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全场光学相干扫描干涉仪
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infotek
2022-11-21 08:34
全场光学相干扫描干涉仪
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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•定义元件的位置和方向
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