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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 电子枪镀膜时电流会变大 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

小书瑶 2022-12-28 10:40

电子枪镀膜时电流会变大

各位大佬,这边想请问一下,比如镀膜机电子枪预热时设定的电流是35,待到预热完毕挡板打开开始镀膜时,电流会马上变大到70、80,远远超过设定值,导致镀膜速率由原来的5变快到十几二十,镀出来颜色都不对劲了。上个星期五还是正常的,这个星期开始就有异常了,每一炉都是这样。请问这是为什么呢?
zm8339 2022-12-28 13:30
预融参数,pid设置等不合理导致
小书瑶 2022-12-28 14:38
回复1楼:设置各方面检查过了,跟之前一样没有修改过的
ouyuu 2022-12-29 17:40
水晶仪的模拟量输出跑偏了吧
小书瑶 2022-12-30 11:46
回复3楼:早上已解决,谢谢!①重启了XTC和工控电脑②进入镀膜软件设置里禁用了离子源的参数设置。然后镀膜就恢复正常了,我也搞不懂是①还是②起效果,个人觉得可能是重启起效果
谭健 2022-12-31 22:35
路过看看
coldking 2023-01-03 10:31
看一下起始的鍍率是不是很低,如果很低電流就會增加
小书瑶 2023-01-04 09:32
回复6楼:这边如果膜料全打空的时候镀率就很低,但是电流不会自己增加,电流值设定了多少就是多少的
bilong 2023-02-01 19:36
学习了,感谢分享
renlgj 2024-06-25 13:41
学习了,感谢分享
fd770a 2024-06-26 13:13
路过看看
gaofei555 2024-06-26 18:09
小书瑶:回复3楼:早上已解决,谢谢!①重启了XTC和工控电脑②进入镀膜软件设置里禁用了离子源的参数设置。然后镀膜就恢复正常了,我也搞不懂是①还是②起效果,个人觉得可能是重启起效果 (2022-12-30 11:46)  wH"kk4^  
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学习了
谭健 2024-06-26 21:11
预融参数,pid设置等不合理导致
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