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2022-12-26 09:08 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
9(DS"fgC 内容简介 Y;d$x}dh Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $Zp\^cIE+ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 .w\AyXp 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 pb1/HhRR^n cq+|fg~Yy
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 $5ZBNGr 目录 XRCiv Preface 1 x?Doe`/6? 内容简介 2 f/RzE 目录 i R9nW5f
Nf 1 引言 1 yB\}e'J^ 2 光学薄膜基础 2 Tz3 L#0:j 2.1 一般规则 2 ,\q9>cZ! 2.2 正交入射规则 3 >&3M
#s(w 2.3 斜入射规则 6 "hi?/B#d 2.4 精确计算 7 \\XvVi:B 2.5 相干性 8 6gV-u~j [# 2.6 参考文献 10 P:vAU8d> 3 Essential Macleod的快速预览 10 M eo(|U 4 Essential Macleod的特点 32 ;75K:_ 4.1 容量和局限性 33 [ZU6z?Pf 4.2 程序在哪里? 33 <7R\# 4.3 数据文件 35
&2[OH}4 4.4 设计规则 35 &^Q-:Kxs8 4.5 材料数据库和资料库 37 mH2XwA| 4.5.1材料损失 38 nI.K|hU:P 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ;X,|I) 4.5.2 材料库 41 t?f2*N: 4.5.3导出材料数据 43 P_6oMR 4.6 常用单位 43 Ya{$:90(4 4.7 插值和外推法 46 Bee`Pp2 4.8 材料数据的平滑 50 esU9 4.9 更多光学常数模型 54 @dei}!e 4.10 文档的一般编辑规则 55 m/uBM6SXx 4.11 撤销和重做 56 cO%-Av~P 4.12 设计文档 57 {Qbg'|HO=l 4.10.1 公式 58 V:HxRMF2X 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 chk1tFV 4.10.3 沉积密度 59 -J*BY2LU3f 4.10.4 平行和楔形介质 60 W5 ^eCYHoi 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 yXP+$oox9 4.10.4 性能 61 S?ELFq(g 4.10.5 保存设计和性能 64 V
.+ mK|) 4.10.6 默认设计 64 fNe9as 4.11 图表 64 5r)ndW,aN 4.11.1 合并曲线图 67 xa#;<8 iV 4.11.2 自适应绘制 68 +.^BM/z^O 4.11.3 动态绘图 68 ChzKwYDY 4.11.4 3D绘图 69 D*.U? 4.12 导入和导出 73 j<|I@0 4.12.1 剪贴板 73 {2"8^; 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Gy 0 m 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 -{[5P! 4.13 背景 77 e>z 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 APY^A6^:j 4.15 生成Rugate 84 *UBukn 4.16 参考文献 91 VRden>vKN 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 W;%$7&+0 5.1 Jobs 92 8Ld{Xg 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ,F}\njL
5.3 输入材料 94 F[am2[/<A 5.4 设计数据文件夹 95 Sd[%$)scC 5.5 默认设计 95 i2.g}pM.A 6 细化和合成 97 2OT
RP4U 6.1 优化介绍 97 -u+@5K;^Y 6.2 细化 (Refinement) 98 v'3.`aZ! 6.3 合成 (Synthesis) 100 i/UDda"E 6.4 目标和评价函数 101 M~'4>h} 6.4.1 目标输入 102 ) 0NKL:u 6.4.2 目标 103 24{Tl
q3 6.4.3 特殊的评价函数 104 o>4mkh[3 6.5 层锁定和连接 104 >Sc)?[H 6.6 细化技术 104 b0X<)1O 6.6.1 单纯形 105 'k^d-Mh>h 6.6.1.1 单纯形参数 106 'NaNh0y 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 _{Z!$q6, 6.6.2.1 Optimac参数 108 Y=G9|7*lO 6.6.3 模拟退火算法 109 s"OP[YEke/ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 rK` x< 6.6.4 共轭梯度 111 Nk
JOD3>U 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 `G/%U~ 6.6.5 拟牛顿法 112 &~4;HjS 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 oVZI([O 6.6.6 针合成 113 b0VEMu81k 6.6.6.1 针合成参数 114 (U_`Q1Jo 6.6.7 差分进化 114 y5@#leM 6.6.8非局部细化 115 VrQgn9L 6.6.8.1非局部细化参数 115 |)TI&T;k 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ^Pwtu 6.7.1 细化 116 S7!+8$2mc_ 6.7.2 合成 117 Fh8 8DDJ 6.8 参考文献 117 8U8%XI EJ 7 导纳图及其他工具 118 g2RrBK, 7.1 简介 118 gm^j8B 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ~Un+Zs%24 7.2.1 四分之一波长规则 119 Ga<Uvr%+ 7.2.2 导纳图 120 0Y>5& 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 4*0C_F@RX 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 R!)3{cjU@ 7.5 斜入射导纳图 141 lIhP\:;S& 7.6 对称周期 141 ?T1vc 7.7 参考文献 142 KIRCye 8 典型的镀膜实例 143 X&LaAqlSG 8.1 单层抗反射薄膜 145 *;ehSg9 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 SAVA6
