| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 } -V .upl
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 P;MS%32
6DaH+
1）标量衍射理论设计 ^-~.L: }q
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 @K4} cP
?
4 qN>uW=
[attachment=115539] ? RB~%^c!
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） BG-uKJ ^
67 7p9{:
[attachment=115538] 0Ny0#;P
（b）达曼光栅衍射效率 _AI2\ e
}!Qo
wG
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 miZ {V%
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 YDi_Gl$
@r+ErFI
[attachment=115534] 1
YMaUyL
1
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） R(k6S
gBYL.^H^l
[attachment=115535] z ]o&^Q
（b）达曼光栅衍射效率 K?-K<3]9f
; )0vxcMB
3）rsoft仿真 7R7g$
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） mRj-$:}L
VG&|fekF
[attachment=115540] ?7^('
（a）标量衍射结果结构图 F8_pwJUpf-
JF: QQ\
[attachment=115541] Eqp?cKrj i
（b）衍射效率 %[lX
H
f:Nfw+/q
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 Z>o;Yf[
TjD`< k
[attachment=115537] }= s@y"["
（a）矢量衍射结果结构图 C([;JO
11[
Haj`mc!<D0
[attachment=115536] MA(\ r
（b）衍射效率 wMt? yc:X
X]C-y ,r[M
2、偶数型达曼光栅设计 ;lW0p8
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 [p}J=1S
[attachment=115542] ptb t
（a）结构图 (m t,:hX
iP|h] ;a+@
[attachment=115543] K JPB-
（b）衍射效率 d";+8S
?h1]s&^| 2
[attachment=115545] ZS > }NN
（a）结构图 ;o%r{:lng
Z(/jQ=ozQ
[attachment=115544] NjYpNd? g
（b）衍射效率
|
|