GLAD：光刻成像系统的建模

4/ 0/#G#j   该系统由一个聚光镜、一个倾斜球体和一个Schwartzchild设计的中继镜组成。光源被成像到中继镜的光瞳中。光束在物体掩模处会聚，在中继透镜的光瞳处形成点像。在中继透镜的瞳孔处，多条条纹图案将形成一个中心波瓣和侧波瓣。如下图所示： I}I}K~se*   $&c<T4$d    掩模上的条形图案在中继瞳孔中产生旁瓣 $a)JCErN    窄条产生宽的旁瓣，仅部分通过中继入口瞳孔 {EZFx,@t    宽条产生较窄的旁瓣，更容易通过中继入口瞳孔 h,Y{t?Of    部分通过旁瓣会产生部分解析 `,hW;p>-   ,7WK<0   系统描述 uVoF<= {   ze-TBh/   本例介绍了如何采用全局衍射分析对部分相干进行建模。如上图所示，整体装置是一个科勒照明系统，其中有一个聚光元件能够将非相干光源的光进入转像透镜的孔径中。在一个经典的科勒照明系统中，点光源通过一个聚光镜成像在转像系统的光瞳中。光源照亮物体掩膜面，并在最后的成像面上得到适当的放大。为了对光束合理采样，光源放在物的共轭点处，这样在光源面上，点光源将是有一定维度的，而不是像理想点光源那样，会引起混沌。对一个具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。如果光源足够大，大到可以填满转像透镜的孔径的话，所成的像将是非相干的。 v[p/c.p?i   MLEIx()   模拟结果 m&(%&}g   I 0x`H)DA   三栅条图样的部分相干成像 ski1f      /7!_un9   两组七栅条图样建模对比 1D3dYVE

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