64 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 gPE`mE 8.4 W-膜层 148 cy-o@U"s8 8.5 V-膜层 149 B3^F
$6= 8.6 V-膜层高折射基底 150 AT6o~u!WU 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ayGcc` 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 A4~-{.w= 8.9 四层抗反射薄膜 153 ?<;9=l\Q 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 G-6k[-@-v 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 }AW"2<@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 !jQj1QZR` 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 PtTL
tiE~ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 $,.XPK5Qu 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ""f'L,`{. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 yR3pK
0Y(? 8.17 1/4波长堆栈 162 u~xfI[8C 8.18 陷波滤波器 163 !qu/m B 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 +^<s' 8.20 褶皱 165 !kxJ&VmeF 8.21 消偏振分光器1 169 A.9ZFFz 8.22 消偏振分光器2 171 /2f 8.23 消偏振立体分光器 172 +$YHdgZ. 8.24 消偏振截止滤光片 173 JT p+&NS 8.25 立体偏振分束器1 174 g:fkM{"{ 8.26 立方偏振分束器2 177 Jn&^5,J]F8 8.27 相位延迟器 178 Nov)'2g7G 8.28 红外截止器 179 Ro@=oyLE 8.29 21层长波带通滤波器 180 EJW}&e/ 8.30 49层长波带通滤波器 181 XiL[1JM
8.31 55层短波带通滤波器 182 G"F)t(iX 8.32 47 红外截止器 183 p:NIRs 8.33 宽带通滤波器 184 OQ&'3hv{ 8.34 诱导透射滤波器 186 I~ 1Rt+: 8.35 诱导透射滤波器2 188 h'nXV{N0 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 V7"^.W* 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 )Drif\FF) 8.35 增益平坦滤波器 193 FeT|
Fh:L 8.38 啁啾反射镜 1 196 4aiI&, 8.39 啁啾反射镜2 198 *!.anbo@?z 8.40 啁啾反射镜3 199 bOolBKV 8.41 带保护层的铝膜层 200 9vckQCLM 8.42 增加铝反射率膜 201 P:>]a$Is 8.43 参考文献 202 bo-L|R&O 9 多层膜 204 h0&Oy52
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 `F$lO2 #k 9.2 内部透过率 204 ]]NTvr 9.3 内部透射率数据 205 !%'"l{R 9.4 实例 206 ny"z<N&}/ 9.5 实例2 210 QuIZpP= 9.6 圆锥和带宽计算 212 3UX6 Y]E3 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 iN9G`qF3!Q 10 光学薄膜的颜色 216 E*x ct-m# 10.1 导言 216 ZY|$[>X! 10.2 色彩 216 0!b9%I=j 10.3 主波长和纯度 220 /5Sd?pW; 10.4 色相和纯度 221 !'#GdRstv 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 q#O8Fv 10.6 色差 226 5.LfN{gE) 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 <Gna}ALkg 10.8 颜色渲染指数 234 |=:<[FU 10.9 色差计算 235 w! PguP 10.10 参考文献 236 jp7cPpk:LG 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ]*hH.ZBY"^ 11.1 短脉冲 238 w$Z%RF'p 11.2 群速度 239 *\Lr]6k 11.3 群速度色散 241 ^ X-6j[". 11.4 啁啾(chirped) 245 @R Jr
~y0 11.5 光学薄膜—相变 245 Z7NR%u_|[ 11.6 群延迟和延迟色散 246 dJe
3DW : 11.7 色度色散 246 :'FCeS9 11.8 色散补偿 249 =6
