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yalx 2022-12-03 16:22

达曼光栅设计

1、奇数型达曼光栅设计 Cl[ '6Lk  
以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 z=<T[Uy  
1B= vrGq  
1)标量衍射理论设计 x*}j$n(Oa  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 ,WA7Kp9  
84)$ CA+NX  
[attachment=115539]         0F=UZf&  
  (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) CeS8I-,  
                           & S_gNa  
[attachment=115538] tY !fO>Fn~  
(b)达曼光栅衍射效率 ,0NVb7F;k  
Ya*lq! u  
2)矢量衍射理论RCWA算法设计 ^"v~hjM#  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 ][S<M24]Q  
/XS6X  
[attachment=115534]                               'x<gC"0A  
(a)达曼光栅结构(坐标已归一化) 9=@j]g|  
5 g99t$p9  
[attachment=115535] j]rE0Og  
(b)达曼光栅衍射效率 ur={+0 y  
K6~N{:.s  
3)rsoft仿真 >`n0{:.1za  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) j+]>x]c0  
\.myLkm  
[attachment=115540]                 ps"crV-W  
(a)标量衍射结果结构图     'P32G?1C&p  
| ctGxS9  
[attachment=115541] <i^Bq=E<rJ  
(b)衍射效率             zCL/^^#  
DF%\ 1C>  
rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 vrm[sP  
9 H2^4D8  
[attachment=115537]                       6(sqS~D  
(a)矢量衍射结果结构图   -Vn9YeH+  
;WJ}zjo >  
[attachment=115536]                               =DvFY]9{  
(b)衍射效率     " ^ydoRZ  
OZ&J'Y  
2、偶数型达曼光栅设计 %lbSV}V)  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 '{\VO U  
[attachment=115542]                     {\ P$5O{%  
(a)结构图 Yb%H9A  
v#a`*^ ^  
[attachment=115543] 7_.z3K m:  
(b)衍射效率                                                                     SOE#@{IXBa  
x6* {@J&5*  
[attachment=115545]                                   [5:,+i  
(a)结构图 'j !!h4  
+G"=1sxJ  
[attachment=115544]       &Sj<X`^  
(b)衍射效率    
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