| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 /h2b;"
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 XK(`mEi
0Y= ![tO8
1）标量衍射理论设计 VvbFp
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 2g{)AtK$#
dGfVZDsr]
[attachment=115539] w
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（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） l*b)st_p%
Gm`}(;(A
[attachment=115538] T70QJ =,
（b）达曼光栅衍射效率 o;"OSp
Bc-yxjsw
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 aMARZ)V
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 Q "r_!f
tqPx$s
[attachment=115534] {)f~#37
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） D-imL; |
C8 N{l:1f]
[attachment=115535] DH DZ_t:
（b）达曼光栅衍射效率 u
D 5%E7
)Ag/Qep
3）rsoft仿真 /e\{
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 5pNY)>]t=
O [17";P
[attachment=115540] YO{GU7
（a）标量衍射结果结构图 I[MgIr^
F-(dRSDNM
[attachment=115541] H J?+A-n/
（b）衍射效率 \hO2p 6
Uv_N x10
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 PeX1wK%f
Oh.ZPG=
[attachment=115537] ){s*n=KIO
（a）矢量衍射结果结构图 M
x5`yT7
;P&y,:<m:
[attachment=115536] $$i. O }
（b）衍射效率 =6FUNvP#8
A \rt6/
2、偶数型达曼光栅设计 X C86-b)E
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 < [aDo%,A
[attachment=115542] wCMQPt)VS
（a）结构图
r#PMy$7L
m4K* <
[attachment=115543] z xb/
（b）衍射效率 &ej8mq"\
6[ qA`x#
[attachment=115545] {",MCu_V
（a）结构图 @YvOoTyb
} F6<w{|
[attachment=115544] hjZ}C +=O
（b）衍射效率
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