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2022-11-02 08:38 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
TkVqv v M^lP`=sSv 内容简介 %/d1x Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 '>HLE) l 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 :sttGXQX 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 &UNQ4-s 讯技科技股份有限公司 bwa*|{R
">5$;{;2r r[wjE`Z/T 目录 xz~Y
%Y|Z Preface 1 u'^kpr`y 内容简介 2 \uO^wJ} 目录 i vpC?JXz=H 1 引言 1 LQR^lD+_= 2 光学薄膜基础 2 "ji+~%`^[t 2.1 一般规则 2 h"[:$~/UJ 2.2 正交入射规则 3 7EVB|gTp 2.3 斜入射规则 6 rM?
J40&. 2.4 精确计算 7 5~d=,;yE 2.5 相干性 8 5vLA)Al3 2.6 参考文献 10
qt6@]Y 3 Essential Macleod的快速预览 10 /(?s\}O 4 Essential Macleod的特点 32 ";/ogFi 4.1 容量和局限性 33 nFWiS~(#sW 4.2 程序在哪里? 33 c|K:oi,z 4.3 数据文件 35 qC5IV}9` 4.4 设计规则 35 x[u6_6=q9 4.5 材料数据库和资料库 37 oArXP\# 4.5.1材料损失 38 !,C8 4.5.1材料数据库和导入材料 39 lPrAx0m13% 4.5.2 材料库 41 /}
h"f5 4.5.3导出材料数据 43 qlnA7cK! 4.6 常用单位 43 $/ $Hi U`. 4.7 插值和外推法 46 wk{]eD% 4.8 材料数据的平滑 50 4dm0:,
G 4.9 更多光学常数模型 54 y0p\Gu;3j 4.10 文档的一般编辑规则 55 ^+0>,-)F 4.11 撤销和重做 56 dkqyn"^ 4.12 设计文档 57 7u
rD 4.10.1 公式 58 Xoha.6$l5 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ] g8z@r"b 4.10.3 沉积密度 59 'ka$@,s : 4.10.4 平行和楔形介质 60 wEN[o18{ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 CNhLp# 4.10.4 性能 61 g9=_^^Tg 4.10.5 保存设计和性能 64 ddbQFAQQQ 4.10.6 默认设计 64 =pTTXo 4.11 图表 64 2dK:VC4U 4.11.1 合并曲线图 67 !}5rd\ 4.11.2 自适应绘制 68 _xy[\X;9 4.11.3 动态绘图 68 )3<>H!yG} 4.11.4 3D绘图 69 A-J#$B 4.12 导入和导出 73 D6"d\Fm< 4.12.1 剪贴板 73 Z[0/x.pp$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 \;!7IIe# 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 LFr$h`_D5 4.13 背景 77 ]h=5d09z 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 $~VIx% h 4.15 生成Rugate 84 eKo=g|D 4.16 参考文献 91 owI:Qs_/4 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 V-E 77u6{0 5.1 Jobs 92 -F 9xPw 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ZE=
Yn~XM 5.3 输入材料 94 /5Vv5d/Z4! 5.4 设计数据文件夹 95 0cVxP)J+ 5.5 默认设计 95 _%23L| 6 细化和合成 97 O1wo
KkfV 6.1 优化介绍 97 WF_QhKW|k 6.2 细化 (Refinement) 98 _Vf>>tuW 6.3 合成 (Synthesis) 100 vp9wRGd 6.4 目标和评价函数 101 ggm'9| 6.4.1 目标输入 102 l;&kX6 w 6.4.2 目标 103 ) jt?X} 6.4.3 特殊的评价函数 104 e Qk5:{[ 6.5 层锁定和连接 104 !w@i,zqu 6.6 细化技术 104 C\vOxBAB 6.6.1 单纯形 105 g \ou+M# 6.6.1.1 单纯形参数 106 ZHlHnUo 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 mahNQ5 W*) 6.6.2.1 Optimac参数 108 MmePhHf 6.6.3 模拟退火算法 109 SoHaGQox 6.6.3.1 模拟退火参数 109 2@@evQ 6.6.4 共轭梯度 111 .p?SPR 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 YpRhl(| 6.6.5 拟牛顿法 112 P=L@!F+s 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ledr[) 6.6.6 针合成 113 tkkh<5{C
6.6.6.1 针合成参数 114 4tx6h<L#s 6.6.7 差分进化 114 K
V 6.6.8非局部细化 115 #0\* 86 6.6.8.1非局部细化参数 115
ls7P$qq 6.7 我应该使用哪种技术? 116 }' sW[?ik 6.7.1 细化 116 N9y+Psh 6.7.2 合成 117 "WO0rh` 6.8 参考文献 117
r* l
c# 7 导纳图及其他工具 118 "dE[X`
