  
任务/系统说明 ?8]g&V  
'B yB1NL  
vef9*u`  
z,xGjS P  
亮点 :` >bh  
( we)0AxF'  
MmQ"z_v  
8@A}.:  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 34<k)0sO  
 严格分析光栅衍射效率 "el}9OitC  
 考虑入射光的方向分布 x,M8NTb*  
-]<<}@NF  
说明:光源 R@~=z5X( Q  
g1v=a  
,s`4k?y  
PvB{@82  
说明:光束分束器 %sCG}? y  
w:aV2  
7Fzj&!>ti  
~CuJ$(9Y  
说明:检测透镜系统 F4PWL|1  
crQ_@@X?<  
$O_{cSKg7  
Zk~~`h  
说明:微型晶片 ]FEDAGu  
O-&^;]ieJ  
L@"&s#~=3  
*I.eCMDa  
说明:检测物镜 46U*70  
X wIKpr8  
sA2esA@C<o  
~s*kuj'%+  
说明:探测器 )F+wk"`+6  
u0F{.fe  
J p)I9k,Ez  
aGNb  Cm  
结果:3D光线追迹(只有0级) 5Nl?Km~  
~9Qd83`UH  
5a&BgBO1M  
RQ;w$I\  
结果:3D光线追迹(所有级) 'x6rU"e$J  
qSt\ 6~  
0BQ{ZT-Kh  
RTr"#[  
结果:光线追迹 @MP;/o+  
o .( Gja4  
CbwQbJ/v7  
HCT+.n6  
结果:场追迹 '^`iF,rg  
p<+Y;,+  
qOv`&%txW  
m- bu{  
结果:线性偏振光的场追迹 ^l<!:SS  
5zOC zm  
TE: |w Xe  
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