首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 讯技光电&黉论教育 -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2023-01-18 08:30

高NA物镜聚焦的分析

Mmj;'iYOwF  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 79nG|Yj|\  
ZPc@Zr`z  
<Gav5R c  
     J%V-Q>L  
建模任务 $=5=NuX  
nM\eDNK  
ii%+jdi.  
概观 Q s.pGi0W  
"+\lws  
SaC d0. h  
光线追迹仿真 ex+\nD>t4  
Bt1p'g(V|  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 .U"8mP=&  
{D!6%`HKV+  
•点击Go! eFBeJZuE|  
•获得3D光线追迹结果。 FW) x:2BG  
M(RZ/x  
` L >  
;2@BO-3K  
光线追迹仿真 L,SGT8lL  
kxp) ;  
3ia^\ jw  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 UJ0<%^f  
•单击Go! )foq),2  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 T|6jGZS^|W  
Au{<hQ =  
_2k]3z?  
     8i|w(5m;  
场追迹仿真 w$H^q !(  
\ {qI4=  
u\LiSGePN  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 b8$gx:aJ>$  
•单击Go! RaWG w  
!_+8A/  
S{FROC~1R  
     WuPH'4b 5  
场追迹结果(摄像机探测器) F6o_b4l  
!lxTX  
tniDF>Rb  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 xY+VyOUs  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 A,V\"KU  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 #O$  
/CuXa%Ci^  
fMGbODAvY  
%STliJ  
场追迹结果(电磁场探测器) S!Omy:=;i  
K+Z+wA?  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 N2oRJ,:B  
$e\h}A6  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计