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infotek 2022-11-22 08:30

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 \(z)]D  
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建模任务  r>G$u  
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概述 7<KRB\)b&  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 bcZHFX  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Lr+2L_/v`  
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光线追迹仿真 > W0hrt?b  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 YnNei 7R  
•单击go! Y<|L|b6  
•获得了3D光线追迹结果。 qD9B[s8  
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光线追迹仿真 E+Gea[c  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ilNm\fQ.  
•单击go! ;DGWUK.U[H  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ) ejvT-  
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场追迹仿真 &hF>}O  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 l@GpVdrv  
•单击go! *yJb4uALB  
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场追迹仿真(相机探测器) q&wMp{  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "5e]-u'  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 $)uQ%/DH>  
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场追迹仿真(电磁场探测器) AfY(+w6!K  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nd?m+C&W  
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场追迹仿真(电磁场探测器) O8lOr(|l  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `ybZE+S.  
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