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2022-12-07 08:57 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
?,vLRq. 内容简介 jdxHWkQ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 _\WR3Q!V 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 mk>; 3m* 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 m!V,W*RNr r6DLShP-Ur
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 5PeS/%uT@ 目录 8 1,N92T5 Preface 1 #I/P9)4 内容简介 2 11H`WOTQF 目录 i 0]DOiA 1 引言 1 wNf:_^|} 2 光学薄膜基础 2 }.&nEi` 2.1 一般规则 2 6V;Dcfvi 2.2 正交入射规则 3 S,&LH-ps 2.3 斜入射规则 6 ? x%s
j 2.4 精确计算 7 5GsmBf$RUb 2.5 相干性 8 "Lp.*o 2.6 参考文献 10 ` ~GXK 3 Essential Macleod的快速预览 10 q*hn5 K* 4 Essential Macleod的特点 32 %BI8m|6 4.1 容量和局限性 33 ?%O>]s 4.2 程序在哪里? 33 -X.#Y6( 4.3 数据文件 35 aHhLz>H' 4.4 设计规则 35 PR{ubMn 4.5 材料数据库和资料库 37 oC&}lp)q 4.5.1材料损失 38 A4j,]hOD 4.5.1材料数据库和导入材料 39 M
Kyj<@[ 4.5.2 材料库 41 ?JuJu1 4.5.3导出材料数据 43 )vtbA=RH? 4.6 常用单位 43 HhbBt'fH 4.7 插值和外推法 46 UylIxd 4.8 材料数据的平滑 50 #qd!_oN 4.9 更多光学常数模型 54 Kw fd
S( 4.10 文档的一般编辑规则 55 2[lP ,;! 4.11 撤销和重做 56 %JeNDXbI4 4.12 设计文档 57 1hbQ30 4.10.1 公式 58 A}(xH`A 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 49FP&NgK 4.10.3 沉积密度 59 ekx(i
QA 4.10.4 平行和楔形介质 60 V9[_aP; 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 3W'fEh5 4.10.4 性能 61 }s2CND 4.10.5 保存设计和性能 64 w1<pQ[A 4.10.6 默认设计 64 Uw4iWcC 4.11 图表 64 x8lBpr 4.11.1 合并曲线图 67 fw %p_Cm 4.11.2 自适应绘制 68 ^!tX+`,6^ 4.11.3 动态绘图 68 <EnmH/C. 4.11.4 3D绘图 69 O72g'qFPE 4.12 导入和导出 73 6jpzyf=~ 4.12.1 剪贴板 73 GW
{tZaB 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 \d:Q%S 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 x& _Y( bHA 4.13 背景 77
qiOtbH= 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Pll%O@K 4.15 生成Rugate 84 LR&MhG7 4.16 参考文献 91 zd$'8/Cq 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Qi\]='C 5.1 Jobs 92 K^x{rn.Zf 5.2 创建一个新Job(工作) 93 P)VQAM 5.3 输入材料 94 /
0$!. 5.4 设计数据文件夹 95 4+8)0;<H 5.5 默认设计 95 XY)X-K$ 6 细化和合成 97 f)vnm*&- 6.1 优化介绍 97 4UbqYl3|a 6.2 细化 (Refinement) 98 Xf ^_y(? 6.3 合成 (Synthesis) 100 [vI ;A! 6.4 目标和评价函数 101 5[g&0 6.4.1 目标输入 102 bV:<%l] 6.4.2 目标 103 z81dm 6.4.3 特殊的评价函数 104 L0VZ>!*o 6.5 层锁定和连接 104 "E<+idoz 6.6 细化技术 104 (e_<~+E 6.6.1 单纯形 105 L'Iw9RAJ 6.6.1.1 单纯形参数 106 G9&2s%lu.e 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 aid1eF 6.6.2.1 Optimac参数 108 :~vg'v~C 6.6.3 模拟退火算法 109 r4cz?e| 6.6.3.1 模拟退火参数 109 KKQT?/ {b 6.6.4 共轭梯度 111 X}G$ON 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 )cL(()N 6.6.5 拟牛顿法 112 ].Bx"L!B 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 erv94acq 6.6.6 针合成 113 S/*\j7cj 6.6.6.1 针合成参数 114 >aVtYp B 6.6.7 差分进化 114 !m))Yp-"H 6.6.8非局部细化 115 %Un wh1VG 6.6.8.1非局部细化参数 115 Qm7];, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 IlO,Ql 6.7.1 细化 116 T_s09Wl 6.7.2 合成 117 <!G\%C 6.8 参考文献 117 "]2^O 7 导纳图及其他工具 118 DO{otn9< 7.1 简介 118 #:[F=2@,A 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 X'\h^\yOo 7.2.1 四分之一波长规则 119 O..