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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 Ts:dnGR5  
=r+u!~%@''  
任务/系统说明 Mp?Ev.  
L|S#(0  
u)&6;A4  
PmvTCfsg  
亮点 "KOLRJ@  
P^v`5v  
 J[L$8y:  
~Ht[kO  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 6 )0$UW  
 严格分析光栅衍射效率 vkE6e6,Qc  
 考虑入射光的方向分布 ^qiTO`lg  
gTW(2?xYf  
说明：光源 T9{94Ra  
vb9G_Pfz  
#1z}~1-  
'68{dyFZL  
说明：光束分束器 rv;w`f  
7\JRHw  
Y!i4P#4+q  
Il'+^u_ <  
说明：检测透镜系统 p4<&NMG  
g[-'0d\1  
|w6:mtaS  
(BMFGyE3  
说明：微型晶片 0%k`* 8  
Eo)Q> AM  
[>;U1Wt  
M ,e_=aq  
说明：检测物镜 b,D+1'  
ED[PP2[/  
.2!'6;K  
}OI;M^5L  
说明：探测器 Nk86Y2h  
vhTte |(  
1`5d~>fV  
KSqWq:W+  
结果：3D光线追迹（只有0级） n:`> QY  
`DC)U1  
e}(ws~.  
`t {aN|3V[  
结果：3D光线追迹（所有级） epW;]> l  
b0tr)>d  
MJ8z"SKnV  
-HP [IJP  
结果：光线追迹 puL1A?Y8UM  
j?g{*M  
 _yJd@  
Q6RBZucv  
结果：场追迹 Goz9"yazg  
"npj%O<bd  
 9W 5vp:G  
[j eZZB  
结果：线性偏振光的场追迹 J ;i/X;^  
^B1Q";# B^  
Q^DKKp  
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