| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 bK~Toz< k
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 J({D~
C,l,fT
1）标量衍射理论设计 _W g} #r
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 %ZWt 45A
=NC??e {
[attachment=115539] !.mR]El{K
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） wxh\CBxG
MAFdJ +n#
[attachment=115538] Wmcd{MOS
（b）达曼光栅衍射效率 -W('^v_*
F.$z7ee@
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 .aY $-Y <
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ]Rxo}A
/^nIOAeE
[attachment=115534] JJ? rVq1g
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） H@xS<=:lM
ySO\9#Ho
[attachment=115535] r@zT!.sc!
（b）达曼光栅衍射效率 .UL 2(0
P%e7 c,
3）rsoft仿真 '_.qhsS
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） V2T% tn;rp
e
c] kt'
[attachment=115540] ~CnnN[g (_
（a）标量衍射结果结构图 =+ j3E<w
/ie&uW y
[attachment=115541] $]E+E .P
（b）衍射效率 o(jLirnk
ANu>*
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 m-
<y|3
aHW34e@ebL
[attachment=115537] [d[w/@
（a）矢量衍射结果结构图 VM\R- [
J3
Q_
[attachment=115536] #4 $YQ
（b）衍射效率 4joE"H6
/&# y-D_
2、偶数型达曼光栅设计 diJpbR^JP
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 m k1R~4v
[attachment=115542] *GE6zGdN
（a）结构图 d[3me{Rs
hp'oiR;~w
[attachment=115543] '1b 1N 5~
（b）衍射效率 t(*n[7e
> U?\WgE$
[attachment=115545] Nz`8)Le
（a）结构图 (?1 $
:Pdh##k
[attachment=115544] K .}jOm
（b）衍射效率
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