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infotek 2023-02-20 08:31

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)

N|@ tP:j  
v;?W|kJ.u  
内容简介 r+#g  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 wfu`(4  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 C-,#t5eir  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 x@O )QaBN!  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
zZ51jA9x  
g co;8e_  
目录 Z RwN#?x  
Preface 1 E;4dlL`*  
内容简介 2 4T$jY}U  
目录 i *Ev8f11i&  
1  引言 1 N^F5J  
2  光学薄膜基础 2 >bhF{*t#;y  
2.1  一般规则 2 vF@|cTRR)  
2.2  正交入射规则 3 {A ,w%  
2.3  斜入射规则 6 &E!m(|6?+  
2.4  精确计算 7 B2_fCSlg  
2.5  相干性 8 5BLBcw\;  
2.6 参考文献 10 gth_Sz5!#  
3  Essential Macleod的快速预览 10 `)w=@9B)"  
4  Essential Macleod的特点 32 ' < >Q20  
4.1  容量和局限性 33 )`W|J%w+  
4.2  程序在哪里? 33  =mcQe^M  
4.3  数据文件 35 `GY]JVW  
4.4  设计规则 35 c;yp}k]\  
4.5  材料数据库和资料库 37 pxyFM@Z](  
4.5.1材料损失 38 p R`nQM-D  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 )N3/;U;  
4.5.2 材料库 41 !VudZ]Sg  
4.5.3导出材料数据 43 O\]{6+$fm!  
4.6  常用单位 43 wJgGw5  
4.7  插值和外推法 46 0d~?|Nv -  
4.8  材料数据的平滑 50 [(8s\>T  
4.9 更多光学常数模型 54 H#nJWe_9A  
4.10  文档的一般编辑规则 55 &g*1If  
4.11 撤销和重做 56 ,%V%g!6{  
4.12  设计文档 57 ,]9p&xu  
4.10.1  公式 58 23bTCp.d  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 DmB?.l-  
4.10.3  沉积密度 59 ].QzOV'  
4.10.4 平行和楔形介质 60 fL'Ci;.;+  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 @K#}nKN'  
4.10.4  性能 61 JV !F<  
4.10.5  保存设计和性能 64 l[WX77bp=  
4.10.6  默认设计 64 Fy6Lz.baB  
4.11  图表 64 k#V\O2lb  
4.11.1  合并曲线图 67 =XSupM[T  
4.11.2  自适应绘制 68 dd6l+z  
4.11.3  动态绘图 68 Rp_}_hL0  
4.11.4  3D绘图 69 4~nf~  
4.12  导入和导出 73 }C=+Tn  
4.12.1  剪贴板 73 1^WkW\9kO  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 KYg'=({x  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 rC/z8m3z  
4.13  背景 77 +&M>J|  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 RO'b)J:j9  
4.15  生成Rugate 84 [ 8WG  
4.16  参考文献 91 e>uq/|.!  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 Ycxv=Et  
5.1  Jobs 92 LTb#1JC  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 >4=7t&h  
5.3  输入材料 94 >pq=5Ha&  
5.4  设计数据文件夹 95 qyY/:&E,Z  
5.5  默认设计 95 $ 93j;  
6  细化和合成 97 >ca`0gu  
6.1  优化介绍 97  [cfXcl  
6.2  细化 (Refinement) 98 7 3ABop  
6.3  合成 (Synthesis) 100 %;GRR (K  
6.4  目标和评价函数 101 ZNDjk  
6.4.1  目标输入 102 3JF" O+@  
6.4.2  目标 103 `yRt?UQRS  
6.4.3  特殊的评价函数 104 9m%+6#|  
6.5  层锁定和连接 104 ZJjm r,1  
6.6  细化技术 104 +' .o  
6.6.1  单纯形 105 eFQz G+/  
6.6.1.1 单纯形参数 106 5F 8'f)  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 AC?a:{ ./  
6.6.2.1 Optimac参数 108 }[;r-5}  
6.6.3  模拟退火算法 109 Qb86*  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 oPF n`8dQ  
6.6.4  共轭梯度 111 2kFP;7FO  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 --7@rxv  
6.6.5  拟牛顿法 112 ;s$ P?('  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 mw\Pv|  
6.6.6  针合成 113 9N<TJp,q  
6.6.6.1 针合成参数 114  I$fm"N  
6.6.7 差分进化 114 .;:dG  
6.6.8非局部细化 115 `;s#/`c|/  
6.6.8.1非局部细化参数 115  S^5Qhv  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 #<-%%  
6.7.1  细化 116 reNUIDt/c  
6.7.2  合成 117 FJ|JXH*  
6.8  参考文献 117 L^ U.h  
7  导纳图及其他工具 118 #BI Z|  
7.1  简介 118 yV) 9KGV+:  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 {>X2\.Rl  
7.2.1  四分之一波长规则 119 !WD^To  
7.2.2  导纳图 120 mr XmM<  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 'W p~8}i@  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 m{ rsjdnA  
7.5  斜入射导纳图 141 2t#[$2mg\0  
7.6  对称周期 141 , #(k|Zztc  
7.7  参考文献 142 $ 3.Y2&$T  
8  典型的镀膜实例 143 }};AV)}J  
8.1  单层抗反射薄膜 145 9H cxL  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 XK@Ct eP"  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 G=KXA'R)1.  