}= 7.1 简介 118 y~\uS 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ^4Ff8Y 7.2.1 四分之一波长规则 119 /L5:/Z 7.2.2 导纳图 120 jA[")RVG 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Zm7,O8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 g5u4|+70 7.5 斜入射导纳图 141 B@VAXmCaoV 7.6 对称周期 141 %DA`.Z9# 7.7 参考文献 142 0
0|!g"E>$ 8 典型的镀膜实例 143 AT1{D!b 8.1 单层抗反射薄膜 145 8xG"hJR 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 x5Fo?E 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 K5\l
(BB 8.4 W-膜层 148 e@ $|xa") 8.5 V-膜层 149 c&{= aIe w 8.6 V-膜层高折射基底 150 6Z2|j~ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 5zkj;?s 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 xU}J6 Tv 8.9 四层抗反射薄膜 153 7zJ2n/`m* 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 %6m' |(- 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 E*fa&G~s ) 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 8lS
RK% 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 c': 4e) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 }gB^C3b6 8.15十五层宽带抗反射膜 159 6A}tA$*s7 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Z,81L3#6 8.17 1/4波长堆栈 162 u47`&\ 8.18 陷波滤波器 163 q(L.i)w$ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 rmtCCPF?0 8.20 褶皱 165 EAKW^'D 8.21 消偏振分光器1 169 fwMYEj 8.22 消偏振分光器2 171 <F"G~.^ *s 8.23 消偏振立体分光器 172 HDKY7Yr 8.24 消偏振截止滤光片 173 LP'q$iB! 8.25 立体偏振分束器1 174 Wm5[+z|2?9 8.26 立方偏振分束器2 177 51H6
W/$ 8.27 相位延迟器 178 : yq2
XE%r 8.28 红外截止器 179 q;IuV&B
8.29 21层长波带通滤波器 180 m}zXy\ 8.30 49层长波带通滤波器 181 qt/6o|V 8.31 55层短波带通滤波器 182 Wa.!eAe} 8.32 47 红外截止器 183 w(t1m]pF[ 8.33 宽带通滤波器 184 e7\gd\ 8.34 诱导透射滤波器 186 ~Fl\c- 8.35 诱导透射滤波器2 188 ,j\uvi(Y 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 * LWihal 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 `T ^0&# 8.35 增益平坦滤波器 193 Gm=&[?} 8.38 啁啾反射镜 1 196 FeQo,a 8.39 啁啾反射镜2 198 PYY< 8.40 啁啾反射镜3 199 (x.qyYEoI 8.41 带保护层的铝膜层 200 Fm6]mz%~u# 8.42 增加铝反射率膜 201 9F6dKPN: 8.43 参考文献 202 gTB|IcOs 9 多层膜 204 Tyb'p9 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 3u^wK 9.2 内部透过率 204 <S6?L[_ 9.3 内部透射率数据 205 Aw4)=-LKO 9.4 实例 206 C=U4z|Ym 9.5 实例2 210 X}C8!LA 9.6 圆锥和带宽计算 212 HU4h.Lm 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 (b&Z\?" 10 光学薄膜的颜色 216 R\#5;W^ 10.1 导言 216 _%B,^0;C 10.2 色彩 216 c'Z)uquvP 10.3 主波长和纯度 220 G{Ju2HY 10.4 色相和纯度 221 $vYy19z 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 0b8=94a{> 10.6 色差 226 TlX:05/V8 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 {)!ua7GF0H 10.8 颜色渲染指数 234 d7zZ~n 10.9 色差计算 235 YN:Sn\`D 8 10.10 参考文献 236 ^gpd '*b 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6cbV[!BL 11.1 短脉冲 238 ]W~M?1} 11.2 群速度 239 p} eO 11.3 群速度色散 241 FYefn3b 11.4 啁啾(chirped) 245 +>[zn 11.5 光学薄膜—相变 245 *`/4KMrq 11.6 群延迟和延迟色散 246 Qm"~XP 11.7 色度色散 246 lb=fS% 11.8 色散补偿 249 ?@`5^7*
11.9 空间光线偏移 256 ",,.xLI7 11.10 参考文献 258 ; 4/ n~ 12 公差与误差 260 [O!/hppN 12.1 蒙特卡罗模型 260 6U%d3"T 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 k*F9&-rtN 12.2.1 误差工具 267 !,5qAGi0 12.2.2 灵敏度工具 271 $M4_"!
