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2022-12-26 09:08 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
%gnM(pxl 内容简介 6Es?
MW= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 3]-_q"Co4f 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 l"n{.aL 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 _2b tfY1U h;5LgAY|v
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 |^28\sm2e 目录 G8W#<1LE Preface 1 Knhp*V? 内容简介 2 iR$<$P5 目录 i &'l>rD^o 1 引言 1 zi~5l#I 2 光学薄膜基础 2 KRJLxNr 2.1 一般规则 2 8@NH%zWBp 2.2 正交入射规则 3 $./bjV% 2.3 斜入射规则 6 D@EO=08<b 2.4 精确计算 7 #k3t3az2{ 2.5 相干性 8 .oEmU+ 2.6 参考文献 10 -/]W+[ 3 Essential Macleod的快速预览 10 E{HY!L[ 4 Essential Macleod的特点 32 y}C`&nW[= 4.1 容量和局限性 33 g~UUP4<$" 4.2 程序在哪里? 33 HE<1v@jW 4.3 数据文件 35 yGg,$WM 4.4 设计规则 35 DoC(Z)o 4.5 材料数据库和资料库 37 PL{Q!QJK' 4.5.1材料损失 38 sBv>E}*R 4.5.1材料数据库和导入材料 39 [<`SfE 4.5.2 材料库 41 /S:F)MO9 4.5.3导出材料数据 43 B7\k< Nit0 4.6 常用单位 43 `P Xz 4.7 插值和外推法 46 4[ryKPa, 4.8 材料数据的平滑 50 z9W`FBg 4.9 更多光学常数模型 54 a:~@CUD
>I 4.10 文档的一般编辑规则 55 D[O{(<9 4.11 撤销和重做 56 1e xl0]- 4.12 设计文档 57 Bh&Ew
4.10.1 公式 58 <"o"z2 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 $-+/$! 4.10.3 沉积密度 59 0=w K:Ex 4.10.4 平行和楔形介质 60 RkFD*E$ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 &iN--~}!$ 4.10.4 性能 61 @1zQce> 4.10.5 保存设计和性能 64 2?@j~I=s2h 4.10.6 默认设计 64 }U@m*dEG 4.11 图表 64 9>/wUQs!] 4.11.1 合并曲线图 67 wwKh CmH 4.11.2 自适应绘制 68 f[gqT
yiP 4.11.3 动态绘图 68 -{h 4.11.4 3D绘图 69 Bs`$ i ;& 4.12 导入和导出 73 DN4#H` 4.12.1 剪贴板 73 ,n2i@?NHZ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 0;,IKXK6X 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 dQy>Nmfy 4.13 背景 77 Hy{
Q#fq 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 V+?]S 4.15 生成Rugate 84 ^EVc 95|Z 4.16 参考文献 91 5CAR{|a 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 6VD1cb\lF 5.1 Jobs 92 4t4olkK3Oa 5.2 创建一个新Job(工作) 93 h72UwJ2rw 5.3 输入材料 94 Oc9#e+_& 5.4 设计数据文件夹 95 dAJ,x
=` 5.5 默认设计 95 `Lyq[zg8 6 细化和合成 97 Z: 2I/ 6.1 优化介绍 97 89o)M5KQ 6.2 细化 (Refinement) 98 ,1Qd\8N9 6.3 合成 (Synthesis) 100 %u?HF4S' 6.4 目标和评价函数 101 Np)3+!^1" 6.4.1 目标输入 102 HOt>}x 6.4.2 目标 103 j-]&'-h}# 6.4.3 特殊的评价函数 104 _i}wK?n 6.5 层锁定和连接 104 B68H&h]D#' 6.6 细化技术 104 (7lBID4 6.6.1 单纯形 105 %R_{1GrL'c 6.6.1.1 单纯形参数 106 8YY|;\F)J~ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 _BnTv$.P 6.6.2.1 Optimac参数 108 9-*NW0 6.6.3 模拟退火算法 109 \zXlN 6.6.3.1 模拟退火参数 109 e^).W3SK] 6.6.4 共轭梯度 111 dOa!htx] 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ,S[K{y< 6.6.5 拟牛顿法 112 h
-_&MD/J 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 a7H0!9^h 6.6.6 针合成 113 OQ_stE2i 6.6.6.1 针合成参数 114 h~HB0^| 6.6.7 差分进化 114 jStmS2n 6.6.8非局部细化 115 exR^/|BR 6.6.8.1非局部细化参数 115 <v]9lw' 6.7 我应该使用哪种技术? 116 DrS~lTf=> 6.7.1 细化 116
