| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 Cl[ '6L k
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 z=<T[Uy
1B= vr Gq
1）标量衍射理论设计 x*}j$n( Oa
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 ,WA 7Kp9
84)$ CA+NX
[attachment=115539] 0F=UZf&
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） CeS8I-,
& S_gNa
[attachment=115538] tY !fO>Fn~
（b）达曼光栅衍射效率 ,0NVb7F;k
Ya*l q!
u
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ^"v~hjM#
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ][S< M24]Q
/XS6X
[attachment=115534] 'x<gC"0A
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 9=@j]g|
5 g99 t$p9
[attachment=115535] j]rE0Og
（b）达曼光栅衍射效率 ur={+0
y
K6~N {:.s
3）rsoft仿真 >`n0{:.1za
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） j+]>x]c0
\.myLkm
[attachment=115540] ps"crV-W
（a）标量衍射结果结构图 'P32G?1C&p
| ctGxS9
[attachment=115541] <i^Bq=E<rJ
（b）衍射效率 zCL/^^#
DF%\ 1C>
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 vrm[sP
9 H2^4D8
[attachment=115537] 6(sqS~D
（a）矢量衍射结果结构图 -Vn9YeH+
;WJ}zjo >
[attachment=115536] =DvFY]9{
（b）衍射效率 " ^ ydo RZ
OZ&J'Y
2、偶数型达曼光栅设计 %lbSV}V)
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 '{\VO U
[attachment=115542] {\ P$5O{%
（a）结构图 Yb%H9A
v#a`* ^ ^
[attachment=115543] 7_.z3K m:
（b）衍射效率 SOE#@{IXBa
x6* {@J&5*
[attachment=115545] [5:,+i
（a）结构图 'j !!h4
+ G"=1sxJ
[attachment=115544] &Sj<X`^
（b）衍射效率
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