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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
D3,9X#B= 内容简介 Qy< ~{6V Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 W:5,zFW 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 /XEt2,sI9 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Z]VmTB YS$42J_T
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 G_m$W3 zS 目录 MLVrL r t Preface 1 _4+'@u
# 内容简介 2 9UbD=}W 目录 i @ ={Hx$zL 1 引言 1 B}OM:0 2 光学薄膜基础 2 _o,Mji| 2.1 一般规则 2 O4Z_v%2M 2.2 正交入射规则 3 LHJ}I5zv 2.3 斜入射规则 6 ^)wTCkH&y 2.4 精确计算 7 s1"dd7&g' 2.5 相干性 8 SLGo/I* 2.6 参考文献 10 ~6bf-Wg'X 3 Essential Macleod的快速预览 10 b"J J3$D 4 Essential Macleod的特点 32 /^Ckk 4.1 容量和局限性 33 fm u;Pb]r 4.2 程序在哪里? 33 ^}VAH#c 4.3 数据文件 35 TAd~#jB9 4.4 设计规则 35 eW"L") 4.5 材料数据库和资料库 37 CRpMpPi@} 4.5.1材料损失 38 <Sn;k[M}d 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ;^yR,32F 4.5.2 材料库 41 g+:Go9k!F 4.5.3导出材料数据 43 r:xbs0
7 4.6 常用单位 43 o$4xinK 4.7 插值和外推法 46 u[Ij4h. 4.8 材料数据的平滑 50 j*7#1<T 4.9 更多光学常数模型 54 A3su!I2S 4.10 文档的一般编辑规则 55 s28t' 4.11 撤销和重做 56
7~f"8\ 4.12 设计文档 57 }4dbS ;C< 4.10.1 公式 58 Gt|m;o 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 39!$x[ 4.10.3 沉积密度 59 4Y.o RB 4.10.4 平行和楔形介质 60 655OL)|cD6 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 C]- !uLy 4.10.4 性能 61 +xL*`fn 4.10.5 保存设计和性能 64 IGKtugU% 4.10.6 默认设计 64 Mtw7aK 4.11 图表 64 eI@nskq# 4.11.1 合并曲线图 67 QGq8r> 4.11.2 自适应绘制 68 <F%c"Rkh 4.11.3 动态绘图 68 Dwx^hNh 4.11.4 3D绘图 69 6\BZyry3* 4.12 导入和导出 73 LA9'HC(5 4.12.1 剪贴板 73 3<"!h1x5 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 (gQr?K 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1x'H# 4.13 背景 77 vB<2f*U 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 s^vw]D 4.15 生成Rugate 84 e$t$,3~ 4.16 参考文献 91 zn3]vU! 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 azCod1aL{ 5.1 Jobs 92 ,qz:( Nr 5.2 创建一个新Job(工作) 93 .{8?eze[m 5.3 输入材料 94 f_m~_`m 5.4 设计数据文件夹 95 Z!81\5 5.5 默认设计 95 mzGMYi* 6 细化和合成 97 FpYeuH% 6.1 优化介绍 97 x)0''}E~ 6.2 细化 (Refinement) 98 -(FhjIr 6.3 合成 (Synthesis) 100 CTP!{<ii 6.4 目标和评价函数 101 Hgk@I; 6.4.1 目标输入 102 {yCE >F\ 6.4.2 目标 103 @?/> $ 6.4.3 特殊的评价函数 104 x^XP<R{D 6.5 层锁定和连接 104 tupAU$h?! 6.6 细化技术 104 7W]0bJK+E 6.6.1 单纯形 105 l2h1CtAU 6.6.1.1 单纯形参数 106 5\jzIB_? 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 eelkK,4 6.6.2.1 Optimac参数 108 OTmw/ #ug 6.6.3 模拟退火算法 109 kBlk^=h<:w 6.6.3.1 模拟退火参数 109 twr-+rm2 6.6.4 共轭梯度 111 p`=v$_]?( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Ja[7/ 6.6.5 拟牛顿法 112 }xb?C""q^q 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 IA3m.Vxj ^ 6.6.6 针合成 113 zEMZz$Y 6.6.6.1 针合成参数 114 x
T{s%wE 6.6.7 差分进化 114 ]ddTHl 6.6.8非局部细化 115 ?#obNQ"u] 6.6.8.1非局部细化参数 115 k+%c8w 9 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Kj/{V 6.7.1 细化 116 szw|`S>o 6.7.2 合成 117 `Re{j{~s 6.8 参考文献 117 x4Wu`-4^ 7 导纳图及其他工具 118 #DkdFy