TmEYW< 6.7.2 合成 117 T!q_/[i~7 6.8 参考文献 117 SVP:D3) 7 导纳图及其他工具 118 #,f{Ok+ 7.1 简介 118 _[Gb)/@mM 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 v<rF'D2 7.2.1 四分之一波长规则 119 2V#6q,2 7.2.2 导纳图 120 C77D{@SM 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 vM0_>1nN 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 A-E+s~U8 7.5 斜入射导纳图 141 f|0lj 7.6 对称周期 141 8q_0,>w% 7.7 参考文献 142 yM$J52#d# 8 典型的镀膜实例 143 I/u9RmbU 8.1 单层抗反射薄膜 145 DMgBcP 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 6o}V@UzqV 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 \tt'm\_ 8.4 W-膜层 148 :=g.o;(/N 8.5 V-膜层 149 w[fDk1H) 8.6 V-膜层高折射基底 150 y]qsyR18i 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 P;foK)AM 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Z}Cqd?_') 8.9 四层抗反射薄膜 153 3l:XhLOj 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 w-FnE}"l 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 0%Q9}l#7 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Y^lQX~I2{ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 N)OCSeh 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 TL-i=\{L:d 8.15十五层宽带抗反射膜 159 H:}}t]E 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 }Jxq'B 8.17 1/4波长堆栈 162 u*R7zY 8.18 陷波滤波器 163 *re 44 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 XoL[
r67Z 8.20 褶皱 165 V:^H4WvL\W 8.21 消偏振分光器1 169 rZC3\,W 8.22 消偏振分光器2 171 Lo3-X 8.23 消偏振立体分光器 172 $adq7 8.24 消偏振截止滤光片 173 19y
0$e_V 8.25 立体偏振分束器1 174 lSCY5[? 8.26 立方偏振分束器2 177 G.jQX'%4QG 8.27 相位延迟器 178 (KF7zP 8.28 红外截止器 179 LD.Ck6@ 8.29 21层长波带通滤波器 180 E`E'<"{Yd 8.30 49层长波带通滤波器 181 _Xh=&(/8@ 8.31 55层短波带通滤波器 182 cIZc:
8.32 47 红外截止器 183 gduxA/aT 8.33 宽带通滤波器 184 m# ad6
\ 8.34 诱导透射滤波器 186 x`2pr 8.35 诱导透射滤波器2 188 D0%FELG05 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 {CP o<lz 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 #eEvF 8.35 增益平坦滤波器 193 @
R'E?| 8.38 啁啾反射镜 1 196 ~I)uWo 8.39 啁啾反射镜2 198 6Kht:WE 8.40 啁啾反射镜3 199 /#\?1)jCK 8.41 带保护层的铝膜层 200 cyc>_$/;1 8.42 增加铝反射率膜 201 -- S"w@ 8.43 参考文献 202 Ec.)!Hu 9 多层膜 204 )kA2vX^=Z 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 'Kd7l}e! 9.2 内部透过率 204 h#R&=t1,^ 9.3 内部透射率数据 205 PJwEA 9.4 实例 206 #_p 9.5 实例2 210 _h~p:= 9.6 圆锥和带宽计算 212 Lw*1 .~ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 +3?`M<L0 10 光学薄膜的颜色 216 }~GV'7d1 10.1 导言 216 p2a?9R 10.2 色彩 216 2VMX:&3 5J 10.3 主波长和纯度 220 8l?w=)Qy 10.4 色相和纯度 221 R`3x=q
10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 uE"2kn 10.6 色差 226 CRd_} 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 g5<ZS3tQ 10.8 颜色渲染指数 234 A?sNXhh 10.9 色差计算 235 #mTMt;x 10.10 参考文献 236 /MqP[*L 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 m`a>,%}P" 11.1 短脉冲 238 JchA=n 11.2 群速度 239 }{#7Z8 11.3 群速度色散 241 s#`cX0L) 11.4 啁啾(chirped) 245 @2|G|C/]O} 11.5 光学薄膜—相变 245 KMe.i' 11.6 群延迟和延迟色散 246 clC~2: 11.7 色度色散 246 F]Pul|.l 11.8 色散补偿 249 .Wh6(LDY( 11.9 空间光线偏移 256 c}8 -/P= 11.10 参考文献 258 %N1T{ 12 公差与误差 260
Tu'E{Hw 12.1 蒙特卡罗模型 260 W=M<
