| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 Jp j}@,
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 g3Ec"_>P
:@kGAI
1）标量衍射理论设计 ^g*pGrl#
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 T:t]"d} }
A3rPt&<a
[attachment=115539] V\6=ySx
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ~1cnE:x;V
w i hH?~]
[attachment=115538] ~Cl ){8o
（b）达曼光栅衍射效率 'Hc-~l>D
]P#X VDn+;
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 flk=>h|
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 _ 6O \W%it
P6E3-?4j
[attachment=115534] LL] zT H0
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） {xwm^p(f
^=C{.{n
[attachment=115535] HqI t74+
（b）达曼光栅衍射效率 %F\?R[^5
wkP#Z"A0~
3）rsoft仿真 6Ca (U'
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） L/w D7/ODr
HKF H/eV
[attachment=115540] F4I t/
（a）标量衍射结果结构图 M>DaQ`b
Z= jr-)kK
[attachment=115541] g1XZ5P} f
（b）衍射效率 q/4YS0CqE
"vXxv'0 \f
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 I3
.x9
RD\
[attachment=115537] y(Y!?X I
（a）矢量衍射结果结构图 .zS?9MP
k9)jjR*XxG
[attachment=115536] '#s05h r
（b）衍射效率 =jSb'Vu|
=. y~f A!
2、偶数型达曼光栅设计 ZPiq-q
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 :q=%1~Idla
[attachment=115542] eK.e| z|
（a）结构图 y |CP;:f;
f-}[_Y%;
[attachment=115543] -cZDG t
（b）衍射效率 yMyE s 8
Tf tHwe):V
[attachment=115545] [E+$?a=
（a）结构图 K/A*<<r
~
$}lbT15a
[attachment=115544] N5* u] j
（b）衍射效率
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