GLAD：光刻成像系统的建模

*3r{s'm   该系统由一个聚光镜、一个倾斜球体和一个Schwartzchild设计的中继镜组成。光源被成像到中继镜的光瞳中。光束在物体掩模处会聚，在中继透镜的光瞳处形成点像。在中继透镜的瞳孔处，多条条纹图案将形成一个中心波瓣和侧波瓣。如下图所示： Kk t9M\   p@x1B &Z    掩模上的条形图案在中继瞳孔中产生旁瓣 A"`(^#a    窄条产生宽的旁瓣，仅部分通过中继入口瞳孔 (y;8izp9!    宽条产生较窄的旁瓣，更容易通过中继入口瞳孔 {S;/+X,    部分通过旁瓣会产生部分解析 ~IP3~m D   EPMdR6 6   系统描述 d}e/f)(   _m8JU   本例介绍了如何采用全局衍射分析对部分相干进行建模。如上图所示，整体装置是一个科勒照明系统，其中有一个聚光元件能够将非相干光源的光进入转像透镜的孔径中。在一个经典的科勒照明系统中，点光源通过一个聚光镜成像在转像系统的光瞳中。光源照亮物体掩膜面，并在最后的成像面上得到适当的放大。为了对光束合理采样，光源放在物的共轭点处，这样在光源面上，点光源将是有一定维度的，而不是像理想点光源那样，会引起混沌。对一个具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。如果光源足够大，大到可以填满转像透镜的孔径的话，所成的像将是非相干的。 _O*"_^6   |=CV.Su   模拟结果 7<?~A6   3cztMi   三栅条图样的部分相干成像 9azk(OL6      <^,5z!z}   两组七栅条图样建模对比 (HZzA7eph

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