| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 2 ES .)pQ
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 , @8>=rT
ZI-)'
1）标量衍射理论设计 E: L =>}
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 0 ;
M+8
P %(pbG-X.
[attachment=115539] ^3 F[^#"
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Wl?*AlFlk
[?yOJU%`
[attachment=115538] -%NT)o
（b）达曼光栅衍射效率 O\-cLI<h2
JIQS'r
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 8!'#B^
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 x?VX,9;j
<{JHFU`^
[attachment=115534] VrrCW/ o
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ; P&K a
?x%HQ2`
[attachment=115535] Jr==AfxyT
（b）达曼光栅衍射效率 g < M\zD
:I1 )=8lO
3）rsoft仿真 H_3S #.
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） Q+[gGe
JUF
O
sbY}*S
[attachment=115540] ?TLMoqmXM{
（a）标量衍射结果结构图 =(3Qb b1i
a{mtG{Wc
[attachment=115541] dc|"3 4;^"
（b）衍射效率 mpIRe @#Z
'R C(ss1G
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 jxm.x[1ki^
-:h5Ky"
[attachment=115537] r=~ yUT
（a）矢量衍射结果结构图 1>[3(o3t
cAogz/<S
[attachment=115536] O&!+ni
（b）衍射效率 ;^^u _SuH
Hl8-1M$&
2、偶数型达曼光栅设计 J$%mG* Y(
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ;$wS<zp6
[attachment=115542] #KF:(2
（a）结构图 No=Ig-It
\SHYwD}*Pr
[attachment=115543] NI Y0f@1z-
（b）衍射效率 C7dy{:y`
h
\hQ
[attachment=115545] Zrr3='^s
（a）结构图 YR@@:n'TP
z | Hl*T
[attachment=115544] <x,u!}5J
（b）衍射效率
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