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infotek 2023-01-18 08:30

高NA物镜聚焦的分析

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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 ScEM#9T|  
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建模任务 Ne%X:h  
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_>s.V`N'  
概观 D+OkD-8q  
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FE`J.aw^X  
光线追迹仿真 Z,*VRuA  
3jeR;N]x  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 %uKD cj  
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•点击Go! "='|c-x  
•获得3D光线追迹结果。 ZP1EO Z  
. @.CQB=E  
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光线追迹仿真 gN*8 zui  
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Z EW`?6  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 V5=Injs *  
•单击Go! PqfH}d0l  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 `+U-oqs  
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场追迹仿真 X]N8'Yt  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 ;I9D>shkc  
•单击Go! *Nv<,Br,F  
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场追迹结果(摄像机探测器) 0'gJSrgNI  
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EM"YjC)F  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 "F=O   
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 W)KV"A3C  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 \hg12],#:@  
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场追迹结果(电磁场探测器) \2uQ"kJC  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 ;:v:pg8qc  
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