| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 OM^`P
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 "9d Z
z/{
A W6B[
1）标量衍射理论设计 k>Fw2!mA^
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 w)* H&8h@
Du
+_dr^4
[attachment=115539] Yr~wsE/
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 4OLYB9HP_
Dq%} ({+
[attachment=115538] rXz q :
（b）达曼光栅衍射效率 Tc!n@!RA|
x^c ,cV+*
2）矢量衍射理论RCWA算法设计
#tpz74O
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 yPT o,,ca=
`n-/~7
[attachment=115534] ?u&|'ASo
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 7Y-Q, ?1
RhmkpboucC
[attachment=115535] l"
~
CAw;
（b）达曼光栅衍射效率 <,it<$f#
?./fVoA]V
3）rsoft仿真 fQ"Vx!
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） [ _ `yy
^tSwA anP\
[attachment=115540] -dF (_ %C
（a）标量衍射结果结构图 qc.TY p
-6WSYpHV
[attachment=115541] & ^1 b]f
（b）衍射效率 9=6BQ`u
4,W,E4 7
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 tS\Db'C7
82+2 PE{
[attachment=115537] ^K: :g)
（a）矢量衍射结果结构图 vol (%w B
9@lG{9id?
[attachment=115536] 3!cenyE
（b）衍射效率 wj0_ X;L
I(kEvfxc"
2、偶数型达曼光栅设计 %Jd!x{a`>A
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 w;(=w N\
[attachment=115542] =Ez@kTvOs
（a）结构图 >dgq2ok!u
_<2{8>EVf
[attachment=115543] E }F-*go
（b）衍射效率 TG8 U=9qt
gaNe\
[attachment=115545] hT_Q_1,
（a）结构图 S76MY&Vx23
3?`TEw~'
[attachment=115544] :/6aBM ?
（b）衍射效率
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