| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 s5*HS3D
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 1FT3d
T gbq4xR(
1）标量衍射理论设计 *!dA/sid
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 %E [HMq<H
cVr+Wp7K#|
[attachment=115539] :s-9@Yl|
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 5/CF _v
% w
[attachment=115538] /f AAQ7
（b）达曼光栅衍射效率 $>+g)
}O| 9Qb
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 MGr e_=Dm_
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 uW!saT5o
3od16{YH
[attachment=115534] B^d di
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 1Lp; LY"_
[ Q/kNK
[attachment=115535] H4sc7-
（b）达曼光栅衍射效率 [%~yY&
ojA !!Ru
3）rsoft仿真 3iL\<^d*ht
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） x]3[0K5;
K%Bz6 ~
[attachment=115540] i` ay9J8N
（a）标量衍射结果结构图 p(Osz7K
[8 H:5 Ho
[attachment=115541] ( 5uSqw&U
（b）衍射效率 a (ml#-M
l(@ c
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 1xh7KBr ,
k_Y7<z0G
[attachment=115537] @g]EY& Uzl
（a）矢量衍射结果结构图 j0(jXAc;UB
< $otBC/%
[attachment=115536] I`i"*z
（b）衍射效率 M.:JT31>1
1i'y0]f
2、偶数型达曼光栅设计 vJV/3-yX
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 MX.?tN#F|H
[attachment=115542] A
r>B L2@
（a）结构图 0'YJczDq:7
Fmz+ X b
[attachment=115543] )} t't"
（b）衍射效率 LIQ].VxIs
xtLP 4VL
[attachment=115545] Q;A\M
（a）结构图 mVh;=>8K
@2 *Q*
[attachment=115544] Vo6g /h?`
（b）衍射效率
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