| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 "PzP; Br
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 kA^A mfba
oZ:{@ =
1）标量衍射理论设计 5B*qbM
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 m7m
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|I ^y0Q:K
[attachment=115539] a$m_D!b~_
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） e4[) WNR
ZEGd4_ux
[attachment=115538] o56kp3b)b
（b）达曼光栅衍射效率 M#a&\cqC
!ZrB^?s O
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 1[DS'S
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 &{W ^W8,%
rk,p!}FqL
[attachment=115534] `?uPn~,e8
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） V]c5
Z$B d
<HQ&-j x
[attachment=115535] hYb9`0G"2
（b）达曼光栅衍射效率 IN^_BKQt
2EfflZL3
3）rsoft仿真 \hbi U ]
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） _M5Xk? e=
3eKQ<$w
[attachment=115540] qks|d_
（a）标量衍射结果结构图 O
>FO>
kCA5|u
[attachment=115541] ) ooWQ-%P
（b）衍射效率 " H1:0p
;+`uER
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 gX,9Gh
>IY,be6>P
[attachment=115537] Y= Hz;Ni
（a）矢量衍射结果结构图 8i: [:Z
@!\K>G >9[
[attachment=115536] `^##b6j H
（b）衍射效率 3h S6j S
I KcKRw/O$
2、偶数型达曼光栅设计 a+?~;.i~
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 V XIQw' Cq
[attachment=115542] 2jA%[L9d^
（a）结构图 YKs4{?vw
uA\J0"0; }
[attachment=115543] Y8ehmz|g]J
（b）衍射效率 p4> ,Fwy2
<LA^%2jT
[attachment=115545] " s]y!BLk
（a）结构图 .mPg0
\!H{Ks{#R.
[attachment=115544] 6c<ezEJ
（b）衍射效率
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