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szzhongtu5 2022-12-15 17:46

基于激光干涉仪技术的精密线性测量系统

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数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点,广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度,需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查,这样才能保证加工产品的质量。线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。 ~cQP4 kBD]  
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线性测量构建 7DXT1+t  
进行线性测量需使用到“线性干涉镜”(由分光镜和角锥反射镜A组 成)和“线性反射镜”(角锥反射镜B)。激光从SJ6000主机(激光头)出射,通过分光 镜后将分成两束激光,一束激光为通过角锥反射镜A的参考光,另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光,通过移动“线性反射镜”可实现运动轴的线性测量。 p%_r0  
[attachment=115716] t k2B\}6  
线性测量原理构建图
[attachment=115717] lD. PNwM  
水平轴的线性测量示意图
[attachment=115718] @D Qg1|m  
垂直轴的线性测量示意图
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SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量,主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。
[attachment=115719] ok2$ p  
[attachment=115720] ':kBHCR7  
数控机床的线性测量
[attachment=115721] '9]%#^[Q  
数控机床倾斜轴的线性测量
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线性测量步骤: NhS0D=v6  
1、设置激光器系统以执行线性测量; V!a|rTU6  
2、使激光束与机床的运动轴准直; CSR 6  
3、启动自动环境补偿功能,确保在软件中输入正确的材料膨胀系数; _|x%M}O},  
4、测量和记录机床的线性误差; _)ZAf% f?  
5、分析数据。 .9S  
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注意事项 ?9 m3y0  
1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候,光路调节困难,这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。 Vt*Duh+4  
2、使用光靶能简单准直激光束 <~<I K=n  
3、在开始测量时,或者在返程测量时激光干涉仪不踩点,可能原因有: o#4Wn'E  
(1)光强太弱; I^ppEgYSY  
(2)当返回测量时,激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程”量设置是否正确,或是机床在程序运行中有没有考虑“越程”。 rM/*_0[`d  
4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向,一定要正确组合线性反射镜组。 \/. Of]YQ  
5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直,这将为后面进行找正光源做好基础。 rKP"|+^  
6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化,所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。 #$e~ o}(r  
7、测试工作完成后,应先将激光头电源关掉,关闭电脑。  J<V}g v  
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