| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 WacU@L $A
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 \@
W sF$
]P}K3tN%]
1）标量衍射理论设计 BRSgB-Rr7
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 xsY>{/C
2RSHB o
[attachment=115539] 3 -_U-:2"
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） `DWi4y7
O0=, &=i
[attachment=115538] **w*hd]
（b）达曼光栅衍射效率 %x'bo>h@
U~){$kpI#
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 !mErt2UJl
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 QU,TAO
|/T< ]+X;
[attachment=115534] X, JWLS J
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） bH WvKv+
TW-zh~|F
[attachment=115535] ~\@<8@N2a6
（b）达曼光栅衍射效率 K+`-[v5\
}
{gWTp
3）rsoft仿真 /F8\%l+
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） z7.C\l
Q
2SSJ
[attachment=115540] Z imMjZ%4
（a）标量衍射结果结构图 8H%I|fm
u{{xnyl?
[attachment=115541] N`|Ab(.
（b）衍射效率 C}8e<[} )
q$u\
q.
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 OCOO02Wq1
(61twutC
[attachment=115537] `S/1U87
（a）矢量衍射结果结构图 1A/c /iC
hO<w]jV,
[attachment=115536] XB!`*vZ/<
（b）衍射效率 ubN"(F:!-S
eI =Y~jy
2、偶数型达曼光栅设计 [nPzh Xs
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 +'&_V011 <
[attachment=115542] +O!M>
（a）结构图 g%q?2Nv
:'=~/GR
[attachment=115543] l]kl V+9t
（b）衍射效率 <{z 3p:\
9snyX7/!L
[attachment=115545] ^s(X VVA
（a）结构图 a a Y Q<
3RH# e1Y
[attachment=115544] n eY=:9
（b）衍射效率
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