| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 of >
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 rl2(DA{
k^#*x2b
1）标量衍射理论设计 fo <nk|i
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 iG"1~/U
jw/@]f;N
[attachment=115539] 9H53H"5q
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ezhfKt ]j
h
A '>
[attachment=115538] @RCZ![XYWg
（b）达曼光栅衍射效率 MlLM
$Y-@
Dc 84^>l
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 twt's, dO
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 1uE M;O
F3 g$b,RMH
[attachment=115534] sp_19u
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） b/tc D r
5 o[E8c 8
[attachment=115535] 0LTsWCUQ6e
（b）达曼光栅衍射效率 AmUH ]+5KT
@wVDe\% ,
3）rsoft仿真 i3) 7Qa[
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） !<F5W <V
dZddo z_
[attachment=115540] qWXw*d1]
（a）标量衍射结果结构图 ]4'V59\
f:AfM f>m
[attachment=115541] C d_H<8__
（b）衍射效率 @Y ?p-&
qZlL6
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 q9\(<<f|
H2+V1J=
[attachment=115537] =(bTS n
（a）矢量衍射结果结构图 !G<gp4Js+N
;g?o~ev 8
[attachment=115536] T: ! H^
（b）衍射效率 0 }e&ONDQ
)Q<u0AxAn
2、偶数型达曼光栅设计 #8%~ u+"N
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 B9`_~~^U5
[attachment=115542] +JB*1dz>8
（a）结构图 I]Z"?T
}{[p<pU$C
[attachment=115543] 51;Bc[)%
（b）衍射效率 #?Ob->v
,0?3 k
[attachment=115545] b8 6c[2
（a）结构图 kZc Ge*
;9)=~)
[attachment=115544] /1hcw|cfC
（b）衍射效率
|
|