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infotek 2022-11-22 08:30

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 0HUylnXf0  
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建模任务 xP,b/T #a  
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概述 tHAe  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 XMiu}w!  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 a9UXg< 4  
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光线追迹仿真 h[&"KA  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |-)8=QDz)r  
•单击go! yYaoA/0  
•获得了3D光线追迹结果。 !=A;?Kdq  
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X^Z!!KTH  
|JP19KFx'B  
光线追迹仿真 |Fi5/$S.  
n_3 R Q6  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *ziR&Fr!  
•单击go! l#`G4Vf  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 OZ+v ~'oD  
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场追迹仿真 Pc_aEBq  
p[(I5p: L  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 tq}45{FH3  
•单击go! ICvV}%d  
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场追迹仿真(相机探测器) LP=j/qf|  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 W*t] d  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 >WIc"y.  
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W3:Fw6v  
场追迹仿真(电磁场探测器) aPVzOBp  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -cM1]soT  
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     B*,)@h  
场追迹仿真(电磁场探测器) \gk.[={^P  
 C/IF~<B  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,VHqZ'6  
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