薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。

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正弦光栅—效率与高度（TEA）

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正弦光栅—衍射效率 .$7RF!p
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 <b.p/uA
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） DxwR&S{
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线

VirtualLab Fusion一瞥 U 7.kYu
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VirtualLab Fusion工作流程

• 设置光栅结构

• 分析光栅衍射效率

• 通过参数运行检查不同参数的影响

VirtualLab Fusion技术 ^n0;Q$\
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