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infotek 2023-02-20 08:31

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（第二版 精装）

Z~'t'.=z  
&(F c .3m  
内容简介 F^ q{[Z  
Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。  MlO OB  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 G5ATR<0m  
薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 24sMX7Q,i  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
>CB-a :  
"k zKQ~  
目录 6j E.X  
Preface 1 X+vKY  
内容简介 2 0b&# w  
目录 i xJq|,":gj  
1  引言 1 8NN+Z<  
2  光学薄膜基础 2 *yq65yZi5  
2.1  一般规则 2 2a d|v]  
2.2  正交入射规则 3 EOPx 4+o  
2.3  斜入射规则 6 ["Zvwes#7  
2.4  精确计算 7 J,W<ha*  
2.5  相干性 8 wO??"${OH  
2.6 参考文献 10 E^8|xT'h6  
3  Essential Macleod的快速预览 10 J}|X  
4  Essential Macleod的特点 32 ( eV,f  
4.1  容量和局限性 33 x#{!hL 5G  
4.2  程序在哪里？ 33 9>RkFV  
4.3  数据文件 35 +VwQ=[y]  
4.4  设计规则 35 #UGSn:D<i  
4.5  材料数据库和资料库 37 E@}F^0c  
4.5.1材料损失 38 6?Ncgj &@  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 Hv6h7-  
4.5.2 材料库 41 dX(JV' 18A  
4.5.3导出材料数据 43 1 ?@HOu  
4.6  常用单位 43 R%r bysP  
4.7  插值和外推法 46 ZmK=8iN9J  
4.8  材料数据的平滑 50 J[/WBVFDf  
4.9 更多光学常数模型 54 xAm tm"  
4.10  文档的一般编辑规则 55 @K;b7@4y  
4.11 撤销和重做 56 eORXyh\K  
4.12  设计文档 57 @ @[xTyA  
4.10.1  公式 58 c *KE3:  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 >Kgw2,y+  
4.10.3  沉积密度 59 {Jn0G;  
4.10.4 平行和楔形介质 60 Y RZ\nun  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 -CPtYG[s  
4.10.4  性能 61 8Vu@awz{L  
4.10.5  保存设计和性能 64 *'@O o  
4.10.6  默认设计 64 3Z*r#d$nh:  
4.11  图表 64 U`v2Yw3E  
4.11.1  合并曲线图 67 7q0_lEh  
4.11.2  自适应绘制 68 ~aC ?M&  
4.11.3  动态绘图 68 <kB:`&X<\  
4.11.4  3D绘图 69 ~yv7[`+Tgg  
4.12  导入和导出 73 %;`Kd}CO  
4.12.1  剪贴板 73 @9/I^Zk  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 Y ^^4n$  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 zlMh^+rMX  
4.13  背景 77 sn"((BsO<  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 .*zN@y3  
4.15  生成Rugate 84 Eq-+g1a  
4.16  参考文献 91 161P%sGx2  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 e5_Hmuk|  
5.1  Jobs 92 2w|5SK_  
5.2  创建一个新Job（工作） 93 qu B[S)2}  
5.3  输入材料 94 <83Ky;ry  
5.4  设计数据文件夹 95 'LgRdtO6  
5.5  默认设计 95 a4:GGzt  
6  细化和合成 97 >u=  
6.1  优化介绍 97 l!ow\ZuQBF  
6.2  细化 (Refinement) 98 6_mi9_w  
6.3  合成 (Synthesis) 100 &'6/H/J  
6.4  目标和评价函数 101 3.W[]zH/u  
6.4.1  目标输入 102 I`_2Q:r  
6.4.2  目标 103 }rQQe:{]B  
6.4.3  特殊的评价函数 104 Jg#0g eU  
6.5  层锁定和连接 104 T Q41i/{  
6.6  细化技术 104 t6Iy5)=zY  
6.6.1  单纯形 105 t/|0"\ p  
6.6.1.1 单纯形参数 106 9NTNulD>P  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 ; Z:[LJd  
6.6.2.1 Optimac参数 108 3IYFvq~  
6.6.3  模拟退火算法 109 rHKO13WF  
6.6.3.1　模拟退火参数 109 ~'M<S=W  
6.6.4  共轭梯度 111 4cQP+n  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 b<FE   
6.6.5  拟牛顿法 112 LR=Ji7  
6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 $+j1^  
6.6.6  针合成 113 E &9<JS  
6.6.6.1 针合成参数 114 dN5{W0_  
6.6.7 差分进化 114 r+#{\~r7T  
6.6.8非局部细化 115 >pu4G+M  
6.6.8.1非局部细化参数 115 |d0ZB_ci  
6.7  我应该使用哪种技术？ 116 tW/k  
6.7.1 　细化 116 Y`~B> J  
6.7.2　 合成 117 @}y.  