%` 7.1 简介 118 zk^uS # 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ?C`&*+ 7.2.1 四分之一波长规则 119 D6vhW:t8? 7.2.2 导纳图 120 ZQI;b0C 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 nqC@dHP 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ,1e\}^ 7.5 斜入射导纳图 141 4V7=VZ,@3 7.6 对称周期 141 N${Wh|__^l 7.7 参考文献 142 E(miQ 8 典型的镀膜实例 143 y.,li< 8.1 单层抗反射薄膜 145 z>A;|iL 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 D0*+7n3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Y0;66bfh} 8.4 W-膜层 148 z:)z]6 8.5 V-膜层 149 .:9XpKbt 8.6 V-膜层高折射基底 150 R^Y>v5jAe 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Prqr, 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 )>r sX) 8.9 四层抗反射薄膜 153 2"pFAQBw~i 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 {D`_q| 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 X 3(CY`HH[ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Rxl/)H[Lc" 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 qE@H~& 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 c-`izn] 8.15十五层宽带抗反射膜 159 @E%fAC 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Y5R|)x 8.17 1/4波长堆栈 162 iM +p{/bN 8.18 陷波滤波器 163 B"3uuk8 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 * amZ 8.20 褶皱 165 ^2-+MWW. 8.21 消偏振分光器1 169 byN4?3F 8.22 消偏振分光器2 171 6SP!J*F 8.23 消偏振立体分光器 172 <Url&Z 8.24 消偏振截止滤光片 173 >goG\y 8.25 立体偏振分束器1 174 txFcV 8.26 立方偏振分束器2 177 V1
{'d[E* 8.27 相位延迟器 178 CQh6;[\: 8.28 红外截止器 179 A(T= 8.29 21层长波带通滤波器 180 m.&"D>
\t 8.30 49层长波带通滤波器 181
CJf4b:SY@ 8.31 55层短波带通滤波器 182 J"?jaa2~ 8.32 47 红外截止器 183 ~ea&1+Z[3 8.33 宽带通滤波器 184 w|(
ix;pK 8.34 诱导透射滤波器 186 o)sX?IiC 8.35 诱导透射滤波器2 188 M|IgG:a;T 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 <hB~|a<# 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ]>oI3&6s 8.35 增益平坦滤波器 193 mt]50}eK 8.38 啁啾反射镜 1 196 $&KiN82, 8.39 啁啾反射镜2 198 CW'<Nh 8.40 啁啾反射镜3 199 6T-iBJT 8.41 带保护层的铝膜层 200 TSKR~3D# 8.42 增加铝反射率膜 201 a8cX{6 8.43 参考文献 202 3&5AbIZ 9 多层膜 204 x>[f+Tc 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 {PS|q? 9.2 内部透过率 204 I!Uj~jV 9.3 内部透射率数据 205 n{E9p3i 9.4 实例 206 CooOBk 9.5 实例2 210 CQI\/oaO 9.6 圆锥和带宽计算 212 TQsTL2a 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 0khAi|PY 10 光学薄膜的颜色 216 2O
"
~k 10.1 导言 216 8
_|"+Ze 10.2 色彩 216 )(W%Hmi 10.3 主波长和纯度 220 'tMS5d)4: 10.4 色相和纯度 221 2,e>gP\] 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 c'uDK> 10.6 色差 226 WlRaD%Q 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 gbu@& 10.8 颜色渲染指数 234 Mk|*=#e; 10.9 色差计算 235 cW?~]E'< 10.10 参考文献 236 t[%ELHV 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ]tc
Cr; 11.1 短脉冲 238 ,N@N4<C] 11.2 群速度 239 <-N7Skkk! 11.3 群速度色散 241 A1/[3Bz 11.4 啁啾(chirped) 245 o{xA{ @< 11.5 光学薄膜—相变 245 *(j-jbA 11.6 群延迟和延迟色散 246 ydf;g5OZ 11.7 色度色散 246 "= >8UR 11.8 色散补偿 249 @h)X3X 11.9 空间光线偏移 256 TM0DR'. 11.10 参考文献 258 e|Mw9DIW 12 公差与误差 260 p0@l581 12.1 蒙特卡罗模型 260 S@6 :H" 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8Lh[>|~= 12.2.1 误差工具 267 lCK|PY* 12.2.2 灵敏度工具 271 HVaKy+RU 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ?v$1Fc55 12.2.2.2 灵敏度分布 275 oPC
