| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 wZAY0@pA
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 *5Mg^}ZC5
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1）标量衍射理论设计 Ke 5fe#
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 YtQsSU
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[attachment=115539] #]g9O ?0$
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） H@j
D %
b* AL,n?
[attachment=115538] 2 c%*u {=:
（b）达曼光栅衍射效率 Pc{0Js5VzE
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2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Vk3xWD~
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 @2Spfj_e
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[attachment=115534] !awsQ!e|
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） bOY<C%;C
u lqh}Uv'
[attachment=115535] 9rd7l6$R"
（b）达曼光栅衍射效率 xlhc`wdm
#]vy`rv
3）rsoft仿真 t%B ,ATW
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） c~bTK"
u
f0< ' IgN
[attachment=115540] r X ^wNH
（a）标量衍射结果结构图 F74^HQ*J
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[attachment=115541] K~U5jp c
（b）衍射效率 xe=/T# %
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 !8z,}HUdK
n c0!ag
[attachment=115537] 5L IbHSK
（a）矢量衍射结果结构图 H7I& Ky
2#^@awJ ?
[attachment=115536] NrNxI'M G
（b）衍射效率 3 T<aGW1
a$7}41F[~s
2、偶数型达曼光栅设计 OJ /l}_a
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 i6.HR?n
[attachment=115542] _a?(JzLw5
（a）结构图 figCeJ!W4
8}Qmhm`_j=
[attachment=115543] Z 0(}doh
（b）衍射效率 t/3t69 \x
LH" CIL2
[attachment=115545] FA+'E
（a）结构图 *[QFIDn:
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[attachment=115544] GJ3@".+6
（b）衍射效率
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