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infotek 2023-01-18 08:30

高NA物镜聚焦的分析

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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 0;X0<IV  
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建模任务 p+y2w{{  
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概观 "b6ew2\  
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光线追迹仿真  x#hGJT  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 wQR0R~|M  
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•点击Go! _c@k>"_{S  
•获得3D光线追迹结果。 \1H~u,a  
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光线追迹仿真 ,>vI|p,/G*  
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+=JJ=F)  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 eI:;l];G9  
•单击Go! c%O8h  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 =.9uuF:  
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场追迹仿真 /t;Kn m  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 863PVce",}  
•单击Go! OO  /Pc  
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场追迹结果(摄像机探测器) 4.o[:5'  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 |j> fsk~  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 YLAGTH0.]  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 +u[?8D7Y  
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场追迹结果(电磁场探测器) Ix1[ $9  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 idLCq^jnJ  
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