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infotek 2023-02-20 08:31

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（第二版 精装）

unRFcjEa  
ny!80I  
内容简介 *y(UI/c  
Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。  fOKAy'  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 \rT>&o .i  
薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 ?=1i:h  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
)Jw$&%/{1  
U6o]7j&6  
目录 _,v>P2)  
Preface 1 +;)Xu}  
内容简介 2 1D2RhM%  
目录 i *v: .]_;  
1  引言 1 P(o>UDy  
2  光学薄膜基础 2 C!nbl+75  
2.1  一般规则 2 /1m+iM^V  
2.2  正交入射规则 3 ^jcVJpyT@R  
2.3  斜入射规则 6 ]zj&U#{  
2.4  精确计算 7 GO*D4<#u  
2.5  相干性 8 a[,p1}!_  
2.6 参考文献 10 VV#'d  
3  Essential Macleod的快速预览 10 I.>8p]X  
4  Essential Macleod的特点 32 3[?;s}61  
4.1  容量和局限性 33 DwK$c^2q{.  
4.2  程序在哪里？ 33 {9) HB:  
4.3  数据文件 35 Q'hs,t1<  
4.4  设计规则 35 sO!m,pK(  
4.5  材料数据库和资料库 37 * bhb=~  
4.5.1材料损失 38 (dy:d^  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 7VdxQ T  
4.5.2 材料库 41 bYX.4(R  
4.5.3导出材料数据 43 }[PC YnS  
4.6  常用单位 43 A;6ew4  
4.7  插值和外推法 46 C1qlB8(Wh>  
4.8  材料数据的平滑 50 _ /Eg_dQ~@  
4.9 更多光学常数模型 54 gKmF#Z"\  
4.10  文档的一般编辑规则 55 U-$nwji  
4.11 撤销和重做 56 :22wq{  
4.12  设计文档 57 t! u>l  
4.10.1  公式 58 kw7E<aF!  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 &m]jYvRc  
4.10.3  沉积密度 59 DMSC(Sz  
4.10.4 平行和楔形介质 60 PsS.lhj0"  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 FF7?|V!Q  
4.10.4  性能 61 ,Ij/ ^EC}  
4.10.5  保存设计和性能 64 gR_Exs'K  
4.10.6  默认设计 64 *+00  
4.11  图表 64 W59xe&l  
4.11.1  合并曲线图 67 g5x>}@ONq7  
4.11.2  自适应绘制 68 1=z\,~ b  
4.11.3  动态绘图 68 ux 17q>G  
4.11.4  3D绘图 69 ?(}~[  
4.12  导入和导出 73 e? |4O< @  
4.12.1  剪贴板 73 Gv[(0  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 TN08 ,:k  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 "5Z5x%3I  
4.13  背景 77 4af^SZ )l  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 H;DjM;be  
4.15  生成Rugate 84  `=B v+  
4.16  参考文献 91 |TF6&$>d  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 r Cz,XYV  
5.1  Jobs 92 5yj6MaqJ  
5.2  创建一个新Job（工作） 93 3{Zd<JYg4-  
5.3  输入材料 94 Hq?dqg'%~  
5.4  设计数据文件夹 95 RXu` DWN  
5.5  默认设计 95 <^942y-=  
6  细化和合成 97 FF|M7/[~  
6.1  优化介绍 97 wS >S\,LV  
6.2  细化 (Refinement) 98 myd:"u,}9  
6.3  合成 (Synthesis) 100 # $'H?lO  
6.4  目标和评价函数 101 PIoBKCJ  
6.4.1  目标输入 102 -[h|*G.J  
6.4.2  目标 103 'e$8 IZm  
6.4.3  特殊的评价函数 104 Q~rE+?n9 F  
6.5  层锁定和连接 104 ]mC5Z6,1s  
6.6  细化技术 104 k 6i&NG6  
6.6.1  单纯形 105 zH#urF6<  
6.6.1.1 单纯形参数 106 /*GCuc|  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 L!`PM.:9  
6.6.2.1 Optimac参数 108 b d C  
6.6.3  模拟退火算法 109 N&|,!Cu  
6.6.3.1　模拟退火参数 109 ,e GF~  
6.6.4  共轭梯度 111 Blj<|\ igc  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 8]bLp  
6.6.5  拟牛顿法 112 K<50>uG  
6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 dx$+,R~y  
6.6.6  针合成 113 /bo`@ !-#  
6.6.6.1 针合成参数 114 JBLh4c3  
6.6.7 差分进化 114 }'n]C|gZ  
6.6.8非局部细化 115 A5_r(Z-5  
6.6.8.1非局部细化参数 115 rfr]bq5  
6.7  我应该使用哪种技术？ 116 o1-_BlZ  
6.7.1 　细化 116 10bv%ZX7  
6.7.2　 合成 117 J=HN~B1  
6.8  参考文献 117 NYzBfL x  
7  导纳图及其他工具 118 2@I0p\a  
7.1  简介 118 N:Ir63X*#  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 #]Jg>  
7.2.1  四分之一波长规则 119 cIrc@  
7.2.2  导纳图 120 POX{;[SV  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 J@#rOOu  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 vcaPd}nf  
7.5  斜入射导纳图 141 Jje!*?&8X  
7.6  对称周期 141 iJCv+p_f  
7.7  参考文献 142 U *go}dt"5  
8  典型的镀膜实例 143 KleiX7  
8.1  单层抗反射薄膜 145 D'BGoVP  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 o^r\7g6\  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 a>Zp?*9  
