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infotek 2022-12-27 08:22

光栅区中的光栅方向

]cO$E=W  
摘要 5kL#V  
C*6bR? I9  
-%QEzu&  
(x*2BEn|  
在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 Y;F,GxR}  
     YJtOdgG|q  
建模任务 G%x,t -  
"N[gMp6U  
Se]t;7j  
`&&6-/  
 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ ,:Y=,[n  
─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 8aM% 9OU  
─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 I^C ]6D{  
\2VZkVO9  
示例 !nD[hI8P  
`S!uj <-  
3 T#3<gqM[  
     ?[|4QzR  
通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 CEJG=*3  
─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 5'}!v  
─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 tGy%n[ \  
─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 u/{_0-+P  
h"%,eW|^  
关于z轴旋转的图示 g_U*_5doA  
Ns7l-mb  
Sv]"Y/N  
     =P+wp{?AN|  
使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 C@:N5},]  
    光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 5<'Jd3N{&  
'2B0D|r"a  
指向(关于z轴旋转):0° ZI:d&~1i1  
,2L,>?r6  
r -DD*'R  
     }t{^*(  
注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 vf'jz`Z  
R5YtCw]i=  
指向(关于z轴旋转): 30° P_}_D{G  
     \$++.%0  
78}%{7YY  
     :<|fZa4!"  
注意:方向角度的定义为: ,kuFTWB  
─ 关于界面坐标轴。 (IWd?,H,n  
─ 逆时针方向。 91'^--N  
>L3p qK   
指向(关于z轴旋转): -90° $TUC?e9"h  
{:!SH6 ff  
"PM:&v  
     J-,X0v"  
注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 p5 PON0dS  
 6}ewBAq%  
关于y轴旋转180°示例 8&AorYw[  
"alO"x8t  
e5y`CXX  
#k]0[;1os  
使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 YmF(o  
{+59YO  
关于y轴旋转180°(未选中) 'Z%aBCM  
z^a?t<+  
%bETr"Xom  
/60=N `i  
注意: }|,\ ?7,  
    默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 AZP>\Dq  
    坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: .}opmI  
─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 YS6az0ie  
─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 aj~@r3E ;  
U*l>8  
关于y轴旋转180(选中) DO*C]   
u+I3VK_)  
eJdQ7g[>  
%&S]cEw  
注意: l"g%vS,;`  
    矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. $G.|5sEk  
     atnbM:t  
例1和例2的附加信息 alD|-{Bf  
=?x=CEW  
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