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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 A;4O,p@   
5GP,J,J  
任务/系统说明 \*C}[D  
"t{|e6   
;LBq!  
whzV7RT  
亮点 BAq@H8*B  
22|a~"Z  
 V ?10O  
Vko1{$}t  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） )T=cd   
 严格分析光栅衍射效率 "Zh6j)[o  
 考虑入射光的方向分布 ZS-O,[  
+{$NN  
说明：光源 M=57 d7  
hY?x14m$3  
vq df-i  
yH<^txNF  
说明：光束分束器 BtyBZ8P;e  
IXmtjRv5  
,~!rn}MI<  
oM=Ltxv}  
说明：检测透镜系统 QT5,_+ho  
nJ.<yrzi  
-N')LY  
]"3(UKx  
说明：微型晶片 _VeZ lk7 k  
Y6|8;2E  
>taC_f06  
Ol,Tw=?  
说明：检测物镜 | %Dh  
>k6RmN  
^<0azza/(  
Z;^UY\&X  
说明：探测器 K% ) K$/A  
CvwC| AW  
>-s\$8En'  
I e#LZti  
结果：3D光线追迹（只有0级） 7R 40t3  
6#/Riu%  
7Ca+Pe}/n,  
a'LM6A8~x  
结果：3D光线追迹（所有级） ,FvBZ.4c3=  
!N4?>[E  
4uW}.7R'  
=R08B)yR  
结果：光线追迹 DK/xHIv8-  
Wx;`=9  
 ]%yph3C  
N798("  
结果：场追迹 SBnwlM"AN  
/( /)nYAjk  
 e}u# :ysj  
('/5#^%R  
结果：线性偏振光的场追迹 \($EYhx  
QU/Q5k  
F2 /-Wk@  
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