| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 E
Fv+[
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 v Cmh3TQ
fzio8m KVX
1）标量衍射理论设计 *xjIl<`pK
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 9E#(i P
3}gK`1Nq1
[attachment=115539] a #0{tZd
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） `fV$'u
6?iP z?5
[attachment=115538] QA 9vH'
（b）达曼光栅衍射效率 HZ}'W<N
{r}}X@|5
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 H5%I?ZXw4
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 7> mYD3
*Xnq1_K}
[attachment=115534] 5(|ud)v
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ropiyT9;
!'MD8
[attachment=115535] A&7jE:Ew
（b）达曼光栅衍射效率 ;Dgp
!*v=
]a%Kn]HI&2
3）rsoft仿真 {2Ibd i
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） [aC9vEso!
CKur$$B
[attachment=115540] W!^=)Qs
（a）标量衍射结果结构图 xr2:bu
qs b4@jt+
[attachment=115541] _L72 Ae(_
（b）衍射效率 igL^k`&5^"
=>J#_Pprn
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 )5v .9N 6v
/W> " G1)
[attachment=115537] ]rm=F]W/n
（a）矢量衍射结果结构图 0Q9OQqg
m
Z}C%%2Iz
[attachment=115536] ;v'Y' !-J
（b）衍射效率 BkeP?X
jdp:G
2、偶数型达曼光栅设计 Jp#cFUa t
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 FHC7\#p/9Z
[attachment=115542] q Q'@yTVN
（a）结构图 7q=0]Hrg(D
*S4P'JSY
[attachment=115543] QMY4%uyY!
（b）衍射效率 8gxLL59
J #]y KgT
[attachment=115545] xL"% 2nf
（a）结构图 Z#O3s:`
GZt] 38V)g
[attachment=115544] k#&SWp=
（b）衍射效率
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