首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
讯技光电&黉论教育
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2023-01-18 08:30
高NA物镜聚焦的分析
^y6Pkb P
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
$fKwJFr
mFF]d
4_.k Q"'DH
3n:<oOV
建模任务
Z `\7B e
oZCi_g 5i
KR^peWR
概观
PYHm6'5BtB
z~ u@N9M
|I\A0a a
光线追迹仿真
18A&[6"!
'*,4F'
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
_SP u`=~K
3+|6])Hi1
•点击Go!
jATU b-
•获得3D光线追迹结果。
e4)gF*
`u>BtAx8
rFy9K4D
ygfqP
光线追迹仿真
Fcr@Un'
c&Zm>Qo[
=-VV`
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
;W+-x]O
•单击Go!
^,KR 0
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
u3. PHZ
ai`:HhE
&vF "I'V
I@S<D"af
场追迹仿真
QNJG}Upl
-.*\J|S@g
ppnj.tLz;r
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
bp$jD
•单击Go!
<C>i~<`d
/*O,T
(KQt%]
}1W$9\%
场追迹结果(摄像机探测器)
Q]7Q
aBI]' D;
ww,c)$
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
!xc7~D@om(
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
@Hf}PBb
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
YQ)m?=+J
~/x42|t
".0W8=
h^0mjdSp,
场追迹结果(电磁场探测器)
Ax^'unfQ:
:9YQX(l8
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
`l+SJLyJ%
0\#Q;Z2
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计