yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 Cl[ '6Lk 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 z=<T[Uy 1B=vrGq 1)标量衍射理论设计 x*}j$n( Oa 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 ,WA7Kp9 84)$ CA+NX [attachment=115539] 0F=UZf& (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) CeS8I-, & S_gNa [attachment=115538] tY !fO>Fn~ (b)达曼光栅衍射效率 ,0NVb7F;k Ya*lq!
u 2)矢量衍射理论RCWA算法设计 ^"v~hjM# 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 ][S<M24]Q
/XS6X [attachment=115534] 'x<gC"0A (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) 9=@j]g| 5 g99t$p9 [attachment=115535] j]rE0Og (b)达曼光栅衍射效率 ur={+0
y K6~N{:.s 3)rsoft仿真 >`n0{:.1za 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) j+]>x]c0 \.myLkm [attachment=115540] ps"crV-W (a)标量衍射结果结构图 'P32G?1C&p | ctGxS9 [attachment=115541] <i^Bq=E<rJ (b)衍射效率 zCL/^^# DF%\1C> rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 vrm[sP 9H2^4D8 [attachment=115537] 6(sqS~D (a)矢量衍射结果结构图 -Vn9YeH+ ;WJ}zjo > [attachment=115536] =DvFY]9{ (b)衍射效率 "^ydoRZ OZ&J'Y 2、偶数型达曼光栅设计 %lbSV}V) 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 '{\VOU [attachment=115542] {\ P$5O{% (a)结构图 Yb%H9A v#a`*^ ^ [attachment=115543] 7_.z3Km: (b)衍射效率 SOE#@{IXBa x6* {@J&5* [attachment=115545] [5:,+i (a)结构图 'j !!h4 + G"=1sxJ [attachment=115544] &Sj<X`^ (b)衍射效率
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