薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。

建模任务 I QS|
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正弦光栅—效率与高度（TEA）

正弦光栅—透射相位曲线 be|k"s|6)
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正弦光栅—透射相位曲线 Z2_eTC u
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正弦光栅—衍射效率 Cg?D<l4
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正弦光栅—效率与周期 UeIu -[R
hPE#l?H@A

正弦光栅—特定周期下的相位曲线 E ~<SEA
E{[c8l2B

闪耀光栅—效率与高度（TEA） G"T)+!6t
UO47XAO

闪耀光栅—透射相位曲线 8 k9(iS
IAf,TKfe

闪耀光栅—衍射效率 p%EU,:I6
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闪耀光栅—效率与周期 R"Nvnpm
C'4u+raq

闪耀光栅—特定周期下的相位曲线

VirtualLab Fusion一瞥 0N$tSTo.-<
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VirtualLab Fusion工作流程

• 设置光栅结构

• 分析光栅衍射效率

• 通过参数运行检查不同参数的影响

VirtualLab Fusion技术 O|m-Uz"+
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