6.8  参考文献 117 vW?\bH7}I  
7  导纳图及其他工具 118  l"ms:v  
7.1  简介 118 a0NiVF-m%  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 ^J]&($-  
7.2.1  四分之一波长规则 119 O9daeIF0#  
7.2.2  导纳图 120 O2fq9%lk  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 .wNXvnWr  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 4iAF<|6s  
7.5  斜入射导纳图 141 7y$\|WG?!r  
7.6  对称周期 141 0AHQ(+Ap  
7.7  参考文献 142 Wt/;iq"  
8  典型的镀膜实例 143 Kk^*#vR  
8.1  单层抗反射薄膜 145 <,CrE5Pl  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 xMr,\r'+  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 gqS9{K(f  
8.4  W-膜层 148 L-+g`  
8.5  V-膜层 149 <WP@q&^k\  
8.6  V-膜层高折射基底 150 xM%4/QE+  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 ~,/@]6S&Y  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 d,GOP_N8I  
8.9  四层抗反射薄膜 153 \%<M[r=  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 F85_Lz4  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 |gE1P/%k  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 8m"k3:e^  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 k6CXuU  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 /\%<VBx ?q  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 JP4DV=}L  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 d-b04Q7DQ  
8.17  1/4波长堆栈 162 EHUx~Q   
8.18  陷波滤波器 163 vH+g*A0S<  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 e!5} #6Kd  
8.20  褶皱 165 ^}+\52w  
8.21  消偏振分光器1 169 CM?:\$ 4  
8.22  消偏振分光器2 171 c'2/C5  
8.23  消偏振立体分光器 172 SES.&e|!6  
8.24  消偏振截止滤光片 173 xFF!)k #  
8.25  立体偏振分束器1 174 \D|IN'!D  
8.26  立方偏振分束器2 177 ! AwMD  
8.27  相位延迟器 178 H9)@q3<  
8.28  红外截止器 179 .I:rb~ &  
8.29  21层长波带通滤波器 180 dk&e EDvfd  
8.30  49层长波带通滤波器 181 vIpL8B86a  
8.31  55层短波带通滤波器 182 ~/G)z?+E  
8.32  47 红外截止器 183 +Kk1[fh-  
8.33  宽带通滤波器 184 Vg'R=+Wb  
8.34  诱导透射滤波器 186 m|q,i xg  
8.35  诱导透射滤波器2 188 x)C}  
8.36  简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 *X .1b!  
8.37  高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 `/sNX<mp  
8.35  增益平坦滤波器 193 j !*,(  
8.38  啁啾反射镜 1 196 :u4|6?  
8.39  啁啾反射镜2 198 1gHe$ dzXk  
8.40  啁啾反射镜3 199 F;Q,cg M  
8.41  带保护层的铝膜层 200 LSta]81B4L  
8.42  增加铝反射率膜 201 %O`@}Tg  
8.43  参考文献 202 g`pq*D  
9  多层膜 204 2W+~{3[#  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 YF{MXK}  
9.2  内部透过率 204 ZN8j})lE  
9.3 内部透射率数据 205 g@#he95 }  
9.4  实例 206 ox&5} &\  
9.5  实例2 210 NQqw|3  
9.6  圆锥和带宽计算 212 5Od%Jhtt  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 =d8Rij-  
10  光学薄膜的颜色 216 4o#]hB';ni  
10.1  导言 216 k3bQ32()  
10.2  色彩 216 B''yW{  
10.3  主波长和纯度 220 r(r(&NU  
10.4  色相和纯度 221 Y|R=^ =d\  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 O1v)*&NAI  
10.6 色差 226  u 8o!  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 RQ E]=N  
10.8  颜色渲染指数 234 ]1++$Ej  
10.9  色差计算 235 -jJhiaJ$<  
10.10  参考文献 236 =n,;S W  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 <ww D*t  
11.1  短脉冲 238 H?"M&mF  
11.2  群速度 239 d.+*o  
11.3  群速度色散 241 D|OGlP  
11.4  啁啾(chirped) 245 e_b,{l#  
11.5  光学薄膜—相变 245 "=a3"/u  
11.6  群延迟和延迟色散 246 _&l8^MD  
11.7  色度色散 246 /[TOy2/;%b  
11.8  色散补偿 249 /<-PW9X?  
11.9  空间光线偏移 256 Onx6Fy]L  
11.10  参考文献 258 $$ND]qM$M  
12  公差与误差 260 2BC!,e$Z  
12.1  蒙特卡罗模型 260 HwFg;r  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ;"&?Okz  
12.2.1  误差工具 267 Tu(:?  
12.2.2  灵敏度工具 271 >Cr"q*  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 <4TI;yy6?  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 @_`r*Tb)dM  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 Vs 5 &X+k  
12.3  参考文献 276 A'w+Lc.2  
13  Runsheet 与Simulator 277 _-fLD  
13.1  原理介绍 277 | va@&;#wf  
13.2  截止滤光片设计 277 D#<y pJR  
14  光学常数提取 289 $+PioSq  
14.1  介绍 289 U,2OofLM  
14.2  电介质薄膜 289 w5z]=dN  
14.3  n 和k 的提取工具 295 /6rjGc  
14.4  基底的参数提取 302 +(Y\w^@%H  
14.5  金属的参数提取 306 H s)]  
14.6  不正确的模型 306 oI -Fr0!  
