| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 c 8
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以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 [8J/# !B
VP<_~OLc
1）标量衍射理论设计 7Vd"AVn}g
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 2]f"(X4jp
s{]2~Z^2od
[attachment=115539] &o yj 8
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） b&$sY!iU
0f<$S$~h
[attachment=115538] , Q5Z<\
（b）达曼光栅衍射效率 8eVQnp*
]ZjydQjo )
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 uWSfr(loX
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 'n)]"G|
0R0j7\{
[attachment=115534] )G">7cg;t
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） b2Jgg&?G
Gpauy=4f
[attachment=115535] GGY WvGE+
（b）达曼光栅衍射效率 -brn &1oJ
)Z2 l*fV
3）rsoft仿真 e {dYLQd
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） y,`SLgBID
Cy~Pfty
[attachment=115540] dIUg
e`O9
（a）标量衍射结果结构图 MJ )a Y2
9z:P#=Q:
[attachment=115541] C 6 XZZ
（b）衍射效率 xfE: r:
AxOn~fZ!
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 ^j1WF[GiSO
cTR@
:sm
[attachment=115537] e u F@SS
（a）矢量衍射结果结构图 f [b x|6
7:h8b/9
[attachment=115536] Xyrf$R'
（b）衍射效率 KH <f= ?b
j;|rI`67~
2、偶数型达曼光栅设计 *)2& gQ&%+
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 G%V*+Ond
[attachment=115542] 2[Ja|W\If
（a）结构图 "s6O|=^*
^_ cR
[attachment=115543] Xiyh3/%yy
（b）衍射效率 -<'&"-
\.R+|`{tf
[attachment=115545] `qjiC>9
（a）结构图 >q:0w{.TU
L b'HM-d
[attachment=115544] ~;f,Ad`Q
（b）衍射效率
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