| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 DI8<0.L
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 {g#4E0.A!
]+46r!r|
1）标量衍射理论设计 {aN pk,n
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 S
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/q+;!EM
[attachment=115539] +}N'Xa/Jt
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ~5`oNa
hVmnXT
3Z
[attachment=115538] mE`qA*=?
（b）达曼光栅衍射效率 Q&N#q 53
*2u ~5 Kc<
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ;:j 1FOj
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 zxx\jpBBk
~x!up 9
[attachment=115534] );':aX j
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 71\ 53Qr#U
}mXYS|{
[attachment=115535] ?!&%-R6*
（b）达曼光栅衍射效率 @`dg:P*[
#kASy 2t
3）rsoft仿真 @U18Dj[
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） BH1h2OEe#
sa4w.9O1GS
[attachment=115540] cu($mjC@T
（a）标量衍射结果结构图 l@Vv%w9H
'"fJA/O
[attachment=115541] itP`{[
（b）衍射效率 gr SF}y!3
!CWe1Dm
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 q50F!yHC-
RC/ 3\ '
[attachment=115537] s@ r{TXEn
（a）矢量衍射结果结构图 \O;2^
R
,qQ C<
[attachment=115536] }a| | @unr
（b）衍射效率 M/quswn1
M&j|5UH%.
2、偶数型达曼光栅设计 OQ&N] P2p
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 v^b4WS+.:
[attachment=115542] :R,M Y"(
（a）结构图 6s SwSS
yl~_~<s 6
[attachment=115543] Mg.%&vH\
（b）衍射效率 %`yfi+e
qK a}O*
[attachment=115545] :.,9}\LK
（a）结构图 tO 8\} u4c
HCs^?s8Pp
[attachment=115544] M_};J;
（b）衍射效率
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