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infotek 2023-01-18 08:30

高NA物镜聚焦的分析

FlA$G3  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 "x)pp  
H ]N/Y{  
4Hd@U&E  
     x /Ky: Ky  
建模任务 ez<wEt S  
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DEeL 48{R  
概观 jKi*3-&  
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u5)A+.v  
光线追迹仿真 an5kR_=  
71 m-W#zyA  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ";Xbr;N  
e~~k}2~  
•点击Go! 7JwWM2N?V  
•获得3D光线追迹结果。 gkn/E}K#  
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光线追迹仿真 7[<sl35  
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*R6eykp  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 fQA)r  
•单击Go! v})Ti190  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 E4@fP] R+  
z4+6k-#):  
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     K}(n;6\  
场追迹仿真 S_;:iC]B  
3E@&wpj  
#]HjP\C  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 s H[34gCh;  
•单击Go! * rANf&y  
Sf:lN4  
> V}NG  
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场追迹结果(摄像机探测器) &.4a  
*,*5sV  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ebVfny$D  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 4 /vQ=t  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 P#1y  
Z|wDM^Lf  
y>1 8)8  
4rdrl  
场追迹结果(电磁场探测器) ~WLsqP5Y~a  
1S#bV} !  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 86VuPV-  
4D$E  
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