8.4  W-膜层 148 .fNLhyd  
8.5  V-膜层 149 .JWN\\  
8.6  V-膜层高折射基底 150 qoC<qn{.a  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 &f/"ir[8i  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 iz6+jHu'l  
8.9  四层抗反射薄膜 153 jh~E!%d77  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 B5#>ieM*  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 $1|65j[e  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 z3|5E#m  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 %/%TR@/  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 !=vd:,  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 )p 8P\Rl  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 7$JE+gL/7  
8.17  1/4波长堆栈 162 _Q\<|~  
8.18  陷波滤波器 163 g_(O7  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 8qv>C)~~`  
8.20  褶皱 165 9G{#a#Z.  
8.21  消偏振分光器1 169 N/8B@}@n  
8.22  消偏振分光器2 171 h"ATRr^  
8.23  消偏振立体分光器 172 "0?" E\  
8.24  消偏振截止滤光片 173 PED5>90  
8.25  立体偏振分束器1 174 wF{M"$am  
8.26  立方偏振分束器2 177 81S0:=   
8.27  相位延迟器 178 RnUud\T/  
8.28  红外截止器 179 249DAjn+  
8.29  21层长波带通滤波器 180 ?H21Ru>:*  
8.30  49层长波带通滤波器 181 _#6*C%ax  
8.31  55层短波带通滤波器 182 J L2g!n= K  
8.32  47 红外截止器 183 Z67'/z$0  
8.33  宽带通滤波器 184 mS &^xWPV  
8.34  诱导透射滤波器 186 qGECw#  
8.35  诱导透射滤波器2 188 6=jL2cqx  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 f(*iagEy  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 B3&ETi5NTU  
8.35  增益平坦滤波器 193 +}^^]J$Nh  
8.38  啁啾反射镜 1 196 ZE6W"pbjU  
8.39  啁啾反射镜2 198 Y]+KsiOL  
8.40  啁啾反射镜3 199 ?q}:ojrs1  
8.41  带保护层的铝膜层 200 K5(:0Q.5y  
8.42  增加铝反射率膜 201 qE{L42  
8.43  参考文献 202 'F Cmbry  
9  多层膜 204 !+3nlG4cw  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 /*m6-DC  
9.2  内部透过率 204 ST[E$XL6  
9.3 内部透射率数据 205 t^g+nguz  
9.4  实例 206 wRe2sjM  
9.5  实例2 210 JYa3xeC;  
9.6  圆锥和带宽计算 212 d+&w7/F  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 (bGk=q=M  
10  光学薄膜的颜色 216 3U[:N &Jb  
10.1  导言 216 J?qikE&  
10.2  色彩 216 kwrM3nq  
10.3  主波长和纯度 220 ;~Q`TWC  
10.4  色相和纯度 221 {6HgKI  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 *4[P$k$7  
10.6 色差 226 D]+@pK b  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 \qB.>f"%p|  
10.8  颜色渲染指数 234 saVX2j6Y  
10.9  色差计算 235 (kSb74*g  
10.10  参考文献 236 (T =u_oe  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 w9CX5Fg  
11.1  短脉冲 238 jluv}*If  
11.2  群速度 239 rnM C[  
11.3  群速度色散 241 /O[ Z  
11.4  啁啾(chirped) 245 G%SoC  
11.5  光学薄膜—相变 245 k3&/Ei5  
11.6  群延迟和延迟色散 246 ,o [FUi(#@  
11.7  色度色散 246 ;H"OZRQ  
11.8  色散补偿 249 \N)!]jq  
11.9  空间光线偏移 256 FOS*X  
11.10  参考文献 258 {R7m qzt  
12  公差与误差 260 ->J5|c#  
12.1  蒙特卡罗模型 260 e}2[g  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 K,Hxe;-  
12.2.1  误差工具 267 }C5Fvy6uz  
12.2.2  灵敏度工具 271 ez[$;>  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 OTmr-l6  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 8hZc#b;  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 <|VV8r93  
12.3  参考文献 276 c"NGE  
13  Runsheet 与Simulator 277 'F7UnkKO|  
