| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 WY.5K
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以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 w -dI<s
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1）标量衍射理论设计 ".M:`BoW4
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 /#IH -2N
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[attachment=115539] -R74/GBg
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 0x4l5x$8
#W^_]Q=5R'
[attachment=115538] 2$DSB QEx
（b）达曼光栅衍射效率 s[Gsw d
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2）矢量衍射理论RCWA算法设计 H` Lu"EK
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 W+/2c4$F3
cE 2R r
[attachment=115534] ?Hk.|5A}
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） UhBz<>i;!
4%> +Wh[
[attachment=115535] P |v ?
（b）达曼光栅衍射效率 "Y(%oJS]D
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dM@>5[
3）rsoft仿真 p `L L
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） U-ULQ| 6U
I2W{t l
[attachment=115540] qA bd xd[
（a）标量衍射结果结构图 c*jr5 Y
{~"Em'}J
[attachment=115541] LiF. w:}
（b）衍射效率 6<+8}`@B>G
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 ',%5mF3j
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[attachment=115537]
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（a）矢量衍射结果结构图 E~qK&7+
[@zkv)D6
[attachment=115536] Hj1k-Bs&'w
（b）衍射效率 ~(M*6b
hOV_Oqe4?
2、偶数型达曼光栅设计 BHIM'24bp
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 HK? Foo?
[attachment=115542] 7~L|;^(
（a）结构图 r"6lLc
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zdxw$E
[attachment=115543] $*wu~
（b）衍射效率 zcZ^s v>
i /C '0
[attachment=115545] Mr u~<:9
（a）结构图 td%Y4-+ -
OfW%&LAMQ
[attachment=115544] 5' ),)
（b）衍射效率
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