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infotek 2023-01-18 08:30

高NA物镜聚焦的分析

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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 \uIC<#o"N  
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建模任务 .]l2)OlLQ  
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概观 L,GtIZkE  
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光线追迹仿真 &<b7T$c  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 haK5Oe/cE  
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•点击Go! ,gD i)]  
•获得3D光线追迹结果。 8{ e 3  
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光线追迹仿真 B 1.@K}  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 l!'iLq"K(  
•单击Go! ~'mhC46d  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 |th )Q  
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场追迹仿真 e /Y+S;a  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 [i_x 1  
•单击Go! q;JQs:U!  
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场追迹结果(摄像机探测器) oc Uu  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 H0 t1& :  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 ,//=yW  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 _>I5Ud8(-  
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场追迹结果(电磁场探测器) ,Nh X%  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 J$[Vm%56  
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