14.7  参考文献 311 ;,-)Z|W  
15  反演工程 313 /eHf8l  
15.1  随机性和系统性 313 1tXc7NA<  
15.2  常见的系统性问题 314 n`= S&oKH  
15.3  单层膜 314 :fmV||Q  
15.4  多层膜 314 9-n]_AF`0  
15.5  含义 319 Mzg3i*  
15.6  反演工程实例 319 9]3l'  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ~jw:4sG  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 *?Eu{J){7%  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 ]/ !*^;cY(  
16.1  光学性质的热致偏移 329 GYw/KT~$  
16.2  应力工具 335 eQQVfEvS  
16.3  均匀性误差 339 IRM jL.q  
16.3.1  圆锥工具 339 Vc'p+e|(  
16.3.2  波前问题 341 wSjy31  
16.4  参考文献 343 Rb<| <D+  
17  如何在Function（模块）中编写操作数 345 ^I/(9KP#  
17.1  引言 345 cY} jPDH  
17.2  操作数 345 'tTlBf7#  
18  如何在Function中编写脚本 351 NH/jkt&F[  
18.1  简介 351 T\wOGaCW  
18.2  什么是脚本？ 351 _x5-!gK  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 R@WW@ Of  
18.4  基础 352 a?Om;-i2`S  
18.4.1  Classes（类别） 352 QPVr:+\B{  
18.4.2  对象 352 HV`u#hZ7C  
18.4.3  信息（Messages） 352 w32F?78]  
18.4.4  属性 352 6Hc25NuQZ  
18.4.5  方法 353 VFV8ik)  
18.4.6  变量声明 353 h%:wIkZ/  
18.5  创建对象 354 F-Z>WC{+  
18.5.1  创建对象函数 355 Ge$&k  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 yq3"VFh3d  
18.5.3 丢弃对象 356 A f?&VD4K  
18.5.4  总结 356 xG~-.  
18.6  脚本中的表格 357 7TAoWD3  
18.6.1  方法1 357 @W+8z#xr'  
18.6.2  方法2 357 ^?%ThPo_  
18.7 2D Plots in Scripts 358 l$BKE{rg  
18.8 3D Plots in Scripts 359 z=k*D^X  
18.9  注释 360 ;F_&h#D]3  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 Ahd{f!  
18.11  一个更高级的脚本 362 ;Xidv9c  
18.12  <esc>键 364 E3Z>R=s  
18.13 包含文件 365 j@JY-^~K5  
18.14  脚本被优化调用 366 EI9Yv>7d{  
18.15  脚本中的对话框 368 XSZjuQ<[3  
18.15.1  介绍 368 W6B o\UK  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 [t^%d9@t  
18.15.3  输入框函数 370 x2i`$iNhmP  
18.15.4  自定义对话框 371 t[%=[pJHW  
18.15.5  对话框编辑器 371 RkdAzv!Y7  
18.15.6  控制对话框 377 /? j^Qu  
18.15.7  更高级的对话框 380 lSId<v?C>  
18.16 Types语句 384 AM gvk`<f  
18.17 打开文件 385 d@|j>Z  
18.18 Bags 387 '\m\$ {  
18.13  进一步研究 388 qfY=!|O  
19  vStack 389 _ )^n[_E  
19.1  vStack基本原理 389 DA4!-\bt@  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 U|h@Pw z  
19.3  五棱镜 393 _Q;M$.[zyR  
19.4 光束距离 396 \b88=^  
19.5 误差 399 \t&6$"n(B6  
19.6  二向分色棱镜 399 ?yz}  
19.7  偏振泄漏 404 `V ++})5v  
19.8  波前误差—相位 405 Z42v@?R.!W  
19.9  其它计算参数 405 d>4e9M "  
20  报表生成器 406 >BQF<  
20.1  入门 406 c9E9Rx  
20.2  指令(Instructions) 406 +ACV,GG  
20.3  页面布局指令 406 Tf[-8H<  
20.4  常见的参数图和三维图 407 ~h[lu^ZSi  
20.5  表格中的常见参数 408 [76mgj!K  
20.6  迭代指令 408 :S7yM8 b`  
20.7  报表模版 408 FkE CY  
20.8  开始设计一个报表模版 409 f<'&_*7,|t  
21  一个新的project 413 Y=rW.yK8  
21.1  创建一个新Job 414 j'0*|f^z  
21.2  默认设计 415 vrW9<{  
21.3  薄膜设计 416 7#|NQ=yd  
21.4  误差的灵敏度计算 420 8UL:C?eY  
21.5  显色指数计算 422 qV$',U*+T  
21.6  电场分布 424 $l[*Y  
后记 426
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