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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 2*cNd}qr  
G*=HjLmZg  
任务/系统说明 PaTOlHr  
6tH}&#K  
[<@L`ki  
OxJ HhF  
亮点 EXSH{P O+  
IVxJN(N^  
 If&))$7u  
OLG)D#m(4/  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） mS%4  
 严格分析光栅衍射效率 AROHe  
 考虑入射光的方向分布 Ftyxz&-4$p  
<aPZE6z  
说明：光源 {QEvc  
Te+#  
Id?-Og2i V  
s)\PY  
说明：光束分束器 \n}%RD-Ce  
t]B`>SL3W  
w"v96%"Y  
C^$E#|E9N  
说明：检测透镜系统 #'/rFT4{v  
zTue(Kr  
Y~Uf2(7b5  
tar/no  
说明：微型晶片 5YrzOqg=  
R*6TS"aL  
"/R?XCBZsb  
6GuTd  
说明：检测物镜 7^>~k}H  
1#Vd)vSP  
.nY}_&  
&DW !$b  
说明：探测器 zeGWM,!  
56Lxr{+X  
U/Cc!WXV]  
$bhI2%_`M  
结果：3D光线追迹（只有0级） 3=wcA/"!  
)7NK+k  
tO&n$$  
m2m ;|rr  
结果：3D光线追迹（所有级） 6 (7 56  
3_RdzW}f  
\FO`WUAF  
hvI#D>Z!Yp  
结果：光线追迹 0<V/[$}\D  
%S%UMA.  
 HMD\)vMK6  
1TEKq#t;y  
结果：场追迹 hc W>R  
y=Eb->a){  
 _o w7E\70  
-I4@6v E,  
结果：线性偏振光的场追迹 zZd.U\"2  
A pzC  
`j3 OFC{7E  
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