| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 21k5I #U
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 6'\6OsH
OL4z%mDZi
1）标量衍射理论设计 h -iJlm
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 Kw#so; e
+P.+_7+:
[attachment=115539] U,nEbKJgk
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） j
";2o(
h iN EJ_f
[attachment=115538] f~ }H
（b）达曼光栅衍射效率 ySI~{YVM
pp9 Zb.D\
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 cuOvN"nuNj
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 (O0Urm
g{5A4|_7
[attachment=115534] f/Cu E%7BR
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） cwGbSW$t
JN7k 2]{
[attachment=115535] c- .t>r &
（b）达曼光栅衍射效率 Y@PI {;!
2NB L}x
3）rsoft仿真 % YOndIS:
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） + F
dB '
DxJX+.9K9
[attachment=115540] ~'R(2[L!;
（a）标量衍射结果结构图 ^MBm==heL
fu~ +8CE.
[attachment=115541] ;sHN/e F
（b）衍射效率 610D% F
M DF%\Sx
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 P./VmY'
J,b&XD@m
[attachment=115537] pmX#E
（a）矢量衍射结果结构图 k}~O}~-
mFHH515
[attachment=115536] np~~mdmRK
（b）衍射效率 ek&k v #G
o/ui)U_
2、偶数型达曼光栅设计 {[+2n]f_G
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 +f[ED4E>'(
[attachment=115542] k__$ Q9qj(
（a）结构图 dx ;k`r$w
EM\'GW
[attachment=115543] ne^imht
（b）衍射效率 u[{tb
Z}-Vf$O~
[attachment=115545] Iy }:F8F>g
（a）结构图 o=nsy]'&
dMrd_1
[attachment=115544] A'nq}t 3
（b）衍射效率
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