{wdZy 7.2.2 导纳图 120 t%e<]2-8 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 }oiNgs/N 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 D=%1?8K 7.5 斜入射导纳图 141 ) x+edYw 7.6 对称周期 141 V=&M\58 7.7 参考文献 142 `<~=6H 8 典型的镀膜实例 143 8JQ\eF$ma 8.1 单层抗反射薄膜 145 p<\!{5: 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 _UZPQ[ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %2b^t*CQ 8.4 W-膜层 148 wC%qS y' 8.5 V-膜层 149 bo DD?0.| 8.6 V-膜层高折射基底 150 `YwJ.E 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 WcT= 5G 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 w
oIZFus 8.9 四层抗反射薄膜 153 &uc`w{,Zs 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 smQl^
6a 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 :
qK-Rku 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 uh.;Jj; 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 PCL
;Z 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 {irc~||4 8.15十五层宽带抗反射膜 159 }.'rhR+ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 :Cx|(+T 8.17 1/4波长堆栈 162 o9sPyY$aQ 8.18 陷波滤波器 163 })70S8k 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;/Z-|+!IJt 8.20 褶皱 165 ^dk$6%0 8.21 消偏振分光器1 169 &)+H''JY 8.22 消偏振分光器2 171 LWTPNp:"{w 8.23 消偏振立体分光器 172 T^`; wD 8.24 消偏振截止滤光片 173 N8Z z6{rp 8.25 立体偏振分束器1 174 &V~l(1 8.26 立方偏振分束器2 177 )kI**mI} 8.27 相位延迟器 178 !dGu0wE
8.28 红外截止器 179 ]OdZlZBsJ 8.29 21层长波带通滤波器 180 A&Aj!# 8.30 49层长波带通滤波器 181 M+VWAh#uD 8.31 55层短波带通滤波器 182 I_z(ft. 8.32 47 红外截止器 183 X|Y(* $?D7 8.33 宽带通滤波器 184 51y"#\7 8.34 诱导透射滤波器 186 w5%i 8.35 诱导透射滤波器2 188 =(7nl#o 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Wpl/CO5z 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 D%yY&q;
8.35 增益平坦滤波器 193 -c0ypz 8.38 啁啾反射镜 1 196 YVDFcN9v 8.39 啁啾反射镜2 198 3rKJ<(-2/ 8.40 啁啾反射镜3 199 <OGG(dI 8.41 带保护层的铝膜层 200 sNo8o1Hby 8.42 增加铝反射率膜 201 2NMs-Zs 8.43 参考文献 202 pCh v; 9 多层膜 204 X^ Is-[OvE 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 /v+)#[]> 9.2 内部透过率 204 ciS, 9.3 内部透射率数据 205 |M?vFF]TN 9.4 实例 206 \4>,L_O 9.5 实例2 210 ~pQN#C)CO> 9.6 圆锥和带宽计算 212 3J+2#ML 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 A<X?1$ 10 光学薄膜的颜色 216 r!2U#rz 10.1 导言 216 VX$WL"A 10.2 色彩 216 m|aK_ 10.3 主波长和纯度 220 ",$_\l 10.4 色相和纯度 221 1g{Pe`G, 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 IA@>'O 10.6 色差 226 a]T:wUYG' 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 -[=eVS.2% 10.8 颜色渲染指数 234 XVN`J]XHk 10.9 色差计算 235 \_
3>v5k| 10.10 参考文献 236 yWi-ic
[n 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 u=.8M`FxP 11.1 短脉冲 238 V 95o(c.p 11.2 群速度 239 $eYL|?P50h 11.3 群速度色散 241 _p-e)J$7 11.4 啁啾(chirped) 245 Q 7_5 11.5 光学薄膜—相变 245 4o*i(W 11.6 群延迟和延迟色散 246 ]4l2jY 11.7 色度色散 246 5 #K*75> 11.8 色散补偿 249 l6/VJ~(}' 11.9 空间光线偏移 256 I=y7$+7% 11.10 参考文献 258 =yf)Z^ 12 公差与误差 260 +OE!Uqnt 12.1 蒙特卡罗模型 260 h_%q`y , 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ubcB<=xb 12.2.1 误差工具 267 D.K""*ula 12.2.2 灵敏度工具 271 wjA