8.4  W-膜层 148 \0&F'V  
8.5  V-膜层 149 1xSG(!  
8.6  V-膜层高折射基底 150 M5L/3qLh1  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 LC\U6J't1  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ;mPX8bT  
8.9  四层抗反射薄膜 153 G&"O)$h  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 cS Qb3}a\  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ~@#a*="  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 > `0mn|+  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 %E"Z &_3{  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 y*p02\)  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 c5: X$k\  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 7+qKA1t^  
8.17  1/4波长堆栈 162 jx2{kK  
8.18  陷波滤波器 163 u(\O@5a  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 $g/h=w@  
8.20  褶皱 165 n=|% H'U  
8.21  消偏振分光器1 169 7!\zo mx  
8.22  消偏振分光器2 171 VKf&}u/  
8.23  消偏振立体分光器 172 S5d  
8.24  消偏振截止滤光片 173 UM<s#t`\3  
8.25  立体偏振分束器1 174 &~2I Fp  
8.26  立方偏振分束器2 177 vu#ZLq  
8.27  相位延迟器 178 q'TIN{\.{  
8.28  红外截止器 179 <Y2$'ETD  
8.29  21层长波带通滤波器 180 u8M_2r  
8.30  49层长波带通滤波器 181  WjCxTBI  
8.31  55层短波带通滤波器 182 *ZxurbX#  
8.32  47 红外截止器 183 J0oeCb  
8.33  宽带通滤波器 184 a6 1!j>Kx  
8.34  诱导透射滤波器 186 ;mvVo-r*q  
8.35  诱导透射滤波器2 188 "?<h,Hvi  
8.36  简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 P{yb%@I~J  
8.37  高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 SD<a#S\o  
8.35  增益平坦滤波器 193 -'SA &[7dP  
8.38  啁啾反射镜 1 196 F=e-jKogK  
8.39  啁啾反射镜2 198 H Ix%c5^  
8.40  啁啾反射镜3 199 1@JusS0^K  
8.41  带保护层的铝膜层 200 .{} 8mFi1  
8.42  增加铝反射率膜 201 P;mp)1C  
8.43  参考文献 202 ! Dj2/][  
9  多层膜 204 qmt9J?$k  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 M.r7^9P  
9.2  内部透过率 204 G$%F`R[  
9.3 内部透射率数据 205 l;L_A@B<  
9.4  实例 206 %.?V\l  
9.5  实例2 210 /-G_0 A2wF  
9.6  圆锥和带宽计算 212 Lj9RF<39g  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 XmwAYf  
10  光学薄膜的颜色 216 7(N+'8  
10.1  导言 216 B4wRwrVI>  
10.2  色彩 216 K,$rG%c zX  
10.3  主波长和纯度 220 A`ajsZ{q,  
10.4  色相和纯度 221 :dAd5v2f  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 g\ vT7x  
10.6 色差 226 q$mc{F($D  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 "\KBF  
10.8  颜色渲染指数 234 mbGma  
10.9  色差计算 235 XclTyUGoK+  
10.10  参考文献 236 [nPs  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ]| +M0:2?  
