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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 AAsl )  
{MKq Yl{  
任务/系统说明 /n7F]Ok'*  
Kg>+5~+E?q  
Q=yQEh|Y  
0.nS306  
亮点 &_&])V)<\S  
`^s(r>2  
 ?Z] }G  
?x@BZe  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） :Qu!0tY  
 严格分析光栅衍射效率 ~aH*ZA*f  
 考虑入射光的方向分布 Y ,?  
pM\)f  
说明：光源 muo7KUT  
4aAr|!8|h!  
=[`wyQe`_  
G#Z%jO-XN  
说明：光束分束器 [*?P2.bf  
neQ2+W%oj  
g 4d 5G=y  
96vv85g  
说明：检测透镜系统 @P"q`*  
oCSf$g8q  
-z0,IYG }  
~MO'%'@  
说明：微型晶片 s.KJYP  
)TM![^d  
gSu+]N  
Yq/|zTe{  
说明：检测物镜 n=t%,[Op  
,y2ur2  
3Du&KZ  
nI.#A  
说明：探测器 Qoq@=|7kxa  
`X^ 4~6/q  
u[s+YGS  
jzEimKDE's  
结果：3D光线追迹（只有0级） C-_u; NEu  
2Pi}<pG~  
Dw[w%uz  
>g93Bj*  
结果：3D光线追迹（所有级） H:9( XW  
fdd3H[  
PpU : 4;en  
\s<iM2]Kl  
结果：光线追迹 X/i8$yqv  
6Om-[^  
 ;=)CjC8)  
QE)g==d  
结果：场追迹 ,3GM'e{hV  
q97Dn[>3  
 kf-ZE$S4  
,[Cl'B  
结果：线性偏振光的场追迹 M?$-u  
<ze' o.c  
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