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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 1?#Wg>7'  
'J#uD|9)  
任务/系统说明 ]"\XTL0  
FGRG?d4?h  
o(Ro/U(Wu  
4 !M6 RL8{  
亮点 Bd*\|M  
hUMFfc ?  
 ZZF\;  
Hbz,3{o5  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） *", BP]]  
 严格分析光栅衍射效率 3x~AaC.j  
 考虑入射光的方向分布 #.~lt8F  
kX]p;C  
说明：光源 Q02:qn?T  
]7_O#MY1  
.1?7)k v  
5[>N[}Ck>  
说明：光束分束器 W|[k]A` 2  
fsVr<m  
q e;O Ox  
O7tL,)Vv  
说明：检测透镜系统 JB\BP$ap  
3` \)Qm  
9mH+Ol#(  
Rk52K*Dc  
说明：微型晶片 .FAuM~_99b  
g4>1> .s  
p` LPO  
4xNzhnp|  
说明：检测物镜 ^,;8ra*h  
DM@&=c  
z6J fu:_N!  
FUU/=)^P$  
说明：探测器 0_5j(   
@](\cT64i3  
 <E&"]  
SB`"%6  
结果：3D光线追迹（只有0级） n`)wD~mk  
/Q[M2DN@  
wC[Bh^]  
1f`=U 0  
结果：3D光线追迹（所有级） 1)f~OL8o  
*]_GFixi  
cxQ8/0^  
2Md'<.  
结果：光线追迹 M.R] hI  
6M758K6v  
 kaj6C_k|  
ePJtdKN:  
结果：场追迹 g$ oe00b  
)vFZl]  
 \aO.LwYm;:  
ZXj;ymC'  
结果：线性偏振光的场追迹 NCM&6<_  
+t XOP|X  
1y5$  
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