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gangzi0801	2023-02-17 18:36
关于高速超精密激光干涉仪哈工大成功研制出了高速超精密激光干涉仪，目前可用于350nm到28nm工艺的光刻机样机集成研制和性能测试，意味着我们离光刻机又近了一步。 _2b9QP p 9Gca6e3 大家一起来交流一下，关于高速超精密激光干涉仪的知识和技术吧。

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