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infotek 2022-11-21 08:34

全场光学相干扫描干涉仪

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 |g !$TUS.  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 #B!M,TWf9s  
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•设置输入场 ^ME'D  
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 q}z`Z/`/  
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•使用参数运行检查影响/变化 ^nFP#J)_5  
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