| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 P()&?C
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 meap ;p
/ a}N6KUi
1）标量衍射理论设计 ]5j>O^c<
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 ;u' ;$0
C^] UK
[attachment=115539] wB[
JFy"E
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 1v|0 &{lB
1!+0]_8K
[attachment=115538] 6khm@}}
（b）达曼光栅衍射效率 1csbuR?
SBi4i;qD
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 [
f<g?w
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 n0':6*oGW
Z]Z&PbP
[attachment=115534]
6 |6O|
<o
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Csgb y(D*O
7D8 pb0`;J
[attachment=115535] :.-KM7tDI1
（b）达曼光栅衍射效率 c qb6]
oq>jCOVh
3）rsoft仿真 Z\1`(Pq7`
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） I[ 06R
4q@[k: '
[attachment=115540] QS,_= <
(
（a）标量衍射结果结构图 ~( rZ)
0@&;JMh6<
[attachment=115541] u
VUrg;>
（b）衍射效率 6k7x7z
ph ~#{B(\
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 7{rRQ~s&g9
p Bu }c<
[attachment=115537] )4YtdAV
（a）矢量衍射结果结构图 WUx2CK2N
fB4zqMSfE
[attachment=115536] W,t`DMC
（b）衍射效率 $nf
% <Q
8rz ,MsFR
2、偶数型达曼光栅设计 sY}0PB
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 r)G)i;;~*
[attachment=115542] OtT*)8*c
（a）结构图 q^[SN
*unJd"<*&@
[attachment=115543] _ UF'Cf+Y
（b）衍射效率 Ao9|t;i
w - wJhc|
[attachment=115545] l2LO,j}
（a）结构图 0}Q d
U}-hV@y
[attachment=115544] ef:Zi_o
（b）衍射效率
|
|