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infotek 2023-01-18 08:30

高NA物镜聚焦的分析

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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 $fKwJFr  
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建模任务 Z `\7B e  
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概观 PYHm6'5BtB  
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光线追迹仿真 18A&[6"!  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 _SP u`=~K  
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•点击Go! jATU b-  
•获得3D光线追迹结果。 e4)g F*  
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光线追迹仿真 Fcr@Un'  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ;W+-x] O  
•单击Go!  ^,KR0  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 u3. PHZ  
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场追迹仿真 QNJG}Upl  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 bp$jD  
•单击Go! <C>i~ <`d  
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场追迹结果(摄像机探测器) Q]7Q  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 !xc7~D@om(  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 @Hf }PBb  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 YQ)m?=+J  
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场追迹结果(电磁场探测器) Ax^'unfQ:  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 `l+SJLyJ%  
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