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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 $@Kwsoh'  
%Y*]eLT>  
任务/系统说明 !f!HVna  
S"G`j!m1  
-"MB(`  
EHqcQx`K_  
亮点 :o+&>z  
]3bXJE  
 @<,YUp,%S  
ud,=O X q  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 3}9c0%}F  
 严格分析光栅衍射效率 ?A`8c R=)I  
 考虑入射光的方向分布 $K}Y  
.`Rju|l  
说明：光源 %1^E;n  
4%9 +="  
l6#ms!e  
na,i(m?l  
说明：光束分束器 (D1$&  
0` \!O(jJ  
)$oboAv#  
q6a7o=BP]  
说明：检测透镜系统 jNu`umS  
Xah-*]ET  
CE;J`;  
I@jXW>$  
说明：微型晶片 wi$,Y. :  
g r[M-U  
)o%sN'U,1  
VS ?npH  
说明：检测物镜 F*rsi7#!pG  
"B3&v%b  
lZ>j:/R8^&  
!Pf6UNN'  
说明：探测器 n1J;)VyR  
[B+]F~}@  
tS:/:0HnA)  
!)-)*T  
结果：3D光线追迹（只有0级） wpI_yp  
_ISaO C{2-  
x?rn< =  
3[;fO_R  
结果：3D光线追迹（所有级） A\:u5(  
Ehw2o-s^  
-~=?g9fGm6  
aPR XK1  
结果：光线追迹 4];<` %  
T:!f_mu|  
 (\$=de>?  
] =*G[  
结果：场追迹 64LAZE QX  
v9"|VhZ  
 cyTBp58  
LTWiCI  
结果：线性偏振光的场追迹 G(;R+%pu  
1EAQ ~S!2  
}Yargj_Gn  
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