| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 {fIH9+v
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 ;CAB.aB~
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1）标量衍射理论设计 Z][?'^`^!
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 o~es> ;
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[attachment=115539] #Kn7
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（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） hh: )" <[
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[attachment=115538] Wuc,Cjm9(!
（b）达曼光栅衍射效率 .fD k5uo
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2）矢量衍射理论RCWA算法设计 >(%im :_
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 bIWcL$}4Q
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[attachment=115534] j#!J
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（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） P?]q*KViM
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[attachment=115535] X]y 3 ~|K
（b）达曼光栅衍射效率 \dufKeiS&a
%@pTEhpF
3）rsoft仿真 hb?
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标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
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[attachment=115540] kN>d5q9b%X
（a）标量衍射结果结构图 rZpc"<U
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[attachment=115541] n]8_]0{qi
（b）衍射效率 )]qFI"B7
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 cteHuRd
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[attachment=115537] L{gFk{ @W
（a）矢量衍射结果结构图 e,1Jxz4QH
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[attachment=115536] Yq5}r?N
（b）衍射效率 /9GqEQsfM
8,kbGlSD
2、偶数型达曼光栅设计 w_|WberU
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 (G$m}ng
[attachment=115542] 4]
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（a）结构图 QMfYM~o
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[attachment=115543] 2d1'!B
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（b）衍射效率 zlFl{t
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[attachment=115545] !' sDqBZ&7
（a）结构图 eJ y @N
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[attachment=115544] Yn I
（b）衍射效率
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