wJOw| 12.2.2.1 独立灵敏度 271 PI9,*rOy 12.2.2.2 灵敏度分布 275 q+?<cjVg 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 oac)na:O# 12.3 参考文献 276 hd3 13 Runsheet 与Simulator 277 5\+*ml 13.1 原理介绍 277 mUBy*. 13.2 截止滤光片设计 277 Vrt$/ d 14 光学常数提取 289 $.PRav 14.1 介绍 289 5\Q Tm; 14.2 电介质薄膜 289 `i.BB jx` 14.3 n 和k 的提取工具 295 Ykxk`SJ 14.4 基底的参数提取 302 ~gDYb#p 14.5 金属的参数提取 306 yHeL&H 14.6 不正确的模型 306 scg&"s 14.7 参考文献 311 Ku(YTXtK 15 反演工程 313 0AQazhm 15.1 随机性和系统性 313 vV,TT%J8D 15.2 常见的系统性问题 314 OoB|Eh|), 15.3 单层膜 314 @j!,8JQEd 15.4 多层膜 314 `"5Ub,~ 15.5 含义 319 qM\
2f<) 15.6 反演工程实例 319 3&hR#;,"X 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 I\l&'Q^0@ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 'RjEdLrI 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 1j?P$%p 16.1 光学性质的热致偏移 329 JipNI8\r 16.2 应力工具 335 DbMVbgz<e 16.3 均匀性误差 339 irt9%w4" 16.3.1 圆锥工具 339 GcV/_Y 16.3.2 波前问题 341 8E%LhA. 16.4 参考文献 343 R{g=
N%O 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 lc,k-}n 17.1 引言 345 K#R]of~/ 17.2 操作数 345 \e86'& 18 如何在Function中编写脚本 351 g}_2T\$k 18.1 简介 351 %' DOFiU 18.2 什么是脚本? 351 zluq2r 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 v "l).G? 18.4 基础 352 <cTX;&0= 18.4.1 Classes(类别) 352 FB6Lz5:Vf 18.4.2 对象 352 :8yebOs 18.4.3 信息(Messages) 352 '\bokwsP 18.4.4 属性 352 b|i4me@ 18.4.5 方法 353 Wl| i$L)7 18.4.6 变量声明 353 *7AB0y0k 18.5 创建对象 354 O=%Ht-kOc 18.5.1 创建对象函数 355 Uu7]`U l 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ,
z\Qd07u 18.5.3 丢弃对象 356 "Q@m7j)( 18.5.4 总结 356 [RBSUOF 18.6 脚本中的表格 357 =z. hJu 18.6.1 方法1 357 ?o(284sV3 18.6.2 方法2 357 h,\{s_b 18.7 2D Plots in Scripts 358 `:&RB4Z 18.8 3D Plots in Scripts 359 ,7V?Kj 18.9 注释 360 QGN+f) 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 &4OOW;,?< 18.11 一个更高级的脚本 362 ;Z*rY?v 18.12 <esc>键 364 WN]k+0# 18.13 包含文件 365 +2MF#{ tS 18.14 脚本被优化调用 366 >_j(uw?u 18.15 脚本中的对话框 368 JWHsTnB 18.15.1 介绍 368 w10~IP 18.15.2 消息框-MsgBox 368 b@J "b( 18.15.3 输入框函数 370 .6MG#N 18.15.4 自定义对话框 371 _#\Nw0{ 18.15.5 对话框编辑器 371 +E.
D: 18.15.6 控制对话框 377 T;DKDga 18.15.7 更高级的对话框 380 T"99m^y 18.16 Types语句 384 T[4xt,[a 18.17 打开文件 385 !,ODczWvh 18.18 Bags 387 E^J &?- 18.13 进一步研究 388 &&CrF~
19 vStack 389 }h`z2%5o 19.1 vStack基本原理 389 r.)n>
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
IZrcn 19.3 五棱镜 393 2{RRaUoRb 19.4 光束距离 396 $cn8]*Z= 19.5 误差 399 1D[V{)# 19.6 二向分色棱镜 399 $m
;p@#n 19.7 偏振泄漏 404 gK~Z Ch 19.8 波前误差—相位 405 0#GnmH 19.9 其它计算参数 405 <mP_K^9c 20 报表生成器 406 Z:^<NdKe 20.1 入门 406 N@_y<7#C 20.2 指令(Instructions) 406 47Vt8oyh% 20.3 页面布局指令 406 *0oa2fz% 20.4 常见的参数图和三维图 407 8m
H6?,@6 20.5 表格中的常见参数 408 Qxy~%;X 20.6 迭代指令 408 ?r=`Kl 20.7 报表模版 408 xBc$qjV 20.8 开始设计一个报表模版 409 Z*P/ ubV' 21 一个新的project 413 1c/<2 xO~ 21.1 创建一个新Job 414 ?lqqu#;8 21.2 默认设计 415 iuqJPW^} 21.3 薄膜设计 416 Ib2&L 21.4 误差的灵敏度计算 420 9'Z{uHi% 21.5 显色指数计算 422 _\+0e:Ae 21.6 电场分布 424 %iPIgma 后记 426 lpd~U 2&
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