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shenhan0701 2022-12-09 09:55

淀积角随镀膜机几何参数的变化计算

淀积角随镀膜机几何参数的变化计算 bfJDF(=h  
计算不同位置处的淀积角大小随DOME的曲率半径、工转架高度、蒸发源距离中心的水平距离等参数而引起的变化 0h7\zoZ5  
gFKQm(0g2  
[attachment=115628] {?C7BClB  
~DJ/sY2/  
a013109425 2022-12-30 12:46
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morningtech 2022-12-31 14:05
蒸发角容易计算，考虑进蒸发特性 @]OI(B  
转一圈积分 :}E*u^v K  
再以伞架天顶为基准，归一化。就得到厚度均匀性分布了。 oXGf#>keg  
谭健 2022-12-31 22:33
学习 不断进步
ouyuu 2023-01-06 21:31
这只是理想状态， 3Hq0\Y"Y  
实际上还要受真空度，离子源放气影响的。 IQH;`+  
不同电子枪的熔形也不同；熔形不同，材料不同，分布就不同。 S;CT:kG6Y{  
哪怕是同一种材料，不同的蒸发速率，分布也是不一样的。
xiezhizhi 2023-02-01 13:15
左边曲线图标表示什么 W+Iln`L  
kizu123 2023-04-07 12:13
学习学习
shunzi130 2023-11-09 12:03
只是理论计算，跟电子枪，真空，抽速，温度影响很大
cxb007007 2023-11-15 10:25
学习  好资料
comebackz 2024-07-31 20:30
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蓦然知回路 2024-08-06 16:37
具体应用是什么呢，是否会影响均匀性呢？
cwl563590 2025-08-09 13:32
好东西，赞！！！！
yuliang518 2026-09-11 12:02
学习  好资料，谢谢楼主
yuliang518 2026-09-11 12:02
学习  好资料， Xdw%Hw  
&V iIxJZ1$  
ertop 2026-09-12 21:07
谢谢楼主分享
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