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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 wD|I^y;  
/\e&nYz  
任务/系统说明 c$AwJhl^]  
Z`{ZV5  
zM+eb| >cr  
dRu|*s  
亮点 Z&[_8Y5j  
w$%1j+%&  
 N"Mw1R4  
]46#u=y~3  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） X\ bXat+  
 严格分析光栅衍射效率 zd-qQ.j0  
 考虑入射光的方向分布 u>-pg u  
7,:$, bL  
说明：光源 .M zAkZ=  
&m8Z3+Ea  
j8 |N;;MN  
m\xlSNW'q  
说明：光束分束器 9zs!rlzQ  
Pt^SlX^MM  
RI</T3%~  
nBo?r}t4  
说明：检测透镜系统 |z%:{  
?D8 +wj  
yK"T5^o  
>J,y1jzJ  
说明：微型晶片 v[J"/:]  
.|Y&,?k| Y  
n)xLEx,  
yG..B  
说明：检测物镜 ey ;94n:<  
?Ja&LNI9S  
5kbbeO|0G  
U2TR>0l  
说明：探测器 H\!p%Y  
I/V lH:o  
M>LgEc-v67  
 5i|DJ6  
结果：3D光线追迹（只有0级） |jT^[q(z  
\[yg f6#[  
&K@ RTgb  
3d81]!n  
结果：3D光线追迹（所有级） X+LG Z4]D  
Fh0cOp(  
BfOQ/k))  
}X?M6;$)  
结果：光线追迹 o{r<=X ysM  
|'ML )`c[  
 /t"F Z#  
glo Y@k~  
结果：场追迹 Oll,;{<O  
TcEvUZJ"  
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结果：线性偏振光的场追迹 {a6cA=WTPd  
O}w"@gO@.  
K0xka[x=(  
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