| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计
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以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 wpQp1){%Q
n) HV:8j~
1）标量衍射理论设计 @_c&lToj_
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 mxJe\[I
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[attachment=115539] xi ,fm
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） bYhG`1,$-a
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[attachment=115538] i~<.@&vt
（b）达曼光栅衍射效率 V5
9Vf[i|
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2）矢量衍射理论RCWA算法设计 E/1:4?1 S
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 xa?auv!
9 MQwc
[attachment=115534] Dcs O~mg
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） (&V*~OR
S @!z '$&
[attachment=115535] {m,LpI0wG
（b）达曼光栅衍射效率 s UxEm}z
kxA T
3）rsoft仿真 wF6a*b@v
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） KNP^k$=)3c
*U8,Q]gS
[attachment=115540] CL(D&8v8~
（a）标量衍射结果结构图 +zo\#8*0MF
Gcxz$.(
[attachment=115541] ,]9p&xu
（b）衍射效率 ^foCcO
fv*
$=m
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 rT4q x2 u
Lke !VS!P&
[attachment=115537] bG.`>
（a）矢量衍射结果结构图 mpIR: Im
7o*~zDh@fH
[attachment=115536] 8 r0;054
（b）衍射效率 XA69t2J~F
iM8l,Os]<f
2、偶数型达曼光栅设计 @qA11C.hq
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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[attachment=115542] k%N$eO$
（a）结构图 t""Y -M
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[attachment=115543] mv/ Nz ?
（b）衍射效率 K\lu;
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[attachment=115545] >oAXS\ Ts
（a）结构图 ;__k*<+{.
RW Jyd=
[attachment=115544] ^O"o-3dte
（b）衍射效率
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