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shenhan0701 2022-12-09 09:55

淀积角随镀膜机几何参数的变化计算

淀积角随镀膜机几何参数的变化计算 dBn.DU*B  
计算不同位置处的淀积角大小随DOME的曲率半径、工转架高度、蒸发源距离中心的水平距离等参数而引起的变化 ~h+3WuOv  
n8,/olqwW  
[attachment=115628] #oY7v,x\  
mn` Ae=  
a013109425 2022-12-30 12:46
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morningtech 2022-12-31 14:05
蒸发角容易计算，考虑进蒸发特性 ^xrR3m*d  
转一圈积分 duCm+4,.  
再以伞架天顶为基准，归一化。就得到厚度均匀性分布了。 7 &Aakl  
谭健 2022-12-31 22:33
学习 不断进步
ouyuu 2023-01-06 21:31
这只是理想状态， j? A +qk  
实际上还要受真空度，离子源放气影响的。 `Ii>w b  
不同电子枪的熔形也不同；熔形不同，材料不同，分布就不同。 'I2)-=ZL6  
哪怕是同一种材料，不同的蒸发速率，分布也是不一样的。
xiezhizhi 2023-02-01 13:15
左边曲线图标表示什么 1Sy#*  
kizu123 2023-04-07 12:13
学习学习
shunzi130 2023-11-09 12:03
只是理论计算，跟电子枪，真空，抽速，温度影响很大
cxb007007 2023-11-15 10:25
学习  好资料
comebackz 2024-07-31 20:30
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蓦然知回路 2024-08-06 16:37
具体应用是什么呢，是否会影响均匀性呢？
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