3tp 9 11.9 空间光线偏移 256 &x\cEI)! 11.10 参考文献 258 \YSprXe 12 公差与误差 260 v_Hy:O}R 12.1 蒙特卡罗模型 260 i<(~J4}b 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 [tR b{JsUd 12.2.1 误差工具 267 ME66BWg{ 12.2.2 灵敏度工具 271 I+,CiJ|4 12.2.2.1 独立灵敏度 271 WXY-]ir. 12.2.2.2 灵敏度分布 275 uvAJJIae' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 !4T!@"# 12.3 参考文献 276 Z]w?RL 13 Runsheet 与Simulator 277 fB 0X9iV6j 13.1 原理介绍 277 yJ="dEn>i" 13.2 截止滤光片设计 277 y\})C-& 14 光学常数提取 289 8Wo!NG:V5 14.1 介绍 289 dvM%" k 14.2 电介质薄膜 289 K
$WMrp 14.3 n 和k 的提取工具 295 (I#mo2 14.4 基底的参数提取 302 *I[tIO\ 14.5 金属的参数提取 306 G+2 ,x0( 14.6 不正确的模型 306 3~{0X- 14.7 参考文献 311 ]V)*WP#a 15 反演工程 313 e<qfM&* 15.1 随机性和系统性 313 o70] F 15.2 常见的系统性问题 314 l"7#(a 15.3 单层膜 314 RL)~J4Y 15.4 多层膜 314 yzMGZi`ut 15.5 含义 319 rHi4Pw{L 15.6 反演工程实例 319 &KY!a0s 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ?\)h2oi!F5 15.6.2 反演工程提取折射率 327 1:r#m- \ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 \._|_+HiW 16.1 光学性质的热致偏移 329 do*aE 16.2 应力工具 335 K&,";9c 16.3 均匀性误差 339 *<[zG7+&[ 16.3.1 圆锥工具 339 z4~p(tl 16.3.2 波前问题 341 Y;'SD{On 16.4 参考文献 343 N}1yDN 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^KnK
\ 17.1 引言 345 d"n"A?nXh 17.2 操作数 345 ef)zf+o 18 如何在Function中编写脚本 351 a6Joa&`dv 18.1 简介 351 vt nT 18.2 什么是脚本? 351 o@7U4#E 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
Bnk' 18.4 基础 352 'kco.
1{ 18.4.1 Classes(类别) 352 f$ tm<:)Y 18.4.2 对象 352
RehraY3q 18.4.3 信息(Messages) 352 J .VZD 18.4.4 属性 352 awI{%u_(nA 18.4.5 方法 353 lD, ~% 18.4.6 变量声明 353 j@w1S[vt 18.5 创建对象 354 9UVT]acq 18.5.1 创建对象函数 355 V#5$J Xp 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 $:\`E56\ 18.5.3 丢弃对象 356 Z zjCS2U
18.5.4 总结 356 2gZ nrU 18.6 脚本中的表格 357 gWoUE7.3` 18.6.1 方法1 357 ,tcUJ}l 18.6.2 方法2 357 0~K&P#iR 18.7 2D Plots in Scripts 358 r/HCWs| 18.8 3D Plots in Scripts 359 `uUzBV.FR 18.9 注释 360 3kk^hvB+f 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 "wuO[c&%/ 18.11 一个更高级的脚本 362 C\aHr! 18.12 <esc>键 364 t=xEUOQAn 18.13 包含文件 365 dgIH`<U$ 18.14 脚本被优化调用 366 F>3 o0ke} 18.15 脚本中的对话框 368 #r]Z2Y] 18.15.1 介绍 368 tXH;4K@ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 wwywiFj 18.15.3 输入框函数 370 zA8@'`Id 18.15.4 自定义对话框 371 *coUHbP9> 18.15.5 对话框编辑器 371 \D(3~y> 18.15.6 控制对话框 377 UAT\ .
18.15.7 更高级的对话框 380 {wsJ1v8! 18.16 Types语句 384 Rw%?@X3m] 18.17 打开文件 385 1kw*Q: 18.18 Bags 387 xY#J((-iH 18.13 进一步研究 388 (XW'1@b 19 vStack 389 =JgR c7 19.1 vStack基本原理 389 G_J}^B*?%v 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 M?UUT8, 19.3 五棱镜 393 ,z>-_HOnw 19.4 光束距离 396 abm 3q!a- 19.5 误差 399 DKu$u ]Z 19.6 二向分色棱镜 399 <Q/)SN6_E 19.7 偏振泄漏 404 [A/2
M s 19.8 波前误差—相位 405 ` =P_ed%&' 19.9 其它计算参数 405 op5`#{ 20 报表生成器 406 r A(A$VR 20.1 入门 406 lTP#6zqfv 20.2 指令(Instructions) 406 N`,\1hHMT 20.3 页面布局指令 406 `G/g/>y 20.4 常见的参数图和三维图 407 kj[boxN 20.5 表格中的常见参数 408 Z|$DchC
20.6 迭代指令 408 iiMS3ueF 20.7 报表模版 408 T|wz%P<J 20.8 开始设计一个报表模版 409 J sz=5` 21 一个新的project 413 N+B!AK0. 21.1 创建一个新Job 414 Ycspdl+(S$ 21.2 默认设计 415 E
V)H>kM 21.3 薄膜设计 416 `dG;SM$T, 21.4 误差的灵敏度计算 420 $zp|()_ 21.5 显色指数计算 422
IPK1g3Z 21.6 电场分布 424 ?L7DVwVa,I 后记 426 e4SS'0| [attachment=115805]有兴趣扫码加微 2O
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