| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 vj#Y /B
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 , z@"pI
b
NW%u#MZ[h
1）标量衍射理论设计 _&U.DMt2 C
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 Xe. az
yKb+bm&5:'
[attachment=115539] A@81wv
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） %j4AX
]hHL[hoFC
[attachment=115538] ")xd 'V
（b）达曼光栅衍射效率 ]Te,m}E
XUK!1}
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 RASPOc/]
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 }Kt1mm o:`
PYhRP00}M
[attachment=115534] q W "
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） duT'$}2@>
W[4 V#&Z
[attachment=115535] Mv%"aFC
（b）达曼光栅衍射效率 vlSS w+r9
58 >C,+
3）rsoft仿真 (;6v T'hE
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ^(c.A YI
/U P1*L
[attachment=115540] g*-%.fNA
（a）标量衍射结果结构图 !=SBeq
*74VrAo
[attachment=115541] X1Vj"4 'wT
（b）衍射效率 wRsh @I<
-qNun3
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 ,B8u?{O
s"- gnW
[attachment=115537] -RKqbfmi=
（a）矢量衍射结果结构图 [==x4N b
Y)*:'&~2e
[attachment=115536] EH~t<
（b）衍射效率 c hs] ,7R
S:YQVj
2、偶数型达曼光栅设计 `~;` q
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 "xxt_
[attachment=115542] ve&"x Nz<
（a）结构图 )0UXTyw^
*i,@d&J y]
[attachment=115543] BH3%d h :9
（b）衍射效率 'fS&WVR?
)8@|+'q
[attachment=115545] Z#znA4;)
（a）结构图 |SSe n#PYp
K|V<e[X[V
[attachment=115544] dK d"2+fH
（b）衍射效率
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