| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 n3l"L|W^(<
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 0TuO Y%+
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1）标量衍射理论设计 g9([3pV,
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 e~t}z_>F
x;ICV%g/
[attachment=115539] FfD
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（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） AjL?Qh4
r3c\;Ra7
[attachment=115538] sO{0hZkc
（b）达曼光栅衍射效率 v'
9( et
9h3~;Q
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ."!8B9 s
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 A 5.'h<
Lilk8|?#W
[attachment=115534] ~/|unV
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） `jUS{ 3^
EMW4< na[
[attachment=115535] ^7~ SS2t!
（b）达曼光栅衍射效率 (}~ eD
_A)_K;cz
3）rsoft仿真 I(?|Ox9"?
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） X C$+ `?
'.h/Y/oz
[attachment=115540] vYMbson}
（a）标量衍射结果结构图 qh)!| B
+}(B856+
[attachment=115541] J++sTQ(!?
（b）衍射效率 q*RaX
4V
n6%jhv9H
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 y1\^v_.^
k9_VhR |!
[attachment=115537] OuBMV n
（a）矢量衍射结果结构图 [#Nx> R Y
,$6MM6W;-F
[attachment=115536] -Ek DG]my
（b）衍射效率 Z '> eT)
/_k hFw
2、偶数型达曼光栅设计 e@2Vn? 5
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 @8<uAu%
[attachment=115542] E!}-qbH^
（a）结构图 }%>$}4 ,
)(ZPSg$/F
[attachment=115543] Pu%>j'A
（b）衍射效率 ~gi( 1<#
' 9p5UC
[attachment=115545] S^Wq a:;
（a）结构图 Ji}IV
EkjK 9 2cF
[attachment=115544] 602eLV)
（b）衍射效率
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