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danieltsai06	2022-12-01 08:50
蒸鍍AS/AF的問題机型:OPTORUN1850 @Y<bwv AS膜厚15nm. @wo(tf=@P 外圈AS可达规水接触角110度，但是内圈都达不到，有什么改善方法吗? c*L\_Vx+ 恳求指教!!!

xzaxd	2022-12-01 11:02
蒸发源抬高试一试？或者增加厚度

ouyuu	2022-12-01 21:36
蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 P0j8- I 如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。 fnX`Q[b4\A -0{r>,&Mm 另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 5T2CISmu 你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸

谭健	2022-12-01 22:20
路过学习看看呢

xiezhizhi	2022-12-02 12:39
学习看看呢

danieltsai06	2022-12-05 11:08
ouyuu:蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 )Sg~[WxDv 如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。 3U.88{y 另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 !GLz)#SBl 你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸 (2022-12-01 21:36) !tMuuK?IL= /F-qP.<D,r 真空度是越低较好，还是越高较好?

凯歌一万年	2022-12-07 17:25
联系我 YKWQAZWSX 1+qw$T

ouyuu

2022-12-10 12:33

danieltsai06:真空度是越低较好，还是越高较好? (2022-12-05 11:08) !z<%GQ CT

真空度代表了蒸发源的平均自由程，平均自由程影响分布。
真空度越高平均自由程越大，这样到达远端的材料就越多。

只能说影响分布，具体分布哪部分增多哪部分减少，
还要看具体的蒸发源位置，伞形，伞的高度，排气口高度等等

hhjj123	2023-02-07 16:55
换材料，增加厚度

xhj0328	2023-02-11 08:55
厚度不够，换材料

谭健	2023-02-11 14:06
或者增加厚度

peterwei	2023-02-28 10:30
好問題學習學習

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