13.1  原理介绍 277 6\6g-1B`  
13.2  截止滤光片设计 277 ,sltB3f  
14  光学常数提取 289 j.KV :zJU  
14.1  介绍 289 E4xybVo@  
14.2  电介质薄膜 289 __)"-\w-_(  
14.3  n 和k 的提取工具 295 r z5@E  
14.4  基底的参数提取 302 Mqm9i  
14.5  金属的参数提取 306 , 4@C%  
14.6  不正确的模型 306 *)Pb-c  
14.7  参考文献 311 cEEnR1  
15  反演工程 313 UX)QdT45Mh  
15.1  随机性和系统性 313 NP$ D9#   
15.2  常见的系统性问题 314 phy:G}F6%  
15.3  单层膜 314 Ob|v$C  
15.4  多层膜 314 ]v0=jm5A  
15.5  含义 319 eyG[1EEU  
15.6  反演工程实例 319 6V-JyTcxGI  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 &}FWpo!  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 |6~ Kin  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 .wkW<F7  
16.1  光学性质的热致偏移 329 ^fti<Lw5  
16.2  应力工具 335 c1g'l.XL 3  
16.3  均匀性误差 339 2.&%mSN  
16.3.1  圆锥工具 339 /rv=ml pRL  
16.3.2  波前问题 341 sh}eKwh  
16.4  参考文献 343 aY\(R02B  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 Enqs|fkbN  
17.1  引言 345 $K_-I8e|  
17.2  操作数 345 -nnAe F  
18  如何在Function中编写脚本 351 +xBM\Dz8  
18.1  简介 351 FK;2u $:  
18.2  什么是脚本? 351 ePTN^#|W  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 l!%V&HJV  
18.4  基础 352 M|qJZ#{4>  
18.4.1  Classes(类别) 352 -@/!u9l  
18.4.2  对象 352 6R!AIOD>  
18.4.3  信息(Messages) 352 'UB"z{w%  
18.4.4  属性 352 (sEZNo5n  
18.4.5  方法 353 iG=XRctgj)  
18.4.6  变量声明 353 ]?~[!&h  
18.5  创建对象 354 zO3}c3D~q  
18.5.1  创建对象函数 355 v\Zq=,+  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 ZnD(RM  
18.5.3 丢弃对象 356 I =nvL  
18.5.4  总结 356 \n0MqXs#  
18.6  脚本中的表格 357 tdn|mX#  
18.6.1  方法1 357 Tywrh9[  
18.6.2  方法2 357 Klqte*!  
18.7 2D Plots in Scripts 358 4,:)%KB"V  
18.8 3D Plots in Scripts 359 Io<L! =>  
18.9  注释 360 kj'  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 8<Ex`  
18.11  一个更高级的脚本 362 @<44wMp  
18.12  <esc>键 364 8V+  
18.13 包含文件 365 k]yv#Pa  
18.14  脚本被优化调用 366 / 2h6  
18.15  脚本中的对话框 368 %QX"oRMn0  
18.15.1  介绍 368 opqf)C  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 n$ZxN"q <  
18.15.3  输入框函数 370 gBo~NLrf  
18.15.4  自定义对话框 371 . "`f~s\G  
18.15.5  对话框编辑器 371 G3de<?K.[V  
18.15.6  控制对话框 377 AI3\eH+  
18.15.7  更高级的对话框 380 ex)U'.^  
18.16 Types语句 384 $TavvO%#  
18.17 打开文件 385 );fPir?+  
18.18 Bags 387 wKAxUPzm  
18.13  进一步研究 388 .KF(_ 92  
19  vStack 389 (:|1h@K/R  
19.1  vStack基本原理 389  fG|+ !  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 LH>h]OTQF  
19.3  五棱镜 393 :6}cczQE|O  
19.4 光束距离 396 W29GM -,K  
19.5 误差 399 M[KYt"v  
19.6  二向分色棱镜 399 |@*   
19.7  偏振泄漏 404 mv1|oFVW  
19.8  波前误差—相位 405 _OR[RGy  
19.9  其它计算参数 405 T$s)aM  
20  报表生成器 406 n16TQe"8  
20.1  入门 406 i|G /x  
20.2  指令(Instructions) 406 jx8hh}C  
20.3  页面布局指令 406 \`WAG>'l5  
20.4  常见的参数图和三维图 407 M,bcTa8  
20.5  表格中的常见参数 408 t++\&!F  
20.6  迭代指令 408 |p":s3K"Hy  
20.7  报表模版 408 <& =3g/Y  
20.8  开始设计一个报表模版 409 &Ef6'  
21  一个新的project 413 P%Wl`NA P  
21.1  创建一个新Job 414 %)j^>W5  
21.2  默认设计 415 zjwo"6c>  
21.3  薄膜设计 416 X$ 76#x  
21.4  误差的灵敏度计算 420 Vvk \ $'  
21.5  显色指数计算 422 t: qPW<wc  
21.6  电场分布 424 I}1<epd ,  
后记 426
Z n]e2  
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