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infotek 2023-01-18 08:30

高NA物镜聚焦的分析

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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 #,Bj!'Q'-  
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建模任务 d:3= 1x  
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概观 ~6fRS2u  
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光线追迹仿真 V"U~Q=`K  
p(7c33SyF  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 +ks$UvtY  
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•点击Go! JSUzEAKe  
•获得3D光线追迹结果。 C0f[eA  
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j~Ff/ O  
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光线追迹仿真 u4xA'X'~R  
QJ6f EV$~  
B4 <_"0  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ~vkud+r  
•单击Go! $$/S8LmmK  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 "vvFq ,c  
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场追迹仿真 r6<ArX$Yl  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 Z^C!RSQ  
•单击Go! 2GUhV*TN  
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d?E4[7<t$1  
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场追迹结果(摄像机探测器) Z|f^nH#-C  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 b<48#Qy~l  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 #0xm3rFy4  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 s' _$j$1  
mn,=V[f  
C3^X1F0  
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场追迹结果(电磁场探测器) X6n|Xq3k  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 if\k[O 1T6  
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