首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 讯技光电&黉论教育 -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2023-01-18 08:30

高NA物镜聚焦的分析

24? _k]Y  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 'h'pM#D  
JQ0Z%;"  
g|?}a]G  
     xW5`.^5  
建模任务 #-G@p  
R=E4Sh  
*P/A&"i[E  
概观 A>upT'  
Ib{l$#  
#t(/wa4  
光线追迹仿真 *~U.36  
w`f66*@Q1  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 P[q>;Fx*  
z[QDJMt>  
•点击Go! XIbxi  
•获得3D光线追迹结果。 \EoE/2"<  
UR _Ty59  
Zn r4^i&(  
wUr(i*  
光线追迹仿真 z8}QXXa  
U= f9b]Y  
?;`GCE  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 >h#juO"  
•单击Go! V )oXJL  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 x/M$_E<G  
/ZabY  
Ezew@*(  
     )rj!/%  
场追迹仿真 .U|'KCM9m  
_zM?"16I}  
YQ d($  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 6IT6EkiT  
•单击Go! exiu;\+j  
">1wPq&  
e\[q3J  
     "'Fvt-<^S7  
场追迹结果(摄像机探测器) dazML|1ow  
JB'tc!!*  
O]hUOc `k  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 C}xfo}i  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 $+4 4US  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 dS 4/spNq  
,WOCG 2h  
diM*jN#  
H9TeMY  
场追迹结果(电磁场探测器) YzZj=]\`b  
[Ca''JqrA  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 V*te8HIe  
|-\anby<  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2026 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计