| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 tR/
JY;jn
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 V-u\TiL
J>v>6OC6i
1）标量衍射理论设计 M$A !
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 I2Q?7p
50` r}s}
[attachment=115539] Z 28@yD +
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Ob+c*@KiW
<[~M|OL9q,
[attachment=115538] < O&s 'A[
（b）达曼光栅衍射效率 nTlrG6
PrxXL/6
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 %LmB`DqZ
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 `8Ix&d3F
o LRio.u*
[attachment=115534] 2 O>iAzc
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） h|Qh /jCX
>8-
`
[attachment=115535] H^0KNMf(
（b）达曼光栅衍射效率 Ce emR>\t
^ 2tCDm5
3）rsoft仿真 =p:6u_@XWj
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） lPP7w`[ PA
(Zkt2[E`
[attachment=115540] 4Qs#ws])
（a）标量衍射结果结构图 }=5(*Vg
WOoVVjM M
[attachment=115541] <#i'3TUR
（b）衍射效率 )V rHP9fu
@w z7jzMi
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 u/WkqJvw#
YTsn;3d]}
[attachment=115537] +(T,d ]o]
（a）矢量衍射结果结构图 +q!6zGs.
14O/R3+
[attachment=115536] :a2?K 5
（b）衍射效率 -#h
\8Xl
kS>j!U(%d
2、偶数型达曼光栅设计 A,@"(3
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 _Yv9 u'q"
[attachment=115542] iuRXeiG8
（a）结构图 &kGSxYDk%
bK7DGw` 1
[attachment=115543] es{
9[RHK
（b）衍射效率 L[efiiLh$
[ aW#7
[attachment=115545] z
Ey&%Ok
（a）结构图 Z]dc%>
8vCHH&`
[attachment=115544] b
$!l* r
（b）衍射效率
|
|