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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 ;7 "Y?*{  
q/J3cXa{K  
任务/系统说明 Z>HNe9pr  
0sabh`iQ^  
Eb7}$Ji\  
1?]J;9p  
亮点 <|dj^.^  
/^ QFqM;  
 )Jz!Ut  
M[vCpa  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） j~$ )c)h"  
 严格分析光栅衍射效率 I,z"_[^G  
 考虑入射光的方向分布 "D!Dr1  
'w `d$c/p  
说明：光源 0, "ZV}  
tQ6|PV  
(77Dif0)'  
:`j"Sj !t3  
说明：光束分束器 8\u;Wf  
?bCTLt7k  
]d~MEa9Y|  
kz|[*%10  
说明：检测透镜系统 3V!W@[ }:  
_BCT.ual  
I@c0N*(  
(F_7%!g1d  
说明：微型晶片 H;X~<WN&AW  
tl2Lq0  
np&HEh 6  
rcpvH}N:  
说明：检测物镜 ar=hx+  
VN!^m]0  
W|)(|W  
1w6.   
说明：探测器 2%*|fF}I  
vatx+)  
C=M?  
mrX}\p   
结果：3D光线追迹（只有0级） ) +*@AM E  
@$_rEdwi  
6pS Rum  
~91uk3ST?  
结果：3D光线追迹（所有级） `~sf}S :  
;Ce 2d+K  
mn,=V[f  
C3^X1F0  
结果：光线追迹 sCuQBZ h  
30e(4@!4vW  
 Ynv 9v\n|  
vs* _;vx  
结果：场追迹 {_+>"esc  
_zAc 5rS  
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t,UW&iLK  
结果：线性偏振光的场追迹 V:$[~)k8  
a^(S!I  
)GQ D*b  
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