| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 "v4; m\g&:
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 Lhu2;F\/
1eI >Yy>}
1）标量衍射理论设计 i{PRjkR
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 /ow/)\/}
')I/D4v
[attachment=115539] g "]%5Ow1
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） YFOK%7K
N!m-gymmF
[attachment=115538] eSoOJ[&$
（b）达曼光栅衍射效率 j#y_#
>[,Rt"[ V
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ~\DC
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运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ~ C6< 75
UZMo(rG.]{
[attachment=115534] EaFd1
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） @^}
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o-:
-vwkvNn8
[attachment=115535] b_cnVlN[
（b）达曼光栅衍射效率 _WtX8
4fw>(d(2
3）rsoft仿真 &M=12>ah]
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） o+`W
RfDIwkpp
[attachment=115540] CjORL'3
（a）标量衍射结果结构图 A,e/y
mN@)b+~(S
[attachment=115541] r0l ud&_9
（b）衍射效率 6 + ^ V
?2OT :/ I,
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 4z Af|Je
% ~J90a
[attachment=115537] n' 7 3DApW
（a）矢量衍射结果结构图 uDK`;o'F
j[m\;3Sp
[attachment=115536] W"A Whi{h
（b）衍射效率 KM< +9`
!V$nU8p|
2、偶数型达曼光栅设计 fo&q/;l\
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ^2|gQ'7<
[attachment=115542] ,ZV<o!\
（a）结构图 cQzd0X
|OF<=G GO+
[attachment=115543] aoz+g,1
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（b）衍射效率 ;gy_Q f2U
kf_s.Dedw
[attachment=115545] 5H:NY |
（a）结构图 X< K[`
=I
+che Lc
[attachment=115544] _a8^AG
（b）衍射效率
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