关于射频中和器阴极材质和形状的一点知识

最近接到新柯隆射频离子源的中和器问题的问询比较多，大多数问题和客户一起解决了。
新柯隆中和器因为是自匹配（没有手调的地方），所以一旦发生问题，很多客户都是一头雾水。
我在这里普及一点我知道的知识，希望大家碰到问题的时候能够给一些帮助。

很多中和器问题的原因1：阴极的材质
新柯隆老款是镍，新款是钽。（中间有掺杂，并非纯的）
镍的优点是软，容易修正形状。但是镍在300度以上很容易氧化。
我客户新旧两款中和器上，同样的副厂镍电极，同样的冷却时间。
老款中和器稳定运行，但是新款设备的镍电极很快就氧化了。
（陶瓷杯内部很多渣，产品表面麻点，中和器不稳定）
估计是新老两款中和器的温度或者散热速度不一样。

钽的优点是耐氧化，但是一旦加热就会变脆，一旦变形无法修正。
原厂的钽电极一般寿命在1年左右。（根据我客户问我购买的频度推测）

问题的原因2：阴极的形状和工艺

新柯隆的原厂钽中和器阴极已经改进了形状，大大减小了变形。
副厂中和器有先卷成筒然后切割的，也有先切后卷的，先卷后切的不易变形。
（接近改进前的原厂部品，寿命在3~6个月左右）

问题的原因3：电气连接
中和器是高温部件，螺丝螺母等连接件很容易氧化。
推荐定时更换镀金螺丝螺母，不要用普通螺丝
（原因1：普通螺丝易氧化造成电接触不良原因2：普通螺丝易咬死）

问题的原因4：陶瓷
国内大多数副厂的陶瓷其实已经够用了，因为阴极电压并不高。
但是也有碰到品质极差的，比如说内部孔隙过多（气体析出造成中和器打火）
材质不对（不是AL2O3，高温下发生变形）。

问题的原因4：气体
气体流量不够或者过多都会造成不稳定。
如果中和器有漏气，比如说波纹管漏气，气嘴和底座间隙不好，
可以试下增加气体流量来补偿。

最后说一点：
但是如果产品要求高的话，还是推荐原厂陶瓷。
国内副厂的陶瓷大多数还是热烧结的，内部还是会有孔隙。
孔隙造成的中和器打火是麻点的原因之一。
实际上综合考虑使用寿命，原厂件不是最贵的。

xzaxd	2022-11-16 11:50
谢谢大佬分享！

xzaxd	2022-11-23 17:54
想问问版主说的最后一点，中和器打火造成的麻点现象通常是是单个的麻点还是一团的麻点呢？

ouyuu	2022-11-25 21:42
xzaxd:想问问版主说的最后一点，中和器打火造成的麻点现象通常是是单个的麻点还是一团的麻点呢？ (2022-11-23 17:54) B(\|u HuT4OGBFpC 是均匀分散的麻点，其实是中和器内部氧化物粉末。 4y"w*L 中和器是产生电子的地方，这些粉末带上电子，所以才会跑这么高。

谭健	2022-11-25 23:44
谢谢大佬分享！

xzaxd	2022-11-29 11:28
ouyuu:是均匀分散的麻点，其实是中和器内部氧化物粉末。 ~4+ICCbH 中和器是产生电子的地方，这些粉末带上电子，所以才会跑这么高。 (2022-11-25 21:42) 63E)RR_Lh 8vkCmV 好的，谢谢！

shenhan0701	2022-12-09 16:33
学习了

时间太漫长	2023-02-11 21:26
果然是大佬

蓦然知回路	2023-04-14 14:39
陶瓷是否有使用寿命呢？一直使用是否会导致空隙的变大？

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