| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 ,CIsZ1[VS
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 TFO4jjiC"
y q6:7<
1）标量衍射理论设计 WesEZ\V
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 3vj 1FbY
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[attachment=115539] 5Ve
T8/7Q
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） d`3>@*NR<
)E c /5=A
[attachment=115538] M)G|K a
（b）达曼光栅衍射效率 O4 oI&i 7
&%;K_asV;
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 !h70 <Q^
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 _ykT(`.#
Rg7~?b-
[attachment=115534] Yu: !l>
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） y Dw#V`Y^M
}CQ)W1mO"
[attachment=115535] -] `OaL!
（b）达曼光栅衍射效率 O^r,H,3S
s& L 6C[
3）rsoft仿真 c^7QiTt_
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 7gQ 2dp
V5rW_X:]8
[attachment=115540] &d=ZCaP
（a）标量衍射结果结构图 K?6#jT6#
Y))x'<T'Q
[attachment=115541] h 6juX'V
（b）衍射效率 ) KKmV6>b
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 w0,rF WS
QygbfW 6u
[attachment=115537] |g!3f
（a）矢量衍射结果结构图 a H *5(E]
'7UIzk|
[attachment=115536] .$ -GGvN]
（b）衍射效率 %<h+_(\ h
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2、偶数型达曼光栅设计 c;7`]}fGu
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 )BmO[AiOM
[attachment=115542] i| CAN,'
（a）结构图 i J p E`
Qn`Fq,uvL
[attachment=115543] frUO+
（b）衍射效率 Z?) =4|
1(jDBP!8
[attachment=115545] >=d%t6 %(
（a）结构图 kGW4kuh)/q
UJk/Lxv
[attachment=115544] !c;BO Cqa
（b）衍射效率
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