12.2.2.1 独立灵敏度 271 $-!7<a- 12.2.2.2 灵敏度分布 275 v~._]f$: 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 r~fnK%| 12.3 参考文献 276 {BaPK&x, 13 Runsheet 与Simulator 277 VAyAXN~ 13.1 原理介绍 277 N}{V*H^0QU 13.2 截止滤光片设计 277 c*"P+ 14 光学常数提取 289 C$LRX7Z`o 14.1 介绍 289 X`eX+9 14.2 电介质薄膜 289 hg'eSU$J 14.3 n 和k 的提取工具 295 r8czDc),b 14.4 基底的参数提取 302 \RFA?PuY 14.5 金属的参数提取 306 Dsv2p~ 14.6 不正确的模型 306 UX|3LpFX&I 14.7 参考文献 311 HAs/f#zAk6 15 反演工程 313 ,,#6SR(n 15.1 随机性和系统性 313 - JFW ,8=8 15.2 常见的系统性问题 314 ~=oCou`XF 15.3 单层膜 314 }20tdD ~ 15.4 多层膜 314 tO"AeZe%| 15.5 含义 319 9fM=5 15.6 反演工程实例 319 wZ`{ i 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 B/3xV:Gy 15.6.2 反演工程提取折射率 327 JlEfUg#* 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 o`'4EVw* 16.1 光学性质的热致偏移 329 HoWK#Nz\ 16.2 应力工具 335 Ze[\y(K! 16.3 均匀性误差 339 PtL8Kd0`C 16.3.1 圆锥工具 339 G- ]_
d 16.3.2 波前问题 341 b0se-#+
16.4 参考文献 343 ?"?AH/E D 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Eb29tq 17.1 引言 345 X;vUz 17.2 操作数 345 Lc-WfzT 18 如何在Function中编写脚本 351 I_`NjJ;61 18.1 简介 351 jgkY^l 18.2 什么是脚本? 351 X .K*</(g 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 8Vt'X2 18.4 基础 352 RgM=g8}M 18.4.1 Classes(类别) 352 ^ ~Tn[w W_ 18.4.2 对象 352 f&] !;) 18.4.3 信息(Messages) 352 ~ySsv 18.4.4 属性 352 -G=.3
bux 18.4.5 方法 353 F^}d>2W( 18.4.6 变量声明 353 lC
d\nE8G 18.5 创建对象 354 0}9j l 18.5.1 创建对象函数 355 ,eqRI>,\ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 c+whpQ=01 18.5.3 丢弃对象 356 {!.w} 18.5.4 总结 356 KXWz(L!1 18.6 脚本中的表格 357 i?mUQ'H 18.6.1 方法1 357 Rdj^k^V+a1 18.6.2 方法2 357 AkO-PL 18.7 2D Plots in Scripts 358 6_tl_O7 18.8 3D Plots in Scripts 359 V%zo[A 18.9 注释 360 /Vx
EqIK 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 2%H_%Zu9 18.11 一个更高级的脚本 362 .I^Y[_.G 18.12 <esc>键 364 }R hSt] 18.13 包含文件 365 m-cw5lW 18.14 脚本被优化调用 366 Dx9k%G)! 18.15 脚本中的对话框 368 L,,*8 18.15.1 介绍 368 ~!%G2E! 18.15.2 消息框-MsgBox 368 plNw>rFa 18.15.3 输入框函数 370 P4E_<v[ 18.15.4 自定义对话框 371 6G_{N.{( 18.15.5 对话框编辑器 371 N7;kWQH 18.15.6 控制对话框 377 ]/[@.
18.15.7 更高级的对话框 380 8'v:26 18.16 Types语句 384 ._.Qf<7 18.17 打开文件 385 "
#U-*Z7 18.18 Bags 387 $lUz!mjG 18.13 进一步研究 388 9wdX#=I 19 vStack 389 lJS3*x#H 19.1 vStack基本原理 389 a% /x 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 *WWDwY@!u 19.3 五棱镜 393 !D/W6Ic@ 19.4 光束距离 396 b%VZPKA; 19.5 误差 399 }me`(zp 19.6 二向分色棱镜 399 f67pvyy - 19.7 偏振泄漏 404 FIQHs"#T 19.8 波前误差—相位 405 VQ+G. 19.9 其它计算参数 405 +.m:-^9 20 报表生成器 406 kn&BGYt 20.1 入门 406 6/Z_r0^O 20.2 指令(Instructions) 406 $:vS_# 20.3 页面布局指令 406 C2DAsSw 20.4 常见的参数图和三维图 407 KHeeB `V>J 20.5 表格中的常见参数 408 1ZvXRJ)% 20.6 迭代指令 408 O}6*9Xy 20.7 报表模版 408 )R"UX:Q> 20.8 开始设计一个报表模版 409 "VMb1Zhf 21 一个新的project 413 ykxAm\O 21.1 创建一个新Job 414 $]^Io)}f@ 21.2 默认设计 415 A[:(#iR5-E 21.3 薄膜设计 416 Ir5E*op7D 21.4 误差的灵敏度计算 420 l
o-
42) 21.5 显色指数计算 422 ;9vY5CxzC 21.6 电场分布 424 vOtILL6 后记 426 N#X*
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