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infotek 2022-11-22 08:30

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

"RZV v~BD  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 %XIPPEHU  
Gag=GHG  
:BIgrz"Jz  
     \YV`M3O  
建模任务 $Tc"7nYu  
!F@9xG  
!G`7T  
概述 a@>P?N~LA9  
/hx|KC&:e  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 V(-=@UW  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 O!Rw? Y  
5Z2tTw'i  
s<}d)L(  
 X`REhvT  
光线追迹仿真 u0Nag=cU  
_A[k&nO!&J  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 G)vq+L5%  
•单击go! p5 !B  
•获得了3D光线追迹结果。 zcn> 4E)  
7RH1,k  
U$-;^=;  
L)0j&  
光线追迹仿真 G4VdJ(_  
6 /A#P$G  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |H.i$8_A  
•单击go! ?1+JBl~/d  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Nb[zm|.  
I U Mt^z  
r)9&'m.:  
-uE2h[X|  
场追迹仿真 G`a,(<kT;  
Z#J cN quM  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 fmDn1N-bG  
•单击go! Awip qDAu  
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F5*NK!U  
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场追迹仿真(相机探测器) T)!$-qdz/  
5|4=uoA<  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 +PCsp'D d  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ftL>oOz[  
FN25,Q8:*I  
:9_N Y"P  
VcLB0T7m\  
场追迹仿真(电磁场探测器) z>,fuR?9  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r_5k$u(  
oicj3xkw?  
4f}:)M$5  
     !<ae~#]3 P  
场追迹仿真(电磁场探测器) bZ/4O*B  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 af:wg]g  
H-*"%SJ  
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