| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 ^GX)Z~
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 i&k7-<
L(o15
1）标量衍射理论设计
9a kH
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 m3ff;,
CNIsZ v@Q
[attachment=115539] fQ98(+ 6
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） <| &Npd'
d1kJRJ
[attachment=115538] Sz RmF1<
（b）达曼光栅衍射效率 a: S -
iO[ <1?
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 p8Q1-T3v
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 %UM
*79
MPk5^ua:
[attachment=115534] I0a<%;JJW
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） v
LZoa-w:
<t,x RB k
[attachment=115535] KYP!Rs/j.
（b）达曼光栅衍射效率 G\?YK.Y>
Fx+*S3==%e
3）rsoft仿真 Q ,9oKg
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） "\=U)C J
d7i]FV
[attachment=115540] Ru~j,|0r4
（a）标量衍射结果结构图 ty`DJO=Omj
g1o8._ f.
[attachment=115541] Z8oK2D w
（b）衍射效率 ]_f<kW\1*
+MLVbK
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 HmwT ~
Z)\@i=m
[attachment=115537] T^v}mWCZ
（a）矢量衍射结果结构图 p$>l7?h
[9 RR8
[attachment=115536] Q IgNsz
（b）衍射效率 ]tDDq=+v
h} EPnC}
2、偶数型达曼光栅设计 )Wox Mmz
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 U ? =Dg1
[attachment=115542] o lxByzTh>
（a）结构图 Yrn)VV[)h
n LiY%x`S
[attachment=115543] V_:&S2j
（b）衍射效率 V!dtF,tH
x= jK:3BF
[attachment=115545] "T"h)L<
（a）结构图 &w~d_</
-GgA&dh
[attachment=115544] ; Hd7*`$
（b）衍射效率
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