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infotek 2022-11-22 08:30

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 L,y6^J!  
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建模任务 9T#;,{VQ  
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概述 R1Sy9x .  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。  "KcA  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;^t{Il'j  
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光线追迹仿真 }VDqj}is  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 h-iJlm  
•单击go! LYlDc;<A  
•获得了3D光线追迹结果。 O=u1u}CP?  
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光线追迹仿真 pr%nbl  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 y:v,j42%  
•单击go! 6e&>rq6C  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 eQQ>  
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场追迹仿真 C6rg<tCH  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $9?cP`hmi  
•单击go! R8.CC1Ix  
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场追迹仿真(相机探测器) Ef<b~E@  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 LjV]0%j?r  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 $s<Ne{?  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ou %/l4dC  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7RZh<A>m  
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场追迹仿真(电磁场探测器) /lafve~  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .!JVr"8  
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