| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 IZ6[|Ach6
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 WNPdy m
NN W*
1）标量衍射理论设计 |f0KIb}d
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 \/9uS.Kw
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[attachment=115539] /\KB*dX
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） A %s"WSx,
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[attachment=115538] rX#} 2
（b）达曼光栅衍射效率 Aj Z@hid
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2）矢量衍射理论RCWA算法设计 { LJRdV
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 NY
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[attachment=115534] &6E^<v?]
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） !f \y3p*j
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[attachment=115535] PU^Z7T);
（b）达曼光栅衍射效率 ;o#R(m@Lx
ET`;TfqM
3）rsoft仿真 0 %^m
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） yl%F }kBR
G?MNM -2
[attachment=115540] O(otI-Lc
（a）标量衍射结果结构图 fmvv
q1G&
mYN|)QVKy
[attachment=115541] fV_(P_C
（b）衍射效率 G~e`O,+
Oav^BhUO
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 mIZ# uW
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[attachment=115537] h"' )D
（a）矢量衍射结果结构图 q7wd9 6G:
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[attachment=115536] ^6ZA2-f/<8
（b）衍射效率 %9=^#e+pE
~OEP)c\k
2、偶数型达曼光栅设计 81/Bn!
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 3e:"tus~
[attachment=115542] ZSMOq4Y 9
（a）结构图 b' ^ -$
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[attachment=115543] fdN-Zq@'
（b）衍射效率 y^:g"|q
Y=4 ,d4uu
[attachment=115545] y8wOJZ<K
（a）结构图 o;\0xuM@
V zMoWD;
[attachment=115544] 9QI\[lT&
（b）衍射效率
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