基于激光干涉仪技术的精密线性测量系统
<qn, 数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点,广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度,需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查,这样才能保证加工产品的质量。线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。 EX 9Z{xX RSH/l;ii 线性测量构建 OWV/kz5'H 进行线性测量需使用到“线性干涉镜”(由分光镜和角锥反射镜A组 成)和“线性反射镜”(角锥反射镜B)。激光从SJ6000主机(激光头)出射,通过分光 镜后将分成两束激光,一束激光为通过角锥反射镜A的参考光,另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光,通过移动“线性反射镜”可实现运动轴的线性测量。 8?Wgawx
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线性测量原理构建图 [attachment=115717] '(9YB9 i
水平轴的线性测量示意图 [attachment=115718] 1#!@["
垂直轴的线性测量示意图 $eCGez<E
/Su)|[/' SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量,主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。[attachment=115719] 0 0,9azs
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数控机床的线性测量 [attachment=115721] }@*I+\W/
数控机床倾斜轴的线性测量 E(/ sXji! {jG.=}/Dk 线性测量步骤: AgI > 1、设置激光器系统以执行线性测量; y1Z1=U*! 2、使激光束与机床的运动轴准直; kC|Tubs( 3、启动自动环境补偿功能,确保在软件中输入正确的材料膨胀系数; SEU\}Ni{ 4、测量和记录机床的线性误差; q4k`)?k9 5、分析数据。 w7ZG oh( *zSxG[s 注意事项 Okoo(dfM 1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候,光路调节困难,这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。 Ge~,[If+ 2、使用光靶能简单准直激光束 B<C&ay 3、在开始测量时,或者在返程测量时激光干涉仪不踩点,可能原因有: Q%M_ (1)光强太弱; YME[%c2x (2)当返回测量时,激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程”量设置是否正确,或是机床在程序运行中有没有考虑“越程”。 %6Rp,M9= 4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向,一定要正确组合线性反射镜组。 ?+Hp?i$1 5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直,这将为后面进行找正光源做好基础。 B{=009. 6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化,所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。 Rd vn)K 7、测试工作完成后,应先将激光头电源关掉,关闭电脑。 sr4jQo
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