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infotek 2022-11-22 08:30

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 dn42'(p@G  
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     SZtSUt(ss  
建模任务 EX W?)_pg  
D"fjk1  
gLo&~|=L-  
概述 @#o 7U   
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 L4u.cH J}0  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 TOq xl  
b=WkRj  
T2|<YJ=  
q~AvxO  
光线追迹仿真 B<@a&QBTg  
Rdd9JJsVd  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 v=uQ8_0~N  
•单击go! l9y%@7  
•获得了3D光线追迹结果。 wt_ae|hv  
4 #lLC-k  
0U.Ld:  
DEfhR?v  
光线追迹仿真 RdpOj >fT  
Cf<TDjU`|  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 % 1<@p%y/  
•单击go! cZWW[i  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 [c=![ *}/  
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DuQ:82 3b  
场追迹仿真 :2{ [f+  
lL'K1%{+ \  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 qX[C%  
•单击go! `\BBdQ#bH  
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场追迹仿真(相机探测器) `soQp2h-  
O=1 #KNS  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;:)u rI?  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ~~ty9;KYL  
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f+c{<fX  
)B5U0iIi  
场追迹仿真(电磁场探测器) bG)6p05Oa  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _xP@kN~  
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<S@2%%W  
     U4e9[=q`'  
场追迹仿真(电磁场探测器) iW? NxP  
6SSrkj}U  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rN {5^+w  
?3iN)*Ut  
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