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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 qoj$]   
4KH45|; 3  
任务/系统说明 ?<(m 5Al7  
&?*V0luP)  
6P5Ih  
Q 4f/Z  
亮点 ;9#Z@]p  
P DrZY.-  
 x)rM/Kq  
SRrw0&ts  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） pO ml8SQf  
 严格分析光栅衍射效率 (&+kl q  
 考虑入射光的方向分布 {`K m_<Te!  
, ]+z)   
说明：光源 1#0{@35  
=y/8 ^^  
jC7&s$>Q"g  
O'W0q;rT  
说明：光束分束器 ~Uxsn@nLr  
" e}3:U5n  
21< j\ M  
=u+d_'P7-R  
说明：检测透镜系统 +TQ47Z c  
[L:o`j  
wYQ&C{D%  
.8P.)%  
说明：微型晶片 *X, /7C   
l PK +$f$  
/C4^<k\  
H Ge0hl[n  
说明：检测物镜 `kU/NKq  
U5He?  
D,g1<:<  
OnK~3j  
说明：探测器 AKRTBjG"  
-mRA#  
~d6DD;`K  
qHP78&wUx  
结果：3D光线追迹（只有0级） IjR'Qou5  
R8T] 2?Q1  
&'DU0c&  
r%.do;5  
结果：3D光线追迹（所有级） m q{];  
$pFo Rv  
;Hj~n+  
Vgyew9>E  
结果：光线追迹 NsJ(`zk:  
"B8"_D&  
 61j I  
`zE}1M%y  
结果：场追迹 Ko/ I#)  
?zsB6B?;  
 8WXJ.  
%B)6$!x  
结果：线性偏振光的场追迹 [g Z"a*  
zA!0l*H  
3neIR@W  
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