c@ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 i63?" 12.2.1 误差工具 267 IwnYJp:9v 12.2.2 灵敏度工具 271 &LwJ'h+nd 12.2.2.1 独立灵敏度 271 f0g6g!&gf 12.2.2.2 灵敏度分布 275 =^"~$[z( 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 .0KOnLdK 12.3 参考文献 276 h#;?9DP 13 Runsheet 与Simulator 277 &F9OZMK= 13.1 原理介绍 277 )*+u\x_Hx 13.2 截止滤光片设计 277 J;7s/YH^ 14 光学常数提取 289 mnQal>0~ 14.1 介绍 289
]&/0 14.2 电介质薄膜 289 tvK rc 14.3 n 和k 的提取工具 295 7kOE/>P? 14.4 基底的参数提取 302 ?F!W# 14.5 金属的参数提取 306 y K=S!7p\ 14.6 不正确的模型 306 c-v*4b/d 14.7 参考文献 311 EOofa6f&l 15 反演工程 313 pEJ#ad 15.1 随机性和系统性 313 :R{x]sv 15.2 常见的系统性问题 314 PlF89- 15.3 单层膜 314 ;cnnqT6 15.4 多层膜 314 +q$xw}+PK 15.5 含义 319 HarYV : 15.6 反演工程实例 319 k`{RXx 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 <tGI]@Nwk 15.6.2 反演工程提取折射率 327 p`pg5R 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 4|I7:~ 16.1 光学性质的热致偏移 329 i=x.tsJ:hB 16.2 应力工具 335 AfuXu@UZ_/ 16.3 均匀性误差 339 i#Ne'q;T 16.3.1 圆锥工具 339 5F% h>tqh 16.3.2 波前问题 341 z0=Rp0_W 16.4 参考文献 343 J~M H_N 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 U#OWUZ 17.1 引言 345 X!7cz t 17.2 操作数 345 ab8oMi`z
18 如何在Function中编写脚本 351 XPGL3[w\V 18.1 简介 351 F]/L! 18.2 什么是脚本? 351 -ryDsq 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 myEGibhK 18.4 基础 352 <W=~UUsn 18.4.1 Classes(类别) 352 w++B-_ 18.4.2 对象 352 CM+F7#T?n 18.4.3 信息(Messages) 352 Q$/V) 0 18.4.4 属性 352 l{M;PaJ`} 18.4.5 方法 353 c13vEn!c 18.4.6 变量声明 353 Dlqn~ 18.5 创建对象 354 V[BY/<z)A 18.5.1 创建对象函数 355 !C9ps]6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 3ybK6!g`[ 18.5.3 丢弃对象 356 wrZ7Sr!/V 18.5.4 总结 356 >!:$@!6L 18.6 脚本中的表格 357 ,6S_&<{ 18.6.1 方法1 357 i}v}K'` 18.6.2 方法2 357 34/]m/2NZK 18.7 2D Plots in Scripts 358 +#de8/x 18.8 3D Plots in Scripts 359 aYv'H 18.9 注释 360 )*psDjZ7* 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 =F",D= 18.11 一个更高级的脚本 362 l044c,AW( 18.12 <esc>键 364 0A#9C09 18.13 包含文件 365 }1X11+/W 18.14 脚本被优化调用 366 s$SU
vo1J 18.15 脚本中的对话框 368 zN?$Sxttx 18.15.1 介绍 368 i?1js ! 8 18.15.2 消息框-MsgBox 368 >
{'5>6u 18.15.3 输入框函数 370 X+?Il)Bv 18.15.4 自定义对话框 371 D:ql^{~ 18.15.5 对话框编辑器 371 glOqft&>` 18.15.6 控制对话框 377 ;PP_3` 18.15.7 更高级的对话框 380 KZp,=[t 18.16 Types语句 384 CrRQPgl+u 18.17 打开文件 385 al3BWRq'f 18.18 Bags 387 -Fp!w "=T 18.13 进一步研究 388 zR3lX}g 19 vStack 389 Z>>gXh<e[ 19.1 vStack基本原理 389 !:g>CDA 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ;*<{*6;=? 19.3 五棱镜 393 P ],) 19.4 光束距离 396 *783xEF>f 19.5 误差 399 rC1qGzg\a 19.6 二向分色棱镜 399 :uU]rBMo 19.7 偏振泄漏 404 1{\,5U& 19.8 波前误差—相位 405 RJ=c[nb 19.9 其它计算参数 405 +7lRP)1R 20 报表生成器 406 .Y^d9. 20.1 入门 406 qJbhPY8Ak 20.2 指令(Instructions) 406 @Le ^- v4 20.3 页面布局指令 406 vJ'yz#tl9 20.4 常见的参数图和三维图 407 -Z/6;2Q 20.5 表格中的常见参数 408 +_-)0[+p 20.6 迭代指令 408 i SAidK, 20.7 报表模版 408 l?yZtZ8 20.8 开始设计一个报表模版 409 Mi%1+ 21 一个新的project 413 H(5ui`' s 21.1 创建一个新Job 414 6>LQGO 21.2 默认设计 415 Gg3?2h"d 21.3 薄膜设计 416 &Gy'AUz- 21.4 误差的灵敏度计算 420 l b1sV 21.5 显色指数计算 422 x jP" 'yU 21.6 电场分布 424 ,,C~j`F 后记 426 ]X"i~$T1 S [attachment=115805]有兴趣扫码加微 tx|"v|&e2 k?|zIu
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