| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 MuCnBx
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 @8qo(7<~Q
{]=oOy1
1）标量衍射理论设计 'Xw> ?[BB
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 @&Lt IN#
M k$Pt
[attachment=115539] } iCcXZ&5^
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） -McDNM
#K _E/~
[attachment=115538] 8{ iFxTz
（b）达曼光栅衍射效率 Q]o CzSi
`SGI
Qrb
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 U6Ws#e
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 )>~d`_$dt
.B|a.-oA4
[attachment=115534] !>R u= $9
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） |g}~7*+i
] iL>Zxe x
[attachment=115535] Msea kF
（b）达曼光栅衍射效率 MY `V0
L-\o zp
3）rsoft仿真 ??tNMr5{[
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ' t: s6
/ %:%la%
[attachment=115540] c (Gl3^
（a）标量衍射结果结构图 Jg\1(ix
mrvPzoF,]
[attachment=115541] KJ&~z? X
（b）衍射效率 W
n43TSs-
?}g#Mc
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 C-6m[W8S
.*>pD/
[attachment=115537] N)H
_4L
（a）矢量衍射结果结构图 V0!.>sX9
>'GQB
[attachment=115536] '5BM*4,:O
（b）衍射效率 Skn2-8;10
lp=8RbQYC
2、偶数型达曼光栅设计 !W ,pjW%Y
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 f/Q7WXl0
[attachment=115542] +,BJ4``*k
（a）结构图 lq%6~va
%ymM#5A
[attachment=115543]
P)$q
（b）衍射效率 9/x_ p;bI
9/nS?>11
[attachment=115545] cA8"Ft{P)
（a）结构图 Q|`sYm'.
~>]/1JFz
[attachment=115544] Z$'483<
（b）衍射效率
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