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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 H_<X\(  
2Po e-=  
任务/系统说明 rmOcA  
ir%?J&C+t  
- kVt_  
xM3T7PV9  
亮点 8e9ZgC|  
&nk[gb o\  
 2O^7zW  
? L A>5  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） R7 )2@;i  
 严格分析光栅衍射效率 Rs<li\GS  
 考虑入射光的方向分布 INFbj8T  
spE(s%dgL  
说明：光源 <TL!iM  
\/Z?QBFvz  
7r?s)ZV  
  SW ^F  
说明：光束分束器 ppjS|l*`  
8R;)WlLu=  
E{m\LUd^ :  
U=4tJb  
说明：检测透镜系统 *-gd k9  
`J%iFm/5*  
zCZ]`  
Z9MT, "  
说明：微型晶片 bcp+7b(IB  
MY]Z@  
l0^~0xlED  
tCFXb6Cz  
说明：检测物镜 SL9]$MmJn  
&jh'B ,  
$n30[P@p;  
Lc<v4Bp  
说明：探测器 6PF7Wl7.  
{_GhS%  
dD Qx[  
.</`#   
结果：3D光线追迹（只有0级） }0& @J'<  
<<,YgRl2  
afVl)2h  
s}NE[Tw  
结果：3D光线追迹（所有级） T2Q`Ax7  
KiXRBFo  
\>b :  
2 1b  
结果：光线追迹 8<gYB$* S  
AATiI+\S  
 5C}1iZEJ  
#bz#&vt$  
结果：场追迹 V&i/3g  
Sm@T/+uG:  
 ?Vy% <f$  
3 ZZ"mlk*  
结果：线性偏振光的场追迹 5%+M:B  
MGt[zLF9  
S?ypka"L  
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