| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 _@)-#7
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 FD%OG6db];
N2j^fZd_
1）标量衍射理论设计 TntTR"6aD
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 M;AvOk|&
W%&s$b(
[attachment=115539] OqH3. @eK
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） @! ja/Y^
G[` 2Nd<
[attachment=115538] x<w-j[{k_K
（b）达曼光栅衍射效率 zFYzus`>
H;AMRL o4z
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 m ss.\
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 G"L`9E<0V
i;qij[W. z
[attachment=115534] GKUjtPu
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 4kV$JV.l
[\fwnS_1
[attachment=115535] 7#Fcn
（b）达曼光栅衍射效率 BSr#;; \
Zv
mkb%8
3）rsoft仿真 'vq0T w5
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） # Rs5W
M djxTr^
[attachment=115540] g& . OJ
（a）标量衍射结果结构图 kQ2Wd pZ/
Fwvc+ a
[attachment=115541] 5V/]7>b1
（b）衍射效率 e:N;Jx#
uB6Mj dp6
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 +4qR5(W
,j(E>g3
[attachment=115537] Ck
m:; q
（a）矢量衍射结果结构图 {7$jwk
v/v PU
[attachment=115536] k7sD " xR3
（b）衍射效率 .>}Z3jUrf
y
G mFi
2、偶数型达曼光栅设计 j]- _kjt
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 -M T1q qi
[attachment=115542] T>hm\ !
（a）结构图 @1bl<27
L0{ [L
[attachment=115543] >xF&>SDC
（b）衍射效率 /74h+.amg
X -=M>H^
[attachment=115545] ?h| DeD!s
（a）结构图 S
{+Z.P
f+)LVT 8p
[attachment=115544] (KPD`l8.
（b）衍射效率
|
|