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GLAD:光刻成像系统的建模
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infotek
2023-01-10 08:35
GLAD:光刻成像系统的建模
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该系统由一个聚光镜、一个倾斜球体和一个Schwartzchild设计的中继镜组成。光源被成像到中继镜的光瞳中。光束在物体掩模处会聚,在中继透镜的光瞳处形成点像。在中继透镜的瞳孔处,多条条纹图案将形成一个中心波瓣和侧波瓣。如下图所示:
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掩模上的条形图案在中继瞳孔中产生旁瓣
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窄条产生宽的旁瓣,仅部分通过中继入口瞳孔
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宽条产生较窄的旁瓣,更容易通过中继入口瞳孔
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部分通过旁瓣会产生部分解析
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系统描述
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本例介绍了如何采用全局衍射分析对部分相干进行建模。如上图所示,整体装置是一个科勒照明系统,其中有一个聚光元件能够将非相干光源的光进入转像透镜的孔径中。在一个经典的科勒照明系统中,点光源通过一个聚光镜成像在转像系统的光瞳中。光源照亮物体掩膜面,并在最后的成像面上得到适当的放大。为了对光束合理采样,光源放在物的共轭点处,这样在光源面上,点光源将是有一定维度的,而不是像理想点光源那样,会引起混沌。对一个具有一定尺寸的光源,它所成的像就是部分相干的。如果光源足够大,大到可以填满转像透镜的孔径的话,所成的像将是非相干的。
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模拟结果
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三栅条图样的部分相干成像
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两组七栅条图样建模对比
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