11.1  短脉冲 238 IhYR4?e  
11.2  群速度 239 Np/\ }J&IF  
11.3  群速度色散 241 n=vDEX:'  
11.4  啁啾(chirped) 245 >[,eK=  
11.5  光学薄膜—相变 245 p2{7+m  
11.6  群延迟和延迟色散 246 Jt@lH  
11.7  色度色散 246 O6R)>Y4  
11.8  色散补偿 249 5;UIz@BJ  
11.9  空间光线偏移 256 }: HG)V  
11.10  参考文献 258 Z,A$h>Z  
12  公差与误差 260 %gh#gH   
12.1  蒙特卡罗模型 260 hEQyaDD;  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 .Dr!\.hL  
12.2.1  误差工具 267 wG3b{0  
12.2.2  灵敏度工具 271 _>R aw  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 7upko9d/  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 :aej.>I0  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 Wye* ~t  
12.3  参考文献 276 SG&,o =I$  
13  Runsheet 与Simulator 277 b-sN#'TDg  
13.1  原理介绍 277 gwRB6m$  
13.2  截止滤光片设计 277 Yi*F;V   
14  光学常数提取 289 -AdDPWn  
14.1  介绍 289 G?1GkR  
14.2  电介质薄膜 289 &*=!B9OBI  
14.3  n 和k 的提取工具 295 IR6W'vA  
14.4  基底的参数提取 302 (Xh <F  
14.5  金属的参数提取 306 )8@-  
14.6  不正确的模型 306 zjQ746<&)i  
14.7  参考文献 311 \yr9j$  
15  反演工程 313 \9)5b8  
15.1  随机性和系统性 313 p"ZvA^d\   
15.2  常见的系统性问题 314 d:(Ex^^  
15.3  单层膜 314 &zdS9e-fF  
15.4  多层膜 314 f+cb83}n]  
15.5  含义 319 9|1msg4  
15.6  反演工程实例 319 yYA*5 7^A  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 .gx^L=O:  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 G% tlV&In  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 ws'e  
16.1  光学性质的热致偏移 329 /iU<\+ H  
16.2  应力工具 335 MA`nFkVK  
16.3  均匀性误差 339 dLiiJ6pl*  
16.3.1  圆锥工具 339 -tj#BEC[H(  
16.3.2  波前问题 341 (p-q>@m  
16.4  参考文献 343 xsZG(Tz  
17  如何在Function（模块）中编写操作数 345 _QL|pLf-  
17.1  引言 345 z1J)./BO  
17.2  操作数 345 wk|+[Rl;L  
18  如何在Function中编写脚本 351 o08WC'bX  
18.1  简介 351 ^wIB;!W  
18.2  什么是脚本？ 351 <=M5)#  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 4z0gyCAC A  
18.4  基础 352 qVC+q8  
18.4.1  Classes（类别） 352 \f9WpAY  
18.4.2  对象 352 >dl5^  
18.4.3  信息（Messages） 352 lL)f-8DX  
18.4.4  属性 352 z &EDW 5I  
18.4.5  方法 353 >3!~U.AA'x  
18.4.6  变量声明 353 B$ eM  
18.5  创建对象 354 OcT Wq  
18.5.1  创建对象函数 355 k&$ov  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 Hr?lRaV  
18.5.3 丢弃对象 356 # e? B  
18.5.4  总结 356 COh#/-`\1  
18.6  脚本中的表格 357 tbS hSbj  
18.6.1  方法1 357 ?b]zsku8  
18.6.2  方法2 357 @_ %RQO_X  
18.7 2D Plots in Scripts 358 TKB8%/_p  
18.8 3D Plots in Scripts 359 D$}hoM1  
18.9  注释 360 //63|;EEkl  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 YV.' L  
18.11  一个更高级的脚本 362 &-=~8  
18.12  <esc>键 364 w}3N!jNDv  
18.13 包含文件 365 ^*ZaqMA  
18.14  脚本被优化调用 366 _E C7r>V&  
18.15  脚本中的对话框 368 /e2zH  
18.15.1  介绍 368 UIAazDyC  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 |T<aWZb^=  
18.15.3  输入框函数 370 [G}dPXD  
18.15.4  自定义对话框 371 Nc\DXc-N  
18.15.5  对话框编辑器 371 cY5&1Shb~  
18.15.6  控制对话框 377 p1UloG\  
18.15.7  更高级的对话框 380 &>jz[3  
18.16 Types语句 384 Hu|Tj<S  
18.17 打开文件 385 Lz 1.+:Ag  
18.18 Bags 387 +=($mcw#[  
18.13  进一步研究 388 o +$v0vg%T  
19  vStack 389 ,JwX*L<:  
19.1  vStack基本原理 389 Ey=2 zo^F  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 >?^oxB"<Gc  
19.3  五棱镜 393 rH7Cv/Y  
19.4 光束距离 396 _lv{8vf1B  
19.5 误差 399 ;%n'k  
19.6  二向分色棱镜 399 qyRN0ZB"A^  
19.7  偏振泄漏 404 m9[ 7"I  
19.8  波前误差—相位 405 2y`h'z  
19.9  其它计算参数 405 Qder8I  
20  报表生成器 406 'h$1 z$X5  
20.1  入门 406 l[E^nh>  
20.2  指令(Instructions) 406 c,1  G+.  
20.3  页面布局指令 406 M(C">L]8  
20.4  常见的参数图和三维图 407 B:"D)/\  
20.5  表格中的常见参数 408 s{^B98d+W  
20.6  迭代指令 408 QM(xMq  
20.7  报表模版 408 Tt: (l/1  
20.8  开始设计一个报表模版 409 tX^6R  
21  一个新的project 413 B#g~c<4<  
21.1  创建一个新Job 414 og";mC  
21.2  默认设计 415 ?}Zo~]7E  
21.3  薄膜设计 416 #zsaQg, B  
21.4  误差的灵敏度计算 420 @rGY9%E  
21.5  显色指数计算 422 B{/og*xd*1  
21.6  电场分布 424 daSe0:daJ  
后记 426
e=&~6bs1U  
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