薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。

建模任务 lo[.&GD
YW{C} NA

正弦光栅—效率与高度（TEA）

正弦光栅—透射相位曲线 D9z|VIw8
H,b5C_D29

正弦光栅—透射相位曲线 O} f80K
0}b tXh

正弦光栅—衍射效率 qHxqQ'ks;
>Z1sb n

正弦光栅—效率与周期 9=UkV\m)
)b:7-}d

正弦光栅—特定周期下的相位曲线 mya_4I m
dH-s2r%s

闪耀光栅—效率与高度（TEA） gSh+}r<7
~c&bH]cj

闪耀光栅—透射相位曲线 +(h\fm7*-
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闪耀光栅—衍射效率 h@[R6G|
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闪耀光栅—效率与周期 $g sxO!G
8|" XSN

闪耀光栅—特定周期下的相位曲线

VirtualLab Fusion一瞥 }nL7T'$>
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VirtualLab Fusion工作流程

• 设置光栅结构

• 分析光栅衍射效率

• 通过参数运行检查不同参数的影响

VirtualLab Fusion技术 m5r7
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