qv 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 S\W&{+3 12.3 参考文献 276 <: I]0|[ 13 Runsheet 与Simulator 277 ~[`*)(4E 13.1 原理介绍 277 _{48s8V 13.2 截止滤光片设计 277 !?J?R-C 14 光学常数提取 289 CV7%ud]E 14.1 介绍 289 (m&''yaH 14.2 电介质薄膜 289 /V
f L( 14.3 n 和k 的提取工具 295 Jec<1|
14.4 基底的参数提取 302 0]MI*s>& 14.5 金属的参数提取 306 Aj "SSX!L 14.6 不正确的模型 306 A^@,Ha
14.7 参考文献 311 ~PiCA 15 反演工程 313 T[]kun 15.1 随机性和系统性 313 &E$:^a4d 15.2 常见的系统性问题 314 .8/W_iC92 15.3 单层膜 314 Ng+Ge5C9 15.4 多层膜 314 u,),kj< 15.5 含义 319 %a$Fsn 15.6 反演工程实例 319 |
sZu1K 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 q($fl7}Y 15.6.2 反演工程提取折射率 327 YV"LM6` 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 %LBT:Aw 16.1 光学性质的热致偏移 329 V SUz+W 16.2 应力工具 335 jS'hs>Ot 16.3 均匀性误差 339 =%R|@lz_x 16.3.1 圆锥工具 339 ?Qdp#K]WX 16.3.2 波前问题 341 -[-Ry6G 16.4 参考文献 343 k80!!S=_> 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Jej-b<HmQ 17.1 引言 345 'w!8`LPu 17.2 操作数 345 jG~UyzWH; 18 如何在Function中编写脚本 351 a#i%7mfn 18.1 简介 351 BRGTCR 18.2 什么是脚本? 351 9S$?2z".2 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 kU$M 8J. 18.4 基础 352 +)QA!g$ 18.4.1 Classes(类别) 352 ffE&=eh) 18.4.2 对象 352 DU.[Sp 18.4.3 信息(Messages) 352 E!v^j=h$u 18.4.4 属性 352 *'hvYl/?> 18.4.5 方法 353 ?ne!LDlE| 18.4.6 变量声明 353 ZeP3
Yjr3 18.5 创建对象 354 N~@VZbS(6 18.5.1 创建对象函数 355 m=p<.%a 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 O4w:BWVsn 18.5.3 丢弃对象 356 x:WxEw>R 18.5.4 总结 356 {uuvgFC 18.6 脚本中的表格 357 B^sHFc""V 18.6.1 方法1 357 O.~@V(7ah 18.6.2 方法2 357 qvhol 18.7 2D Plots in Scripts 358 Afq?Ps+ 18.8 3D Plots in Scripts 359 bLpGrGJs 18.9 注释 360 PM!7ci 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 aok,qn'j 18.11 一个更高级的脚本 362 6
w:@i_2^ 18.12 <esc>键 364 Ro oem dCM 18.13 包含文件 365 MX#MDA-4 18.14 脚本被优化调用 366 |`yzH$,F 18.15 脚本中的对话框 368 ;Z(~;D 18.15.1 介绍 368 h2C1'+Q{9 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Mb0cdK?hA 18.15.3 输入框函数 370 2eh j2T 18.15.4 自定义对话框 371 ,0R2k `m! 18.15.5 对话框编辑器 371 `nDgwp:b" 18.15.6 控制对话框 377 >4} 2~; 18.15.7 更高级的对话框 380 9#AsSbBpf 18.16 Types语句 384 %<Q?|} 18.17 打开文件 385 ET7(n0*P}] 18.18 Bags 387 |. zotEh 18.13 进一步研究 388 :,^pL At 19 vStack 389 M1f^Lx 19.1 vStack基本原理 389 }uE8o"q
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 32*FI SH^ 19.3 五棱镜 393 {%;KkC8=R 19.4 光束距离 396
&JpFt^IHi 19.5 误差 399 %Pb 5PIk4 19.6 二向分色棱镜 399 {!C ';^ 19.7 偏振泄漏 404 T8i9 19.8 波前误差—相位 405 6:Nz=sw8 19.9 其它计算参数 405 t $+46** 20 报表生成器 406 hp E? 20.1 入门 406 l&d 6G0 20.2 指令(Instructions) 406 >cPB:kD' 20.3 页面布局指令 406 &)p/cOiV 20.4 常见的参数图和三维图 407 s2@}01QPo 20.5 表格中的常见参数 408 +jD{O @9 20.6 迭代指令 408 6_wf $(im 20.7 报表模版 408 T$'GFA 20.8 开始设计一个报表模版 409 C||A[JOS 21 一个新的project 413 d&p]O 21.1 创建一个新Job 414 <(Wa8PY2( 21.2 默认设计 415 ~OXC6z 21.3 薄膜设计 416 {t$
vsR 21.4 误差的灵敏度计算 420 dsP1Zq 21.5 显色指数计算 422 A2b
C5lA 21.6 电场分布 424 :I5]|pt 后记 426 7FVu[Qu
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